JP4804106B2 - 多重ドメイン薄膜トランジスタ表示板 - Google Patents
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Description
垂直配向モード液晶表示装置で広視野角を実現するための手段としては、電界生成電極に切開部を形成する方法や電界生成電極上に突起を形成する方法などがある。切開部や突起によって液晶分子の傾斜方向を決定することができるので、これらを使用して液晶分子の傾斜方向を多方向に分散させることによって、広視野角を実現することができる。
また、データ線とこれと隣接した信号線との間では寄生容量が形成されるが、データ線を中心に両側に形成される寄生容量が異なると、同一な電圧を印加しても、データ線を中心に両側に位置する画素電極に伝達される電圧が異なるようになる。これによって、画像が表示される時に染みが発生して、結果的に表示特性が低下する。
本発明の他の技術的課題は、染みを防止することができる、薄膜トランジスタ表示板を提供することにある。
より詳細に、本発明の実施例による薄膜トランジスタ表示板は、絶縁基板、絶縁基板上に形成されているゲート線、ゲート線と分離されている容量性補助電極、ゲート線と絶縁されて交差しているデータ線、各々のゲート線及びデータ線と連結されていて、ドレイン電極を有する薄膜トランジスタ、容量性補助電極と重畳して容量性補助電極の上部に位置する容量性結合電極、ドレイン電極及び容量性結合電極を連結して、データ線を中心に両側に対称的に配置されている連結部、そしてドレイン電極と連結されている第1画素電極及び容量性補助電極と連結されている第2画素電極を有する画素電極を含む。
また、ドレイン電極及び容量性結合電極を連結する連結部をデータ線を中心に両側に配置して、データ線を中心に発生する寄生容量を対称にして互いに補償させる。これにより、画像が表示される時に寄生容量の偏差によって発生する染みを防止することができ、表示特性を向上させることができる。
本願第3発明は、第2発明において、ドレイン電極と重畳する維持電極を有する維持電極線をさらに含む。
本願第4発明は、第3発明において、第1画素電極は少なくとも二つの部分に分割されていて、ドレイン電極は、ゲート線と平行な画素電極の中心線に対して対称構造をなして二つの部分と連結されている拡張部を有するのが好ましい。このように容量性結合電極及びドレイン電極を連結する連結部を多重に配置することによって、連結部のうちの一部で断線が発生しても、容量性結合電極とドレイン電極との間では断線が発生しない。
本願第6発明は、第5発明において、連結部は中心線に対して対称構造をなしているのが好ましい。
本願第7発明は、第4発明において、画素電極は中心線に対して対称構造をなしているのが好ましい。
また、層間の導電膜を連結する接触孔を不透明膜の開口部内に配置することによって、段差によって液晶分子の配向歪曲で発生する光漏れを遮断しながら、画素の開口率が低下するのを防止することができる。
本願第10発明は、第1発明において、画素電極と絶縁されていて、ゲート線またはデータ線と少なくとも一部分が重畳している遮蔽電極をさらに含む。
本願第11発明は、第10発明において、画素電極及び遮蔽電極は、互いに同一な層に形成されるのが好ましい。
本願第13発明は、第12発明において、遮蔽電極はデータ線を完全に覆うのが好ましい。
本願第14発明は、第1発明において、画素電極はドメイン分割手段を有する。
図面では、各層及び領域を明確に表現するために、厚さを拡大して示した。明細書全体にわたって類似した部分については、同一な図面符号を付けた。層、膜、領域、板などの部分が他の部分の“上”にあるとする時、これは他の部分の“直上”にある場合だけでなく、その中間に他の部分がある場合も意味する。反対に、ある部分が他の部分の“直上”にあるとする時、これは中間に他の部分がない場合を意味する。
まず、図1乃至図5を参照して、本発明の一実施例による液晶表示装置について詳細に説明する。
図1は本発明の一実施例による液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板の構造を示した配置図であり、図2は本発明の一実施例による液晶表示装置用共通電極表示板の構造を示した配置図であり、図3は図1の薄膜トランジスタ表示板及び図2の薄膜トランジスタ表示板を含む液晶表示装置の構造を示した配置図であり、図4は図3の液晶表示装置をIV-IV´線に沿って切断した断面図であり、図5は本発明の実施例による液晶表示装置における一つの画素の構成を示した回路図である。
まず、図1、図3及び図4を参照して、薄膜トランジスタ表示板100について詳細に説明する。
絶縁基板110上に複数のゲート線121、複数の維持電極線131a1、131a2、及び複数の容量性補助電極136が形成されている。
各々の維持電極線131a1、131a2は、主に横方向に延在していて、互いに隣接するゲート線121の間で各々対に配置されている。各々の維持電極線131a1、131a2は、互いに隣接するゲート線121付近に位置していて、維持電極137a1、137a2をなす複数の突出部を各々有する。二つの維持電極137a1、137a2は、隣接するゲート線121の方向に向かって拡張、つまり維持電極線131a1、131a2が図中上下方向に拡張されている。二つの維持電極線131a1、131a2は、互いに隣接するゲート線121の中心線に対して対称構造をなしている。維持電極線131(維持電極線131a1、131a2)には、液晶表示装置の共通電極表示板200の共通電極270に印加される共通電圧などの所定の電圧が印加される。
ゲート線121、維持電極線131a1、131a2、及び容量性補助電極136は、アルミニウム系金属、銀系金属、銅系金属、モリブデン系金属、クロム、チタニウム、タンタルなどからなるのが好ましく、単一膜構造や多層膜構造からなることができる。多層膜構造は、例えば物理的性質が異なる二つの導電膜、つまり下部膜及びその上の上部膜を含むことができる。一つの導電膜は、信号遅延や電圧降下を減少させることができるように、低い比抵抗の金属、例えばアルミニウム(Al)やアルミニウム合金などのアルミニウム系金属、銀(Ag)や銀合金などの銀系金属、銅(Cu)や銅合金などの銅系金属からなることができる。これとは異なって、他の導電膜は、他の物質、特にITO(indium tin oxide)及びIZO(indium zinc oxide)との接触特性が優れている物質、例えばクロム、モリブデン(Mo)、モリブデン合金、タンタル(Ta)、またはチタニウム(Ti)などからなることができる。二つの導電膜の好ましい例としては、クロム/アルミニウム−ネオジム(Nd)合金、またはモリブデンまたはモリブデン合金/アルミニウム合金がある。
ゲート線121、維持電極線131a1、131a2、及び容量性補助電極136上には、窒化ケイ素(SiNx)などからなるゲート絶縁膜140が形成されている。
島型半導体154及び抵抗性接触部材163、165の側面も基板110の表面に対して傾いていて、その傾斜角は30-80゜であるのが好ましい。
データ線171は、図1中主に縦方向に延在してゲート線121及び維持電極線131a1、131a2と交差して、データ電圧を伝達する。各データ線171は、他の層または外部装置との接続のために面積が広い端部179を有している。
ドレイン電極175は、ドレイン電極175の二つの拡張部177a1、177a2及び容量性結合電極176を互いに連結して、両側の互いに隣接するデータ線171に隣接して平行な連結部178a1、178a2、178a3、178a4を有する。したがって、ドレイン電極175、容量性結合電極176、容量性補助電極136は互いに隣接するゲート線121の中心線に対して対称構造をなし、連結部178a1、178a2、178a3、178a4はデータ線171を中心に両側に同一に配置されてデータ線171に対して対称構造をなしている。このように、本発明のように、データ線171の両側で連結部178a1、178a2、178a3、178a4が対称的に配置されていると、データ線171と連結部178a1、178a2、178a3、178a4との間で発生する寄生容量がデータ線171を中心に同一になる。これによって、画像が表示される時に寄生容量の偏差によって発生する染みを防止することができ、表示特性を向上させることができる。
ドレイン電極175の連結部178a1、178a2、178a3、178a4がゲート線121及びデータ線171で囲まれた領域でデータ線171と平行な辺の最外郭周縁に配置されているので、画像が表示される透過領域を減少させず、透過領域の周縁で発生するテクスチャーを遮断する機能をする。連結部178a1、178a2、178a3、178a4は、テクスチャーと重畳するように配置するために、データ線171の境界から42μm以内に位置するのが好ましい。
抵抗性接触部材163、165は、その下部の半導体154とその上部のデータ線171及びドレイン電極175との間にだけ位置して、接触抵抗を低くする役割を果たす。島型半導体154は、ソース電極173とドレイン電極175との間をはじめとして、データ線171及びドレイン電極175で覆われずに露出された部分を有している。
画素電極190及び共通電極270はキャパシタ(以下、“液晶キャパシタ(liquid crystal capacitor)”とする)を構成して、薄膜トランジスタがターンオフされた後にも印加された電圧を維持するが、電圧維持能力を強化するために、液晶キャパシタと並列に連結された他のキャパシタを形成することができ、これをストレージキャパシタ(storage capacator)という。ストレージキャパシタは、画素電極190及び維持電極線131a1、131a2の重畳などで構成され、ストレージキャパシタの静電容量、つまり保持容量を増加させるために、維持電極線131a1、131a2に維持電極137a1、137a2を形成して画素電極190に連結されたドレイン電極175を延長及び拡張させて重畳させることによって、端子の間の距離を短くして重畳面積を大きくする。
画素電極190は、中央切開部91、92、下部切開部93a、94a、95a、及び上部切開部93b、94b、95bを有し、画素電極190は、これら切開部91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bによって複数の領域に分割される。切開部91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bは容量性結合電極176の横中心線a−a’または互いに隣接するゲート線121の間の中心線a−a’に対してほぼ対称構造をなしている。そして、第1画素電極190aの二つの部分及び第2画素電極190bは、対向する二つの切開部93a、93bを通じて分離されている。
接触補助部材81、82は、接触孔181、182を通じてゲート線121の端部129及びデータ線171の端部179と各々連結される。接触補助部材81、82は、ゲート線121の露出された端部129及びデータ線171の露出された端部179と外部装置との接着性を補完して、これらを保護する役割を果たす。接触補助部材81、82は、異方性導電膜(図示せず)などを通じて外部装置と連結される。
また、画素電極190及び遮蔽電極88の短絡を防止するために、これらの間に距離をおかなければならないので、画素電極190がデータ線171からさらに遠くなり、これらの間の寄生容量が減少する。さらに、液晶層3の誘電率が保護膜180の誘電率より高いため、データ線171と遮蔽電極88との間の寄生容量は、遮蔽電極88がない時のデータ線171と共通電極270との間の寄生容量に比べて小さい。
次に、図2乃至図4を参照して、共通電極表示板200について説明する。
透明なガラスなどからなる絶縁基板210上に遮光部材220が形成されており、遮光部材220は、画素電極190と対向して、画素電極190とほぼ同一な形状からなる複数の開口部を有している。これとは異なって、遮光部材220は、データ線171に対応する部分及び薄膜トランジスタに対応する部分からなることもできる。
色フィルター230上には蓋膜250が形成されている。
共通電極270は、複数組の切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76bの集合を有する。
一組の切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76bは、一つの画素電極190と対向して、中央切開部71、72、73、下部切開部74a、75a、76a、及び上部切開部74b、75b、76bを有する。切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76bの各々は、隣接した画素電極190の切開部91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bの間または周縁切開部95a、95bと画素電極190の斜辺との間に配置されている。また、各切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76bは、画素電極190の切開部91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bと平行に延在している少なくとも一つの斜線部を有する。
表示板100、200の内側面には垂直配向膜11、21が各々塗布されていて、外側側面には偏光板12、22が形成されている。
配向膜11、21は水平配向膜であることができる。
液晶層3は陰の誘電率異方性を有し、液晶層3の液晶分子310は電界が生成されない状態でその長軸が二つの表示板の表面に対して垂直をなすように配向されている。したがって、入射光は直交偏光子12、22を通過できずに遮断される。
また、共通電極270及び遮蔽電極88に同一な共通電圧が印加されるので、両者には電界がほとんど生成されない。したがって、共通電極270と遮蔽電極88との間に位置した液晶分子310は、初期の垂直配向状態をそのまま維持するので、この部分に入射された光は透過されずに遮断される。
少なくとも一つの切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76b、91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bは、突起(図示せず)や陥没部(図示せず)に代替することができる。突起は有機物または無機物からなることができ、電界生成電極190、270上または下に配置されて、その幅は約5μm乃至約10μmであるのが好ましい。
Vb=Va×[Ccp/(Ccp+Clcb+Cstb)]
であり、Ccp/(Ccp+Clcb+Cstb)は常に1より大きくないため、VbはVaに比べて常に小さい。この時、Clca及びClcbに対する共通電極270の電圧、及びCsta及びCstbに対する維持電極線131の電圧が変化することがあるが、このような場合にも、Clca及びClcbに印加される共通電極270の電圧が同一なので、Clcaに印加される画像信号電圧(Va)の絶対値は常にClcbに印加される画像信号電圧(Vb)の絶対値より大きい。このように、一つの画素内に電圧が異なる二つの画素電極を配置すれば、液晶分子は互いに異なる電圧で駆動されて、互いに異なる傾斜角(tiltangle)で傾いて、これによって側面視認性を向上させることができる。
画像信号が直接伝達される第1画素電極190aに対して高いか低い画素電圧が伝達される第2画素電極190bの面積比は1:0.85〜1:1.15の範囲であるのが好ましく、第1画素電極190aと容量性結合する第2画素電極190bは二つ以上配置することができる。
クロム、モリブデンまたはモリブデン合金、アルミニウム系金属、または銀系金属などからなる導電膜を絶縁基板110上にスパッタリング蒸着して湿式または乾式エッチングして、複数のゲート電極124及び端部129を有するゲート線121、複数の維持電極133を有する対の維持電極線131a1、131a2、容量性補助電極136を形成する。
次に、データ線171及びドレイン電極175で覆われずに露出された不純物半導体部分を除去することによって、複数の島型抵抗性接触部材163、165を形成する一方で、その下の真性半導体154部分を露出させる。露出された真性半導体154部分の表面を安定化させるために、引き続き酸素プラズマを行うのが好ましい。
多層膜のうちの上部のアルミニウム導電膜が接触孔181、182、185a1、185a2、186を通じて露出される時、ゲート絶縁膜140の露出された部分を除去してその下に位置するゲート線121の端部129及び容量性補助電極136部分を露出させた後、アルミニウムを含む上部膜を除去する工程を追加することができる。
図6は本発明の他の実施例による液晶表示装置の配置図であり、図7は図6の液晶表示装置のVIII-VIII´線による断面図である。
図6及び図7を参照すれば、本実施例による液晶表示装置も、薄膜トランジスタ表示板100、共通電極表示板200、これら二つの表示板100、200の間に挿入されている液晶層3、二つの表示板100、200の外側面に付着されている一対の偏光子12、22を含む。
薄膜トランジスタ表示板100について説明すると、ゲート電極124を有する複数のゲート線121、維持電極137a1、137a2を各々有する複数の維持電極線131a1、131a2、及び容量性補助電極136が基板110上に形成されており、その上にゲート絶縁膜140、半導体154、及び抵抗性接触部材163、165が順次に形成されている。ソース電極173を有する複数のデータ線171、複数のドレイン電極175、二つの拡張部177a1、177a2、及び複数の容量性結合電極176がゲート絶縁膜140上に形成されており、保護膜180がその上に形成されていて、保護膜180及びゲート絶縁膜140には複数の接触孔181、182、185a1、185a2、186が形成されている。保護膜180上には複数の画素電極190、複数の遮蔽電極88、及び複数の接触補助部材81、82が形成されており、その上には配向膜11が塗布されている。
図1乃至図4の液晶表示装置とは異なって、半導体154は、データ線171及びドレイン電極175の下部まで延在している線状半導体151の突出部であり、島型抵抗性接触部材165に対向する抵抗性接触部材163も、線状抵抗性接触部材161の突出部である。この時、線状半導体151は、データ線171、ドレイン電極175、二つの拡張部177a1、177a2、及びその下の抵抗性接触部材161、165とほぼ同一な形状からなる。しかし、線状半導体151のうちの突出部154は、ソース電極173とドレイン電極175との間の部分のようにデータ線171及びドレイン電極175で覆われない部分を有し、線状半導体151及び島型抵抗性接触部材165は同一な形状で容量性結合電極176の下部まで延在している。
このような薄膜トランジスタを本発明の一実施例によって製造する方法では、データ線171、ドレイン電極175、及び容量性結合電極176と半導体151及び抵抗性接触部材161、165とを一回の写真工程で形成する。
位置によって感光膜パターンの厚さを異ならせる方法は多様であるが、例えば光マスクに透明領域及び遮光領域以外に半透明領域を形成する方法がある。半透明領域に、はスリットパターン、格子パターン、または透過率が中間であるか厚さが中間である薄膜が形成される。スリットパターンを使用する時には、スリットの幅やスリットの間の間隔が写真工程に使用する露光器の分解能より小さいのが好ましい。他の例としては、リフローが可能な感光膜を使用する方法がある。つまり、透明領域及び遮光領域だけが形成された通常の露光マスクでリフロー可能な感光膜パターンを形成した後で、リフローさせて感光膜が残留しない領域に流れるようにすることによって、薄い部分を形成するのである。
本発明の他の実施例による液晶表示装置について、図8を参照して詳細に説明する。
図8は図3のIV-IV´線によって切断した本発明の他の実施例による液晶表示装置の構造を示す断面図である。
本実施例による表示板100、200の層状構造は、図1乃至図4とほぼ同一である。
薄膜トランジスタ表示板100について説明すると、ゲート電極124を有する複数のゲート線121、維持電極137a1、137a2を各々有する複数の維持電極線131a1、131a2、及び容量性補助電極136が基板110上に形成されており、その上にゲート絶縁膜140、複数の島型半導体154、複数の島型抵抗性接触部材163、165が順次に形成されている。ソース電極173を有する複数のデータ線171、ドレイン電極175の二つの拡張部177a1、177a2、及び複数の容量性結合電極176がゲート絶縁膜140及び抵抗性接触部材163、165上に形成されており、保護膜180がその上に形成されていて、保護膜180及びゲート絶縁膜140には複数の接触孔181、182、185a1、185a2、186が形成されている。保護膜180上には、第1及び第2画素電極190a、190bを有する複数の画素電極190、遮蔽電極88、及び複数の接触補助部材81、82が形成されており、その上には配向膜11が塗布されている。
図1乃至図5の液晶表示装置とは異なって、保護膜180上には色フィルター230が形成されていて、その代わりに共通電極表示板200に色フィルターが形成されず、蓋膜250も省略することができる。各色フィルター230は、赤色、緑色、青色など三原色を表示して、隣接する二つのデータ線171の間の領域内に大部分が位置している。隣接する二つのデータ線171の間に縦方向に配置されている色フィルター230は、互いに連結されて帯を構成することができる。色フィルター230は、ドレイン電極175の二つの拡張部177a1、177a2を露出する接触孔185a1、185a2上に位置する複数の開口部を有していて、ゲート線121の拡張部129及びデータ線171の拡張部179が形成されている周辺領域には配置されていない。また、隣接する色フィルター230は、データ線171上で互いに重畳して画素電極190の間の光漏れを遮断し、この場合、画素電極190の周囲の遮光部材220部分を省略することができる。この場合、遮蔽電極88が色フィルター230の境界線を覆うのが好ましい。色フィルター230の重畳部の段差を減少させるために、重畳部で色フィルター230の高さが小さくなるようにすることができ、このためには、色フィルター230をパターニングする時に使用する光マスクにスリット領域または反透過領域を形成して、これを重畳部に対応させることができる。しかし、隣接した色フィルター230が互いに分離されていたり、その境界が互いに一致することもできる。
以上のように、本発明によれば、画素電極を分割して互いに異なる電圧を印加することによって、液晶表示装置の側面視認性を向上させて、これによって視野角を拡張することができ、複数のドメイン及び薄膜を対称的に配置することによって、均一な視認性を確保することができる。
また、層間の導電膜を連結する接触孔を不透明膜の開口部内に配置することによって、段差によって液晶分子の配向歪曲で発生する光漏れを遮断しながら、画素の開口率が低下するのを防止することができる。
また、画素電極と同一な層に遮蔽電極を形成することによって、画素の間で発生する光漏れを遮断して、スティッチ不良が発生するのを防止して、液晶表示装置の表示特性を向上させることができる。
12、22 偏光板
81、82 接触補助部材
100、200 表示板
110、210 絶縁基板
121 ゲート線
124 ゲート電極
131a1、131a2 維持電極線
137a1、137a2 維持電極
136 容量性補助電極
140 ゲート絶縁膜
151、154 半導体
161、163、165 抵抗性接触部材
171、179 データ線
173 ソース電極
175 ドレイン電極
176 容量性結合電極
180 保護膜
181、182、185a1、185a2、186 接触孔
190 画素電極
220 遮光部材
250 蓋膜
270 共通電極
91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95b 画素電極の切開部
71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76b 共通電極の切開部
3 液晶層
310 液晶分子
Claims (15)
- 絶縁基板、
前記絶縁基板上に形成されているゲート線、
前記ゲート線と分離されている容量性補助電極、
前記ゲート線と絶縁されて交差しているデータ線、
各々の前記ゲート線及び前記データ線と連結されていて、ドレイン電極を有する薄膜トランジスタ、
前記容量性補助電極と重畳して前記容量性補助電極の上部に位置する容量性結合電極、
前記ドレイン電極及び前記容量性結合電極を連結して、前記データ線を中心に両側に対称的に配置されている連結部、そして
前記ドレイン電極と連結されている第1画素電極及び前記容量性補助電極と連結されている第2画素電極を有する画素電極を含むことを特徴とする、薄膜トランジスタ表示板。 - 前記連結部は、前記データ線の境界線から42μm以内に位置することを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記ドレイン電極と重畳する維持電極を有する維持電極線をさらに含むことを特徴とする、請求項2に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記第1画素電極は少なくとも二つの部分に分割されていて、
前記ドレイン電極は、前記ゲート線と平行な前記画素電極の中心線に対して対称構造をなして前記二つの部分と各々連結されている拡張部を有することを特徴とする、請求項3に記載の薄膜トランジスタ表示板。 - 前記維持電極線は対に構成され、前記維持電極は、前記拡張部と各々重畳していて、前記中心線に対して対称構造をなしていることを特徴とする、請求項4に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記連結部は前記中心線に対して対称構造をなしていることを特徴とする、請求項5に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記画素電極は前記中心線に対して対称構造をなしている、請求項4に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記容量性結合電極は開口部を有し、前記第2画素電極及び前記容量性補助電極は、前記開口部を通じて連結されていることを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記容量性補助電極または前記容量性結合電極は、前記ゲート線と平行な前記画素電極の中心線に対して対称構造をなしていることを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記画素電極と絶縁されていて、前記ゲート線または前記データ線と少なくとも一部分が重畳している遮蔽電極をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記画素電極及び前記遮蔽電極は、互いに同一な層に形成されていることを特徴とする、請求項10に記載の薄膜トランジスタ表示板
- 前記遮蔽電極は、前記ゲート線または前記データ線に沿って延在していることを特徴とする、請求項11に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記遮蔽電極は前記データ線を完全に覆うことを特徴とする、請求項12に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記画素電極はドメイン分割手段を有することを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
- 前記ドメイン分割手段は、前記ゲート線に対して45゜の角度をなすことを特徴とする、請求項14に記載の薄膜トランジスタ表示板。
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