JP4844173B2 - シリアルデータ転送回路及びシリアルデータ転送方法 - Google Patents

シリアルデータ転送回路及びシリアルデータ転送方法 Download PDF

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Description

この発明は、半導体記憶装置における不良メモリを救済するための冗長回路等に用いられるヒューズデータのシリアルデータ転送回路及びその転送方法に関する。
例えば、半導体記憶装置であるDRAM(Dynamic Random Access Memory)においては、メモリ部の欠陥を冗長メモリによって置き換えて不良メモリを正常メモリとして使用できるようにしている。この欠陥救済の方法は、予めメモリ欠陥部のアドレスを検出し、レーザー光によりヒューズを溶断してその欠陥部のアドレスを書込み、その書き込まれたアドレスをプログラムしておく。メモリの実駆動において当該欠陥メモリのアドレスが指定されたときには、予め用意した予備メモリ領域を使用するようにして、メモリ欠陥を救済する。
実際には、半導体チップの初期化動作の際に、ヒューズを溶断して書き込んだ欠陥部のアドレス情報が、ヒューズが構成された領域から冗長判定回路へシリアルデータとして転送され、冗長判定回路内にあるレジスタに欠陥部のアドレス情報として保持される。
図5は、DRAM半導体記憶装置に用いられている従来公知のヒューズデータシリアル転送回路を示す。第0ビット100から第5ビット105の6ビットから成る転送回路を示している。第0ビット100から第5ビット105は同一の回路構成となっている。第5ビット105を中心に説明する。
外部からレーザー光により溶断するヒューズFu5は、一方の端子が電源ライン等のHレベルの配線に接続し、他方の端子が転送ゲートを構成するPチャンネルトランジスタTa5に接続する。転送ゲートであるPチャンネルトランジスタTa5の出力はリセット回路であるNチャンネルトランジスタTb5に接続する。PチャンネルトランジスタTa5とNチャンネルトランジスタTb5の接続点がラッチ回路La5の入力端に接続する。ラッチ回路La5はインバータIn5とトランジスタTc5から構成され、その出力はデータ転送回路Da5へ与えられる。転送ゲートを構成するPチャンネルトランジスタTa5の制御ゲート及びリセット回路を構成するNチャンネルトランジスタTb5の制御ゲートは互いに共通接続してリセット信号Resetが与えられるリセット入力ノードNdr5に接続する。
例えば、第5ビットは次のように動作する。まず、リセット信号Resetがリセット入力ノードNdr5に与えられと、リセット回路のNチャンネルトランジスタTb5はその制御ゲートがLレベルからHレベルへ反転してオンし、ラッチ回路La5の入力端はGNDレベルにリセットされる。次に、リセット信号ResetがHレベルからLレベルに反転して転送ゲートであるPチャンネルトランジスタTa5がオンし、ヒューズFu5の状態信号であるヒューズデータがラッチ回路La5へ与えられてそのラッチ出力ノードNdd5にラッチされる。この場合、ヒューズFu5が溶断しているときはラッチ回路La5の入力端はLレベルとなってラッチLa5のラッチ出力ノードNdd5はHレベルを維持し、ヒューズFu5が接続しているときはラッチ回路La5の入力端はHレベルとなってラッチ回路La5のラッチ出力ノードNdd5はLレベルを維持する。このようにしてラッチ回路はヒューズデータをラッチする。
次に、選択信号SelectがLレベルからHレベルへ反転すると、ラッチ出力ノードNdd5にラッチされたヒューズデータがデータ転送回路Da5のヒューズデータ入力端子FuseInから取り込まれる準備が行われる。
図6は、データ転送回路Da5の回路構成を表す回路図である。各ビットのデータ転送回路は全て同一の構成を有する。データ入力端子SDは後段ビットのヒューズデータを入力し、インバータI1により反転されてトランスミッションゲートF1へ出力される。ヒューズデータ入力端子FuseInは当該ビットのヒューズデータを入力し、インバータI2により反転されてトランスミッションゲートF2へ出力される。トランスミッションゲートF1及びF2は、制御ゲートと反転制御ゲートを互いに他の反転制御ゲートと制御ゲートに接続し、その出力を共通接続してインバータI4の入力端に接続する。インバータI4の出力はDタイプフリップフロップ回路FFのデータ端子Dに接続する。即ち、選択信号SelectがHレベルの時にはトランスミッションゲートF2が選択されてトランスミッションゲートF2に入力した入力信号が転送され、選択信号SelectがLレベルの時にはトランスミッションゲートF1が選択されてトランスミッションゲートF1に入力した信号が転送される。また、Dタイプフリップフロップ回路FFはクロック信号CLKをクロック端子CLKから入力する。
データ転送回路Da5は次のように動作する。選択信号SelectがHレベルのときにトランスミッションゲートF2が導通し、当該ビットのヒューズデータを入力してDタイプフリップフロップ回路FFのデータ端子Dへ出力する。そして、Dタイプフリップフロップ回路FFはクロック信号CLKの立ち上がりに同期して当該ビットのヒューズデータを取り込み、出力端子Qから出力する。次に、選択信号SelectがHレベルからLレベルへ反転すると、トランスミッションゲートF1が導通してデータ入力端子SDから入力した後段ビットのヒューズデータをDタイプフリップフロップ回路FFのデータ端子Dへ出力する。Dタイプフリップフロップ回路FFは、クロック信号CLKの立ち上がりに同期して後段ビットのヒューズデータを取り込み、出力端子Qから出力する。これにより、当該ビットのヒューズデータと後段ビットのヒューズデータとを結合したシリアルデータが生成される。
各ビット100から105において、リセット信号Resetは各ビットの転送ゲートの制御ゲート及びリセット回路の制御ゲートに共通接続して与えられる。同様に、ビット100から105において、選択信号Select及びクロック信号CLKは、各ビットのデータ転送回路へ共通接続して与えられる。
図7は、上記図5に示したヒューズデータシリアル転送回路の駆動を示すタイミングチャート図である。横軸が時間を示し、縦軸が、クロック信号CLK、リセット信号Reset、選択信号Select及びビット100から出力されるシリアルデータSDOの各波形を表す。まずリセット信号ResetがLレベル、Hレベル、Lレベルと変化すると、各ビットの各ラッチ出力ノードNdd0からラッチ出力ノードNdd5には各ビットのヒューズデータがラッチされる。次に選択信号SelectがLレベルからHレベルへ変化し、クロック信号CLKが立ち上がると、各ビット100から105の各データ転送回路のDタイプフリップフロップ回路FFに当該ビットのヒューズデータが取り込まれ、出力端子Qが出力される。次に、選択信号SelectがHレベルからLレベルに変化してクロック信号が立ち上がると、最終段ビット105を除いて後段のデータ転送回路の出力Qから出力された後段ビットのヒューズデータをデータ入力端子SDから入力して取り込み、当該データ転送回路の出力端子Qへ出力する。
以降は、各データ転送回路のSelect端子に与えられる選択信号がLレベルに維持されるので、各データ転送回路のDタイプフリップフロップ回路FFは後段から出力されるシリアルデータをクロック信号に同期して転送する。その結果、ビット100のデータ転送回路の出力Qから出力されるデータは、各段のヒューズデータが順次シリアルに結合したシリアルデータSDOが出力される。
特開平6−259987号公報
しかしながら、上記従来技術においては、ヒューズデータ1ビットにつきラッチ回路及びデータ転送回路を各1個ずつ設けなければならず、半導体チップに占める面積が増大した。例えば、半導体記憶回路のメモリ数が増加してメモリ欠陥を救済する救済数も増加すると、ヒューズシリアル転送回路部の面積が増大してしまい、ウエハー1枚あたりの半導体チップ収量が減少してコスト高になるという課題があった。
上記課題を解決するために以下の手段を講じた。
請求項1に係る本発明においては、第1〜第n(nは2以上の整数)のヒューズ素子と、前記第1〜第nのヒューズ素子のヒューズデータをそれぞれ転送する第1〜第nの転送ゲートと、前記第1〜第nの転送ゲートの各出力を共通に接続する出力ノードと、前記出力ノードからヒューズデータを入力してラッチするラッチ回路と、前記ラッチされたヒューズデータを取り込むデータ転送回路と、を備えた転送回路ブロックを複数設けたシリアルデータ転送回路であって、前記複数の転送回路ブロックにおけるデータ転送回路を直列に接続すると共に、一の転送回路ブロックのヒューズデータと他の転送回路ブロックのヒューズデータとをそれぞれ一つずつ選択して前記データ転送回路に取り込むごとに、前記取り込まれた複数のヒューズデータを順次シフトしてシリアル転送することによって、前記複数の転送回路ブロックにおける全てのヒューズデータを連続してシリアル転送するシリアルデータ転送回路とした。
請求項2に係る本発明においては、ヒューズ素子と前記ヒューズ素子の切断/接続をヒューズデータとして転送する転送ゲートとから成る記録素子を複数有し、前記複数の記録素子のいずれかの転送ゲートから出力されたヒューズデータをラッチし、前記ラッチされたヒューズデータをクロック信号に同期して転送する転送回路ブロックを複数備えたシリアルデータ転送回路であって、各転送回路ブロックは、第1〜第n(nは2以上の整数)記録素子と、前記第1〜第n記録素子に含まれる第1〜第n転送ゲートの各出力を共通に接続する出力ノードと、前記出力ノードからヒューズデータを入力してラッチするラッチ回路と、前記ラッチされたヒューズデータを取り込むデータ転送回路とを有し、前記転送回路ブロックの第p(pは1以上で前記n以下の整数)番目の第p転送ゲートと他の転送回路ブロックの第p番目の第p転送ゲートとは、前記第p転送ゲートを作動させるための第p番目の第pセット信号を入力する第pセット入力ノードに共通接続し、前記転送回路ブロックのデータ転送回路は、他の転送回路ブロックからヒューズデータを入力するデータ入力端子と、前記転送回路ブロックのラッチ回路からヒューズデータの取込みを許可するための選択信号を入力する選択信号入力端子と、クロック信号を入力するクロック信号入力端子とを備え、前記選択信号入力端子と他の転送回路ブロックに含まれるデータ転送回路の選択信号入力端子とは選択信号入力ノードに共通接続し、前記各転送回路ブロックは、前記第pセット信号により前記第p記録素子から第pヒューズデータを前記出力ノードに出力し、前記第pヒューズデータを前記ラッチ回路がラッチし、前記データ転送回路は、前記選択信号を入力した後の前記クロック信号に同期して前記ラッチされた前記第pヒューズデータと前記他の転送回路ブロックから入力した他の第pヒューズデータとを転送する、一連の動作をpが1からnまで繰り返し行われるシリアルデータ転送回路とした。
請求項3に係る本発明においては、前記転送回路ブロックは前記出力ノードに接続するリセット回路を有し、前記転送回路ブロックのリセット回路の制御ゲートと他の転送回路ブロックのリセット回路の制御ゲートとは、リセット信号を入力するためのリセット入力ノードに共通接続し、前記第pセット信号により前記第pヒューズデータが前記ラッチ回路にラッチされる前に前記ラッチ回路がリセットされることを特徴とする請求項2に記載のシリアルデータ転送回路とした。
請求項4に係る本発明においては、信号生成回路を更に有し、前記信号生成回路は、外部から入力する元リセット信号及び元クロック信号とから、前記クロック信号、前記選択信号、前記リセット信号及び前記第Pセット信号を生成することを特徴とする請求項4に記載のシリアルデータ転送回路とした。
請求項5に係る本発明においては、第1〜第n(nは2以上の整数)のヒューズ素子と前記第1〜第nのヒューズ素子のヒューズデータとしてそれぞれ転送する第1〜第nの転送ゲートとからそれぞれが成る第1〜第nの記録素子を有し、前記複数の記録素子のいずれかの記録素子から転送されたヒューズデータをラッチするラッチ回路と、前記ラッチされたヒューズデータをクロック信号に同期して転送するデータ転送回路とを有する転送回路ブロックを複数備え、前記複数の転送回路ブロックのうち、後段転送回路ブロックから出力されたヒューズデータを前段転送回路ブロックが入力して前記前段転送回路ブロックからシリアルヒューズデータを出力するシリアルデータ転送方法であって、前記後段転送回路ブロックの後段ラッチ回路が前記後段転送回路ブロックの一の記録素子から出力された一の後段ヒューズデータをラッチするとともに、前記前段転送回路ブロックの前段ラッチ回路が前記前段転送回路ブロックの一の記録素子から出力された一の前段ヒューズデータをラッチする第1ステップと、前記後段転送回路ブロックの後段データ転送回路が前記ラッチされた一の後段ヒューズデータを転送するとともに、前記前段転送回路ブロックの前段データ転送回路が、前記ラッチされた一の前段ヒューズデータ及び入力した前記一の後段ヒューズデータを転送する第2ステップとを有し、前記第1ステップ及び前記第2ステップを前記第1〜第nの記録素子まで繰り返して実行することにより、前記複数の転送回路ブロックの全てのヒューズデータをシリアル転送するシリアルデータ転送方法とした。
請求項6に係る本発明においては、前記前段データ転送回路が前記一の前段ヒューズデータを転送した後に、前記前段データ転送回路が前記一の後段ヒューズデータを転送することを特徴とする請求項5に記載のシリアルデータ転送方法とした。
請求項7に係る本発明においては、前記第1ステップの前に前記後段ラッチ回路及び前記前段ラッチ回路をリセットする第3ステップを有することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のシリアルデータ転送方法とした。
本発明によれば、1個のラッチ回路とこれに対応する1個のデータ転送回路が、複数のヒューズ素子からの複数のヒューズデータを処理することができるので、ラッチ回路とデータ転送回路がチップに占める面積を大幅に縮小することができるという利点を有する。
また、リセット回路をラッチ回路と対を成して構成することができるので、ヒューズ素子と一対をなす転送ゲートのそれぞれにリセット回路を設ける必要がないので、ヒューズ素子の1ビット当たりの面積を縮小することができるという利点を有する。
また、選択信号を与えた後のクロック信号により、当該転送回路ブロックのヒューズデータを転送出力し、次に選択信号が反転した後のクロック信号により後段の転送回路ブロックから入力した後段のヒューズデータを転送するようにしたので、データ転送時間を遅延させることなくシリアルデータへ効率よく変換することできるという利点を有する。
更に、選択信号が反転して後段転送回路ブロックのヒューズデータを転送している期間中に、リセット信号により各転送回路ブロックのラッチ回路を一斉にリセットするようにしたので、転送時間を遅延させること無くシリアルデータを高速で転送することができるという利点を有する。
その結果、チップの設計自由度が増大し、チップ設計期間も短縮することができる。
以下、本発明の実施の形態について説明する。
本発明の実施の形態に係るシリアルデータ転送回路は、複数の転送回路ブロックを備えている。各転送回路ブロックは、第1〜第nのヒューズ素子と、そのヒューズ素子のヒューズデータを転送するための第1〜第nの転送ゲートと、この第1〜第nの転送ゲートの出力が共通に接続されて出力ノードと、当該出力ノードからヒューズデータを入力してラッチするラッチ回路と、当該ラッチされたヒューズデータを取込み転送して出力するデータ転送回路とを含んでいる。
そして、これらの転送回路ブロックは直列に接続されており、各転送回路ブロックに含まれるデータ転送回路の出力が直列接続する他の転送回路ブロックの入力に接続されている。そして、全ての転送回路ブロックにおいて、各転送回路ブロックのデータ転送回路は、当該転送回路ブロックに含まれる第1〜第nのいずれか一つのヒューズデータを、ラッチ回路を介して取り込むと共に、直列接続する前段の転送回路ブロックからもヒューズデータを取り込んで、全てのヒューズデータをシリアル転送する。
即ち、一つのラッチ回路と一つのデータ転送回路が複数のヒューズ素子からのヒューズデータを転送することができる。そのために、1ビットのヒューズ素子に1組のラッチ回路及びデータ転送回路を構成する必要が無いので、チップに占める転送回路の面積を縮小することができる。
また、本発明の実施の形態に係るシリアルデータ転送回路は、ヒューズ素子と転送ゲートからなる記録素子を複数有し、該記録素子のいずれかから出力されたヒューズデータをラッチし、ラッチされたデータをクロック信号に同期して転送出力する転送回路ブロックを複数備えている。
そして、各転送回路ブロックは、第1から第n記録素子と、この各記録素子に含まれる第1から第n転送ゲートの出力とが共通に接続された出力ノードと、出力ノードからヒューズデータを入力してラッチするラッチ回路と、このラッチ回路からヒューズデータを取り込んで転送出力するデータ転送回路とを有している。
また、転送回路ブロックの第p転送ゲートと他の転送回路ブロックの第p転送ゲートとは第pセット信号を入力してヒューズデータを転送させる第pセット入力ノードに共通に接続する。即ち、各転送回路ブロックの第p転送ゲートは第pセット信号を入力して同時に作動する。
また、転送回路ブロックのデータ転送回路は、他の転送回路ブロックからヒューズデータを入力するためのデータ入力端子と、ラッチ回路からヒューズデータの取込み許可をするための選択信号を入力するための選択信号入力端子と、クロック信号を入力するためのクロック入力端子とを備えている。そして、一の転送回路ブロックのデータ転送回路の選択信号入力端子は他の転送回路ブロックのデータ転送回路の選択信号入力端子と共通接続している。従って、選択信号が入力されると全ての転送回路ブロックのデータ転送回路に選択信号が同時に入力される。
上記シリアルデータ転送回路はpが1からnまで順次繰り返して動作する。即ち、第1セット信号が第1セット入力ノードに入力すると各転送回路ブロックの第1記録素子から第1ヒューズデータが出力ノードに出力され、各転送回路ブロックの各ラッチ回路には各転送回路ブロックの第1ヒューズデータがラッチされる。そして、選択信号を選択信号入力ノードに入力すると、全ての転送回路ブロックのデータ転送回路は、対応するラッチ回路から第1ヒューズデータと他の転送回路ブロックのデータ転送回路から入力した他の第1ヒューズデータとを取り込んで、当該第1ヒューズデータと他の第1ヒューズデータとをシリアルデータとして転送出力する。これを整数nまで、即ち第n記録素子から第nヒューズデータを転送出力するまで繰り返して実行され、全てのヒューズデータをクロック信号に同期してシリアル転送出力する。
また、各転送回路ブロックは、当該転送回路ブロックに含まれる出力ノード及びラッチ回路と接続して当該出力ノード及びラッチ回路をリセットするためのリセット回路を有する。そして、当該転送回路ブロックに含まれるリセット回路の制御ゲートは他の転送回路ブロックに含まれるリセット回路の制御ゲートと共通に接続し、リセット信号を入力するためのリセット入力ノードに接続されている。従って、一のリセット信号により転送回路ブロックに含まれる全てのリセット回路はリセット動作を行う。
また、上記シリアルデータ転送回路は更に信号生成回路を有している。この信号生成回路は、外部から元リセット信号と元クロック信号とを入力してシリアルデータ転送回路が必要とする全ての信号を生成する。即ち、クロック信号、選択信号、リセット信号及び第1から第nセット信号の生成を行う。そのために、多数の配線の引き回しを行うことなくシリアルデータ転送回路を構成することができる。
上記実施の形態において、転送回路ブロックの数がm(mは2以上の整数)個であるとする。この場合、1段目の転送回路ブロックに後段である2段目の転送回路ブロックの出力を入力し、2段目の転送回路ブロックにその後段である3段目の転送回路ブロックの出力を入力するようにして、順次m段まで接続してシリアルデータ転送回路を構成することができる。その結果、n×m個からなるシリアルヒューズデータを1段目の出力から得ることができる。
従来例においては、転送回路ブロックに相当する1ビットに1個のリセット回路、1個のラッチ回路及び1個のデータ転送回路を必要とした。そのために、n×mビットのヒューズ素子を構成する場合にはそれぞれn×m個のリセット回路、ラッチ回路及びデータ転送回路を必要とした。しかし本実施の形態においては、1個の転送回路ブロックにn個のヒューズ素子を設けたm段の転送回路ブロックを構成しても、m個のリセット回路、m個のラッチ回路及びm個のデータ転送回路を必要とするのみである。従って、従来例の転送回路と比較して、n×m−m=(n―1)×m個のリセット回路、同数のラッチ回路及び同数のデータ転送回路を削減することができる。即ち、本実施の形態においては記録素子数が増加するほど半導体チップにおける面積増大を抑えることができる。
次に、本発明の実施の形態に係るシリアルデータ転送方法は、第1〜第nのヒューズ素子とこのヒューズ素子が切断しているか接続しているかを区別するヒューズデータを転送するための第1〜第nの転送ゲートとを一単位とする第1〜第nの記録素子を有し、この複数の記録素子のいずれかの転送ゲートを動作させて当該ヒューズデータをラッチ回路にラッチし、そのラッチされたヒューズデータを取り込んで出力するデータ転送回路とを備えた転送回路ブロックを複数有し、後段転送回路ブロックから出力された後段ヒューズデータを前段回路ブロックが入力して、前段ヒューズデータと後段ヒューズデータとをクロック信号に同期してシリアルにデータ転送するシリアルデータ転送回路に関するシリアルデータ転送方法である。
以下、具体的に説明する。まず、第1ステップにおいては、前段転送回路ブロックに含まれる一の記録素子と後段転送回路ブロックに含まれる一の記録素子の各転送ゲートが同期して作動して、前段転送回路ブロックにおいては一の前段ヒューズデータが前段ラッチ回路にラッチされ、後段転送回路ブロックにおいては一の後段ヒューズデータが後段ラッチ回路にラッチされる。具体的には、第1セット信号を各転送ゲートが入力してからこの一連の動作が開始される。
次に、第2ステップにおいては、前段転送回路ブロックに含まれる前段データ転送回路と後段転送回路ブロックに含まれる後段データ転送回路とは同期してヒューズデータの取込み準備を行う。このヒューズデータの取込み準備は、具体的には前段データ転送回路と後段データ転送回路とが同期して第1選択信号を入力して開始される。そして、その後入力したクロック信号に同期して、前段データ転送回路は前段ラッチ回路から一の前段ヒューズデータを取り込んで転送出力し、後段データ転送回路は後段ラッチ回路から一の後段ヒューズデータを取り込んで転送出力する。次に、前段データ転送回路は後段データ転送回路から入力した一の後段ヒューズデータを取り込んで転送出力する。即ち、前段転送回路ブロックからは、一の前段ヒューズデータが転送出力され、続いて一の後段ヒューズデータが転送出力される。
以降、上記第1ステップ、即ち第1セット信号を入力し、次に、上記第2ステップ、即ち第1選択信号を入力するステップを順次繰り返して動作する。第1ステップ及び第2ステップ後を具体的に説明すれば、次のようになる。
前段転送回路ブロックに含まれる他の一の記録素子と後段転送回路ブロックに含まれる他の一の記録素子の各転送ゲートが同期して作動して、前段転送回路ブロックにおいては他の一の前段ヒューズデータが前段ラッチ回路にラッチされ、後段回路ブロックにおいては他の一の後段ヒューズデータが後段ラッチ回路にラッチされる。具体的には、第2セット信号を各転送ゲートが入力してからこの一連の動作が開始される。
次に、前段データ転送回路と後段データ転送回路とは同期してヒューズデータの取込み準備を行う。具体的には、前段データ転送回路及び後段データ転送回路が第1選択信号の反転信号である第2選択信号を入力して取込み準備が開始される。そして、その後入力したクロック信号に同期して、前段データ転送回路は前段ラッチ回路から他の一の前段ヒューズデータを取り込んで転送出力し、後段データ転送回路は後段ラッチ回路から他の一の後段ヒューズデータを取り込んで転送出力し、次に、前段データ転送回路は後段データ転送回路から入力した他の一の後段ヒューズデータを取り込んで転送出力する。その結果、前段転送回路ブロックからは、他の一の前段ヒューズデータと他の一の後段ヒューズデータが連続して転送出力される。
従って、上記第1ステップの第1セット信号、第2ステップの第1選択信号、第2セット信号、第2選択信号の順に動作することにより、前段転送回路ブロックの出力からは、一の前段ヒューズデータ、一の後段ヒューズデータ、他の一の前段ヒューズデータ、他の一の後段ヒューズデータがシリアルデータとして出力され、第nのヒューズ素子まで繰り返されて全てのヒューズデータが出力されることになる。
また、選択信号を入力した後のクロック信号に同期して後段データ転送回路が後段ラッチ回路から後段ヒューズデータを取り込んで転送出力し、同様に前段データ転送回路が前段ラッチ回路から前段ヒューズデータを取り込んで転送出力し、次に、当該選択信号が反転した後のクロック信号に同期して、前段データ転送回路は後段データ転送回路から入力した後段ヒューズデータを取り込んで転送出力する。その結果、前段データ転送回路からは、前段ヒューズデータと後段ヒューズデータとが間断なくシリアルデータとして出力することができる。
また、上記第1セット信号を入力する前に第3ステップであるリセット信号を入力して、前段転送回路ブロックに含まれる前段ラッチ回路と、後段転送回路ブロックに含まれる後段ラッチとが同期してリセットされて、各ラッチ回路の出力ノードがGNDレベルに設定される。次に、上記第1ステップ及び第2ステップ後にリセット信号を入力して、前段ラッチ回路と後段ラッチ回路とが同期してリセットされ、各ラッチ回路の出力ノードがGNDレベルに設定される。このように、第3ステップ、第1ステップ、第2ステップを繰り返して実行することにより、全てのヒューズデータのシリアル転送を行うことができる。なお、第2ステップ後のリセット信号の入力タイミングと、次に実行される第1選択信号の反転信号である第2選択信号のタイミングとを同期させることにより、ラッチ回路のリセット動作によってシリアルデータの転送時間が遅延することが無いようにしている。
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
図1は、本実施の形態に係るシリアルデータ転送回路を表す回路図である。本実施の形態におけるシリアルデータ転送回路は第1転送回路ブロック1と第2転送回路ブロックとを有する。第1転送回路ブロックは、第1ヒューズ素子Fu10とこの第1ヒューズ素子Fu10の切断/接続の状態の情報を転送するための第1転送ゲートTa10とが対をなす第1記録素子E10と、第2ヒューズ素子Fu11と第2転送ゲートTa11から成る第2記録素子E11と、第3ヒューズ素子Fu12と第3転送ゲートTa12から成る第3記録素子E12を備えている。第1転送ゲートTa10、第2転送ゲートTa11及び第3転送ゲートTa12の各出力は第1出力ノードNd11に共通に接続する。更に、第1出力ノードNd11に出力されたヒューズデータをラッチするための第1ラッチ回路La1と、この第1ラッチ回路La1をリセットするための第1リセット回路Tb1と、第1ラッチ回路La1からラッチされたヒューズデータを取込み、シリアルデータとして転送するための第1データ転送回路Da1とを備えている。
第2転送回路ブロック2は、上記第1転送回路ブロック1と基本的構成は同じである。即ち、第1ヒューズ素子Fu20と第1転送ゲートTa20とを対とする第1記録素子E20と、同様の構成を有する第2記録素子E21と第3記録素子E22とを備え、各第1転送ゲートTa20、第2転送ゲートTa21、第3転送ゲートTa22の各出力は第2出力ノードNd12に共通接続して第2ラッチ回路La2の入力端に接続し、第2ラッチ回路La2にラッチされたヒューズデータを取り込み転送する第2データ転送回路Da2と、第2ラッチ回路La2をリセットするための第2リセット回路Tb2とを備えている。
従って、本実施の形態においては、6個のヒューズ素子を有する6ビットデータのシリアルデータ転送回路を表している。
次に、各構成要素についてより具体的に説明する。第1転送回路ブロック1の第1出力ノードNd11は、第1リセット回路Tb1及び第1ラッチ回路La1の入力端に接続する。第1ラッチ回路La1は、インバータIn1とトランジスタTc1とから構成され、第1出力ノードNd11に出力されたヒューズデータをその出力端に記憶する。第1データ転送回路Da1は、クロック信号を入力するクロック端子CLKと、第1ラッチ回路La1の出力端からヒューズデータを入力するためのヒューズデータ入力端子FuseInと、第2転送回路ブロック2の第2データ転送回路Da2の出力端子Qから出力されたヒューズデータを入力するデータ入力端子SDと、データ取込みをヒューズデータ入力端子FuseInから入力するデータとデータ入力端子SDから入力するデータとを選択するための選択信号Selectを入力する選択信号入力端子Selと、ヒューズデータ入力端子FuseInから入力したヒューズデータとデータ入力端子SDから入力したヒューズデータとを結合してシリアルデータを出力する出力端子Qとを備えている。第2転送回路ブロック2も同様の構成を備えている。ただし、第2データ転送回路Da2のデータ入力端子SDは他の転送回路ブロックからヒューズデータを入力しないで終端するので、グランドに接続されている。
また、第1転送回路ブロック1の第1転送ゲートTa10の制御ゲートと第2転送回路ブロック2の第1転送ゲートTa20の制御ゲートとは、第1ヒューズ素子Fu10のヒューズデータ(以下ヒューズデータFu10という)を第1出力ノードに出力するタイミング及び第1ヒューズ素子Fu20のヒューズデータ(以下ヒューズデータFu20という)を第2出力ノードNd12へ出力するタイミングを決定するための第1セット信号Set_0を入力する第1セット入力ノードNd0に共通に接続する。同様に、第2転送ゲートTa11及びTa21のそれぞれの制御ゲートは、第2ヒューズ素子Fu11のヒューズデータ(以下ヒューズデータFu11という)及び第2ヒューズ素子Fu21のヒューズデータ(以下ヒューズデータFu21という)を出力するタイミングを決定する第2セット信号Set_1を入力する第2セット入力ノードNd1に共通に接続する。第3転送ゲートTa12及びTa22のそれぞれの制御ゲートは、第3ヒューズ素子Fu12のヒューズデータ(以下ヒューズデータFu12という)及び第3ヒューズ素子Fu22のヒューズデータ(以下ヒューズデータFu22という)を出力するタイミングを決定する第3セット信号Set_2を入力する第3セット入力ノードNd2に共通に接続する。なお、第1データ転送回路Da1及び第2データ転送回路Da2の具体的な回路構成は、図6において説明した回路と同じなので説明は省略する。
また、第1出力ノードNd11と第2出力ノードNd12をリセットするための第1リセット回路Tb1及び第2リセット回路Tb2はNチャンネルトランジスタから構成されている。第1リセット回路Tb1を構成するトランジスタの制御ゲートと及び第2リセット回路Tb2を構成するトランジスタの制御ゲートとは、リセット信号Resetを入力するリセット入力ノードNd3に共通接続する。更に、第1データ転送回路Da1及び第2データ転送回路Da2の選択信号入力端子Selは、選択信号Selectを入力するための選択信号入力ノードNd4と、第1データ転送回路Da1及び第2データ転送回路Da2のクロック信号入力端子CLKは、クロック信号CLKを入力するクロック信号入力ノードNd5に共通接続する。
なお、本実施の形態においてはヒューズ素子6個の6ビットヒューズを2分割した回路について説明しているが、実際のヒューズ素子は100個以上であり、転送回路ブロックによる分割数は2以上の多数分割となる。
図2は、図1に示したシリアルデータ転送回路の動作を表すタイミングチャート図である。CLKはクロック信号入力ノードNd5に与えられるクロック信号を表す。Resetはリセット入力ノードNd3に与えられるリセット信号Resetを表す。Set_0、Set_1及びSet_2は、第1セット入力ノードNd0、第2セット入力ノードNd1及び第3セット入力ノードNd2のそれぞれに与えられる第1セット信号Set_0、第2セット信号Set_1及び第3セット信号Set_2を表す。Selectは、選択信号入力ノードNd4に与えられる選択信号Selectを表す。SDOは第1データ転送回路Da1の出力端子Qからシリアル出力されるヒューズデータを表す。
まず、リセット信号ResetのパルスR1がリセット入力ノードNd3に与えられて、LレベルからHレベルに変化すると、第1転送回路ブロック1の第1リセット回路Tb1及び第2転送回路ブロック2の第2リセット回路Tb2が作動して第1出力ノードNd11と第1ラッチ回路La1及び第2出力ノードNd12と第2ラッチ回路La2がリセットされる。次に第1セット信号Set_0がHレベルからLレベルへ変化し、第1転送回路ブロック1及び第2転送回路ブロック2の第1転送ゲートTa10及び第1転送ゲートTa20が作動してヒューズデータFu10を第1出力ノードNd11へ、及び同時にヒューズデータFu20を第2出力ノードNd12へ出力する。第1ヒューズ素子Fu10がレーザー等により溶断されているときは第1出力ノードの電位は上昇しないが、接続されているときは、第1ヒューズ素子Fu10の一方の端子がHレベルの配線に接続するので第1出力ノードの電位は上昇する。これにより、切断/接続の状態情報を出力することができる。
その結果、第1ラッチ回路La1はその出力端にヒューズデータFu10をラッチする。同様に、第2ラッチ回路La2はその出力端にヒューズデータFu20をラッチする。
次に、選択信号SelectのS1パルスがLレベルからHレベルに変化すると、第1データ転送回路Da1はそのトランスミッションゲートF2(図6)をオンして第1ラッチ回路La1にラッチされたヒューズデータFu10の取り込み準備を行い、クロック信号CLKの立ち上がりT3に同期してDタイプフリップフロップ回路FF(図6)が動作してヒューズデータFu10を取込み、同時に第1データ転送回路Da1の出力Qへ当該ヒューズデータFu10を転送出力してシリアルデータ出力端子SDOから出力される。同時に、第2データ転送回路Da2はそのトランスミッションゲートF2(図6)が動作して第2ラッチ回路La2にラッチされたヒューズデータFu20の取込み準備を行い、クロック信号CLKの立ち上がりT3に同期してDタイプフリップフロップ回路FF(図6)が起動してヒューズデータFu20を取込み、同時に出力端子Qに当該ヒューズデータFu20を出力する。その結果、第1データ転送回路Da1のデータ入力端子SDにはヒューズデータF20が与えられる。
次に選択信号SelectのS1パルスがHレベルからLレベルへ変化すると、第1データ転送回路Da1のトランスミッションゲートF2はオフしトランスミッションゲートF1がオンする(図6)。従って、第1データ転送回路Da1のデータ入力端子SDに入力しているヒューズデータFu20の取込み準備が行われ、次のクロック信号の立ち上がりT4に同期してDタイプフリップフロップ回路FF(図6)はヒューズデータFu20を取り込んで同時に出力する。その結果、シリアルデータ出力端子SDOからはヒューズデータFu10に続いてヒューズデータFu20が出力される。
また、時刻T3からクロック信号の半周期後にリセット入力ノードNd3にリセット信号ResetのパルスR2が与えられ、第1出力ノードNd11と第1ラッチ回路La1及び第2出力ノードNd12と第2ラッチ回路La2がリセットされる。
次に、第2セット信号Set_1が第2セット入力ノードNd1に与えられると、第1転送回路ブロック1の第2記録素子E11からヒューズデータFu11が第1出力ノードNd11へ出力され、同時に第2転送回路ブロック2の第2記録素子E21からヒューズデータFu21が第2出力ノードNd12へ出力される。その結果、第1ラッチ回路La1にはヒューズデータFu11が、また、第2ラッチ回路La2にはヒューズデータFu21がそれぞれラッチされる。
次に、選択信号SelectのパルスS2が第1データ転送回路Da1の選択信号入力端子Sel及び第2データ転送回路Da2の選択信号入力端子Selにそれぞれ与えられ、LレベルからHレベルへ変化してヒューズデータFu11及びヒューズデータFu21の取り込み準備がなされ、クロック信号の立ち上がりT5に同期して第1データ転送回路Da1はヒューズデータFu11を取り込んで出力端子Qから出力し、同時に第2データ転送回路Da2はヒューズデータFu21を取り込んで出力端子Qに出力する。次に、選択信号SelectのパルスS2がHレベルからLレベルへ変化して、第1データ転送回路Da1はデータ入力端子SDに与えられるヒューズデータFu21の取り込み準備を行い、クロック信号CLKのクロックの立ち上がりT6に同期してヒューズデータFu21を取り込んで出力端子Qへ出力する。その結果、シリアルデータ出力端子SDOからヒューズデータFu11及びヒューズデータFu21がシリアル転送される。
また、時刻T5からクロック信号の半周期後にリセット入力ノードNd3にリセット信号ResetのパルスR2が与えられ、第1出力ノードNd11と第1ラッチ回路La1及び第2出力ノードNd12と第2ラッチ回路La2がリセットされる。
次に、第3セット信号Set_2が第3セット入力ノードNd2に与えられると、第1転送回路ブロック1の第3記録素子E12からヒューズデータFu12が第1出力ノードNd11へ出力され、同時に第2転送回路ブロック2の第3記録素子E22からヒューズデータFu22が第2出力ノードNd12へ出力される。その結果、第1ラッチ回路La1にはヒューズデータFu12が、また、第2ラッチ回路La2にはヒューズデータFu22がそれぞれラッチされる。
次に、選択信号SelectのパルスS3が第1データ転送回路Da1の選択信号入力端子Sel及び第2データ転送回路Da2の選択信号入力端子Selにそれぞれ与えられ、LレベルからHレベルへ変化してヒューズデータFu12及びヒューズデータFu22の取り込み準備がなされ、クロック信号の立ち上がりT7に同期して第1データ転送回路Da1はヒューズデータFu12を取り込んで出力端子Qから出力し、同時に第2データ転送回路Da2はヒューズデータFu22を取り込んで出力端子Qに出力する。
次に、選択信号SelectのパルスS3がHレベルからLレベルへ変化して、第1データ転送回路Da1はデータ入力端子SDに与えられるヒューズデータFu22の取り込み準備を行い、クロック信号CLKのクロックの立ち上がりT8に同期してヒューズデータFu22を取り込んで出力端子Qへ出力する。その結果、シリアルデータ出力端子SDOからヒューズデータFu12及びヒューズデータFu22がシリアル転送される。
以上、本実施の形態においては、リセット信号Resetによりラッチ回路をリセットし、第1セット信号Set_0等によりヒューズデータをラッチし、選択信号Selectにより当該データ転送回路のヒューズデータと前段データ転送回路のヒューズデータとのシリアルデータに変換する。そして、前段から入力したヒューズデータを転送している間にラッチ回路をリセットする。
なお、本実施の形態においてはそれぞれ3個のヒューズ素子を有する2個の転送回路ブロックについて説明したが、これに限定されるものではなく、さらに多数のヒューズ素子を有する転送回路ブロックを図1と同様に多数接続することができる。この場合、後段のデータ転送回路の出力端子Qから出力されるヒューズデータは前段のデータ転送回路のデータ入力端子SDへ与えられ、最終段のデータ入力端子SDは電位が固定される。
また、ヒューズ素子としては、レーザーにより溶断して情報を記録するヒューズを使用するが、これを、ヒューズと同等の機能を有するものであれば良く、例えば、不揮発性メモリ素子等を使用することができる。また、本実施の形態において説明したシリアルデータ転送回路は、半導体記憶装置の冗長回路への適用に限定されるものではなく、他の外部から記録が必要な記録回路へ適用できる。
図3は、図1に示したシリアルデータ転送回路に与えられる各種信号を生成するための信号生成回路の実施の形態を表す回路図である。
図3の信号生成回路においては、元クロック信号M−CLKと元リセット信号M−RSTから、リセット信号Reset、選択信号Select、3種類のセット信号を生成する。
図4は、図3の信号生成回路の各ノードの波形を示すタイミングチャート図である。横軸が時間を表し、縦軸は、元クロック信号M−CLK、元リセット信号M−RST、元クロック信号の反転クロック信号m−clk_inv、Node0〜Node8の波形、及び、図1に示されているクロック信号CLK、リセット信号Reset、第1から第3のセット信号Set_0からSet_2、選択信号Select、 シリアルデータ出力端子SDOからのシリアルデータSDOの各波形を示す。
Dタイプフリップフロップ(以下Dタイプフリップフロップを略してFFという)10のデータ端子Dに元リセット信号M−RSTを入力し、FF10の出力がFF11に入力しFF11の出力がFF12に入力され、各FF10、FF11及びFF12のクロック端子CLKには元クロック信号M−CLKが入力される。FF10の出力がNode0の波形であり、FF12の出力がNode1の出力波形であり、元リセット信号M−RSTの反転タイミングが2クロック周期分遅延された信号となる。FF12の出力と元クロック信号M−CLKとはAND回路(以下ANDという)21により論理積がなされてクロック信号CLKが生成される。
FF10の出力とFF11の出力の反転信号(Node2の波形)とがAND23により論理積がなされて(Node3の波形)FF13に入力される。FF13からFF17の5段FFが直列に接続し、各FFのクロック端子CLKには元クロック信号M−CLKが入力される。FF13へ入力されるNode3の波形は、FF13により1クロック周期遅延され(Node4)、FF15により3クロック周期遅延され(Node6)、FF17により5クロック周期遅延されて(Node8)それぞれインバータ30、インバータ31及びインバータ32に入力され、第1セット信号Set_0、第2セット信号Set_1及び第3セット信号Set_2が生成される。
Node3の波形と元クロック信号M−CLKの反転クロック信号M−CLK_inv(以下M−CLK_invという)とはAND24により論理積がなされ、FF14の出力(Node5)とM−CLK_invとはAND25により論理積がなされ、FF16の出力(Node7)とM−CLK_invとはAND26により論理積がなされ、各AND回路からの出力がOR回路(以下ORという)27により論理和がなされてリセット信号Resetが生成される。
更に、各セット信号Set_0、Ste_1及びSet_2の反転信号であるNode4、Node6及びNode8の信号が、クロック端子CLKに反転クロック信号M−CLK_invを入力するFF18、FF19及びFF20のそれぞれに入力される。FF18、FF19及びFF20はこれらの反転セット信号を半クロック周期遅延させてOR29へ出力され、OR29により論理積がなされてSelect信号が生成される。
以上説明したとおり、シリアルデータ転送回路が入力する各種信号は、元クロック信号M−CLK及び元リセット信号M−RSTの2つの信号を入力する小規模な信号生成回路により生成することができる。
また、上記図3に示した信号生成回路は、図1に示した6個の転送回路ブロックを2分割したシリアルデータ転送回路に対応するものであるが、FF13からFF17のDタイプフリップフロップ、AND21からAND26のAND回路及びFF18からFF20のDタイプフリップフロップを記録素子及び転送回路ブロックの増加に伴って増加させることにより、各種信号を生成することができる。
本発明の実施の形態に係るシリアルデータ転送回路を表す回路図である。 本発明の実施の形態に係るシリアルデータ転送回路の動作を表すタイミングチャート図である。 本発明の実施の形態に係るシリアルデータ転送回路に与える信号を生成する信号生成回路図である。 図3に示した信号生成回路の各ノードのタイミングチャート図である。 従来公知のヒューズデータシリアル転送回路を表す回路図である。 データ転送回路を表す回路図である。 図5に示した従来公知のヒューズデータシリアル転送回路の動作を表すタイミングチャート図である。
符号の説明
1 第1転送回路ブロック
2 第2転送回路ブロック
Da1 第1データ転送回路
Da2 第2データ転送回路
La1 第1ラッチ回路
La2 第2ラッチ回路
E10、E20 第1記録素子
E11、E21 第2記録素子
E12、E22 第3記録素子
Fu10、Fu20 第1ヒューズ素子
Fu11、Fu21 第2ヒューズ素子
Fu12、Fu22 第3ューズ素子
Ta10、Ta20 第1転送ゲート
Ta11、Ta21 第2転送ゲート
Ta12、Ta22 第3転送ゲート
Tb1 第1リセット回路
Tb2 第2リセット回路
Nd0 第1セット入力ノード
Nd1 第2セット入力ノード
Nd2 第3セット入力ノード
Nd3 リセット入力ノード
Nd4 選択信号入力ノード
Nd5 クロック信号入力ノード

Claims (7)

  1. 第1〜第n(nは2以上の整数)のヒューズ素子と、
    前記第1〜第nのヒューズ素子のヒューズデータをそれぞれ転送する第1〜第nの転送ゲートと、
    前記第1〜第nの転送ゲートの各出力を共通に接続する出力ノードと、
    前記出力ノードからヒューズデータを入力してラッチするラッチ回路と、
    前記ラッチされたヒューズデータを取り込むデータ転送回路と、を備えた転送回路ブロックを複数設けたシリアルデータ転送回路であって、
    前記複数の転送回路ブロックにおけるデータ転送回路を直列に接続すると共に、一の転送回路ブロックのヒューズデータと他の転送回路ブロックのヒューズデータとをそれぞれ一つずつ選択して前記データ転送回路に取り込むごとに、前記取り込まれた複数のヒューズデータを順次シフトしてシリアル転送することによって、前記複数の転送回路ブロックにおける全てのヒューズデータを連続してシリアル転送するシリアルデータ転送回路。
  2. ヒューズ素子と前記ヒューズ素子の切断/接続をヒューズデータとして転送する転送ゲートとから成る記録素子を複数有し、前記複数の記録素子のいずれかの転送ゲートから出力されたヒューズデータをラッチし、前記ラッチされたヒューズデータをクロック信号に同期して転送する転送回路ブロックを複数備えたシリアルデータ転送回路であって、
    各転送回路ブロックは、第1〜第n(nは2以上の整数)記録素子と、前記第1〜第n記録素子に含まれる第1〜第n転送ゲートの各出力を共通に接続する出力ノードと、前記出力ノードからヒューズデータを入力してラッチするラッチ回路と、前記ラッチされたヒューズデータを取り込むデータ転送回路とを有し、
    前記転送回路ブロックの第p(pは1以上で前記n以下の整数)番目の第p転送ゲートと他の転送回路ブロックの第p番目の第p転送ゲートとは、前記第p転送ゲートを作動させるための第p番目の第pセット信号を入力する第pセット入力ノードに共通接続し、
    前記転送回路ブロックのデータ転送回路は、他の転送回路ブロックからヒューズデータを入力するデータ入力端子と、前記転送回路ブロックのラッチ回路からヒューズデータの取込みを許可するための選択信号を入力する選択信号入力端子と、クロック信号を入力するクロック信号入力端子とを備え、前記選択信号入力端子と他の転送回路ブロックに含まれるデータ転送回路の選択信号入力端子とは選択信号入力ノードに共通接続し、
    前記各転送回路ブロックは、前記第pセット信号により前記第p記録素子から第pヒューズデータを前記出力ノードに出力し、前記第pヒューズデータを前記ラッチ回路がラッチし、前記データ転送回路は、前記選択信号を入力した後の前記クロック信号に同期して前記ラッチされた前記第pヒューズデータと前記他の転送回路ブロックから入力した他の第pヒューズデータとを転送する、一連の動作をpが1からnまで繰り返し行われるシリアルデータ転送回路。
  3. 前記転送回路ブロックは前記出力ノードに接続するリセット回路を有し、
    前記転送回路ブロックのリセット回路の制御ゲートと他の転送回路ブロックのリセット回路の制御ゲートとは、リセット信号を入力するためのリセット入力ノードに共通接続し、前記第pセット信号により前記第pヒューズデータが前記ラッチ回路にラッチされる前に前記ラッチ回路がリセットされることを特徴とする請求項2に記載のシリアルデータ転送回路。
  4. 信号生成回路を更に有し、
    前記信号生成回路は、外部から入力する元リセット信号及び元クロック信号とから、前記クロック信号、前記選択信号、前記リセット信号及び前記第Pセット信号を生成することを特徴とする請求項3に記載のシリアルデータ転送回路。
  5. 第1〜第n(nは2以上の整数)のヒューズ素子と前記第1〜第nのヒューズ素子のヒューズデータとしてそれぞれ転送する第1〜第nの転送ゲートとからそれぞれが成る第1〜第nの記録素子を有し、前記複数の記録素子のいずれかの記録素子から転送されたヒューズデータをラッチするラッチ回路と、前記ラッチされたヒューズデータをクロック信号に同期して転送するデータ転送回路とを有する転送回路ブロックを複数備え、前記複数の転送回路ブロックのうち、後段転送回路ブロックから出力されたヒューズデータを前段転送回路ブロックが入力して前記前段転送回路ブロックからシリアルヒューズデータを出力するシリアルデータ転送方法であって、
    前記後段転送回路ブロックの後段ラッチ回路が前記後段転送回路ブロックの一の記録素子から出力された一の後段ヒューズデータをラッチするとともに、前記前段転送回路ブロックの前段ラッチ回路が前記前段転送回路ブロックの一の記録素子から出力された一の前段ヒューズデータをラッチする第1ステップと、
    前記後段転送回路ブロックの後段データ転送回路が前記ラッチされた一の後段ヒューズデータを転送するとともに、前記前段転送回路ブロックの前段データ転送回路が、前記ラッチされた一の前段ヒューズデータ及び入力した前記一の後段ヒューズデータを転送する第2ステップとを有し、
    前記第1ステップ及び前記第2ステップを前記第1〜第nの記録素子まで繰り返して実行することにより、前記複数の転送回路ブロックの全てのヒューズデータをシリアル転送するシリアルデータ転送方法。
  6. 前記前段データ転送回路が前記一の前段ヒューズデータを転送した後に、前記前段データ転送回路が前記一の後段ヒューズデータを転送することを特徴とする請求項5に記載のシリアルデータ転送方法。
  7. 前記第1ステップの前に前記後段ラッチ回路及び前記前段ラッチ回路をリセットする第3ステップを有することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のシリアルデータ転送方法。
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