JP4861760B2 - 旋回部の配線又は配管機構 - Google Patents

Description

本発明は、一定の角度範囲内で旋回可能な旋回機構を備える装置において、旋回部への電気ケーブルまたはエアーチューブ等の配線又は配管の（以下単に、「配線／配管」と称する）の構造に関する。特に、旋回部の旋回動作（以下「回動」と称する）部分における供給線の配線及び配管機構に関する。

搬送ロボット等の産業ロボットや加工装置等においては、装置の一部が旋回可能な旋回部を備えており、該旋回部の先端にモータ駆動把持アーム、バキューム装置、又はセンサ等各種の機能装置が配置されているものも多い。旋回部先端に配置されたこのような機能装置を動作させるには、旋回部先端に電気信号や動力を伝達する電気ケーブル等を接続する必要がある。電気ケーブルやエアーチューブ等の信号線や配管を旋回部先端まで供給する場合、例えば、溶接ロボットのように、旋回部に外部から電気ケーブルを直接接続し、旋回部先端の動きに合わせて電気ケーブルを引き回す構造とすることも可能である。

しかし、クリーンルーム等のような高清浄環境で使用される搬送ロボット等の半導体ウエハ取扱装置は、塵埃の排出を極力抑制することが求められる。電気ケーブル等を引き回すと粉塵を巻き上げて清浄環境を乱すのみならず、電気ケーブルが摺動摩擦等により擦れて削られることにより塵埃の発生源になる等の問題がある。このような問題を回避し塵埃の発生を極力抑制する手段として、例えば特許文献１や特許文献２に示すように、旋回中心である回動軸を中空にして、その中に電気ケーブル等を貫通させて、塵埃の発生を防止するものがある。

また、特許文献３に示すように、中空軸のなかに電気ケーブルをコイル状巻いて、旋回部先端まで、電気ケーブルを配線している。
特開２００２−１８４８３４ 実開平６−５７５８３ 実開平１−３８２８１

しかし、特許文献１及び２に記載されているような電気ケーブルを回動軸の中を通す構造では、旋回部が回動することにより、電気ケーブルに捻れが発生する。一般に搬送ロボットのような装置では、拠り線の電気ケーブルが使われているので、これらの電気ケーブルは、捻れ力に対する耐性が弱い。また、捻れが発生すると、電気ケーブルは捻れを解消しようとして螺旋状に膨らむ性質がある。このように電気ケーブルが螺旋状に膨らむと、回動軸の中空部の壁に電気ケーブルが接触し、旋回部の回動動作と相俟って電気ケーブルの接触部が擦れて破損するおそれがある。また、このように電気ケーブルが擦れると、接触部が削れて塵埃が発生するため、清浄環境下で動作する装置では、このような状態は好ましくない。捻れにより発生する螺旋の径より回動軸の中空部の径を大きくすることにより、このような擦れによる接触部の摩耗の問題を防止することができるが、これでは、回動軸全体が大きくなり好ましくない。

また、特許文献３に記載の配線方法は、回動軸の中空部にはじめらから電気ケーブルをコイル状に巻いて配線することにより、電気ケーブルの捻れは防止するものである。従って、捻れによる破損のおそれは防止可能であるが、電気ケーブルをコイル状に巻くために、中空部の径を大きくする必要があり、回動軸全体が大きくなってしまう。さらに中空の回動軸を設けて配線する構造は製造コストが高いという問題もある。

本発明は、旋回部に電気ケーブルや配管（エアーチューブ）等のケーブルを配線する場合に、旋回部の回転動作に伴うケーブルの捻れを防止することのできる旋回部の配線又は配管機構を提供することを目的とする。

本発明の他の目的は、回動軸の中心を通すことなく、旋回部に配線又は配管を供給することのできる旋回部の配線又は配管機構を提供することである。

本発明の第１の実施態様にかかる旋回部の配線または配管機構は、複数のアームを多段に接続した各回動アームの第２のアーム以降の回動用の駆動力を、ベルトとプーリにより伝達するアーム駆動機構を有する回動アームにおいて、回動軸に平行に配置された配管部内を導通するケーブルまたはチューブを、前記回動軸を中心に該回動軸を支持する支持部に対し所定の角度範囲内で旋回可能な回動アームの回転半径方向に屈曲させる旋回部の配線または配管機構であって、
前記プーリまたは駆動側のアーム枠体に固定されており、前記ケーブル又はチューブを挟んで対向する２つの曲面を備え、前記回動アームが前記所定の角度範囲内で旋回するとき、前記ケーブル又はチューブを前記曲面に沿って湾曲させるように案内する湾曲ガイド部と、
前記ケーブル又はチューブが被駆動アームの回動に連動するように、前記ケーブルまたはチューブを固定する第１の固定部と、
前記湾曲ガイド部を挟んで前記第１の固定部と反対側の位置で前記ケーブルまたはチューブを前記本体支持部または駆動側のアーム枠体に固定する第２の固定部と、
を備え、
前記ケーブルまたはチューブは、前記アーム枠体内のアーム駆動機構と同じ密閉空間内に配索されていることを特徴とする。
また、本発明の他の態様にかかる旋回部の配線または配管機構は、前記回動アームは、駆動源側の支持体又はアーム枠体に固定された固定側プーリと、被駆動部側のアーム部の前記固定側プーリとは反対側の一端に収められた回転側プーリの間に巻回されたベルトにより前記回動用の駆動力を順次伝達する前記駆動機構を備え、
前記湾曲ガイドは、前記固定側プーリまたは前記隣接するアームの一端に固定された前記回転側プーリに設けられており、前記第２の固定部は、前記湾曲ガイド部を挟んで前記第１の固定部と反対側の位置で前記ケーブルまたはチューブを前記固定側プーリまたは前記隣接するアームに固定された回転側プーリに固定することを特徴とする。

本発明の他の態様にかかる旋回部の配線または配管機構は、前記湾曲ガイド部は、対向して配置された２つの円柱形状のガイド部材で前記２つの曲面が形成されていることを特徴とする。

本発明の他の態様にかかる旋回部の配線または配管機構は、前記湾曲ガイド部は、対向して配置された２つの回転可能なローラで前記２つの曲面が形成されていることを特徴とする。

本発明の他の態様にかかる旋回部の配線または配管機構は、前記湾曲ガイド部の前記曲面は、前記回動軸の中心に近接して配置されていることを特徴とする。

本発明では、電気ケーブル等が回動軸よりも外側を通るように配線または配管した上で、旋回部の旋回面と並行な平面上で、旋回部の回動角度に合わせて電気ケーブル等を湾曲させるよう案内するガイド部材を設けることにより、旋回部の旋回動作に伴う電気ケーブル等の捻れの発生を防止とした。これにより、捻れによる電気ケーブル等の損傷を防止することが可能となる。電気ケーブル等は一定角度以内の湾曲に対しては耐性が大きいので、損傷の危険は少ない。また、回動軸方向への立ち上げ部分での電気ケーブル等の膨らみを防止することが可能となるので、擦れによる塵埃の発生を抑制することが可能となる他、回動軸の中空部の径を大きくすることを抑制することが可能となる。これにより、小型化、及び製造コストの抑制が可能となる。

本発明は、旋回部を備える加工装置、搬送装置、各種ロボット等の旋回部の配線及び配管構造として適用可能である。以下の説明においては、クリーンルーム等でカセットからウエハを取り出して搬送する搬送ロボットの旋回部（回動アーム）に本発明を適用した例を用いて説明する。図１は、搬送ロボットの回動アーム部分の配線構造に本発明を適用した例を示す断面図（側面）である。

図１の回動アーム１０は、第１アーム部１１と、第２アーム部１２と、第３アーム部１３とを備えている。第１アーム部１１は、アーム支持台１４に固定されたアーム回動用モータ２１により所定の角度範囲内で回動可能な第１関節部１５と、第２関節部１６と、第３関節部１７を備えている。

例えば、第１アーム部１１は、アーム回動用モータ２１が回転することにより、第１のアーム部１１のアーム枠体３０（第１アーム枠体３０）が所定角度回動する。これにより、第１アーム部１１が回動し、第１アームの先端部に第２関節を介して接続された第２アーム部１２及び、第２アーム部１２に設けられた第３アーム部１３も回動する。

第１アーム部１１、第２アーム部１２及び第３アーム部１３には、各種機能素子を設けることができる。図１では、第３アーム部１３の先端に機能素子１８を設けた例を示している。これらの機能素子が動作し機能するためには、電気信号の交信又は電源又はエアー等の駆動力を供給するため、電気ケーブルまたはエアーチューブ９０（以下、「ケーブル９０」と称する）を接続することが必要となる。そのため、各関節部１５，１６，１７を経由して、第３アーム１３の先端部まで、ケーブル９０を配線または配管することが必要になる。

配線または配管にあたっては、できるだけ、塵埃を出さないようにするため密閉された空間内でケーブル９０を効率的に配線または配管することが望まれる。

本発明においては、第１関節部１５においては、回動軸２０より外側に配管部２３を設けて、その中に電気ケーブルまたはエアーチューブ９０（以下、「ケーブル９０」と称する）を通して第１関節部１５の上面から取り出している。取り出されたケーブル９０は、固定部２５において固定プーリ２４に固定された後、湾曲ガイド２６を経て第１アーム部１１部に沿って第２アーム部１２の第２関節部１６の方に伸びる。ケーブル９０は、固定プーリ２４の外側の位置で、アーム側固定部３２により第１アーム１１に固定される。湾曲ガイドの詳細については、後述するが、湾曲ガイド２６は、第１アームが所定の角度で回動する際に、ケーブル９０が捻れることなくアーム回動方向にケーブル９０を湾曲させるように案内するガイドである。

ケーブル９０は、第２関節部１６の手前で第１アーム枠体３０に固定部３３により固定された後、さらに第２関節部１６の配管部３４を介して第２アーム１２の上まで持ち上げられる。ここでも第１関節部１１と同様に配管部３４の出口近くの固定部３５により、ケーブル９０が固定される。固定されたケーブル９０は湾曲ガイド２６の横を通過して第２アーム１２に沿って第３関節部１７の方に配線される。

第３関節部１７においては、ケーブル９０は、第３関節部を立ち上がる前に固定部４２により第２アーム部１２に固定される。ケーブル９０は、その後湾曲ガイド２６を経て第３関節部１７を立ち上がり、第３アームの先端部の機能素子１８まで配線される。

図２に第１アーム部１１と第１関節部１５の部分の一部切り欠き斜視図を示す。図２は、本体が円筒型で複数の関節アームを備えるロボットの一部（第１関節部分）を示している。図２では、分かり易くするためにモータ等の内部構造や詳細部分については捨象して描いている。また、第１アーム枠体３０の上側部分（蓋部分）を取り外した状態を示している。

基台部７０はその上の回転台部６０を支えている。回転台部６０は、回転台用モータ６１により回転可能に支持されており、回転台用モータ６１を回転させることにより、第１乃至第３アーム部１１乃至１３を３６０度回転させることができる。また、回転台部６０には、アーム回動用モータ２１が設けられており、アーム回動用モータ２１を駆動することにより、第１アーム部を例えば１８０度等の所定の角度だけ回動させることができる。

これらのロボットでは、回転台用モータ６１、２１を駆動するための電源ケーブル及びアーム部の動作や位置を検知するための各種機能素子やセンサと信号の授受を行うケーブル９０が配線されている。これらのケーブルは、電気関係のケーブルに限らず、バキューム等を供給するためのエアーチューブや、光ケーブルの場合もある。これらのロボットがクリーンルーム内の清浄環境下で使用される場合には、ロボットの回転動作やアームの回動動作に伴う塵埃の発生を防止するために、これらのケーブル９０はロボットの内部に配線され、内部に負圧がかけられて、ロボットの外に塵埃を排出しないようにしている。

図２においても、ケーブル９０は、基台部から配管７１を介して回転台部６０に配線され、一部が回転台部６０内で回転部の回転台用モータ６１へ接続され、残りがアーム回動用モータ２１と、配管部２３を介して、第１アーム部１１に伸びている。第１アーム部１１へ伸びたケーブル９０は、さらに第２アームの方へ伸び、第３アーム（エンドエフェクタ）の先端部の機能素子へ接続される。

第１アーム部１１の第１関節部の上部には、固定プーリ２４が設けられ、固定プーリ２４の上には、２つの円柱形状の湾曲ガイド２６が設けられている。配管部２３から第１アームの上の固定プーリ上まで伸びたケーブル９０は、ここで水平方向に屈曲された状態で
固定プーリ２４に固定される。その後、２つの湾曲ガイド２６の間を通り、第２アーム部１２に向かって伸びるように配線される。

第１アーム部１１の構造を、図３を用いて説明する。図３は、第１アーム部１５における本発明に関連する要部のみを示す分解斜視図である。図３でも、ケーブル９０を示すために、第１アーム枠体３０の上側部分（蓋部分）を取り除いた状態を示している。２１はモータであり、２２はアーム回動用モータ２１により回動される回動軸である。回動軸の円周上にアーム支持台１４に固定された配管部２３が設けられている。この配管部２３の中にケーブル９０を通して、固定プーリ２４の上部までケーブル９０を伸ばして行く。

図３の中央に示す第１アーム枠体３０は、アーム回動用モータ２１により回転される回動軸２２により、所定の角度だけ回動される。この図では、１８０度だけ回動されるものとして描いている。第１アーム枠体３０の回動軸２２の外側には、案内溝３７が設けられている。案内溝３７には、配管部２３が貫通している。案内溝３７は、第１アーム枠体３０の最大回動角に合わせて形成される。図３では、第１アームの回動角に合わせて、回動軸２２の周囲の１８０度に渡り、案内溝３７が形成されている。

第１アーム枠体３０の上部には、軸受けベアリング３１を介して外周に歯を有する歯車状の固定プーリ２４が設けられている。固定プーリ２４は、図示しない固定部材によりアーム支持台１４に固定されている。例えば、アーム支持台１４の一部が第１アーム部の上を覆っており、そのアーム支持台１４に湾曲ガイド２６の上部が固定されている構造としても良い（図示せず）。歯車状の固定プーリ２４の周りには歯付きベルト３８が取り付けられており、その他端には、第２アーム部に固定された歯付きプーリ４３が取り付けられている。この固定プーリ２４、歯付きベルト３８、歯付きプーリ４３は、第１アーム枠体３０の内部に納められる。

今、アーム回動用モータ２１により回動軸２２が回転すると、第１アーム枠体３０を含む第１アーム部は回動する。しかし、配管部２３及び固定プーリ２４はアーム支持台１４に固定されているので、第１アーム部１１と一緒に回転しない。配管部２３が固定されていても、第１アーム枠体３０に設けられた案内溝３７により、第１アーム枠体３０は回動可能である。

また、固定プーリ２４もアーム支持台１４に固定されているので、第１アーム枠体３０と一緒に回転せず、軸受けベアリング３１を介して、第１アーム枠体３０だけが回動する。一方、歯付きベルト３８は第１アーム枠体３０の内部に配置されているので、第１アーム枠体３０の回動に伴い歯付きベルト３８は、固定プーリの周囲に巻き付いて行く。この歯付きベルト３８の巻き付きにより、歯付きベルト３８が回転して歯付きプーリ４３が回転し、第２のアーム部１２が第１のアーム部１１とは反対方向に回動する。

次に、この第１アーム部１１の回動動作に伴うケーブル９０の動きを、図４を用いて説明する。図４（ａ）は、アーム支持台１４に対して、第１アーム部１１が左右方向のいずれ方向にも回転（回動）していないときのケーブル９０の状態を示す斜視図である。いずれもアーム枠体３０の上側部分を取り外した状態を示している。図４（ｂ）は、第１アーム部１１が左方向に９０度回動したときのケーブル９０の状態を示す斜視図である。図４（ｃ）は、第１アーム部１１が右方向に９０度回動したときの、ケーブル９０の状態を示す斜視図である。

ケーブル９０は、配管部２３から出た直後に水平方向に曲げられ、固定部２５により固定プーリ２４に固定される。その後、ケーブル９０は、湾曲ガイド２６の間を経由して第２アーム部１２の方に伸びている。途中、ケーブル９０は、第１アーム部１１に固定部３２により固定される。

このような状況下において、図４（ｂ）に示すように第１アーム枠体３０が左方向に９０度回動すると、固定プーリ２４は動かないので、ケーブル９０は、湾曲ガイド２６の曲面２７に接触することにより、回動方向に湾曲される。また、図４（ｃ）に示すように、第１アーム枠体３０が右方向に９０度回動すると、ケーブルは反対側の湾曲ガイド２６の曲面２７に接触することにより回動方向に湾曲される。

このように、第１アーム枠体３０が回動すると、湾曲ガイド２６により回動角度に応じてケーブル９０が湾曲される。このケーブル９０の動きにおいて重要な点は、ケーブル９０が捻れるのではなく湾曲する点である。すなわち、アームの回動動作に応じて、ケーブル９０が捻れることなく湾曲して回動動作に追従する点である。これにより、ケーブルの捻れを防止することが可能となり、破損の可能性を抑制することができ、かつ、螺旋状の膨らみを防止可能となり、配管内で擦れることによる摩耗を防止可能となる。

尚、図４では、固定部２５と固定部３２との間にケーブル９０の余裕を持たせないで固定し、固定プーリ２４の中心付近でケーブル９０を回動動作に合わせて曲げるような構成を示している。しかし、固定部２５と固定部３２の間に、ケーブル９０に弛みを持たせるようにして固定することにより、湾曲ガイド２６によるケーブル９０の湾曲を緩やかなカーブを描くように湾曲させることができる。また、２つの湾曲ガイド２６の間隔もケーブル９０の太さよりも少し太くしてゆるやかなカーブを描くようにしても良い。さらに、湾曲ガイド２６の位置は、固定プーリの回転中心よりやや短めの位置、または回転中心近傍が望ましいが、回転中心より離れた位置とすることも可能である。

さらに、湾曲ガイド２６の形状は円柱形状である必要はないが、湾曲ガイド２６のケーブル９０と接する面は、滑らかな曲面形状であることが望ましい。この接触面の曲面形状は、曲率半径が徐々に変化するような曲面であっても、一定の曲率半径の曲面であっても良い。しかし、固定部２５と固定部３２との間にケーブル９０の弛みを設けない構成の場合には、固定部２５と固定部３２のケーブル９０の長さが、アーム部の回動により湾曲した場合であっても常に一定となるように、湾曲ガイド２６の位置と湾曲ガイドの接触面の曲率とを調整した値とすることが望ましい。

以上の説明では、回動動作の主体となる回動アーム上において、ケーブル９０が回動アームの回動方向に応じて湾曲するようにした構造を説明した。しかし、これだけではなく、回動アームにケーブル９０を供給する前の位置で、湾曲動作を行うようにして、ケーブルの捻れを防止することも可能である。図５を用いて説明する。

図５は、図１に示す第３関節部と第３アーム部（エンドエフェクタ）の動きと、それに伴うケーブル９０の湾曲状態を示すために、第２アーム部１２と第３アーム部１３を下側から見た斜視図である。図５（ａ）は第２アーム部１２と第３アーム部１３が直線状態のときを示し、図５（ｂ）は右方向に９０度回動した状態、図５（ｃ）は左方向に９０度回動した状態を示す。

ケーブル９０は、第２アーム部１２の第２アーム枠体４０に固定部４２により固定されており、第３関節部１７の回転体に固定された２つの湾曲ガイド２６の間を通過した後、第３関節部１７の回転体に固定部５２により固定される。固定部５２により固定されたケーブル９０は垂直に曲げられて配管部５１内を貫通し、第３アーム部１３の上面で第３アーム枠体５０に固定される（図示せず）。その後ケーブル９０は第３アーム部１３の先端に配置されているセンサ等の機能素子１８に接続されている。

図５（ａ）の直線状態では、ケーブルは直線のままである。図５（ｂ）（ｃ）では、第３アーム部１３がそれぞれ左右に９０度回動しているため、ケーブル９０は、湾曲ガイド２６により９０度湾曲される。このように、回動アームの関節部に挿入する前に、回動アームの回動動作に合わせてケーブル９０を湾曲させるよう構成することによっても、ケーブル９０の捻れを防止することが可能である。

図６に、本発明にかかる湾曲ガイドの変形例を示す。図６のも図５と同様に、回動アームに立ち上げる前に湾曲させる構造を用いて例示している。８３は回動アームに固定され、回動アームと連動して動く可動配管部である。８１は支持枠８０に固定されているケーブル固定部であり、８２は支持枠８０に固定されている湾曲ガイドである。

固定部８１により支持枠８０に固定されて導入されたケーブル９０は、２つの湾曲ガイド８２の間を通り、可動配管部８３に挿入される。可動配管部８３への挿入は挿入口８４を介して行われ、ケーブル９０はこの挿入口８４において、可動配管部８３に固定される。この状態で可動配管部８３が、回動アームの動きに連動して支持枠８０の上を左右に回動すると、図６（ｂ）、図６（ｃ）に示すように、湾曲ガイド８２により、回動アームの回動動作に合わせてケーブル９０が湾曲される。ケーブル９０は固定部８１及び挿入口８４で固定されているので捻れることはない。

湾曲ガイドの他の例として、２つの回転ローラとすることもできる。このようなローラを用いることにより、回動アームの回動動作によりケーブル９０と湾曲ガイドとの摺動摩擦を防止し、塵埃の発生や摺動摩擦による摩耗をより確実に防止することが可能となる。

また、以上の説明においては、例えば、図４において固定部２５と固定部３２にケーブル９０をしっかりと固定する例を示した。しかし、塵埃の発生や摩耗が重要な問題とならない部分では、固定部３２ではケーブル９０を緩く固定し、ケーブル９０に少したるみを持たせておき、固定部３２をケーブル９０が摺動可能とするように構成することもできる。

搬送ロボットの回動アーム部分の配線構造に本発明を適用した例を示す断面図（側面）である。 第１アーム部と第１関節部の部分を示す一部切り欠き斜視図である。 第１アーム部における本発明に関連する要部のみを示す分解斜視図である。 第１アームが回転（回動）に応じて、ケーブルがどのように湾曲するかを示す斜視図である。 図１に示す第３関節部と第３アーム部（エンドエフェクタ）の動きと、それに伴うケーブルの湾曲状態を示すために、第２アーム部と第３アーム部を下側から見た斜視図である。 本発明にかかる湾曲ガイドの変形例を示す模式図である。

符号の説明

１０ 回動アーム
１１ 第１アーム部
１２ 第２アーム部
１３ 第３アーム部
１４ アーム支持台
１５ 第１関節部
１６ 第２関節部
１７ 第３関節部
１８ 機能素子
２０ 回動軸
２１ アーム回動用モータ２２ 回動軸
２３，３４，５１ 配管部
２４ 固定プーリ
２５，３５，３２，３３，４１，５２ 固定部
２６ 湾曲ガイド
３０ 第１アーム枠体
３１ 軸受けベアリング
３７ 案内溝
３８ 歯付きベルト
４０ 第２アーム枠体
４３ 歯付きプーリ
５０ 第３アーム枠体
６０ 回転台部
６１ 回転台用モータ
７０ 基台部
７１ 配管
８０ 支持枠
８１ ケーブル固定部
８２ 他の実施例にかかる湾曲ガイド
８３ 可動配管部
８４ 挿入口
９０ 電気ケーブル又はエアーチューブ等（ケーブル）

Claims (5)

1. 複数のアームを多段に接続した各回動アームの第２のアーム以降の回動用の駆動力を、ベルトとプーリにより伝達するアーム駆動機構を有する回動アームにおいて、回動軸に平行に配置された配管部内を導通するケーブルまたはチューブを、前記回動軸を中心に該回動軸を支持する支持部に対し所定の角度範囲内で旋回可能な回動アームの回転半径方向に屈曲させる旋回部の配線または配管機構であって、
   前記プーリに固定されており、前記ケーブル又はチューブを挟んで対向する２つの曲面を備え、前記回動アームが前記所定の角度範囲内で旋回するとき、前記ケーブル又はチューブを前記曲面に沿って湾曲させるように案内する湾曲ガイド部と、
   前記ケーブル又はチューブが被駆動アームの回動に連動するように、前記ケーブルまたはチューブを固定する第１の固定部と、
   前記湾曲ガイド部を挟んで前記第１の固定部と反対側の位置で前記ケーブルまたはチューブを前記本体支持部または駆動側のアーム枠体に固定する第２の固定部と、
   を備え、
   前記ケーブルまたはチューブは、前記アーム枠体内のアーム駆動機構と同じ密閉空間内に配索されていることを特徴とする旋回部の配線または配管機構。
2. 前記回動アームは、駆動源側の支持体又はアーム枠体に固定された固定側プーリと、被駆動部側のアーム部の前記固定側プーリとは反対側の一端に収められた回転側プーリの間に巻回されたベルトにより前記回動用の駆動力を順次伝達する前記駆動機構を備え、
   前記湾曲ガイドは、前記固定側プーリまたは前記隣接するアームの一端に固定された前記回転側プーリに設けられており、
   前記第２の固定部は、前記湾曲ガイド部を挟んで前記第１の固定部と反対側の位置で前記ケーブルまたはチューブを前記固定側プーリまたは前記隣接するアームに固定された回転側プーリに固定することを特徴とする請求項１に記載の旋回部の配線または配管機構。
3. 前記湾曲ガイド部は、対向して配置された２つの円柱形状のガイド部材で前記２つの曲面が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の旋回部の配線または配管機構。
4. 前記湾曲ガイド部は、対向して配置された２つの回転可能なローラで前記２つの曲面が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の旋回部の配線または配管機構。
5. 前記湾曲ガイド部の前記曲面は、前記回動軸の中心に近接して配置されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の旋回部の配線または配管機構。

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