JP2009135305A - 発光素子ウェハ、発光素子チップ、バーンイン方法および発光素子チップの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】各発光素子からの出射光に影響されずにバーンインできる発光素子ウェハを提供する。
【解決手段】基板（１１）と、基板に形成された複数の発光素子（１２）および共通端子（１３）と、を有する発光素子ウェハ（１）において、複数の発光素子は、少なくとも発光層（１７）を具備し、複数の発光素子は、少なくとも発光層の長軸方向に配列され、かつ、互いに溝（２０）により区画されており、溝の長軸方向の長さが、発光素子からの出射光によって隣接する発光素子に影響を及ぼさない所定値（Ｌ）以上である。
【選択図】図２

Description

本発明は発光素子の評価方法に係り、特に、ウェハ状態における発光素子の評価方法に関する。

従来、ウェハ状態における個々の半導体チップから、不良の半導体チップを選別する方法として、バーンインが知られている。

バーンインは、ウェハに形成された複数の半導体素子のうち、結晶の不具合などにより所望の特性を有していない半導体素子を、ウェハ状態のうちに識別することにより、不良の半導体素子に対してパッケージングなどが行われ不良の半導体チップが生成されることを防止するようになっている。

従来、バーンインは、複数の半導体素子が形成された半導体ウェハに所定の温度を加えることにより、不良の半導体素子の劣化を早め、この加熱状態において個々の半導体素子に検査用電流を流し、電流特性に基づいて不良の半導体素子を選別するようになっている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１のバーンインは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）およびＩ／Ｏポートなどにより構成される集積回路が形成された半導体素子の不良を測定するようになっており、このような半導体素子が複数形成されたウェハを、バーンインを実施するための炉に入れ、加熱状態で各半導体素子に検査用電流を流すようになっている。
特開平１１−３３０１７７号公報

しかしながら、特許文献１に示すバーンインにおいては、レーザダイオード（以下、ＬＤという）などの発光素子が形成されたウェハを対象とするものではなかった。そのため、複数の発光素子が形成されたウェハにおいて各々の発光素子に検査用電流を流すと、各々の発光素子からレーザ光が出射され、その結果、レーザ光の出射方向に隣接する発光素子の端面を劣化させるという問題があった。また、隣り合う発光素子から照射されたレーザ光により、発光素子の端面温度が上昇するため、各々の発光素子に検査用電流を流した際に正確なバーンイン条件を保つことができないという問題があった。

本発明は、従来の問題を解決するためになされたもので、ＬＤなどの発光素子が形成されたウェハに対しても各々の発光素子の正確なバーンインを可能とする発光素子ウェハおよびそのバーンイン方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の請求項１の発光素子ウェハは、基板と、前記基板に形成された複数の発光素子および共通端子と、を有する発光素子ウェハにおいて、前記複数の発光素子は、少なくとも発光層を具備し、前記複数の発光素子は、少なくとも前記発光層の長軸方向に配列され、かつ、互いに溝により区画されており、前記溝の前記長軸方向の長さが、前記発光素子からの出射光によって隣接する前記発光素子に影響を及ぼさない所定値以上であることを特徴とする。

この構成により、本発明の発光素子ウェハは、各発光素子にバーンイン電流を同時に流した場合においても、出射方向に隣り合う発光素子に照射される出射光が十分減衰され、結果として、隣り合う発光素子の端面が劣化したり、電流特性が変化することにより、各発光素子の電流特性が正常に測定できなくなることを防ぐことができる。

本発明の請求項２の発光素子ウェハは、基板と、前記基板に形成された複数の発光素子および共通端子と、を有する発光素子ウェハにおいて、前記複数の発光素子は、少なくとも発光層を具備し、前記複数の発光素子は、少なくとも前記発光層の長軸方向に配列され、かつ、互いに溝により区画されており、前記発光層の長軸方向に配列された前記複数の発光素子にて、前記発光素子から出射される出射光の光路上に、前記出射光を吸収する障壁が設けられていることを特徴とする。

この構成により、本発明の発光素子ウェハは、各発光素子に検査電流を同時に流した場合においても、出射方向に隣り合う発光素子に照射される出射光が十分減衰され、結果として、隣り合う発光素子の端面が劣化したり、電流特性が変化することにより、各発光素子の電流特性が正常に測定できなくなることを防ぐことができる。

本発明の請求項３の発光素子ウェハは、前記障壁が、前記溝をエッチングにより形成する際に残存させた部位により形成されることを特徴とする。

この構成により、本発明の発光素子ウェハは、エッチングのみによって障壁を形成することができるので、障壁を構成する部材を準備する必要がなく、発光素子ウェハおよび発光素子ウェハから切り出された発光素子チップのコストを一層下げることができる。

本発明の請求項４の発光素子ウェハは、基板と、基板の上方に形成された複数の発光素子および共通端子と、を有する発光素子ウェハにおいて、前記複数の発光素子は、少なくとも発光層を具備し、前記複数の発光素子は、少なくとも前記発光層の長軸方向に配列されており、前記発光層の長軸方向に配列された前記複数の発光素子のうちの隣り合う二つの発光素子の間において、前記発光素子から出射される出射光の光路上に、前記出射光を反射させる反射部が形成されていることを特徴とする。

この構成により、本発明の発光素子ウェハは、各発光素子に検査電流を同時に流した場合においても、出射方向に隣り合う発光素子に照射される出射光を反射させることができるので、結果として、隣り合う発光素子の端面が劣化したり、電流特性が変化することにより、各発光素子の電流特性が正常に測定できなくなることを簡易な構成で防止することができる。

本発明の請求項５の発光素子ウェハは、前記反射部の表面が、高反射率を有する反射材でコーティングされていることを特徴とする。

この構成により、本発明の発光素子ウェハは、より確実に出射方向に隣り合う発光素子に照射される出射光を反射させることができる。

本発明の請求項６の発光素子ウェハは、前記反射部の表面が、金属膜でコーティングされていることを特徴とする。

この構成により、本発明の発光素子ウェハは、より確実に出射方向に隣り合う発光素子に照射される出射光を反射させることができる。

本発明の請求項７の発光素子ウェハは、前記反射部が、前記出射光を乱反射させることを特徴とする。

この構成により、本発明の発光素子ウェハは、反射部を簡易に構成することができるとともに、出射光が反射部によって乱反射されるので、反射部によって反射された後の出射光の強度を下げることができる。

本発明の請求項８のバーンイン方法は、請求項１乃至７に記載の発光素子ウェハを所定の温度に加熱し、前記複数の発光素子のそれぞれの前記発光層の上方に設けられた電極と前記共通端子との間に所定の電流を所定の時間流し、前記複数の発光素子が電流特性に基づいて正常であるか否かを判断することを特徴とする。

この構成により、本発明のバーンイン方法は、各発光素子に電流が供給されることにより光を出射した場合において、出射方向に隣り合う発光素子に照射される出射光を十分減衰したり、出射光が隣り合う発光素子に照射されることを防止することができる。結果として、隣り合う発光素子の端面の劣化や端面温度の上昇により、各発光素子の電流特性が正常に測定できなくなることを防ぐことができる。したがって、ＬＤなどの発光素子が形成されたウェハに対しても各々の発光素子の正確なバーンインを可能とする。

本発明の請求項９の発光素子チップは、請求項１乃至７に記載の発光素子ウェハに形成された複数の発光素子をそれぞれ分離して形成したことを特徴とする。

この構成により、本発明の発光素子チップは、簡易な構成で各発光素子の不良品が識別されるので、１枚の発光素子ウェハから切り出される発光素子チップのコストを下げることが可能となる。また、不良の発光素子を用いてコストのかかる発光素子チップが製作されることを防止できるので、発光素子チップの製作コストを下げることが可能となる。

本発明の請求項１０の発光素子チップは、請求項８に記載のバーンイン方法によって不良品でないと判断され、前記発光素子ウェハから分離して形成されたことを特徴とする。

この構成により、本発明の発光素子チップは、簡易な構成で実現できるバーンイン方法により各発光素子の不良品が識別されるので、１枚の発光素子ウェハから切り出される発光素子チップのコストを下げることが可能となる。また、不良の発光素子を用いてコストのかかる発光素子チップが製作されることを防止できるので、発光素子チップの製作コストを下げることが可能となる。

本発明の請求項１１の発光素子チップの製造方法は、基板上に、少なくとも発光層および電極を具備し互いの間に溝を有する複数の発光素子と、前記複数の発光素子の共通の接地端子として機能する共通端子とを形成して発光素子ウェハを形成する段階と、前記溝に、前記発光素子からの出射光が隣接する前記発光素子に影響を与えないように当該出射光を遮るあるいは吸収する障壁を挿入する段階と、前記発光素子ウェハを所定温度に加熱する段階と、前記複数の発光素子のそれぞれの前記電極と前記共通端子との間に所定の電流を所定の時間流す段階と、前記それぞれの発光素子をその電流特性に基づいて正常であるか否かを判断する選別段階と、前記選別段階で正常であると判断された発光素子を前記発光素子ウェハから分離して発光素子チップとする段階とを含むことを特徴とする。

この構成により、本発明の発光素子ウェハは、発光素子ウェハに対する障壁の着脱を容易に行うことができる。また、障壁を繰り返し使用することが可能となるため、発光素子ウェハおよび発光素子ウェハから切り出された発光素子チップのコストを一層下げることができる。

本発明に係る発光素子ウェハは、各発光素子から出射される出射光に影響されずにバーンインできるので、不良の発光素子の選別を正確に実施することができるものである。

以下、本発明の実施形態の発光素子および発光素子ウェハならびにバーンイン方法ついて、図面を用いて説明する。

（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態の発光素子ウェハを図１乃至図３を用いて説明する。

発光素子ウェハ１は、図１に示すように、基板１１と、基板１１上に形成された複数の発光素子１２と、共通端子１３と、を有している。基板１１は、たとえば、ＩｎＰなどの半導体により形成されている。

図２は、図１の領域Ａにおける拡大図であり、（ａ）は発光素子の上面図、（ｂ）は発光素子の断面図である。なお、図面に対する上下方向の拡大率は、（ａ）と（ｂ）とにおいて互いに異なっている。また、（ａ）において電極は省略されている。また、図３は、発光素子ウェハ間の溝近傍における拡大断面図である。

発光素子ウェハ１は、基板１１上に積層される下部クラッド層１６と、下部クラッド層１６上に積層される活性層（発光層）１７と、活性層１７の上方に積層される上部クラッド層１８と、上部クラッド層１８の上方に形成される電極１９と、を有している。

下部クラッド層１６および上部クラッド層１８は、ｎ型およびｐ型の半導体によりそれぞれ形成されている。また、活性層１７は、量子井戸構造を有しており、導波路の一部を構成している。したがって、活性層１７で発せられる光は、活性層１７の長軸方向に沿って伝搬し、端面から出射されるようになっている。

下部クラッド層１６、活性層１７および上部クラッド層１８は、発光素子１２の一部を構成している。また、発光素子１２は、ＬＤなどにより構成されている。

なお、本発明は、以上述べてきた層構成に限定されるものではなく、発光層を有する発光素子ウェハであれば適用可能である。

共通端子１３は、発光素子ウェハ１に対して後述するバーンインを行う際に、各発光素子１２の共通の接地端子として機能するようになっている。

各発光素子１２は、溝２０によって区画されており、バーンインの後に、この溝２０に沿って分離されることにより、ＬＤチップなどの発光素子チップが形成される。溝２０は、塩素系ガスを用いたドライエッチングなど、当業者に周知の技術によって形成されるようになっている。

溝２０の出射方向の長さは、バーンインが行われる際に、１つの発光素子１２から出射される出射光が、出射方向に隣り合う発光素子１２に照射されることにより、隣り合う発光素子１２の端面が劣化したり、電流特性が変化することにより、各発光素子１２が正常にバーンインできなくなることを防ぐよう、所定の長さＬよりも長くなるよう定められている。

ここで、所定の長さＬは、以下のように求められる。各発光素子１２からの出射光は、おおよそガウシアン分布で表され、このビームはＬＤ固有の広がり角により拡散される。そのため、出射光の強度が高いほど長さＬを長くする必要があり、また、広がり角が小さい場合も長さＬにより拡散される割合が小さくなるため長さＬを長くする必要がある。

このビームの半径ｒ以内に包含される強度Ｐ（ｒ）は、以下のように算出される。

Ｐ（ｒ）＝Ｐ（∞）・［１−ｅｘｐ（−２ｒ^２／ω_０ ^２）］ （１）
ここで、Ｐ（∞）はビームの全出力である。また、ω_０は、ガウシアンビーム半径であり、以下のように表される。

ω_０＝Ｌ・ｔａｎ（θ／（２・ｌｎ２））^０．５ （２）
算出例を図４に示す。たとえば、本実施の形態においては、広がり角が１８°、出射光のパワーが３００ｍＷ、また、ｒとして活性層１７の幅５０μｍを用いると、所定の長さＬとしては、９０μｍ以上あればよい。

以上のように構成された発光素子ウェハ１に対して、バーンインにより不良発光素子の識別が行われるようになっている。

図５は、バーンインに用いられるプローブの模式図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。

バーンイン方法においては、まず、発光素子ウェハ１を図示しない炉に入れて、所定の温度まで加熱する。所定の温度としては、不良の発光素子の劣化が促進されるよう、たとえば１２０℃程度に設定される。

次に、各発光素子１２に電流を与えるための複数のプローブ２１をそれぞれの発光素子１２の電極１９に接触させる。このとき、グランドとしての共通端子１３にも図示しないプローブを接触させるようにする。

各々のプローブ２１は、プローブカード２３に固定されており、プローブカード２３は、図示しない位置調整部により移動可能に保持されている。

プローブカード２３には、各プローブ２１に検査電流を供給するための図示しない電源が接続されている。また、プローブ２１と電源との間には、各プローブ２１から各発光素子１２に検査電流が供給された際に、各発光素子１２の電流特性をモニタするための図示しないモニタ手段が接続されている。モニタ手段は、検査電流が供給されたそれぞれの発光素子１２の電流特性が正常であるか否かを判断するようになっている。

なお、モニタ手段は、検査電流の供給前後の生死特性のみをモニタしてもよい。さらに、ここでは検査電流を供給するだけにとどめ、良否判定は、検査電流の供給前後の特性変動を別途手段で見て判断してもよい。

また、モニタ手段は、ＲＡＭ(Random Access Memory)などのメモリを有しており、複数の発光素子１２のうちの何れの電流特性が正常でないと判断されたのかをメモリに記憶するようになっている。したがって、各発光素子１２が発光素子ウェハ１から切り出される際に、何れの発光素子１２が不良であるのかを識別できるようになっている。

このようなバーンイン方法により、電流特性に異常がないと判断された発光素子１２は、溝２０に沿って切り出された後に、端面がコーティングされ、電極端子の取り付けやパッケージングなどが行われ、単体のＬＤチップとして出荷されるようになっている。

以上のように、本実施形態における発光素子ウェハ１においては、出射方向に隣り合う各発光素子１２を隔てる溝２０が、所定の長さＬより長くなるよう定められているので、バーンインの際に各発光素子１２に検査電流を同時に流した場合においても、出射方向に隣り合う発光素子１２に照射される出射光が十分減衰され、結果として、隣り合う発光素子１２の端面が劣化したり、電流特性が変化することにより、各発光素子１２の電流特性が正常に測定できなくなることを防ぐことができる。したがって、複数の発光素子１２が活性層１７の長軸方向に配列された発光素子ウェハ１に対して、バーンインにより各発光素子１２の不良品を正しく識別することが可能となる。

また、バーンインの際の各発光素子１２の電流特性に基づいて不良の発光素子１２を識別できるので、発光素子ウェハ１上に各発光素子１２の出射光をモニタするための受光素子を積層する必要がない。したがって、１枚の発光素子ウェハ上に形成される発光素子１２の数を大幅に増やすことが可能になるとともに、簡易な構成で各発光素子１２の不良品を識別できるので、１枚の発光素子ウェハから切り出される発光素子チップのコストを大幅に下げることが可能となる。

（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係る発光素子ウェハを、図６乃至図９を用いて説明する。

図６は、本実施形態に係る発光素子ウェハ３１の拡大断面図である。

なお、発光素子ウェハ３１を構成する基板１１、複数の発光素子１２および共通端子１３は、本発明の第１の実施形態の発光素子ウェハ１を構成する基板１１、発光素子１２および共通端子１３とそれぞれ同一の構成であり、その説明を省略する。

複数の発光素子１２は、第１の実施形態の複数の発光素子１２と同様に、少なくとも出射方向において配列されており、各発光素子１２は、溝２０により区画されている。

この発光素子ウェハ３１に対してバーンインを行うと、第１の実施形態における発光素子ウェハ１のバーンインと同様、各発光素子１２は検査電流によって発光し、活性層１７の長軸方向に出射するようになっている。

したがって、溝２０には、各発光素子１２から出射される出射光を吸収するための障壁３５が形成されており、バーンインの際に各発光素子１２から出射される出射光が隣り合う発光素子に照射され、照射された発光素子１２の端面が劣化したり、電流特性が変化することにより、各発光素子１２の電流特性が正確に測定できなくなることを防ぐようになっている。

障壁３５は、溝２０を形成する際に、障壁３５が必要とされる部分に対してエッチングを行わないことにより形成する。具体的には、基板１１上に積層された下部クラッド層１６、活性層１７および上部クラッド層１８において、各発光素子１２として使用する領域と領域との間に、エッチングにより溝２０を形成するが、この際、領域と領域との間の一部が障壁３５を形成するようエッチングが行われる。

このように形成された発光素子ウェハ３１に対しても、第１の実施形態に係る発光素子ウェハ１と同様のバーンインが行われることにより、不良の発光素子１２を識別するようになっている。また、電流特性に異常がないと判断された発光素子１２は、溝２０に沿って切り出された後に、端面がエッチングされ、電極端子の取り付けやパッケージングなどが行われ、単体のＬＤチップとして出荷されるようになっている。

以上のように、本実施形態に係る発光素子ウェハ３１は、出射方向に隣り合う発光素子１２を隔てる溝２０を形成する際に、エッチングされない部分を残すことにより障壁３５を形成するようになっているので、バーンインの際に各発光素子１２に検査電流を同時に流した場合においても、出射方向に隣り合う発光素子１２に照射される出射光が十分減衰され、結果として、隣り合う発光素子１２の端面が劣化したり、電流特性が変化することにより、各発光素子１２の電流特性が正常に測定できなくなることを防ぐことができ、発光素子ウェハ３１に積層されている状態において、各発光素子１２の不良品を正しく把握することが可能となる。

なお、以上の説明においては、溝２０を形成する際に、エッチングされない部分を残すことにより障壁３５を形成する場合について説明した。しかしながら、以下に説明するように、エッチングにより溝２０を形成した後に障壁を設置するようにしてもよい。

まず、第１のその他の例として、図７に示すように、溝２０に光の吸収体３６を設置するようにする。光の吸収体３６は、たとえば板体の表面にＮｉＰ（ニッケル・リン）合金をメッキしてなるなど、少なくとも発光素子１２から出射される光の波長帯域に対して減衰性を有する材料により形成されており、たとえば接着等により基板１１に固定されている。なお、光の吸収体３６を、出射される光の波長帯域に対して減衰性が低い材料により形成し、この物体をＡＲ(Anti Reflection)コートによりコーティングするようにしてもよい。この場合、バーンインの際に熱により変形しない材料により物体を形成すると好適である。また、ＡＲコートは、物体の表面全体にコーティングされていてもよいし、各発光素子１２からの出射光が照射される部分およびその周辺のみにコーティングされるようにしてもよい。

また、第２のその他の例として、図８に示すように、凸型吸収体３７を溝２０にそれぞれ隙間３８を有して挿入して設置するようにしてもよい。凸型吸収体３７は、上記第１のその他の例と同様に、少なくとも発光素子１２から出射される光の波長帯域に対して減衰性を有する材料、あるいはＡＲコーティングされた物体により形成されている。

なお、上記の例では、複数の凸型吸収体がそれぞれの溝に嵌め込まれる場合について説明したが、１つあるいは複数の吸収体に複数の凸部が形成されるようにしてもよい。この場合、吸収体の凸部が溝に嵌め込まれた状態で、各発光素子１２と各プローブ２１とが接触可能となるよう、吸収体における各々の発光素子１２の電極１９の上部にプローブ２１を貫通させるための開口部を設けるようにする。

また、第３のその他の例として、図９に示すように、溝の少なくとも一部を覆う障壁部４１を発光素子ウェハ３１に設置する。障壁部４１は、たとえばシリコンウェハにより形成されており、内側に光の吸収体４３を有している。光の吸収体４３は、障壁部４１の下面に装着されており、隙間４５を有して発光素子ウェハ３１に設置されるようになっている。障壁部４１が発光素子ウェハ３１に設置されると、光の吸収体４３が出射光の光路を遮断することにより、バーンインの際に各発光素子１２から出射される光が隣り合う発光素子１２を照射することを妨げるようになっている。

上記の第１乃至第３のその他の例に係る発光素子ウェハ３１においても、出射方向に隣り合う発光素子１２を隔てる溝２０に障壁を設置するようになっているので、バーンインの際に各発光素子１２に検査電流を同時に流した場合においても、出射方向に隣り合う発光素子１２に照射される出射光が十分減衰され、結果として、隣り合う発光素子１２の端面が劣化したり、電流特性が変化することにより、各発光素子１２の電流特性が正常に測定できなくなることを防ぐことができ、発光素子ウェハ３１に積層されている状態において、各発光素子１２の不良品を正しく把握することが可能となる。

また、バーンインが行われた発光素子ウェハ３１においては、不良の発光素子１２が識別されているので、溝２０に沿って各発光素子１２を切り出した後、良品の発光素子１２のみに対して端面がエッチングされ、電極端子の取り付けやパッケージングなどが行われ、単体の発光素子チップとして出荷されるようになっている。したがって、不良の発光素子１２を用いて、コストがかかる発光素子チップの製作が行われることを防止できるので、発光素子チップの製作コストを下げることが可能となる。

（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係る発光素子ウェハを、図１０および図１１を用いて説明する。

なお、第３の実施形態に係る発光素子ウェハ５１を構成する、基板１１、複数の発光素子１２および共通端子１３は、本発明の第１の実施形態の発光素子ウェハ１を構成する基板１１、発光素子１２および共通端子１３とそれぞれ同一の構成であり、その説明を省略する。

各発光素子１２は、第１の実施形態の発光素子ウェハ１に形成された発光素子１２と同様に、少なくとも出射方向において配列されており、各発光素子１２は、溝２０により区画されている。

ここで、溝２０には、各発光素子１２から出射される出射光を反射するための反射部５３が形成されており、バーンインの際に各発光素子１２から出射される出射光が隣り合う発光素子１２に照射され、照射された発光素子１２の端面が劣化したり、電流特性が変化することにより、各発光素子１２の電流特性が正確に測定できなくなることを防ぐようになっている。

反射部５３の表面は、各発光素子１２から出射される出射光に対して所定の角度を有するよう形成されており、たとえば、反射部５３の表面で反射された出射光は、発光素子ウェハ５１の厚さ方向に伝搬し、溝２０の開口から外部に出射されるようになっている。

反射部５３の表面は、ＨＲ（High Reflection）コートあるいは金属膜によってコーティングされている。

さらに、発光素子ウェハ５１は、図１１に示すように、各々の溝２０の上部にＰＤなどの受光素子５７を設置するようにしてもよい。この場合、受光素子５７により検出された出射光の強度が、予め定められた閾値より大きいか否かを比較し、比較の結果閾値よりも小さい場合には、この出射光を出射した発光素子１２が不良であると判定するための図示しない判定手段を受光素子５７に接続するようにする。

判定手段は、ＲＡＭ(Random Access Memory)などのメモリを有しており、複数の発光素子１２のうちの何れの電流特性が正常でないと判断されたのかをメモリに記憶するようになっている。したがって、各発光素子１２が発光素子ウェハ５１から切り出される際に、何れの発光素子１２が不良であるのかを識別できるようになっている。

したがって、受光素子５７を設置した場合には、各発光素子１２が不良であるか否かを、モニタ手段が電流特性に基づいて判断するのみではなく、判定手段が発光素子１２から出射される出射光の強度に基づいて判断するようになっている。なお、モニタ手段と判定手段とは、図示しない主制御手段と接続されるようにし、主制御手段が不良の発光素子の識別情報を一元管理するようにすると、主制御手段が発光素子ウェハ５１から発光素子１２を切り出す制御を実行する際に好適となる。

また、受光素子５７を設置した場合には、反射部５３の表面のうち、一方の発光素子１２の出射面と対向する表面５４には、ＨＲコートでコーティングを行い、他方の発光素子１２の出射面と対向する表面５５には、ＡＲコートでコーティングを行うようにする。これにより、それぞれの溝２０の開口から外部に出射される出射光は、隣り合う発光素子１２のうちの何れか一方のみからの出射光となるため、受光素子５７により出射光強度を測定した結果、強度が所定の値を超えていない場合には、隣り合う２つの発光素子１２のうち何れの発光素子１２が不良であるかを識別することが可能となる。

なお、図１１には、反射部５３によって出射光を直角に反射する場合を示しているが、これに限られず、出射光が反射部５３によってある特定の角度で反射されるようにしてもよい。この場合、受光素子５７も、反射された出射光の光路上に位置するように固定する。

さらに、発光素子ウェハ５１は、出射光強度の測定対象となる発光素子１２と、受光素子５７との間にレンズ５９を設置するようにしてもよい。

この場合、溝２０の開口から外部に出射される出射光のスポットサイズを小さくできるので、受光素子５７の受光部の面積を小型化できる。

なお、以上の説明においては、反射部５３の表面が、ＨＲ（High Reflection）コートあるいは金属膜によってコーティングされている場合について説明をした。しかしながら、反射部５３の表面が、出射光を乱反射するように形成されていてもよい。この場合、反射部５３の表面に複数の微小な凹凸を形成する等、表面状態が粗になるようにする。

このように形成された発光素子ウェハ５１に対しても、第１の実施形態に係る発光素子ウェハ１と同様のバーンインが行われることにより、不良の発光素子１２を識別するようになっている。また、電流特性および出射光の強度に異常がないと判断された発光素子１２は、溝２０に沿って切り出された後に、端面がエッチングされ、電極端子の取り付けやパッケージングなどが行われ、単体のＬＤチップとして出荷されるようになっている。

このような本実施形態の発光素子ウェハ５１によれば、出射方向に隣り合う発光素子１２を隔てる溝２０に、光反射性を有する反射部５３を設置するようになっているので、バーンインの際に各発光素子１２に検査電流を同時に流した場合においても、各発光素子１２からの出射光が、出射方向に隣り合う発光素子１２に照射されることを防止でき、結果として、隣り合う発光素子１２の端面が劣化したり、電流特性が変化することにより、各発光素子１２の電流特性が正常に測定できなくなることを防ぐことができ、発光素子ウェハ５１に積層されている状態において、各発光素子１２の不良品を正しく把握することが可能となる。

また、バーンインにより各発光素子１２の不良品を識別する際に、発光素子ウェハ５１の上部に受光素子５７を設置するようにするので、発光素子ウェハ５１に各発光素子１２の出射光をモニタするための受光素子を積層により形成する必要がない。したがって、１枚の発光素子ウェハ５１上に形成される発光素子１２の数を大幅に増やすことが可能になるとともに、簡易な構成で各発光素子１２の不良品を識別できるので、１枚の発光素子ウェハ５１から切り出される発光素子チップのコストを大幅に下げることが可能となる。

また、バーンインの際に電流特性のみならず出射光の強度をモニタする場合には、不良の発光素子１２をより正確に識別できる。

以上のように、本発明に係る発光素子ウェハは、各発光素子からの出射光に影響されずにバーンインできるので、不良の発光素子の選別を正確に実施できるという効果を有し、発光素子チップの製造において有効である。

本発明の第１の実施形態に係る発光素子ウェハを模式的に示す上面図 図１のＡにおける拡大図であり、（ａ）は発光素子の拡大上面図、（ｂ）は発光素子の拡大断面図 本発明の第１の実施形態に係る発光素子ウェハの拡大断面図 発光素子間の長さの算出例を示すグラフ バーンインに用いられるプローブの模式図 本発明の第２の実施形態に係る発光素子ウェハの拡大断面図 本発明の第２の実施形態の第１のその他の例に係る発光素子ウェハの拡大断面図 本発明の第２の実施形態の第２のその他の例に係る発光素子ウェハの拡大断面図 本発明の第２の実施形態の第３のその他の例に係る発光素子ウェハの拡大断面図 本発明の第３の実施形態に係る発光素子ウェハの拡大断面図 本発明の第３の実施形態に係る発光素子ウェハの拡大断面図

符号の説明

１ 発光素子ウェハ
１１ 基板
１２ 発光素子
１３ 共通端子
１６ 下部クラッド層
１７ 活性層（発光層）
１８ 上部クラッド層
１９ 電極
２０ 溝
２１ プローブ
２３ プローブカード
３１ 発光素子ウェハ
３５ 障壁
３６ 光の吸収体
３７ 凸型吸収体
４１ 障壁部
４３ 光の吸収体
４５ 隙間
５１ 発光素子ウェハ
５３ 反射部
５４ 表面
５５ 表面
５７ 受光素子
５９ レンズ

Claims (11)

1. 基板と、前記基板に形成された複数の発光素子および共通端子と、を有する発光素子ウェハにおいて、
   前記複数の発光素子は、少なくとも発光層を具備し、
   前記複数の発光素子は、少なくとも前記発光層の長軸方向に配列され、かつ、互いに溝により区画されており、
   前記溝の前記長軸方向の長さが、前記発光素子からの出射光によって隣接する前記発光素子に影響を及ぼさない所定値以上であることを特徴とする発光素子ウェハ。
2. 基板と、前記基板に形成された複数の発光素子および共通端子と、を有する発光素子ウェハにおいて、
   前記複数の発光素子は、少なくとも発光層を具備し、
   前記複数の発光素子は、少なくとも前記発光層の長軸方向に配列され、かつ、互いに溝により区画されており、
   前記発光層の長軸方向に配列された前記複数の発光素子にて、前記発光素子から出射される出射光の光路上に、前記出射光を吸収する障壁が設けられていることを特徴とする発光素子ウェハ。
3. 前記障壁が、前記溝をエッチングにより形成する際に残存させた部位により形成されることを特徴とする請求項２に記載の発光素子ウェハ。
4. 基板と、基板の上方に形成された複数の発光素子および共通端子と、を有する発光素子ウェハにおいて、
   前記複数の発光素子は、少なくとも発光層を具備し、
   前記複数の発光素子は、少なくとも前記発光層の長軸方向に配列されており、
   前記発光層の長軸方向に配列された前記複数の発光素子のうちの隣り合う二つの発光素子の間において、前記発光素子から出射される出射光の光路上に、前記出射光を反射させる反射部が形成されていることを特徴とする発光素子ウェハ。
5. 前記反射部の表面が、高反射率を有する反射材でコーティングされていることを特徴とする請求項４に記載の発光素子ウェハ。
6. 前記反射部の表面が、金属膜でコーティングされていることを特徴とする請求項４に記載の発光素子ウェハ。
7. 前記反射部が、前記出射光を乱反射させることを特徴とする請求項４に記載の発光素子ウェハ。
8. 請求項１乃至７に記載の発光素子ウェハを所定の温度に加熱し、
   前記複数の発光素子のそれぞれの前記発光層の上方に設けられた電極と前記共通端子との間に所定の電流を所定の時間流し、前記複数の発光素子が電流特性に基づいて正常であるか否かを判断するバーンイン方法。
9. 請求項１乃至７に記載の発光素子ウェハに形成された複数の発光素子をそれぞれ分離して形成した発光素子チップ。
10. 請求項８に記載のバーンイン方法によって不良品でないと判断され、前記発光素子ウェハから分離して形成された発光素子チップ。
11. 基板上に、少なくとも発光層および電極を具備し互いの間に溝を有する複数の発光素子と、前記複数の発光素子の共通の接地端子として機能する共通端子とを形成して発光素子ウェハを形成する段階と、
    前記溝に、前記発光素子からの出射光が隣接する前記発光素子に影響を与えないように当該出射光を遮るあるいは吸収する障壁を挿入する段階と、
    前記発光素子ウェハを所定温度に加熱する段階と、
    前記複数の発光素子のそれぞれの前記電極と前記共通端子との間に所定の電流を所定の時間流す段階と、
    前記それぞれの発光素子をその電流特性に基づいて正常であるか否かを判断する選別段階と、
    前記選別段階で正常であると判断された発光素子を前記発光素子ウェハから分離して発光素子チップとする段階とを含むことを特徴とする発光素子チップの製造方法。

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