JP4848493B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施形態を、図1〜図5を参照して説明する。下記説明中での上下の方向は、図2中の上下方向に対応している。
(実施形態2)
本発明の第2の実施形態を、図6を参照して説明する。本実施形態は、放熱フィン62の周囲に、冷却手段として冷却ファン63を設けており、その他の構成は上記実施形態1と同様である。上記実施形態1と共通の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
(実施形態3)
本発明の第3の実施形態を、図7を参照して説明する。本実施形態では、接触部61と放熱フィン62の代わりに冷却ジャケット64で放熱器6を形成しており、その他の構成は上記実施形態1と同様である。上記実施形態1と共通の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
G プラズマ生成用ガス
3 被覆電極
31 スペーサ部
4 放電空間
6 放熱器
71 ボルト
72 ナット
73 コイルばね
Claims (5)
- 複数の電極をスペーサ部を挟んで対向配置して、これら電極とスペーサ部に囲まれる空間を放電空間とし、この放電空間にプラズマ生成用ガスを供給すると共に前記電極間に電圧を印加することによって、この放電空間内に放電を発生させてプラズマを生成するプラズマ処理装置において、
前記電極を冷却するための放熱器が、前記複数の電極とスペーサ部とから構成される放電容器の外側に、前記電極に対向して配置されると共に、前記電極、前記スペーサ部、及び前記放熱器には、互いに連通する位置決め用孔が前記電極の対向方向に沿って穿孔されており、
前記位置決め用孔には、この位置決め用孔の穿孔方向に沿った弾性力により前記電極、前記スペーサ部、及び前記放熱器を互いに圧着させる、取付部材が貫設されていて、
前記取付部材は、前記位置決め用孔に貫設されるねじと、軸心に前記ねじが挿通されて前記ねじの頭部と前記放熱器との間に配設されるコイルばねとからなり、
前記放熱器は、前記放電容器の外面に圧着される接触部と、この接触部に突設された複数本の放熱フィンとを備え、
前記ねじの頭部と前記コイルばねとはそれぞれ前記放熱フィン間に配置されていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記電極は、絶縁基板に導電体を埋設してなる被覆電極であることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 前記被覆電極は、複数枚の絶縁シート材の間に前記導電体を設けて一体成形することによって形成されることを特徴とする請求項2記載のプラズマ処理装置。
- 前記スペーサ部は前記電極と一体的に成形されており、前記放電空間は、対向して配置され対となっている前記電極のうちで、少なくともいずれか一方の電極の表面に形成された凹部によりなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか記載のプラズマ処理装置。
- 前記放熱器を冷却する冷却手段を備えてなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか記載のプラズマ処理装置。
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