JP4813113B2 - 発光素子試験装置 - Google Patents
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- 光検出素子を複数備えた発光素子試験装置において、各光検出素子は、
第1導電型の基板と、
前記基板の上面の一部分に形成された第2導電型の不純物領域と、
前記不純物領域上に絶縁層を介して蒸着又はスパッタにより形成されたAl-Si-Cu層及びTiN層の積層体と、
を備え、
前記積層体は複数の微細孔を有し、
前記発光素子試験装置は、複数の前記光検出素子が受光するべきモニタ光を出射する複数の発光素子を配置する場合に、前記光検出素子と前記発光素子とを収容する恒温槽と、
前記発光素子への駆動電流又は前記光検出素子の光電流をモニタする手段と、
を備えることを特徴とする発光素子試験装置。 - 複数の前記微細孔の面積の合計によって規定される開口率は、1〜30%に設定されることを特徴とする請求項1に記載の発光素子試験装置。
- 前記絶縁層は、シリコン酸化物又はシリコン窒化物を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の発光素子試験装置。
- 前記微細孔は、前記積層体を前記絶縁層まで貫通していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の発光素子試験装置。
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