JP4865495B2 - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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樹脂組成物
名称 重量部
EHPE−3158 ダイセル化学(株)製 100
A−187 日本ユニカー(株)製 5
SP−170 旭電化工業(株)製 2
本発明の実施例は被覆樹脂層8として上記の樹脂組成物を使用したが、その他適用可能な樹脂としてマイクロケム社製SU−8などの厚膜レジストを使用しても何ら問題はない。
2 基板
3 供給口
4 壁部材
5 吐出口
9 中空部
10 部屋
12 供給路
13 吐出部
Claims (9)
- 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、前記エネルギー発生素子に対向して設けられ、液体を吐出する吐出口と、前記エネルギー発生素子により発生されるエネルギーが液体に作用する部屋と、前記部屋と前記吐出口とを連通する吐出部と、前記部屋へ前記液体を供給する供給路と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記部屋を構成する壁部材に、前記部屋とは独立した中空部が設けられ、前記中空部は、前記吐出部の前記基板側の端部よりも前記基板から離れた位置まで延在して形成されており、前記吐出口から前記基板に向かう方向にみて、前記中空部は、少なくとも前記吐出口全体を挟んで対向していることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記中空部を構成する壁面の一部が前記基板によって形成されていることを特徴とする請求項1に液体吐出ヘッド。
- 前記中空部は前記エネルギー発生素子の中心に対し対称な形状を有することを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記壁部材および前記吐出口を形成する吐出口形成部材が樹脂によって形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記樹脂がエポキシ樹脂であることを特徴とする請求項4に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記中空部は前記吐出口から前記基板方向にみて、前記部屋全体を挟んで対向していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、前記エネルギー発生素子に対向して設けられ、液体を吐出する吐出口と、前記エネルギー発生素子により前記液体を吐出するためのエネルギーが発生される部屋と、前記部屋と前記吐出口とを連通する吐出部と、前記部屋へ前記液体を供給する供給路と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記基板上に除去可能な材料層を形成する工程と、前記除去可能な材料層にパターニングを行い、前記部屋を形成する予定の領域の、前記液体の供給方向に対しての側面と対向する位置に、型部材を形成する工程と、前記型部材上に被覆樹脂層を形成する工程と、
前記被覆樹脂層に、前記型部材を露出する部位を形成する工程と、
前記型部材を露出する部位を介して前記型部材を除去し、前記吐出部の前記基板側の端部よりも前記基板から離れた位置まで延在した中空部を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記除去可能な材料層がポジ型感光性樹脂によって形成されていることを特徴とする請求項7に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記除去可能な材料層は、前記基板に直接積層される第一層と、前記第一層上に積層される第二層とによって形成され、
前記型部材を形成する工程において、前記第二層を介して前記第一層の露光を部分的に行い、現像を行うことにより、前記第二層と、前記第二層の前記基板側である下側に部分的に存在する前記第一層とで、前記型部材を形成する請求項7または8に記載の液体吐出ヘッドの製像方法。
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