JP4839234B2 - ガスバリア性フィルム - Google Patents
ガスバリア性フィルム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4839234B2 JP4839234B2 JP2007011818A JP2007011818A JP4839234B2 JP 4839234 B2 JP4839234 B2 JP 4839234B2 JP 2007011818 A JP2007011818 A JP 2007011818A JP 2007011818 A JP2007011818 A JP 2007011818A JP 4839234 B2 JP4839234 B2 JP 4839234B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- gas barrier
- barrier film
- resin
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
これらに対して、(3)DLC被膜はプラスチックフィルムの変形に対する追従性・柔軟性が高いためガスバリア性の低下が少なく、X線による異物検査機も使用できる点で優れている。(特許文献1参照)
しかし、DLC被膜は一般に茶色から黒色を呈するという外観、透明性の問題がある。そこで、DLC被膜の膜厚を薄くすると、外観、透明性は解決できるが、ガスバリア性が低下してしまうという問題がある。
さらに、上記(1)の屈曲性・伸縮性向上のため、DLC被膜と珪素被膜を順次積層する方法も検討されているが (特許文献2参照)、DLC被膜と珪素被膜の接着性が悪いという問題があり、被膜間に中間層を形成する必要がある。なお、PETボトル等のプラスチック容器の表面に珪素含有DLC被膜を設けることは知られているが(特許文献3参照)、
ガスバリア性フィルムとしての利用は記載されておらず、また検討されていなかった。
1.基材フィルムの少なくとも一方の面に膜厚が5〜100nmの珪素含有ダイヤモンドライクカーボン膜が形成されたガスバリア性フィルムであって、X線光電子分光分析による珪素含有ダイヤモンドライクカーボン膜の構成比(C1s/(C1s+Si2p))が0.01〜0.3の範囲であるとともに、上記ガスバリア性フィルムの黄色度(YI)が2.5〜5.0の範囲であることを特徴とする。
2.前記珪素含有DLC膜に含有される珪素化合物が、SiOx、SiC、SiOC、SiN及びSiONの中から選ばれる少なくとも1種類からなることを特徴とする上記1記載のガスバリア性フィルム。
3.全光線透過率が80%以上である上記1記載のガスバリア性フィルム。
4.25℃、80%RH条件下でのガス透過率が1.0cc/m2・24h以下である上記1記載のガスバリア性フィルム。
5.前記基材フィルムが、縦方向に2〜6倍及び横方向に2〜5倍延伸処理してなることを特徴とする上記1記載のガスバリア性フィルム。
6.前記基材フィルムが、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリメタクリル系樹脂、ポリエーテルスルホン及び環状オレフィン系樹脂からなる群より選択され、厚みが9〜150μmであることを特徴とする上記1記載のガスバリア性フィルム。
本発明のガスバリア性フィルムは、合成樹脂によりフィルム状に成形された基材フィルムと、その表面に所定厚みを有する珪素含有DLC膜が被覆された構成を有している。基材フィルムの樹脂材料としては、特に限定されず樹脂成形品に適用される公知の合成樹脂材料が適用される。具体的には、ポリエチレン樹脂(PE)、ポリプロピレン樹脂(PP)、ポリスチレン樹脂(PS)、シクロオレフィンコポリマ樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂(PET)、ポリエチレンナフタレート樹脂(PEN)、エチレン−ビニルアルコール共重合樹脂(EVOH)、ポリ−4−メチルペンテン−1 樹脂、ポリメタクリル酸メチル樹脂(PMMA)、アクリロニトリル樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂(PVC)、ポリ塩化ビニリデン樹脂(PVDC)、アクリロニトリル・スチレン樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂(ABS)、ポリアミド樹脂(PA)、ポリアミドイミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリカーボネート樹脂(PC)、ポリブチレンテレフタレート樹脂(PBT)、アイオノマ樹脂、ポリスルホン樹脂及び4−フッ化エチレン樹脂(TFE)、ポリ乳酸樹脂(PLA)等が挙げられる。これらのうちで、珪素含有DLC膜との密着性及び成形性が良好である点、透明性が高く飲食品等の収容容器に好適に使用することができる点よりポリエチレンテレフタレート(PET)又はポリエチレンナフタレート(PEN)が好ましい。
(a)本発明では、珪素含有DLC膜を構成する元素全体に対する珪素の割合が1〜30%の範囲内となるよう形成することによりガスバリア性を付与した。ここで、珪素含有量が30%を越えると珪素含有DLC膜と基材フィルムの密着性が低下するため1〜30%の範囲内とすることが望ましい。これにより、珪素を含有することによりガスバリア性を維持した状態でガスバリア性フィルムの透明性を高めることができる。
(実施例1)
基材フィルムとして厚さ125μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(PET)を使用した。成膜は平行平板型の高周波プラズマCVD装置を用いて行った。先ず、真空チャンバー内を真空ポンプにより0.01Paに減圧した後、Arガスを所定量導入し、13.56MHzの高周波電力を印加してPETフィルム表面のクリーニングを行った。
その後、アセチレン流量95cm3/minとヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)流量10cm3/minを混合し、13.56MHzの高周波プラズマ装置を用いDLC被膜形成処理を行なった。具体的には表面処理を行ったPETフィルムを大気に暴露することなく15Paの減圧下、放電出力50Wの条件下において行なった。尚、HMDSOは常温では液体であるため、液体原料の気化システムにより気化した状態において、マスフローコントローラーにより流量の制御を行った。実施例1の得られたガスバリア性PETフィルムについて、酸素透過率、全光線透過率、DLC被膜の膜厚、密着性及び黄色度について測定した。各測定及び評価の方法は以下の通りである。尚、以下の実施例及び比較例も同様の測定及び評価方法にて行なった。測定結果を表1に示す。
予めPETフィルムの製膜面に黒色インキ等でマスキングを行って、DLC被膜を被覆した後、ジエチルエーテル等でマスキングを除去し、米国sloan社製、表面形状測定器「DEKTAK3030」によって膜厚を測定した。
酸素透過測定装置(米国モダンコントロール社製、「OX−TRAN2/21」)を使用し、温度25℃、相対湿度80%の条件下で測定した。1日当たり1平方メートルでいくら透過したかを表わした。
X線光電子分光分析装置(島津製作所製、「ESCA−3400」)を用いて、付属のイオンエッチング装置(イオンガン、電圧2kV、電流20mA、Arガス)でサンプル表面層をクリーニングした。その後、真空度1×10−5P a 、X 線源;ターゲットMg、電圧12kV、電流20mAの条件にてサーベイ(ワイドスキャン)スペクトルで構成元素を確認し、次いでマルチ(ナロースキャン)スペクトルでC1s及びSi2pのピーク強度から(C1s/(C1s+Si2p))を算出した。
DLC被膜形成後のガスバリア性PETフィルムについて、DLC被膜形成面を碁盤の目状にナイフで切り込みを入れ、粘着テープによる剥離試験を行った。1mm×1mmのマス目100個のうち、剥離せずに残ったマス目の個数により下記の判定を行った。
剥離せずに残ったマス目の個数100個;〇、
99〜75個;△、
74〜0個;×として評価した。
色差計(日本電色社製「ZE2000」)により垂直に光を通過させてYIを測定することにより、前記被膜による黄色の程度を評価した。
JISK7105に準じて光度計(日本電色社製「NDH−300A」)を用いて全光線透過率を測定した。
原料であるアセチレン、HMDSOの流量を各々90cm3/min、15cm3/minとした以外は実施例1と同一内容にて、ガスバリア性PETフィルムを得た。
原料であるアセチレン、HMDSOの流量を各々84cm3/min、21cm3/minとした以外は実施例1と同一内容にて、ガスバリア性PETフィルムを得た。
原料であるアセチレン、HMDSOの流量を各々74cm3/min、31cm3/minとした以外は実施例1と同一内容にて、ガスバリア性PETフィルムを得た。
原料であるアセチレン、HMDSOの流量を各々105cm3/min、0cm3/minとした以外は実施例1と同一内容にて、ガスバリア性PETフィルムを得た。
原料であるアセチレン、HMDSOの流量を各々53cm3/min、52cm3/minとした以外は実施例1と同一内容にて、ガスバリア性PETフィルムを得た。
原料であるアセチレン、HMDSOの流量を各々21cm3/min、84cm3/minとした以外は実施例1と同一内容にて、ガスバリア性PETフィルムを得た。
Claims (6)
- 基材フィルムの少なくとも一方の面に膜厚が5〜100nmの珪素化合物含有ダイヤモンドライクカーボン膜が形成されたガスバリア性フィルムであって、X線光電子分光分析のC1sピーク及びSi2pピークに基づく珪素化合物含有ダイヤモンドライクカーボン膜の構成比(C1s/(C1s+Si2p))が0.01〜0.3の範囲であるとともに、上記ガスバリア性フィルムの黄色度(YI)が2.5〜5.0の範囲であることを特徴とするガスバリア性フィルム。
- 前記珪素化合物含有ダイヤモンドライクカーボン膜に含有される珪素化合物が、SiOx、SiC、SiOC、SiN及びSiONの中から選ばれる少なくとも1種類からなる請求項1に記載のガスバリア性フィルム。
- 全光線透過率が80%以上である請求項1又は2に記載のガスバリア性フィルム。
- 25℃、80%RH条件下でのガス透過率が1.0cc/m2・24h以下である請求項1〜3のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
- 前記基材フィルムが、縦方向に2〜6倍及び横方向に2〜5倍延伸処理してなる請求項1〜4のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
- 前記基材フィルムが、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリメタクリル系樹脂、ポリエーテルスルホン及び環状オレフィン系樹脂からなる群より選択され、厚みが9〜150μmである請求項1〜5のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007011818A JP4839234B2 (ja) | 2007-01-22 | 2007-01-22 | ガスバリア性フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007011818A JP4839234B2 (ja) | 2007-01-22 | 2007-01-22 | ガスバリア性フィルム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008173936A JP2008173936A (ja) | 2008-07-31 |
JP4839234B2 true JP4839234B2 (ja) | 2011-12-21 |
Family
ID=39701316
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007011818A Active JP4839234B2 (ja) | 2007-01-22 | 2007-01-22 | ガスバリア性フィルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4839234B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5244622B2 (ja) * | 2009-01-08 | 2013-07-24 | 三菱樹脂株式会社 | ガスバリア性フィルム |
EP2578726B1 (en) * | 2010-05-31 | 2018-10-17 | JTEKT Corporation | Method for manufacturing a coated member |
JP5852375B2 (ja) * | 2011-09-07 | 2016-02-03 | 麒麟麦酒株式会社 | ガスバリア性ポリ乳酸樹脂成形体 |
US20180197718A1 (en) | 2015-07-03 | 2018-07-12 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Device for the treatment of a web substrate in a plasma enhanced process |
WO2017072120A1 (en) * | 2015-10-29 | 2017-05-04 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Laminated packaging material comprising a barrier film and packaging containers manufactured therefrom |
CN107921743B (zh) * | 2015-10-29 | 2020-11-17 | 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 | 阻隔膜或片和包括膜或片的层压包装材料及其制成的包装容器 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4475066B2 (ja) * | 2004-08-31 | 2010-06-09 | 三菱樹脂株式会社 | ガスバリア性積層体 |
JP4264400B2 (ja) * | 2004-10-06 | 2009-05-13 | 三菱重工業株式会社 | 軟質アモルファスカーボン膜及びその製造方法 |
-
2007
- 2007-01-22 JP JP2007011818A patent/JP4839234B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008173936A (ja) | 2008-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5244622B2 (ja) | ガスバリア性フィルム | |
JP4839234B2 (ja) | ガスバリア性フィルム | |
TWI558560B (zh) | 改性聚矽氮烷膜及隔氣膜的製造方法 | |
JP4191668B2 (ja) | 積層材 | |
Bahre et al. | Surface pre-treatment for barrier coatings on polyethylene terephthalate | |
EP2692521B1 (en) | Vapor-deposited film having barrier performance | |
AU2011350429B2 (en) | Gas-barrier plastic molded product and manufacturing process therefor | |
JP2004314599A (ja) | バリアフィルム | |
JP5157169B2 (ja) | ガスバリア積層体、有機エレクトロルミネッセンス素子及びガスバリア積層体の製造方法 | |
Bahroun et al. | Influence of layer type and order on barrier properties of multilayer PECVD barrier coatings | |
AU2011350427A1 (en) | Method for producing gas barrier plastic molded body | |
JP5264227B2 (ja) | ガスバリア性フィルム | |
JP5664341B2 (ja) | ガスバリア性フィルム | |
JP2008018679A (ja) | 剥離フィルム | |
WO2007142059A1 (ja) | ガスバリア膜付きプラスチック製光学素子およびその製造方法とこれを適用した光ピックアップ装置 | |
JP5706777B2 (ja) | ガスバリア性プラスチック成形体 | |
JP2003236976A (ja) | ガスバリアー性に優れたケイ素酸化物被膜及び包装体 | |
KR20130125362A (ko) | 가스 배리어성 적층 필름 | |
JP2019202451A (ja) | バリアフィルム | |
JP4987525B2 (ja) | ダイヤモンドライクカーボン膜コーティングガスバリア性フィルム | |
JP4823747B2 (ja) | ガスバリア性樹脂成形体及びその製造方法 | |
JP2019023325A (ja) | ガスバリア性プラスチック容器の製造方法 | |
JP2007307784A (ja) | ガスバリアフィルム | |
JP6414707B2 (ja) | ガスバリア性樹脂基材の製造方法 | |
JP6123390B2 (ja) | 高周波プラズマcvdによる成膜法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090806 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110722 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110722 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110913 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111003 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141007 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4839234 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |