JP4812704B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
1 スピンチャック(保持手段)
3 磁性流体シール部材
4 スライド用シール部材
10 処理容器
11 下部容器体
12 開口部
13 蓋体
14,15 シリンダ(移動機構)
22 Oリング
25 排気管路
27 主排気管路
28 オートダンパ(開度調整可能な弁)
30 排気機構
40 ガス供給ノズル(ガス供給手段)
40A 補助ガス供給ノズル(補助ガス供給手段)
41 レジストノズル(塗布液供給ノズル)
42 シンナーノズル(溶剤供給ノズル)
43 揺動体
44 ノズル切換モータ
50 圧力センサ(圧力検出手段)
51 ガス濃度センサ(ガス濃度検出手段)
60 制御部
V1 流量調整可能な開閉弁
Claims (5)
- 空気より動粘性係数の高いガスの雰囲気中で、回転する被処理基板に塗布液を吐出し、塗布液中の溶剤を蒸発させて被処理基板の表面に塗布膜を形成する基板処理装置であって、
被処理基板の表面を下向きにして回転可能に保持する保持手段と、
上記保持手段によって保持された被処理基板を収容する開閉可能な処理容器と、
上記保持手段によって保持された被処理基板の表面に向かって塗布液を吐出する塗布液供給ノズルと、
上記保持手段によって保持された被処理基板の表面に向かって塗布液の溶剤を吐出する溶剤供給ノズルと、
上記保持手段によって保持された被処理基板の表面に向かって空気より比重の小さいヘリウム(He)ガスを供給するガス供給手段と、を具備することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置において、
上記処理容器は、保持手段によって保持された被処理基板の外側及び下側を包囲する上部が開口した下部容器体と、上記保持手段に気水密に装着され、かつ、上記下部容器体の開口部を気水密に閉塞する蓋体とを具備し、上記下部容器体と蓋体を相対的に接離移動する移動機構を具備する、ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1又は2記載の基板処理装置において、
上記ガス供給手段は、保持手段によって保持された被処理基板の表面における中心部の直下に位置するガス供給ノズルによって形成され、このガス供給ノズルは、同心円上に塗布液供給ノズルと溶剤供給ノズルを設けた切換移動可能な揺動体に設けられている、ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の基板処理装置において、
上記処理容器の上部に、保持手段によって保持された被処理基板の裏面側にガスを供給する補助ガス供給手段を更に具備する、ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の基板処理装置において、
上記処理容器の下部に接続する排気管路に開度調整可能な弁を介設した排気機構と、
上記処理容器内の圧力を検出する圧力センサと、
上記処理容器内のガスの濃度を検出するガス濃度センサと、
上記圧力センサ及びガス濃度センサからの検出信号が伝達され、その検出信号に基づいて上記処理容器内の圧力及びガス濃度を調整すべく上記排気機構の弁に制御信号を伝達する制御手段と、を具備することを特徴とする基板処理装置。
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