JP4859572B2 - プローブカードの製造方法 - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 432
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 60
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 95
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 55
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 35
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 22
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 15
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 12
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 27
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 description 21
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 21
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 19
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 14
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 14
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 3
- 210000000746 body region Anatomy 0.000 description 2
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000004873 anchoring Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
一般に、プローブカードは、プローブ基板上に百個から数千個のプローブピンを取り付けて構成される。本発明によるプローブカードの製造方法では、まず2以上のプローブピンが含まれる積層ブロックを作製し、この積層ブロックがプローブ基板上に正確に位置決めされ、取り付けられる。この様にしてプローブ基板上に1又は2以上の積層ブロックが取り付けられた後に、当該積層ブロック中の不要材料を除去すれば、多数のプローブピンがプローブ基板上に適切に配置されたプローブカードが得られる。
本実施の形態では、プローブ層L2の周辺領域L2bと、プローブ隔離層L3とを同時に形成することによって、実施の形態1よりも簡略化されたプローブカードの製造方法について説明する。
実施の形態1では、各プローブ層L2において、同じ形状のプローブ領域L2aが同じ位置に形成されている場合について説明した。これに対し、本実施の形態では、プローブ層L2によってプローブ領域L2aが異なる場合について説明する。
実施の形態1〜3では、1つのプローブ層L2内に1つのプローブピン10が形成される場合の例について説明した。これに対し、本実施の形態では、1つのプローブ層L2内に2以上のプローブピン10a及び10bが形成される場合について説明する。
実施の形態1〜4では、プローブピン10が単一の材料によって構成される場合の例について説明した。これに対し、本実施の形態では、プローブピン10が異なる材料からなる多層構造を有する場合について説明する。
本実施の形態では、隣接するプローブピン10間にシールドが設けられ、プローブピン10間におけるノイズの影響を抑制することができるプローブカードの製造方法について説明する。
実施の形態5では、コンタクトチップ14cをコンタクトチップ保持部14hで挟み込んだ3層構造を有するプローブピン10について説明した。これに対し、本実施の形態では、熱膨張率の異なる材料からなる2層構造を有するプローブピン10について説明する。
10,10a,10b プローブピン
10s プローブ本体
10t シールドスペーサ
10u シールド
10v,10w プローブ層
11 ベースコンタクト部
12 ビーム部
13 エクステンション部
14 ターゲットコンタクト部
14c コンタクトチップ
14h コンタクトチップ保持部
15 スリット
16 電極パッド
17 配線パターン
20 積層基板
21 フォトレジスト膜
23 導電性材料
100 積層ブロック
101 積層主面
102 ストライプ面
103 ベースストライプ面
110 プローブ基板
120 メイン基板
L1 積層基板
L2,L21〜L23, プローブ層
L21〜L23 導電層
L24 電極層
L25 シールド隔離層
L26 シールド層
L2a プローブ領域
L2b 周辺領域
L2c 隔離領域
L2s プローブ本体領域
L2t シールドスペーサ領域
L2u シールド領域
L3 プローブ隔離層
Claims (1)
- 2以上のプローブ層を含み、プローブ層間にプローブ隔離層を介在させた積層体を形成する積層ステップと、
上記積層体のストライプ面をプローブ基板上に固着し、上記ストライプ面から露出する上記プローブ層を上記プローブ基板上の電極パッドに導通させる固着ステップと、
上記プローブ隔離層を除去する除去ステップとを備え、
上記積層ステップは、メッキ処理により第1の導電性材料を積層させて上記プローブ層を形成するプローブ層形成ステップと、
メッキ処理により第2の導電性材料を積層させて上記プローブ隔離層を形成するプローブ隔離層形成ステップとを含み、
上記除去ステップは、第1の導電性材料を残して、第2の導電性材料を除去することを特徴とするプローブカードの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006195899A JP4859572B2 (ja) | 2006-07-18 | 2006-07-18 | プローブカードの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006195899A JP4859572B2 (ja) | 2006-07-18 | 2006-07-18 | プローブカードの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008026027A JP2008026027A (ja) | 2008-02-07 |
JP4859572B2 true JP4859572B2 (ja) | 2012-01-25 |
Family
ID=39116819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006195899A Active JP4859572B2 (ja) | 2006-07-18 | 2006-07-18 | プローブカードの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4859572B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5351453B2 (ja) * | 2008-07-09 | 2013-11-27 | 日本電子材料株式会社 | コンタクトプローブ複合体 |
JP6420667B2 (ja) * | 2015-01-08 | 2018-11-07 | 日本電子材料株式会社 | コンタクトプローブ |
JP6584816B2 (ja) * | 2015-04-20 | 2019-10-02 | 日置電機株式会社 | プローブユニットおよびプローブユニット製造方法 |
JP6534558B2 (ja) * | 2015-04-20 | 2019-06-26 | 日置電機株式会社 | プローブユニットおよびプローブユニット製造方法 |
JP6548963B2 (ja) * | 2015-06-10 | 2019-07-24 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブの製造方法、プローブ、プローブ積層体、プローブ組立体およびプローブ組立体の製造方法 |
US20220357362A1 (en) * | 2019-08-28 | 2022-11-10 | Nidec-Read Corporation | Inspection jig and inspection device |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07159440A (ja) * | 1993-12-03 | 1995-06-23 | Aica Kogyo Co Ltd | 半導体用テスタ−の電極ユニット |
JP3381375B2 (ja) * | 1994-04-18 | 2003-02-24 | ソニー株式会社 | 電極集合体及びその製造方法ならびに電極集合体を用いたリードフレーム |
JP4185218B2 (ja) * | 1999-04-02 | 2008-11-26 | 株式会社ヨコオ | コンタクトプローブとその製造方法、および前記コンタクトプローブを用いたプローブ装置とその製造方法 |
US6945827B2 (en) * | 2002-12-23 | 2005-09-20 | Formfactor, Inc. | Microelectronic contact structure |
JP2006064676A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Tokyo Electron Ltd | プローブ針、プローブ針の製造方法および三次元立体構造の製造方法 |
JP2007078359A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-29 | Japan Electronic Materials Corp | プローブの基板への取り付け方法およびそれに用いるプローブユニット |
-
2006
- 2006-07-18 JP JP2006195899A patent/JP4859572B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008026027A (ja) | 2008-02-07 |
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