JP2008277612A - チップ移送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハ21から切り出されるチップ23をトレイ27に移送するチップ移送装置である。外周側に周方向に沿って所定ピッチで吸着コレット25が配置され、軸心周りに間欠的に回転して吸着コレット25をピックアップ位置と受け渡し位置とに移動させるターンテーブル26と、トレイ27をX軸方向およびこれに直交するY軸方向に移動させる移動手段28とを備える。ピックアップ位置でチップ23をピックアップし、移動手段28にて受け渡し位置に移動させたトレイ27にチップ23を供給する。
【選択図】図1
Description
23 チップ
25 吸着コレット
26 ターンテーブル
27 トレイ
28 移動手段
38 上下動手段
39 上下動手段
Claims (4)
- ウェーハから切り出されるチップをトレイに移送するチップ移送装置であって、
外周側に周方向に沿って所定ピッチで吸着コレットが配置され、その軸心周りに間欠的に回転して吸着コレットをピックアップ位置と受け渡し位置とに移動させるターンテーブルと、前記トレイをX軸方向およびこれに直交するY軸方向に移動させる移動手段とを備え、ピックアップ位置でチップをピックアップし、前記移動手段にて受け渡し位置に移動させたトレイにチップを供給することを特徴とするチップ移送装置。 - 吸着コレットは、少なくとも周方向に沿って90度ピッチで配設される4個を備えていることを特徴とする請求項1のチップ移送装置。
- ピックアップ位置および受け渡し位置にそれぞれ前記吸着コレットを上下に移動させる上下動手段が配置されていることを特徴とする請求項1又は請求項2のチップ移送装置。
- ピックアップ位置と受け渡し位置とで高低差を設けたことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかのチップ移送装置。
Priority Applications (1)
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JP2007120786A JP2008277612A (ja) | 2007-05-01 | 2007-05-01 | チップ移送装置 |
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JP2007120786A JP2008277612A (ja) | 2007-05-01 | 2007-05-01 | チップ移送装置 |
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Family
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Family Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2021085463A1 (ja) * | 2019-10-29 | 2021-05-06 | 上野精機株式会社 | 電子部品の搬送装置 |
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2007
- 2007-05-01 JP JP2007120786A patent/JP2008277612A/ja active Pending
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