JP4871808B2 - 吸着ノズル変更装置、表面実装機及び部品検査機のための部品移載装置 - Google Patents

Description

本発明は、複数の吸着ノズルを回転させて、複数の吸着ノズルのうちの１つを選択的に通常使用位置に位置決めする吸着ノズル変更装置、該吸着ノズル変更装置を備えた表面実装機、及び部品検査機のための部品移載装置に関するものである。

電子部品などの部品をハンドリングする機構を有する装置として、例えば表面実装機が従来から数多く提供されている。かかる装置では、吸着ノズルにより部品を吸着して該部品を保持することが可能となっている。また、この種の装置では、部品の種類に応じて、該部品の吸着保持を実行する吸着ノズルを変更する必要が発生する場合がある。そこで、吸着ノズルの変更を容易なものとするために、例えば特許文献１では、部品の種類に応じて吸着ノズルを選択可能に構成した吸着ノズル変更装置が提案されている。かかる吸着ノズル変更装置は、回転軸を中心に回転自在なノズル組付ブロックを備えるとともに、該ノズル組付ブロックに対して複数のノズルが取り付けられている。そして、ノズル組付ブロックを回転することで、１つの吸着ノズルが選択的に通常使用位置に位置決めされる。そして、このようにして通常使用位置に位置決めされた吸着ノズルにより、部品の吸着保持が実行される。
特開２０００−３６６９６号公報（段落００２３、図６）

ところで、上記のように構成された吸着ノズル変更装置では、ノズル組付ブロックの清掃や修理等を効率的に行なって装置の保守点検性を向上させたいという要望がある。この点を考慮すると、上述のノズル組付ブロックを、装置本体から簡便に取り外せることが好適である。また、かかる吸着ノズル変更装置を組み込んだ、表面実装機や部品移載装置においても、ノズル組付ブロックを簡便に取り外せることが保守点検性の向上にとって非常に重要な要素となっている。

本発明は、上記に鑑みてなされたもので、複数の吸着ノズルのうちの１つを選択的に通常使用位置に位置決めする吸着ノズル変更装置において、同装置の保守点検性を向上することを第１の目的とする。

また、本発明は、複数の吸着ノズルのうちの１つを選択的に通常使用位置に位置決めする吸着ノズル変更装置を装備する表面実装機において、同実装機の保守点検性を向上することを第２の目的とする。

さらに、本発明は、複数の吸着ノズルのうちの１つを選択的に通常使用位置に位置決めする吸着ノズル変更装置を装備する部品検査機のための部品移載装置において、同移載装置の保守点検性を向上することを第３の目的とする。

本発明にかかる吸着ノズル変更装置は、ノズルシャフトの下方の保持部材に支軸を取り付けるとともに支軸に対してノズル組付部材を回転自在に支持し、支軸回りにノズル組付部材を回転させることによってノズル組付部材に取り付けられる複数の吸着ノズルのうちの１つを選択的に通常使用位置に位置決めする吸着ノズル変更装置であって、上記第１の目的を達成するために、支軸に対して移動することで支軸の一方端部に係脱自在である係合部材と、係合部材の移動規制および規制解除を行う規制制御手段とを備え、支軸は、ノズル組付部材に挿脱自在であり、係合部材は、ノズル組付部材に挿通された支軸の一方端部に係合した係合状態において、支軸のノズル組付部材に対する挿脱を規制し、規制制御手段が係合状態の係合部材の移動を規制すると、支軸が保持部材に固定される一方、規制制御手段が係合部材の移動規制を解除すると、係合部材を移動させて係合状態を解除できることを特徴としている。

このように構成された吸着ノズル変更装置では、ノズル組付部材に挿通された支軸の一方端部に係合部材が係合した係合状態において、支軸のノズル組付部材に対する挿脱が規制される。そして、この係合状態において、規制制御手段が係合部材の移動を規制すると、支軸が保持部材に固定される。これによって支軸をしっかりと固定しながら該支軸に対してノズル組付部材が回転自在に支持され、この結果、ノズル組付部材の回転によって吸着ノズルの変更を確実に行うことが可能となっている。このようにノズル組付部材を強固に支持することができる一方、ノズル組付部材の取り外しについては次に説明するように簡便に行うことができる。すなわち、規制制御手段が係合部材の移動規制を解除すると、係合部材を移動させて係合状態を解除できる。その結果、ノズル組付部材から支軸を抜取ることが可能となる。そして、ノズル組付部材から支軸を抜取ることで、ノズル組付部材を装置から簡単に取り外すことができる。このように上記吸着ノズル変更装置ではノズル組付部材の簡便な取り外しが実現されており、吸着ノズル変更装置の保守点検性の向上が実現されている。

ところで、上述のノズル変更装置では、係合部材を移動させて係合状態を解除することで、支軸の抜取りが可能となる。そこで、駆動力を受けてノズル組付部材を回転駆動する駆動部材を更に備えた吸着ノズル変更装置においては、駆動部材は支軸の一方端部と反対の他方端部に配置されても良い。このような構成の場合、上述の係合部材の移動を駆動部材の反対側で行なうことができる。したがって、係合部材の移動動作を駆動部材に干渉されること無く行なうことができ、その結果、ノズル組付部材の取外作業性を向上させることができる。

また、保持部材には、係合部材の移動方向に伸びる長孔が形成されており、係合部材には、移動方向に直交してネジ孔が形成されており、規制制御手段は、ネジ孔に対して螺合自在なオネジ部材を有し、オネジ部材を長孔に貫設した状態でオネジ部材をネジ孔に締め込んで係合部材を保持部材に圧接して、係合部材の移動を規制する一方、オネジ部材を緩めて係合部材の圧接を解除して、係合部材の移動規制を解除するように構成しても良い。このような構成では、オネジ部材が保持部材の長孔に貫設した状態で、係合部材のネジ孔に螺合する。このネジ孔は係合部材の移動方向に直交して該係合部材に形成されている。したがって、オネジ部材をネジ孔に締め込むと、係合部材は、移動方向に直交する方向においてオネジ部材との間に保持部材を挟みつつ、保持部材に圧接される。その結果、圧接面の摩擦力により係合部材の移動方向への移動が規制される。

一方で、このような圧接状態はオネジ部材を緩めることで簡単に解除できる。また、このようにオネジ部材を緩めた状態では、オネジ部材は移動方向に略直交する方向から保持部材の長孔に貫設しており、この長孔は移動方向に伸びて形成されている。そのため、オネジ部材は長孔に貫設したまま長孔の中を移動方向に移動できる。したがって、オネジ部材を緩めることで、係合部材は、保持部材の長孔に貫設されたオネジ部材と一緒に移動方向に移動可能である。このように上述の構成では、オネジ部材をネジ孔から抜くこと無く係合部材を移動させて、ノズル組付部材を取り外すことができる。よって、ノズル組付部材の取り外しの際にオネジ部材を紛失するとの問題の発生が抑制されており、保守点検性をさらに向上させることができる。

また、係合部材には、該係合部材の移動方向に伸びる長孔が形成されており、保持部材には、移動方向に直交してネジ孔が形成されており、規制制御手段は、ネジ孔に対して螺合自在なオネジ部材を有し、長孔にオネジ部材を貫設した状態でオネジ部材をネジ孔に締め込んで係合部材を保持部材に圧接して、係合部材の移動を規制する一方、オネジ部材を緩めて係合部材の圧接を解除して、係合部材の移動規制を解除するように構成しても良い。このような構成では、オネジ部材が係合部材の長孔に貫設した状態で、保持部材のネジ孔に螺合する。このネジ孔は係合部材の移動方向に直交して保持部材に形成されている。したがって、オネジ部材をネジ孔に締め込むと、係合部材は、移動方向に直交する方向において保持部材とオネジ部材との間に挟まれつつ、保持部材に圧接される。その結果、圧接面の摩擦力により係合部材の移動方向への移動が規制される。

一方で、このような圧接状態はオネジ部材を緩めることで簡単に解除できる。また、このようにオネジ部材を緩めた状態では、オネジ部材は移動方向に略直交する方向から係合部材の長孔に貫設しており、この長孔は移動方向に伸びて形成されている。したがって、オネジ部材を緩めることで、係合部材はその長孔にオネジ部材が貫設された状態のままで、移動方向に移動可能である。このように上述の構成では、オネジ部材をネジ孔から抜くこと無く係合部材を移動させて、ノズル組付部材を取り外すことができる。よって、ノズル組付部材の取り外しの際にオネジ部材を紛失するとの問題の発生が抑制されており、保守点検性をさらに向上させることができる。

ところで、上述の構成では、オネジ部材を緩めることで係合部材の移動規制を解除している。そして、係合部材を移動させることで支軸の抜取りが可能となる。そこで、ネジ孔は鉛直方向に直交する横方向に形成されており、係合部材の長孔は横方向に貫通形成されており、オネジ部材は長孔に対して横方向に貫設してネジ孔に螺合するように構成しても良い。このような構成では、ノズル組付部材を取り外すためにオネジ部材を緩める作業を、横方向から行なうことが可能となる。したがって、鉛直方向下側から見上げながら作業を行なったり、或いは、鉛直方向上側から覗き込みながら作業を行なったりする必要が無く、より簡便にノズル組付部材の取り外しが実行できる。

また、本発明にかかる表面実装機は、複数の吸着ノズルから選択した一の吸着ノズルにより部品を吸着保持しつつ部品を部品供給部から基板に搬送するとともに、部品を基板に実装する表面実装機であって、上記第２の目的を達成するために、複数の吸着ノズルから一の吸着ノズルを選択する手段として、請求項１乃至５のいずれかに記載の吸着ノズル変更装置を備えたことを特徴としている。

このように構成された表面実装機では、複数の吸着ノズルから一の吸着ノズルを選択する手段として、請求項１乃至５のいずれかに記載の吸着ノズル変更装置を備えているため、ノズル組付部材の簡便な取り外しが実現されており、表面実装機の保守点検性の向上が実現されている。

また、本発明にかかる部品検査機のための部品移載装置は、複数の吸着ノズルから選択した一の吸着ノズルにより部品を吸着保持しつつ部品を部品供給部から部品検査部に搬送し保持することで、部品検査部に保持された部品の検査を行う部品検査機のための部品移載装置であって、上記第３の目的を達成するために、複数の吸着ノズルから一の吸着ノズルを選択する手段として、請求項１乃至５のいずれかに記載の吸着ノズル変更装置を備えたことを特徴としている。

このように構成された部品検査機のための部品移載装置では、複数の吸着ノズルから一の吸着ノズルを選択する手段として、請求項１乃至５のいずれかに記載の吸着ノズル変更装置を備えているため、ノズル組付部材の簡便な取り外しが実現されており、部品検査機のための部品移載装置の保守点検性の向上が実現されている。

以上のように、本発明によれば、規制制御手段による係合部材の移動規制によって確実に固定された支軸に対してノズル組付部材をしっかりと回転自在に支持する。一方、規制制御手段による係合部材の移動規制を解除して係合部材を移動させると、係合状態が解除される。その結果、ノズル組付部材からの支軸の抜取が自在となる。そして、ノズル組付部材から支軸を抜取ることで、ノズル組付部材を装置から簡単に取り外すことができる。このように本発明では、ノズル組付部材の簡便な取り外しが実現されており、吸着ノズル変更装置、該装置を装備する表面実装機、および、部品検査機のための部品移載装置の保守点検性を向上させることができる。

図１は本発明にかかる吸着ノズル変更装置の第１実施形態を装備した表面実装機の概略構成を示す平面図である。また、図２はヘッドユニットの正面図である。なお、これらの図面及び後で説明する図面では、各図の方向関係を明確にするために、ＸＹＺ直角座標軸が示されている。

この表面実装機１では、基台１１上に基板搬送機構２が配置されており、基板３を所定の搬送方向Ｘに搬送可能となっている。より詳しくは、基板搬送機構２は、基台１１上において基板３を図１の右側から左側へ搬送する一対のコンベア２１、２１を有している。そして、コンベア２１、２１は搬入されてきた基板３を所定の実装作業位置（同図に示す基板３の位置）で停止させ、図略の保持装置で基板３を固定し保持する。そして部品供給部４から供給される電子部品（図示省略）がヘッドユニット６に搭載された吸着ノズル６１により基板３に移載される。このとき、ヘッドユニット６に取り付けられた部品認識装置７が吸着ノズル６１による電子部品の吸着状態を画像認識し、その認識結果を表面実装機１全体を制御する制御装置（図示省略）に出力する。一方、制御装置は画像認識結果に基づき移載動作を制御して基板３上所定位置への電子部品の実装を行う。そして、基板３に実装すべき部品の全部について実装処理が完了すると、基板搬送機構２は基板３を搬出する。

基板搬送機構２の両側には、上記した部品供給部４が配置されている。これらの部品供給部４は多数のテープフィーダ４１を備えている。また、各テープフィーダ４１には、電子部品を収納・保持したテープを巻回したリール（図示省略）が配置されており、電子部品を供給可能となっている。すなわち、各テープには、集積回路（ＩＣ）、トランジスタ、コンデンサ等の小片状のチップ電子部品が所定間隔おきに収納、保持されている。そして、テープフィーダ４１がリールからテープをヘッドユニット６側に送り出すことによって該テープ内の電子部品が間欠的に繰り出され、その結果、ヘッドユニット６の吸着ノズル６１による電子部品のピックアップが可能となる。

ヘッドユニット６は、吸着ノズル６１で吸着された電子部品を部品供給部４と基板３との間で搬送して基板３に実装するため、基台１１の所定範囲にわたりＸ軸方向及びＹ軸方向（Ｘ軸及びＺ軸方向と直交する方向）に移動可能となっている。すなわち、ヘッドユニット６は、Ｘ軸方向に延びる実装用ヘッド支持部材６３に対してＸ軸に沿って移動可能に支持されている。また、実装用ヘッド支持部材６３は、両端部がＹ軸方向の固定レール６４に支持され、この固定レール６４に沿ってＹ軸方向に移動可能になっている。そして、このヘッドユニット６は、Ｘ軸サーボモータ６５によりボールねじ６６を介してＸ軸方向に駆動され、実装用ヘッド支持部材６３はＹ軸サーボモータ６７によりボールねじ６８を介してＹ軸方向へ駆動される。

このように、ヘッドユニット６は電子部品を吸着ノズル６１により吸着保持したまま基板３に搬送するとともに、所定位置に移載する。より詳しく説明すると、ヘッドユニット６は次のように構成されている。このヘッドユニット６では、鉛直方向Ｚに延設された実装用ヘッド６２が８本、Ｘ軸方向（基板搬送機構２による基板３の搬送方向）に等間隔で列状配置されている。実装用ヘッド６２のそれぞれの先端部には、吸着ノズル６１が装着されている。そして、本実施形態では、８個の実装用ヘッド６２のうちの３個の実装用ヘッド６２Ａについて、複数の吸着ノズル６１を変更可能とするために吸着ノズル変更装置８０が装備されている（図３）。

図２および図３に示すように、実装用ヘッド６２（吸着ノズル変更装置８０が配置された実装ヘッド６２Ａも含む）はＺ軸方向に伸びるノズルシャフト８１を備える。ノズルシャフト８１の軸心部には、吸着ノズル６１内に連通する図略の空気通路が形成され、この空気通路８２は、ノズルシャフト８１の内部を通って上方（Ｚ軸方向）に延び、該ノズルシャフト８１の上端部で開口している。ノズルシャフト８１内部の空気通路の上端開口は、図略の電動切替弁を介して負圧発生装置、正圧発生装置、及び大気のいずれかに接続される。これにより、負圧発生装置からの負圧吸着力を吸着ノズル６１に与えて、該吸着ノズル６１の下方端部（先端部）が電子部品の上面を吸着して部品保持が可能となっている。逆に制御装置により吸着ノズル６１へ正圧発生装置からの正圧を供給すると、吸着ノズル６１による電子部品の吸着保持が解除されるとともに、正圧により電子部品を瞬時に基板３に実装する。電子部品の実装後には、吸着ノズル６１は大気開放とされる。このようにヘッドユニット６では負圧吸着力及び正圧供給の制御により電子部品の着脱が可能となっている。

各吸着ノズル６１はヘッドユニット６に対して図略の昇降駆動機構による駆動力により昇降（Ｚ軸方向の移動）可能に、かつ図略の回転駆動機構による駆動力（回転駆動力）によりノズル中心軸回りに回転（図２のＲ方向の回転）可能となっている。これらの駆動機構のうち昇降駆動機構は吸着もしくは装着を行う時の下降位置と、搬送や撮像を行う時の上昇位置との間で吸着ノズル６１を昇降させるものである。一方、回転駆動機構は吸着ノズル６１を必要に応じて回転させるための機構であり、回転駆動により電子部品を実装時における所定のＲ軸方向に位置させることが可能となっている。なお、これらの駆動機構については、それぞれサーボモータと所定の動力伝達機構で構成されている。そして、吸着ノズル６１の変更を可能とするために、ヘッドユニット６は次のような機構を備える。

図３は吸着ノズル変更装置の部分断面図である。吸着ノズル変更装置８０は、その下端部においてノズル組付ブロック８５を着脱自在に保持している。ノズル組付ブロック８５は、支軸８４を中心として回転可能であるとともに、複数の吸着ノズル６１が着脱可能であるように構成されている。なお、同図は複数の吸着ノズル６１をノズル組付ブロック８５に取り付けた状態を表している。そして、詳細は後述するが、表面実装機１は、通常使用時は一の吸着ノズル６１を通常使用位置に位置決めして部品実装を行なう一方、必要に応じてノズル組付ブロック８５を回転させることで、複数の吸着ノズル６１の内から使用する吸着ノズル６１を選択的に変更することができる。吸着ノズル変更装置８０の吸着ノズル６１も、図略の回転駆動機構により、ノズル組付ブロック８５、ノズルシャフト８１Ａ等と一体的にＲ軸方向に回転駆動され、且つ図略の昇降駆動機構により昇降される。吸着ノズル変更装置８０のノズルシャフト８１Ａの上端部は、ノズルシャフト８１の下端部に接続一体化され、ノズルシャフト８１Ａ内部の空気通路８２も上端の開口部８２ａがノズルシャフト８１内部の空気通路と連通され、吸着ノズル変更装置８０の吸着ノズル６１にも負圧、正圧あるいは大気が与えられる。

図４は、吸着ノズル変更装置８０において、吸着ノズルの変更を実行する機構の拡大側面図である。図５は、図４におけるＡ−Ａ線断面図であり、通常使用時の状態を示している。まずは、通常使用時を示すこれらの図を用いて同機構の構成について説明することとし、この説明に続いて図６を使い吸着ノズル６１の変更動作について詳述する。ノズルシャフト８１の下端部には、下方に延びる中空円柱状のホルダー８３（保持部材）が固定されている。ホルダー８３の下端部には支軸８４が横方向（Ｙ軸方向）に向いて固定されており、この支軸８４は、ノズル組付ブロック８５（ノズル組付部材）を回転自在に支持する。ノズル組付ブロック８５は、その外周部に３個の吸着ノズル６１が取り付けられるとともに、３個の円錐状凹陥部９７が形成されている。具体的には、３個の吸着ノズル６１は支軸８４を中心として略放射状に配置されるとともに、各吸着ノズル６１に対して支軸８４を挟んで対向する位置に円錐状凹陥部９７が形成されている。ノズル組付ブロック８５には、互いに対向する吸着ノズル６１と円錐状凹陥部９７とを連通する連通孔９８が形成されている。支軸８４には上下方向（Ｚ軸方向）に連通孔８４ａが貫通形成されており、鉛直方向下端部（通常使用位置）に位置決めされた吸着ノズル６１とこれに対向する円錐状凹陥部９７は、この連通孔８４ａを介して互いに連通する。

ノズル組付ブロック８５には支軸８４に対して回転可能である第１の傘歯車８６が係合している。第２の傘歯車８７は、この第１の傘歯車８６に噛合する状態でホルダー８３に回転自在に支持されている。第２の傘歯車８７は、その上端部に径方向外側に突出するつば部１００が形成されている。つば部１００には、ハウジング側係合部材９６の爪片１０１が係合する凹溝１０２が形成されている。ヘッドユニット６の下部本体６Ａにハウジング９４、インナーハウジング９４Ａ及び支持部材９５がそれぞれ固定され、ハウジング９４とインナーハウジング９４Ａにより軸受９３のアウターレースが保持される。支持部材９５には、図４の左右方向の中央部にハウジング側係合部材９６が上下方向に移動自在に支持されている。

ハウジング側係合部材９６は、支持部材９５の軸孔１０３に嵌挿された軸部１０４と、この軸部１０４の下端から下方へ突出する爪片１０１とが一体に形成されている。また、ハウジング側係合部材９６は、軸部１０４の上端部に螺着されたナット１０５によって下方へ脱落することが無いように規制され、支持部材９５内に弾装された圧縮コイルばね１０６によって下方に付勢されている。爪片１０１は、第２の傘歯車８７のつば部１００に対向して配置される。ノズルシャフト８１Ａ、ホルダー８３、第２の傘歯車８７、第１の傘歯車８６、支軸８４、ノズル組付ブロック８５、および位置決め用ロッド８８等（以下ノズルシャフト８１Ａ等可動体と言う）は上記したように一体的に昇降する。通常の実装動作においては、部品供給部４上方と基板３上方との間の往復移動における通常時上方位置（図４及び図５に示す位置）と、部品供給部４での部品吸着あるいは基板３での部品装着における下降位置（図４及び図５に示す位置から下降した位置）との間で昇降する。すなわち、通常の実装動作においては、爪片１０１とつば部１００は離間したままの状態に維持される。また、通常の実装動作においては、吸着ノズル６１での部品吸着状態における電子部品の方向が、基板３上に実装する電子部品の方向からずれる場合が多く、後者の方向に部品吸着状態における電子部品の方向を一致させるよう、ノズルシャフト８１Ａ等可動体は上記したように一体的にＲ軸方向に回動せられるので、爪片１０１と凹溝１０２がＲ軸方向に位置が必ずしも一致することはない。

上述のノズル組付ブロック８５の上方には位置決め用ロッド８８が設けられている。この位置決め用ロッド８８は、ノズル組付ブロック８５の円錐状凹陥部９７に対して係脱自在に係合する。具体的には、位置決め用ロッド８８の下端部にはテーパ部８８ａが形成されており、このテーパ部８８ａが円錐状凹陥部９７に対して係脱自在に係合する。位置決め用ロッド８８はノズルシャフト８１の軸心部に上下方向に移動自在に支持されるとともに、その上端部とノズルシャフト８１との間に弾装された圧縮コイルばね９９によって下方に付勢されている。位置決め用ロッド８８には小外径部８９が形成されており、かかる小外径部８９に一端部が係入する状態で一対のカム９１が設けられている。この一対のカム９１は、ホルダー８３の中途部に水平な支軸９０によって回転自在に支持されている。カム９１の上方にはリング９２が設けられており、このリング９２は、軸受９３のインナーレースに所定の締め代をもって圧入されており、軸受９３を介して円筒状のハウジング９４により回転自在に支持されるとともに、リング９２の内周部には、上述のホルダー８３が遊嵌状態で嵌挿されている。図４及び図５に示す位置から下降した位置となる部品吸着あるいは部品装着における下降位置に、ノズルシャフト８１Ａ等可動体が一体的に下降した状態においては、カム９１の外側はリング９２から離間した状態にある。この時のカム９１の姿勢は支軸９０回りの重量バランスにより、カム９１の内側は位置決め用ロッド８８の小外形部８９の上側壁に接触する。ノズルシャフト８１Ａ等可動体が一体的に上昇し、図４及び図５に示す通常時上方位置に位置する場合においては、カム９１の外側はリング９２から僅かな隙間をもって離間した状態となる。

そして、表面実装機１は、図４および図５に示す状態で部品実装を行なう。図４および図５で示す状態では、位置決め用ロッド８８をノズル組付ブロック８５に係合させることで、ノズル組付ブロック８５の回転が規制されている。その結果、３個の吸着ノズル６１の内の１つが鉛直下方に向くように位置決め固定される（つまり、通常使用位置に位置決め固定される）。位置決めされた吸着ノズル６１は、支軸の連通孔８４ａとノズル組付ブロック８５の連通孔９８とを介してノズルシャフト８１の空気通路８２に連通する。そして、表面実装機１は、位置決めされた吸着ノズル６１により電子部品を吸着保持して部品実装動作を行なう。

一方、表面実装機１は、吸着ノズル変更動作を行う場合は、位置決め用ロッド８８とノズル組付ブロック８５との係合状態を解消させて、ノズル組付ブロック８５を回転自在とする。そして、回転自在となったノズル組付ブロック８５を回転させることで、吸着ノズル６１を変更することができる。次に、この吸着ノズル変更動作について説明する。

図６は、図４におけるＡ−Ａ線断面図であり、吸着ノズル６１を変更するときの状態を示す。表面実装機１は、吸着ノズル６１の変更を行う場合は、図４、５に示す通常時上方位置から所定量上昇した最上方位置まで、ノズルシャフト８１Ａ等可動体を一体的に上昇する（図６）。この上昇に先行し、爪片１０１と凹溝１０２がＲ軸方向に位置が一致するよう、必要に応じノズルシャフト８１Ａ等可動体をＲ軸方向に回動する。上述の通り、位置決め用ロッド８８の小外径部８９には、カム９１の一端部が係入している。また、カム９１の他端部はリング９２によって上側への移動が規制されている。したがって、ノズルシャフト８１とホルダー８３とが上側に移動すると、カム９１の他端部がリング９２によって押し下げられる一方、カム９１の一端部が上に移動する。その結果、位置決め用ロッド８８は、カム９１の一端部に押し上げられて、ホルダー８３に対して上側へ移動する。このように位置決め用ロッドが上側に移動することによって、位置決め用ロッド８８とノズル組付ブロック８５との係合状態が解消されて、ノズル組付ブロック８５は支軸８４を中心として回転できる状態になる。なお、爪片１０１と凹溝１０２がＲ軸方向に位置が一致しない状態では、圧縮コイルばね１０６が縮むことで、通常時上方位置から最上方位置まで、ノズルシャフト８１Ａ等可動体の一体的な上昇を可能としている。遅れてＲ軸方向に回動すれば、凹溝１０２に爪片１０１を係合させることができる。

また、図４および図５に示す基準位置から、ノズルシャフト８１およびホルダー８３が上側に移動すると、爪片１０１が凹溝１０２に係合して第２の傘歯車８７の回転が規制される（図６）。ここで、図６に示す状態において、回転駆動機構による駆動力によりノズルシャフト８１をＲ軸方向に回転させると、第２の傘歯車８７はＲ軸方向への回転が規制されているため、第２の傘歯車８７以外のノズルシャフト８１、ホルダー８３および第１の傘歯車８６がＲ軸方向に回転する。これにより、第１の傘歯車８６は静止する第２の傘歯車８７に噛み合いながらＲ軸方向に公転するため、第１の傘歯車８６は支軸８４の回りで自転することとなる。上述の通り第１の傘歯車８６はノズル組付ブロック８５に係合しているため、第１の傘歯車８６の支軸周りの回転に伴って、ノズル組付ブロック８５も支軸８４周りに回転する。このように、ノズル組付ブロック８５が回転することにより、それまで通常使用位置にあった吸着ノズル６１が通常使用位置から移動して、別の吸着ノズル６１が通常使用位置に位置決めされる。このようにして、吸着ノズル６１の変更が実行される。

上述してきたように、表面実装機１は、吸着ノズル変更装置８０において、３個の吸着ノズル６１のうちの１つを通常使用位置に位置決めして部品実装を行なう一方、ノズル組付ブロック８５を回転させて吸着ノズル６１を変更することができる。そして、本実施形態は、このノズル組付ブロック８５を装置本体に対して着脱自在に構成している。

図７はノズル組付ブロックを装置本体に着脱するための着脱機構を示す部分断面図である。図８は、図７の着脱機構をＹ軸方向から見た場合の部分断面図である。図９は、図７の着脱機構を鉛直下方から見た場合の図である。なお、図９では、ノズル組付ブロック８５の記載は省略されている。後述するように、この着脱機構は支軸８４に対して係脱自在なキー部材１１７を有しており、図７〜図９の欄（Ａ）はキー部材１１７が支軸８４に係合した係合状態に対応し、図７〜図９の欄（Ｂ）はキー部材１１７が支軸８４から抜脱した抜脱状態に対応する。まずは、これらの図の欄（Ａ）を用いて、ノズル組付ブロック８５が装置本体に装着された状態について説明する。

既に上述したが図７にも示すとおり、支軸８４は、Ｙ軸方向をその軸方向としてホルダー８３に保持されるとともに、ノズル組付ブロック８５を回転自在に支持している。より具体的には、ノズル組付ブロック８５にはＹ軸方向に嵌合孔８５ａが貫通形成されており、この嵌合孔８５ａに対して支軸８４が挿脱自在に嵌入されている（図７（Ｂ））。

支軸８４の左端部は、第１の傘歯車８６が圧入固着され、第１の傘歯車８６のボス部となるスリーブ１１０を介してホルダー８３に保持される。具体的には、支軸８４の左端部では、スリーブ１１０がホルダー８３と支軸８４との間で回転自在に配置されている。スリーブ１１０には凸部１１１（図７破線）が設けられており、ノズル組付ブロック８５の凹部１１２（図７破線）に係脱自在に係合している。したがって、スリーブ１１０の凸部１１１がノズル組付ブロック８５の凹部１１２に係合した状態で、Ｒ軸方向の回転駆動力が与えられると、凹溝１０２への爪片１０１の係合により下部本体６Ａに固定された停止状態にある第２の傘歯車８７に噛み合う第１の傘歯車８６が支軸８４回りに回転し、この第１の傘歯車８６のボス部となるスリーブ１１０が回転し、スリーブ１１０とともにノズル組付ブロック８５が支軸８４回りに回転する。

一方、支軸８４の右端部は、この右端部に形成されたキー溝１１３とキー部材１１４との係合によって、ホルダー８３に保持される。具体的には次の通りである。支軸８４の右端部にはＸ軸方向にキー溝１１３が延設されている。このキー溝１１３には、キー部材１１４（係合部材）の係合部位１１８が係脱自在に係合する。この係合部位１１８はＸ軸方向に延設されており、キー溝１１３に対して係合可能な形状に仕上げられている。なお、後述するように、キー部材１１４はＸ軸方向に移動することでキー溝１１３から抜脱可能である。

キー部材１１４の下面は、ホルダー８３に当接するとともに、鉛直方向（Ｚ軸方向）にネジ孔１１７が形成されている。ホルダー８３には、Ｘ軸方向に伸びる長孔１１５がＺ軸方向に貫通形成されている（図８（Ａ）、図９（Ａ））。長孔１１５には六角孔付きの小型のボルト１１６（オネジ部材）が貫通されており、このボルト１１６はキー部材１１４のネジ孔１１７に螺合する（図７（Ａ）、図８（Ａ））。ボルト１１６のネジ頭は長孔１１５の幅よりも大きな幅を有しており、このネジ頭とキー部材１１４とでホルダー８３を挟み込んだ状態で、ボルト１１６はネジ孔１１７に締め込まれている。これにより、キー部材１１４はホルダー８３に対して鉛直下方（Ｚ軸方向）に圧接される（圧接状態）。

上述のように、支軸８４の右端部のキー溝１１３にはキー部材１１４が係合している（係合状態）。したがって、支軸８４はＹ軸方向に移動することができず、ホルダー８３およびノズル組付ブロック８５からの支軸８４の挿脱が規制されている。また、このキー部材１１４はボルト１１６（規制制御手段）によりホルダー８３に圧接されており、圧接面の摩擦力によりキー部材１１４の移動が規制される。これによりホルダー８３に支軸８４が固定される。このようにして、ノズル組付ブロック８５は装置本体に装着されており、ノズル組付ブロック８５の回転によって吸着ノズル６１の変更を確実に行なうことが可能となっている。

一方、本実施形態では、圧接状態からボルト１１６を緩めることで、ノズル組付ブロック８５を簡単に取り外すことができる。このノズル組付ブロック８５の取り外し動作について、図７〜図９の欄（Ｂ）を参照しつつ説明する。ボルト１１６を緩めると、キー部材１１４の圧接状態が解除されて、キー部材１１４はＸ軸方向に移動可能となる。そして、次に説明するように、キー部材１１４をＸ軸方向に移動させることで、キー部材１１４の係合部位１１８をキー溝１１３から抜脱することができる。

図１０は、キー部材の抜脱動作を示す斜視図である。図１０の欄（Ａ）に示す状態では、キー部材１１４の係合部位１１８は、支軸８４のキー溝１１３に係合している。そして、キー部材１１４をＸ軸方向（移動方向）に移動させると、係合部位１１８がキー溝１１３から抜脱する（図１０（Ｂ））。このとき、Ｚ軸方向からキー部材１１４に螺合するボルト１１６は、Ｘ軸方向に伸びる長孔１１５に貫設した状態のまま、キー部材１１４と一緒にＸ軸方向に移動する（図８（Ｂ）、図９（Ｂ））。そして、キー部材１１４の係合部位１１８が支軸８４のキー溝１１３から脱抜することで、キー部材１１４の支軸８４への係合状態が解消する（図７〜図１０の欄（Ｂ））。その結果、支軸８４がＹ軸方向に移動可能となり、支軸８４をノズル組付ブロック８５から抜取ることが可能となる。

図１１は、支軸が抜取られた状態を示す部分断面図である。同図に示すように、Ｙ軸方向に支軸８４を移動させることによって、該支軸８４をノズル組付ブロック８５から抜取ることができる。そして、このように支軸８４を抜取って支軸８４によるノズル組付ブロック８５の支持を解除することで、ノズル組付ブロック８５を鉛直方向下側から取り外すことができる。また、本実施形態では、スリーブ１１０が、ノズル組付ブロック８５に対して係脱自在となっているため、スリーブ１１０およびスリーブ１１０に圧入固着されている第１の傘歯車８６を、支軸８４と一体的にホルダー８３から抜取ることができる。

このように第１実施形態では、ボルト１１６によりキー部材１１４の移動を規制することで支軸８４をホルダー８３に対してしっかりと固定することができるため、通常使用時においてノズル組付ブロック８５を強固に支持することができる。一方、保守点検時などにおいては、移動規制を解除することによってノズル組付ブロック８５の取り外しを簡単に行うことができる。すなわち、ボルト１１６によるキー部材１１４の移動規制を解除することで、キー部材１１４を支軸８４から抜取ることが可能となる。そして、キー部材１１４が支軸８４から抜取られると、ノズル組付ブロック８５からの支軸８４の抜取が自在となり、その結果、ノズル組付ブロック８５から支軸８４を抜取ってノズル組付ブロック８５を簡単に取り外すことができる。このように第１実施形態では、ノズル組付ブロック８５の簡便な取り外しが実現されており、吸着ノズル変更装置８０および該装置を装備した表面実装機１の保守点検性の向上が実現されている。

また、第１実施形態は、ホルダー８３の長孔に貫設したボルト１１６をキー部材１１４のネジ孔１１７に締め込むことで、キー部材１１４をホルダーに圧接して、キー部材１１４の移動を規制している。したがって、ボルト１１６を緩めて圧接を解除するだけで、簡単にキー部材１１４の移動規制を解除できる。また、ネジ孔１１７の形成方向は、キー部材１１４の移動方向に直交するＺ軸方向である。したがって、ボルト１１６を緩めた状態では、ボルト１１６は移動方向に略直交する方向からホルダー８３の長孔１１５に貫設しており、この長孔１１５はキー部材１１４の移動方向に伸びて形成されている。そのため、ボルト１１６は、長孔１１５に貫設したまま長孔１１５の中をキー部材１１４の移動方向に移動できる。したがって、ボルト１１６を緩めることで、キー部材１１４は、ホルダー８３の長孔１１５に貫設されたボルト１１６と一緒に移動方向に移動可能である（図８（Ｂ））。このように第１実施形態では、ボルト１１６をネジ孔１１７から抜くこと無くキー部材１１４を移動させて、ノズル組付ブロック８５を取り外すことができる。よって、ノズル組付ブロック８５の取り外しの際にボルト１１６を紛失するとの問題の発生が抑制されており、第１実施形態の吸着ノズル変更装置８０および該装置を装備した表面実装機１では、保守点検性をさらに向上させることができる。

なお、以上のノズル組付ブロック８５の脱着作業においては、吸着ノズル変更装置８０を通常時上方位置に位置させ、ノズルシャフト８１Ａ等可動体を一体的にＲ軸方向に回動させる。これによりキー部材１１４およびボルト１１６が作業者側（図１の右側）となるようにすることで、ボルト１１６の緩め作業やボルト１１６の締め付け作業、キー部材１１４の移動規制の解除作業および規制作業、支軸８４の抜き取り作業性を高めることができる。また、スリーブ１１０およびノズル組付ブロック８５に支軸８４を挿入しホルダー８３に取り付ける場合には、支軸８４のつばのある頭部(他端部)側を作業者側（図１の右側）となるようにすることで、互いの合わせマークを一致させつつの、第１の傘歯車８６の第２の傘歯車８７への噛合作業性、支軸８４の挿入作業性を高めることができる。

また、第１実施形態では、支軸８４の一方端部にキー部材１１４を配置する一方、支軸８４の他方端部に第１の傘歯車８６（駆動部材）を配置している。このように、キー部材１１４が配置された一方端部と反対側の他方端部に対して第１の傘歯車８６を配置した構成は、次の点で好適である。つまり、かかる構成では、キー部材１１４の支軸８４からの抜取り動作を第１の傘歯車８６の反対側で行なうことができる。したがって、このキー部材１１４の抜取動作を第１の傘歯車８６に干渉されること無く行なうことができ、ノズル組付ブロック８５のより簡便な取り外しが実現される。

図１２は本発明の吸着ノズル変更装置の第２実施形態における着脱機構を示す部分断面図である。図１３は、図１２の着脱機構をＹ軸方向から見た場合の部分断面図である。後述するように、第２実施形態においても第１実施形態と同様に、着脱機構は支軸８４に対して係脱自在なキー部材１１７を有しており、図１２，図１３の欄（Ａ）はキー部材１１７が支軸８４に係合した係合状態に対応し、図１２，図１３の欄（Ｂ）はキー部材１１７が支軸８４から抜脱した抜脱状態に対応する。この第２実施形態と上述の第１実施形態とは、支軸８４および支軸８４の左端部の構成においては共通する一方、支軸８４の右端部の構成においては異なる。そこで、以下では、支軸右端部の構成を主に説明するとともに、第１位実施形態との共通点については相当符号を付して説明を省略する。まずは、これらの図の欄（Ａ）を用いて、ノズル組付ブロック８５が装置本体に装着された状態について説明する。

支軸８４の右端部は、この右端部に形成されたキー溝１１３とキー部材１１４との係合によって、ホルダー８３に保持される。具体的には次の通りである。支軸８４の右端部にはＸ軸方向にキー溝１１３が延設されている。このキー溝１１３には、キー部材１１４（係合部材）の係合部位１１８が係脱自在に係合する。この係合部位１１８はＸ軸方向に延設されており、キー溝１１３に対して係合可能な形状に仕上げられている。なお、後述するように、キー部材１１４はＸ軸方向に移動することでキー溝１１３から抜脱可能である。

キー部材１１４には、Ｘ軸方向に伸びる長孔１１９が、鉛直方向に直交する横方向（Ｙ軸方向）に貫通形成されているとともに、長孔１１５には横方向からボルト１１６が貫設されている。ホルダー８３には、横方向（Ｙ軸方向）にネジ孔１２０が形成されており、このネジ孔１２０に対して長孔１１９に貫設したボルト１１６が螺合する（図１２（Ａ））。ボルト１１６のネジ頭は長孔１１９の幅よりも大きな幅を有しており、このネジ頭とホルダー８３とでキー部材１１４を挟み込んだ状態で、ボルト１１６はネジ孔１２０に締めこまれている。これにより、キー部材１１４はホルダー８３に対して横方向に圧接される（圧接状態）。

上述のように、支軸８４の右端部のキー溝１１３にはキー部材１１４が係合している（係合状態）。したがって、支軸８４はＹ軸方向に移動することができず、ホルダー８３およびノズル組付ブロック８５からの支軸８４の挿脱が規制されている。また、このキー部材１１４はボルト１１６（規制制御手段）によりホルダー８３に圧接されており、圧接面の摩擦力によりキー部材１１４の移動が規制される。これによりホルダー８３に支軸８４が固定される。このようにして、ノズル組付ブロック８５は装置本体に装着されており、ノズル組付ブロック８５の回転によって吸着ノズル６１の変更を確実に行なうことが可能となっている。

一方、第２実施形態においても、圧接状態からボルト１１６を緩めることで、ノズル組付ブロック８５を簡単に取り外すことができる。このノズル組付ブロック８５の取り外し動作について、図１２，図１３の欄（Ｂ）を参照しつつ説明する。ボルト１１６を緩めると、キー部材１１４の圧接状態が解除されて、キー部材１１４はＸ軸方向に移動可能となる。そして、次に説明するように、キー部材１１４をＸ軸方向に移動させることで、キー部材１１４の係合部位１１８をキー溝１１３から抜脱することができる。

図１４は、キー部材の抜脱動作を示す斜視図である。図１４の欄（Ａ）に示す状態では、キー部材１１４の係合部位１１８は、支軸８４のキー溝１１３に係合している。そして、キー部材１１４をＸ軸方向（移動方向）に移動させると、係合部位１１８がキー溝１１３から抜脱する（図１４（Ｂ））。このとき、キー部材１１４は、その長孔１１９にボルト１１６を貫設した状態のまま、Ｘ軸方向に移動する（図１３（Ｂ））。そして、キー部材１１４の係合部位１１８が支軸８４のキー溝１１３から脱抜することで、キー部材１１４の支軸８４への係合状態が解消し、支軸８４がＹ軸方向に移動可能となる（図１２〜図１４の欄（Ｂ））。その結果、支軸８４をノズル組付ブロック８５から抜取って、ノズル組付ブロック８５を装置から取り外すことができる。

このように第２実施形態においても、ボルト１１６によりキー部材１１４の移動を規制することで支軸８４をホルダー８３に対してしっかりと固定することができるため、通常使用時においてノズル組付ブロック８５を強固に支持することができる。一方、保守点検時などにおいては、移動規制を解除することによってノズル組付ブロック８５の取り外しを簡単に行うことができる。すなわち、ボルト１１６によるキー部材１１４の移動規制を解除することで、キー部材１１４を支軸８４から抜取ることが可能となる。そして、キー部材１１４が支軸８４から抜取られると、ノズル組付ブロック８５からの支軸８４の抜取が自在となり、その結果、ノズル組付ブロック８５から支軸８４を抜取ってノズル組付ブロック８５を簡単に取り外すことができる。このように第２実施形態においても、ノズル組付ブロック８５の簡便な取り外しが実現されており、吸着ノズル変更装置８０および該装置を装備した表面実装機１の保守点検性の向上が実現されている。

また、第２実施形態は、キー部材１１４の長孔１１９に貫設したボルト１１６をホルダー８３のネジ孔１２０に締めこむことで、キー部材１１４をホルダーに圧接して、キー部材１１４の移動を規制している。したがって、ボルト１１６を緩めて圧接を解除するだけで、簡単にキー部材１１４の移動規制を解除できる。また、ネジ孔１２０の形成方向は、キー部材１１４の移動方向（Ｘ軸方向）に直交するＹ軸方向である。したがって、ボルト１１６を緩めた状態では、ボルト１１６は移動方向に略直交する方向からキー部材１１４の長孔１１９に貫設しており、この長孔１１９はキー部材１１４の移動方向に伸びて形成されている。したがって、ボルト１１６を緩めることで、キー部材１１４は、その長孔１１９にボルト１１６を貫設した状態のまま、移動方向に移動可能である（図１４（Ｂ））。このように第２実施形態においても、ボルト１１６をネジ孔１２０から抜くこと無くキー部材１１４を移動させて、ノズル組付ブロック８５を取り外すことができる。よって、ノズル組付ブロック８５の取り外しの際にボルト１１６を紛失するとの問題の発生が抑制されており、第２実施形態の吸着ノズル変更装置８０および該装置を装備した表面実装機１では、保守点検性をさらに向上させることができる。

また、第２実施形態においても第１実施形態と同様に、支軸８４の一方端部にキー部材１１４を配置する一方、支軸８４の他方端部に第１の傘歯車８６（駆動部材）を配置している。したがって、第２実施形態においても、キー部材１１４の抜取動作を第１の傘歯車８６に干渉されること無く行なうことができ、ノズル組付ブロック８５のより簡便な取り外しが実現される。

さらに第２実施形態では、ホルダー８３のネジ孔１２０は横方向に形成されるとともに、キー部材１１４の長孔１１９は横方向に貫通形成されている。そして、第２実施形態は、ボルト１１６を横方向から長孔１１９に貫設しつつネジ孔１２０に締め込んで、キー部材１１４の移動規制を行っている。このような構成では、ノズル組付ブロック８５の取り外しのためにボルト１１６を緩める作業を、横方向から行うことができる。したがって、鉛直方向下側から見上げながら作業を行なったり、或いは、鉛直方向上側から覗き込みながら作業を行なったりする必要が無く、より簡便にノズル組付部材の取り外しが実行できる。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態のノズル組付ブロック８５は、３個の吸着ノズル６１を取り付け可能に構成されているが、ノズル組付ブロック８５に取り付け可能な吸着ノズル６１の個数は３個に限定されるものではなく２個以上であれば良い。

また、上記実施形態では、スリーブ１１０および第１の傘歯車８６を、支軸８４と一体的にホルダー８３から抜取ることができるように構成している。しかしながら、かかる構成は本発明を限定するものではなく、例えば、スリーブ１１０および第１の傘歯車８６をホルダー８３に残したまま、支軸８４をノズル組付ブロック８５から抜脱できるように構成しても良い。要するに、支軸８４がノズル組付ブロック８５に対して挿脱自在であれば良い。

また、上記実施形態では、支軸８４の一方端部にキー部材１１４を配置する一方、支軸８４の他方端部に第１の傘歯車８６（駆動部材）を配置している。しかしながら第１の傘歯車８６の配置位置は支軸８４の他方端部に限られず、支軸８４の一方端部に配置することも可能である。

また、上記実施形態で採用されている基板搬送機構２、実装用ヘッド６２およびヘッドユニット６の構成は、本発明の範囲内で種々の設計変更が可能である。なお、部品供給部４としてトレイフィーダやウェハフィーダであっても良い。テープフィーダ４１を含めこれらのフィーダを組み合わせたものであっても良い。

また、上記実施形態では、８個の実装用ヘッド６２を１列に配置した表面実装機１に対して本発明を適用したが、実装用ヘッド６２の個数や配置態様などはこれに限定されるものではなく、吸着ノズル変更装置を装備した表面実装機全般に適用可能である。また、上記実施形態では、８個の実装用ヘッド６２のうちの３個の実装用ヘッド６２Ａに対して吸着ノズル変更装置８０を装備させているが、吸着ノズル変更装置８０を装備させる実装用ヘッド６２Ａの個数はこれに限られず、例えば１個でも良い。

また、上記実施形態では、ホルダ８３に対し複数の吸着ノズル６１は小型のスクリュウにより脱着可能とされている。吸着ノズル変更装置８０からホルダ８３を外した状態で、各吸着ノズル６１をホルダ８３に着脱することで作業がし易く、その特徴を活かす上で、支軸８４および第１の傘歯車およびホルダ８３の着脱性の良い上記実施形態の構成は、優れている。

また、第１実施形態では、ボルト１１６のネジ頭とキー部材１１４とでホルダー８３を挟み込んでキー部材１１４をホルダー８３に圧接しているが、このとき、ネジ頭とホルダー８３との間にワッシャ等の部材を設けても良い。

また、第２実施形態では、ボルト１１６のネジ頭とホルダー８３とでキー部材１１４を挟み込んでキー部材１１４をホルダー８３に圧接しているが、このとき、ネジ頭とキー部材１１４との間にワッシャ等の部材を設けても良い。

また、本発明の適用対象は表面実装機に限定されるものではなく、複数の吸着ノズルから選択した一の吸着ノズルにより部品を吸着保持しつつ部品を部品供給部から部品検査部に搬送し保持することで、部品検査部に保持された部品の検査を行う部品検査機のための部品移載装置に対しても適用可能である。つまり、かかる部品移載装置に対して、複数の吸着ノズルから一の吸着ノズルを選択する手段として本発明の吸着ノズル変更装置を装備することで、部品移載装置の保守点検性を向上することが可能となる。

さらに、本発明の特許請求の範囲内で種々の設計変更が可能であることはいうまでもない。

本発明にかかる吸着ノズル変更装置の第１実施形態を装備した表面実装機の概略構成を示す平面図である。 ヘッドユニットの正面図である。 吸着ノズル変更装置の部分断面図である。 吸着ノズルの変更を実行する機構の拡大側面図である。 図４におけるＡ−Ａ線断面図である。 図４におけるＡ−Ａ線断面図である。 ノズル組付ブロックを装置本体に着脱するための着脱機構を示す部分断面図である。 図７の着脱機構をＹ軸方向から見た場合の部分断面図である。 図７の着脱機構を鉛直下方から見た場合の図である。 キー部材の抜脱動作を示す斜視図である。 支軸が抜取られた状態を示す部分断面図である。 本発明の吸着ノズル変更装置の第２実施形態における着脱機構を示す部分断面図である。 図１２の着脱機構をＹ軸方向から見た場合の部分断面図である。 キー部材の抜脱動作を示す斜視図である。

符号の説明

１…表面実装機
６…ヘッドユニット
６１…吸着ノズル
６２…実装用ヘッド
６２Ａ…実装用ヘッド
８１…ノズルシャフト
８３…ホルダー（保持部材）
８４…支軸
８５…ノズル組付ブロック（ノズル組付部材）
８６…第１の傘歯車（駆動部材）
１１０…スリーブ
１１３…キー溝
１１４…キー部材（係合部材）
１１５…長孔
１１６…ボルト（オネジ部材）
１１７…ネジ孔
１１８…係合部位
１１９…長孔
１２０…ネジ孔

Claims (7)

1. ノズルシャフトの下方の保持部材に支軸を取り付けるとともに前記支軸に対してノズル組付部材を回転自在に支持し、前記支軸回りに前記ノズル組付部材を回転させることによって前記ノズル組付部材に取り付けられる複数の吸着ノズルのうちの１つを選択的に通常使用位置に位置決めする吸着ノズル変更装置において、
   前記支軸に対して移動することで前記支軸の一方端部に係脱自在である係合部材と、
   前記係合部材の移動規制および規制解除を行う規制制御手段と
   を備え、
   前記支軸は、前記ノズル組付部材に挿脱自在であり、
   前記係合部材は、前記ノズル組付部材に挿通された前記支軸の前記一方端部に係合した係合状態において、前記支軸の前記ノズル組付部材に対する挿脱を規制し、
   前記規制制御手段が前記係合状態の前記係合部材の移動を規制すると、前記支軸が前記保持部材に固定される一方、前記規制制御手段が前記係合部材の移動規制を解除すると、前記係合部材を移動させて前記係合状態を解除できることを特徴とする吸着ノズル変更装置。
2. 駆動力を受けて前記ノズル組付部材を回転駆動する駆動部材を更に備え、
   前記駆動部材は、前記支軸の前記一方端部と反対の他方端部に配置された請求項１記載の吸着ノズル変更装置。
3. 前記保持部材には、前記係合部材の移動方向に伸びる長孔が形成されており、
   前記係合部材には、前記移動方向に直交してネジ孔が形成されており、
   前記規制制御手段は、前記ネジ孔に対して螺合自在なオネジ部材を有し、前記オネジ部材を前記長孔に貫設した状態で前記オネジ部材を前記ネジ孔に締め込んで前記係合部材を前記保持部材に圧接して、前記係合部材の移動を規制する一方、前記オネジ部材を緩めて前記係合部材の圧接を解除して、前記係合部材の移動規制を解除する請求項１または２記載の吸着ノズル変更装置。
4. 前記係合部材には、該係合部材の移動方向に伸びる長孔が形成されており、
   前記保持部材には、前記移動方向に直交してネジ孔が形成されており、
   前記規制制御手段は、前記ネジ孔に対して螺合自在なオネジ部材を有し、前記長孔に前記オネジ部材を貫設した状態で前記オネジ部材を前記ネジ孔に締め込んで前記係合部材を前記保持部材に圧接して、前記係合部材の移動を規制する一方、前記オネジ部材を緩めて前記係合部材の圧接を解除して、前記係合部材の移動規制を解除する請求項１または２記載の吸着ノズル変更装置。
5. 前記ネジ孔は鉛直方向に直交する横方向に形成されており、
   前記係合部材の前記長孔は前記横方向に貫通形成されており、
   前記オネジ部材は前記長孔に対して前記横方向に貫設して前記ネジ孔に螺合する請求項４記載の吸着ノズル変更装置。
6. 複数の吸着ノズルから選択した一の吸着ノズルにより部品を吸着保持しつつ前記部品を部品供給部から基板に搬送するとともに、前記部品を前記基板に実装する表面実装機であって、
   前記複数の吸着ノズルから一の吸着ノズルを選択する手段として、請求項１乃至５のいずれかに記載の吸着ノズル変更装置を備えたことを特徴とする表面実装機。
7. 複数の吸着ノズルから選択した一の吸着ノズルにより部品を吸着保持しつつ前記部品を部品供給部から部品検査部に搬送し保持することで、前記部品検査部に保持された前記部品の検査を行う部品検査機のための部品移載装置であって、
   前記複数の吸着ノズルから一の吸着ノズルを選択する手段として、請求項１乃至５のいずれかに記載の吸着ノズル変更装置を備えたことを特徴とする部品検査機のための部品移載装置。

Images