JP2006126837A - 多重ドメイン薄膜トランジスタ表示板 - Google Patents

多重ドメイン薄膜トランジスタ表示板 Download PDF

Info

Publication number
JP2006126837A
JP2006126837A JP2005309944A JP2005309944A JP2006126837A JP 2006126837 A JP2006126837 A JP 2006126837A JP 2005309944 A JP2005309944 A JP 2005309944A JP 2005309944 A JP2005309944 A JP 2005309944A JP 2006126837 A JP2006126837 A JP 2006126837A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
film transistor
thin film
pixel electrode
transistor array
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005309944A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4804106B2 (ja
Inventor
Chang-Hun Lee
昶 勳 李
Hyun-Wuk Kim
賢 ▲ウック▼ 金
Bikei Tei
美 惠 鄭
Kyong-Ju Shin
▲キョン▼ 周 申
Hak Sun Chang
學 ▲スン▼ 倉
Yoon-Sung Um
允 成 嚴
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electronics Co Ltd filed Critical Samsung Electronics Co Ltd
Publication of JP2006126837A publication Critical patent/JP2006126837A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4804106B2 publication Critical patent/JP4804106B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136213Storage capacitors associated with the pixel electrode
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1343Electrodes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1343Electrodes
    • G02F1/134309Electrodes characterised by their geometrical arrangement
    • G02F1/134345Subdivided pixels, e.g. for grey scale or redundancy
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/137Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells characterised by the electro-optical or magneto-optical effect, e.g. field-induced phase transition, orientation effect, guest-host interaction or dynamic scattering
    • G02F1/139Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells characterised by the electro-optical or magneto-optical effect, e.g. field-induced phase transition, orientation effect, guest-host interaction or dynamic scattering based on orientation effects in which the liquid crystal remains transparent
    • G02F1/1393Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells characterised by the electro-optical or magneto-optical effect, e.g. field-induced phase transition, orientation effect, guest-host interaction or dynamic scattering based on orientation effects in which the liquid crystal remains transparent the birefringence of the liquid crystal being electrically controlled, e.g. ECB-, DAP-, HAN-, PI-LC cells

Abstract

【課題】本発明は、視認性を安定的に確保することができ、染みを防止することができる、薄膜トランジスタ表示板を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の実施例による薄膜トランジスタ表示板は、絶縁基板、絶縁基板上に形成されているゲート線、ゲート線と分離されている容量性補助電極、ゲート線と絶縁されて交差しているデータ線、各々のゲート線及びデータ線と連結されていて、ドレイン電極を有する薄膜トランジスタ、容量性補助電極と重畳して容量性補助電極の上部に位置する容量性結合電極、ドレイン電極及び容量性結合電極を連結して、データ線を中心に両側に対称的に配置されている連結部、そしてドレイン電極と連結されている第1画素電極及び容量性補助電極と連結されている第2画素電極を有する画素電極を含む。
【選択図】図1

Description

本発明は薄膜トランジスタ表示板に関し、より詳しくは、画素が多重ドメインに分割されている液晶表示装置に使用される、薄膜トランジスタ表示板に関する。
液晶表示装置は、現在最も広く使用されている平板表示装置のうちの一つであって、画素電極や共通電極などの電界生成電極が形成されている二枚の表示板と、その間に挿入されている液晶層とからなる。電界生成電極に電圧を印加して液晶層に電界を生成して、これによって液晶層の液晶分子の配向を決定して入射光の偏光を制御することによって、映像を表示する。
その中でも、電界が生成されない状態で液晶分子の長軸が上下表示板に対して垂直に配向された垂直配向モード液晶表示装置は、コントラスト比が大きくて広視野角の実現が容易であるために脚光を浴びている。
垂直配向モード液晶表示装置で広視野角を実現するための手段としては、電界生成電極に切開部を形成する方法や電界生成電極上に突起を形成する方法などがある。切開部や突起によって液晶分子の傾斜方向を決定することができるので、これらを使用して液晶分子の傾斜方向を多方向に分散させることによって、広視野角を実現することができる。
しかし、垂直配向モード液晶表示装置は、前面視認性に比べて側面視認性が低い問題点がある。
また、データ線とこれと隣接した信号線との間では寄生容量が形成されるが、データ線を中心に両側に形成される寄生容量が異なると、同一な電圧を印加しても、データ線を中心に両側に位置する画素電極に伝達される電圧が異なるようになる。これによって、画像が表示される時に染みが発生して、結果的に表示特性が低下する。
本発明の技術的課題は、視認性を安定的に確保することができる、薄膜トランジスタ表示板を提供することにある。
本発明の他の技術的課題は、染みを防止することができる、薄膜トランジスタ表示板を提供することにある。
このような課題を解決するために、本願第1発明では、画素電極を少なくとも二つ以上のサブ画素電極に分割して、サブ画素電極に互いに異なる電圧が印加されるようにする。この時、データ線と隣接するように配置されて寄生容量を形成する信号線は、対称的に配置されている。
より詳細に、本発明の実施例による薄膜トランジスタ表示板は、絶縁基板、絶縁基板上に形成されているゲート線、ゲート線と分離されている容量性補助電極、ゲート線と絶縁されて交差しているデータ線、各々のゲート線及びデータ線と連結されていて、ドレイン電極を有する薄膜トランジスタ、容量性補助電極と重畳して容量性補助電極の上部に位置する容量性結合電極、ドレイン電極及び容量性結合電極を連結して、データ線を中心に両側に対称的に配置されている連結部、そしてドレイン電極と連結されている第1画素電極及び容量性補助電極と連結されている第2画素電極を有する画素電極を含む。
以上のように、本発明によれば、画素電極を分割して互いに異なる電圧を印加することによって、液晶表示装置の側面視認性を向上させて、これによって視野角を拡張することができ、複数のドメイン及び薄膜を対称的に配置することによって、均一な視認性を確保することができる。
また、ドレイン電極及び容量性結合電極を連結する連結部をデータ線を中心に両側に配置して、データ線を中心に発生する寄生容量を対称にして互いに補償させる。これにより、画像が表示される時に寄生容量の偏差によって発生する染みを防止することができ、表示特性を向上させることができる。
本願第2発明は、第1発明において、連結部は、データ線の境界線から42μm以内に位置するのが好ましい。
本願第3発明は、第2発明において、ドレイン電極と重畳する維持電極を有する維持電極線をさらに含む。
本願第4発明は、第3発明において、第1画素電極は少なくとも二つの部分に分割されていて、ドレイン電極は、ゲート線と平行な画素電極の中心線に対して対称構造をなして二つの部分と連結されている拡張部を有するのが好ましい。このように容量性結合電極及びドレイン電極を連結する連結部を多重に配置することによって、連結部のうちの一部で断線が発生しても、容量性結合電極とドレイン電極との間では断線が発生しない。
本願第5発明は、第4発明において、維持電極線は対に構成され、維持電極は、拡張部と各々重畳していて、中心線に対して対称構造をなしているのが好ましい。
本願第6発明は、第5発明において、連結部は中心線に対して対称構造をなしているのが好ましい。
本願第7発明は、第4発明において、画素電極は中心線に対して対称構造をなしているのが好ましい。
本願第8発明は、第1発明において、容量性結合電極は開口部を有し、第2画素電極及び容量性補助電極は、開口部を通じて連結されているのが好ましい。
また、層間の導電膜を連結する接触孔を不透明膜の開口部内に配置することによって、段差によって液晶分子の配向歪曲で発生する光漏れを遮断しながら、画素の開口率が低下するのを防止することができる。
本願第9発明は、第1発明において、容量性補助電極または容量性結合電極は、前記ゲート線と平行な画素電極の中心線に対して対称構造をなしているのが好ましい。
本願第10発明は、第1発明において、画素電極と絶縁されていて、ゲート線またはデータ線と少なくとも一部分が重畳している遮蔽電極をさらに含む。
本願第11発明は、第10発明において、画素電極及び遮蔽電極は、互いに同一な層に形成されるのが好ましい。
本願第12発明は、第11発明において、遮蔽電極はゲート線またはデータ線に沿って延在している。
本願第13発明は、第12発明において、遮蔽電極はデータ線を完全に覆うのが好ましい。
本願第14発明は、第1発明において、画素電極はドメイン分割手段を有する。
本願第15発明は、第14発明において、ドメイン分割手段は、ゲート線に対して45゜の角度をなすのが好ましい。
本発明の液晶表示装置によれば、視認性を安定的に確保することができる。
添付した図面を参照して、本発明の実施例について、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳細に説明する。しかし、本発明は多様な相異した形態で実現でき、ここで説明する実施例に限定されない。
図面では、各層及び領域を明確に表現するために、厚さを拡大して示した。明細書全体にわたって類似した部分については、同一な図面符号を付けた。層、膜、領域、板などの部分が他の部分の“上”にあるとする時、これは他の部分の“直上”にある場合だけでなく、その中間に他の部分がある場合も意味する。反対に、ある部分が他の部分の“直上”にあるとする時、これは中間に他の部分がない場合を意味する。
それでは、添付した図面を参照して、本発明の実施例による薄膜トランジスタ表示板及びこれを含む液晶表示装置について説明する。
まず、図1乃至図5を参照して、本発明の一実施例による液晶表示装置について詳細に説明する。
図1は本発明の一実施例による液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板の構造を示した配置図であり、図2は本発明の一実施例による液晶表示装置用共通電極表示板の構造を示した配置図であり、図3は図1の薄膜トランジスタ表示板及び図2の薄膜トランジスタ表示板を含む液晶表示装置の構造を示した配置図であり、図4は図3の液晶表示装置をIV-IV´線に沿って切断した断面図であり、図5は本発明の実施例による液晶表示装置における一つの画素の構成を示した回路図である。
本実施例による液晶表示装置も、薄膜トランジスタ表示板100、共通電極表示板200、これら二つの表示板100、200の間に挿入されている液晶層3を含む。
まず、図1、図3及び図4を参照して、薄膜トランジスタ表示板100について詳細に説明する。
絶縁基板110上に複数のゲート線121、複数の維持電極線131a1、131a2、及び複数の容量性補助電極136が形成されている。
ゲート線121は、複数本が互いに分離されて図1中、主に横方向に延在していて、ゲート信号を伝達する。各ゲート線121は、複数のゲート電極124をなす複数の突出部、及び他の層または外部装置との接続のために面積が広い端部129を有する。
各々の維持電極線131a1、131a2は、主に横方向に延在していて、互いに隣接するゲート線121の間で各々対に配置されている。各々の維持電極線131a1、131a2は、互いに隣接するゲート線121付近に位置していて、維持電極137a1、137a2をなす複数の突出部を各々有する。二つの維持電極137a1、137a2は、隣接するゲート線121の方向に向かって拡張、つまり維持電極線131a1、131a2が図中上下方向に拡張されている。二つの維持電極線131a1、131a2は、互いに隣接するゲート線121の中心線に対して対称構造をなしている。維持電極線131(維持電極線131a1、131a2)には、液晶表示装置の共通電極表示板200の共通電極270に印加される共通電圧などの所定の電圧が印加される。
各々の容量性補助電極136は、主に横方向に延在して長方形をなしていて、互いに隣接する二つのゲート線121の間の中央に位置して互いに分離されている。各々の容量性補助電極136は、左側はゲート線121に対して45゜の角度で傾いた斜辺を有してじょうご型からなることもできる。
ゲート線121、維持電極線131a1、131a2、及び容量性補助電極136は、アルミニウム系金属、銀系金属、銅系金属、モリブデン系金属、クロム、チタニウム、タンタルなどからなるのが好ましく、単一膜構造や多層膜構造からなることができる。多層膜構造は、例えば物理的性質が異なる二つの導電膜、つまり下部膜及びその上の上部膜を含むことができる。一つの導電膜は、信号遅延や電圧降下を減少させることができるように、低い比抵抗の金属、例えばアルミニウム(Al)やアルミニウム合金などのアルミニウム系金属、銀(Ag)や銀合金などの銀系金属、銅(Cu)や銅合金などの銅系金属からなることができる。これとは異なって、他の導電膜は、他の物質、特にITO(indium tin oxide)及びIZO(indium zinc oxide)との接触特性が優れている物質、例えばクロム、モリブデン(Mo)、モリブデン合金、タンタル(Ta)、またはチタニウム(Ti)などからなることができる。二つの導電膜の好ましい例としては、クロム/アルミニウム−ネオジム(Nd)合金、またはモリブデンまたはモリブデン合金/アルミニウム合金がある。
また、ゲート線121、維持電極線131a1、131a2、及び容量性補助電極136の側面は基板110の表面に対して傾いていて、その傾斜角は約30-80゜であるのが好ましい。このように側面が傾斜しているとその上部の膜を平坦化し易く、また上部の配線の断線を防止することができる。
ゲート線121、維持電極線131a1、131a2、及び容量性補助電極136上には、窒化ケイ素(SiNx)などからなるゲート絶縁膜140が形成されている。
ゲート絶縁膜140の上部には、水素化非晶質シリコン(非晶質シリコンは略称でa-Siという)などからなる複数の島型半導体154が形成されている。各々の島型半導体154は、主にゲート電極124の上部に位置して、後にデータ線171が通過するゲート線121の上部まで拡張されている。島型半導体154と同一な層でデータ線171が通過する維持電極線131の上部にも、バッファー層が追加されることができる。
半導体154の上部には、シリサイドまたはリンなどのn型不純物が高濃度にドーピングされているn+水素化非晶質シリコンなどの物質からなる複数の島型抵抗性接触部材163、165が形成されている。二つの島型抵抗性接触部材163、165は対をなして半導体154上に配置されているので、ゲート電極124を中心に互いに対向する。
島型半導体154及び抵抗性接触部材163、165の側面も基板110の表面に対して傾いていて、その傾斜角は30-80゜であるのが好ましい。
抵抗接触部材163、165及びゲート絶縁膜140上には、各々複数のデータ線171、これから分離されている複数のドレイン電極175、及びドレイン電極175に連結されている容量性結合電極176が形成されている。
データ線171は、図1中主に縦方向に延在してゲート線121及び維持電極線131a1、131a2と交差して、データ電圧を伝達する。各データ線171は、他の層または外部装置との接続のために面積が広い端部179を有している。
各々のドレイン電極175は、ゲート線121及びデータ線171で囲まれた領域の上部及び下部に位置して各々の維持電極137a1、137a2と各々重畳する長方形の拡張部177a1、177a2を有する。ドレイン電極175の各々の拡張部177a1、177a2の辺は維持電極137a1、137a2の辺と実質的に平行で、互いに隣接するゲート線121の中心線に対して対称構造をなしている。ドレイン電極175と拡張部177a1及び177a2とは、後述の連結線178a1〜178a4により電気的に接続されている。
データ線171の各々は複数の突出部を有し、この突出部は、半導体154の上部に位置するドレイン電極175の一端部の一部を囲むソース電極173をなす。一つのゲート電極124、一つのソース電極173、及び一つのドレイン電極175は、半導体154と共に一つの薄膜トランジスタ(thin film transistor、TFT)をなし、薄膜トランジスタのチャンネルは、ソース電極173とドレイン電極175との間の半導体154に形成される。
容量性結合電極176は、ゲート線121及びデータ線171で囲まれた領域の中央に位置して容量性補助電極136と重畳して、容量性補助電極136の辺と平行な辺を有する。容量性結合電極176は、境界線内で容量性補助電極136の上部に位置する開口部176Hを有する。
ドレイン電極175は、ドレイン電極175の二つの拡張部177a1、177a2及び容量性結合電極176を互いに連結して、両側の互いに隣接するデータ線171に隣接して平行な連結部178a1、178a2、178a3、178a4を有する。したがって、ドレイン電極175、容量性結合電極176、容量性補助電極136は互いに隣接するゲート線121の中心線に対して対称構造をなし、連結部178a1、178a2、178a3、178a4はデータ線171を中心に両側に同一に配置されてデータ線171に対して対称構造をなしている。このように、本発明のように、データ線171の両側で連結部178a1、178a2、178a3、178a4が対称的に配置されていると、データ線171と連結部178a1、178a2、178a3、178a4との間で発生する寄生容量がデータ線171を中心に同一になる。これによって、画像が表示される時に寄生容量の偏差によって発生する染みを防止することができ、表示特性を向上させることができる。
また、容量性結合電極176及びドレイン電極175を連結する連結部178a1、178a2、178a3、178a4を多重に配置することによって、連結部178a1、178a2、178a3、178a4のうちの一部で断線が発生しても、容量性結合電極176とドレイン電極175との間では断線が発生しない。
ドレイン電極175の連結部178a1、178a2、178a3、178a4がゲート線121及びデータ線171で囲まれた領域でデータ線171と平行な辺の最外郭周縁に配置されているので、画像が表示される透過領域を減少させず、透過領域の周縁で発生するテクスチャーを遮断する機能をする。連結部178a1、178a2、178a3、178a4は、テクスチャーと重畳するように配置するために、データ線171の境界から42μm以内に位置するのが好ましい。
データ線171、ドレイン電極175、及び容量性結合電極176も、クロムまたはモリブデン系金属、タンタル、及びチタニウムなど耐火性金属を含むのが好ましく、単一膜構造からなったり、またはモリブデン、モリブデン合金、クロムなどの導電膜(図示せず)及びその上部または下部に位置したアルミニウム系金属の導電膜(図示せず)を含む多層膜構造からなることができる。
データ線171、容量性結合電極176、及びドレイン電極175の二つの拡張部177a1、177a2も、ゲート線121及び維持電極線131a1、131a2と同様に、その側面が約30-80゜の角度で各々傾いている。
抵抗性接触部材163、165は、その下部の半導体154とその上部のデータ線171及びドレイン電極175との間にだけ位置して、接触抵抗を低くする役割を果たす。島型半導体154は、ソース電極173とドレイン電極175との間をはじめとして、データ線171及びドレイン電極175で覆われずに露出された部分を有している。
データ線171、ドレイン電極175、及び容量性結合電極176、そしてこれらで覆われずに露出された半導体154部分上には、保護膜180が形成されている。保護膜180は、平坦化特性が優れていて感光性がある有機物質、プラズマ化学気相蒸着(PECVD)で形成されるa−Si:C:O、a−Si:O:Fなど4.0以下の低誘電率絶縁物質、または無機物質である窒化ケイ素や酸化ケイ素などからなるのが好ましい。
保護膜180には、一対のドレイン電極175の拡張部177a1、177a2及びデータ線171の端部179を各々露出する複数の接触孔185a1、185a2及び182が形成されており、ゲート絶縁膜140と共に容量性補助電極136及びゲート線121の端部129を露出する複数の接触孔181、186が形成されている。接触孔181、182、185a1、185a2、186は多角形または円形など多様な形状からなることができる。接触孔181、182の面積は約0.5mm×15μm以上約2mm×60μm以下であるのが好ましい。接触孔181、182、185a1、185a2、186の側壁は、上部の配線との接触性を高めるために30゜乃至85゜の角度で傾いていて、階段型であるのが好ましい。
この時、容量性補助電極136を露出する接触孔186は容量性結合電極176の開口部176H内に位置する。よって、接触孔186の側壁によって発生する段差によって液晶分子の配向が歪曲されてこの部分で光漏れが発生しても、容量性結合電極176によって遮断される。したがって、画素の開口率を確保しながらディスクリネーションが発生するのを遮断することができる。容量性補助電極136を露出する接触孔186を容量性結合電極176外に配置するためには、段差によって発生する液晶分子の配向歪曲を遮断するために容量性補助電極136を拡張しなければならず、その幅は工程マージン(margin)まで考慮して広げなければならないので、画素の開口率を低下させる。
保護膜180上には、ITOまたはIZOからなる複数の第1及び第2画素電極190a(190a1、190a2)、190b、遮蔽電極88、及び複数の接触補助部材81、82が形成されている。これとは異なって、画素電極190は透明な導電性ポリマーからなることもでき、反射型液晶表示装置の場合には、画素電極190が不透明な反射性金属からなることもできる。この場合、接触補助部材81、82は、画素電極190と異なる物質、例えばITOやIZOからなることができる。
第1及び第2画素電極190a、190bを有する画素電極190は、接触孔185a1、185a2を通じてドレイン電極175の二つの拡張部177a1、177a2と物理的・電気的に連結されて、ドレイン電極175の二つの拡張部177a1、177a2からデータ電圧の印加を受ける。
画素電極190及び共通電極270はキャパシタ(以下、“液晶キャパシタ(liquid crystal capacitor)”とする)を構成して、薄膜トランジスタがターンオフされた後にも印加された電圧を維持するが、電圧維持能力を強化するために、液晶キャパシタと並列に連結された他のキャパシタを形成することができ、これをストレージキャパシタ(storage capacator)という。ストレージキャパシタは、画素電極190及び維持電極線131a1、131a2の重畳などで構成され、ストレージキャパシタの静電容量、つまり保持容量を増加させるために、維持電極線131a1、131a2に維持電極137a1、137a2を形成して画素電極190に連結されたドレイン電極175を延長及び拡張させて重畳させることによって、端子の間の距離を短くして重畳面積を大きくする。
一対の第1及び第2画素電極190a、190bは、データ線171及びゲート線121で囲まれた領域内に大部分が位置して、境界の大部分がゲート線121及びデータ線171と平行で長方形をなす。第1及び第2画素電極190a、190bは互いに分離されているので、第1画素電極190aは、互いに分離されていて、第2画素電極190bを中心に上部及び下部に位置する二つの部分サブ画素電極190a1及びサブ画素電極190a2からなる。第2画素電極190bは、第1画素電極190aの二つの部分サブ画素電極190a1及びサブ画素電極190a2の間に挟まった形状である。第1画素電極190aの二つの部分サブ画素電極190a1及びサブ画素電極190a2及び第2画素電極190bは、ゲート線121に対して±45゜の角度で傾いた辺を有していて、画素電極190は互いに隣接するゲート線121の間の中心線に対して対称構造をなしている。
第1画素電極190aの二つの部分190a1、190a2は各々接触孔185a1、185a2を通じて一対のドレイン電極の二つの拡張部177a1、177a2と物理的に連結されて、これから直接データ電圧の印加を受ける。第2画素電極190bは、接触孔186を通じて容量性補助電極136と連結されており、容量性補助電極136は、ドレイン電極175と連結された容量性結合電極176と重畳する。したがって、第2画素電極190bは第1画素電極190a(サブ画素電極190a1及びサブ画素電極190a2)に電磁気的に結合(容量性結合)されている。
各画素電極190は角が面取りされていて、面取りされた斜辺はゲート線121に対して約45°の角度をなす。
画素電極190は、中央切開部91、92、下部切開部93a、94a、95a、及び上部切開部93b、94b、95bを有し、画素電極190は、これら切開部91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bによって複数の領域に分割される。切開部91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bは容量性結合電極176の横中心線a−a’または互いに隣接するゲート線121の間の中心線a−a’に対してほぼ対称構造をなしている。そして、第1画素電極190aの二つの部分及び第2画素電極190bは、対向する二つの切開部93a、93bを通じて分離されている。
下部及び上部切開部93a、93b、94a、94b、95a、95bはほぼ画素電極190の左側辺から右側辺に向かってななめに延在している。そして、下部93a、94a、95a、上部切開部93b、94b、95bは画素電極190を横方向に二等分する中心線a−a’で分割される下半面及び上半面に各々位置している。下部及び上部切開部93a、93b、94a、94b、95a、95bは、ゲート線121に対して約45°の角度をなして互いに垂直に延在していて、中央切開部91、92は、下部切開部93a、94a、95a及び上部切開部93b、94b、95bに各々ほぼ平行な一対の分枝からなる。中央切開部91、92は中央から横方向に延在した横部を有する。
したがって、画素電極190の上半面及び下半面は、切開部91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bによって各々六個の領域に分割されて、このような領域は、画素電極190を上下に分割する二等分線または互いに隣接するゲート線121の間の中心線a−a’に対して対称構造をなしている。また、ドレイン電極の二つの拡張部177a1、177a2、維持電極線131a1、131a2、容量用結合電極176、及び容量用補助電極136などのような薄膜で覆われない領域も、画素電極190を上下に分割する二等分線または互いに隣接するゲート線121の間の中心線に対して対称構造をなしている。この時、領域の数または切開部の数は、画素の大きさ、画素電極の横辺及び縦辺の長さ比、液晶層3の種類や特性など、設計要素によって異なる。
画素電極190は、隣接するゲート線121またはデータ線171と重畳して開口率を高めている。
接触補助部材81、82は、接触孔181、182を通じてゲート線121の端部129及びデータ線171の端部179と各々連結される。接触補助部材81、82は、ゲート線121の露出された端部129及びデータ線171の露出された端部179と外部装置との接着性を補完して、これらを保護する役割を果たす。接触補助部材81、82は、異方性導電膜(図示せず)などを通じて外部装置と連結される。
ゲート駆動回路が薄膜トランジスタ表示板100に集積される場合には、接触補助部材81はゲート駆動回路の金属層及びゲート線121を連結する役割を果たすことができる。同様に、データ駆動回路が薄膜トランジスタ表示板100に集積される場合には、接触補助部材82はデータ駆動回路の金属層及びデータ線171を連結する役割を果たすことができる。
遮蔽電極88は、データ線171及びゲート線121に沿って延在していて、データ線171の上部に位置する部分はデータ線171を完全に覆い、ゲート線121の上部に位置する部分はゲート線121の幅より幅が小さくてゲート線121の境界線内に位置する。しかし、その幅を調節してデータ線171より小さくすることもでき、ゲート線121の境界線外に位置する境界線を有することもできる。遮蔽電極88には共通電圧が印加されるが、このために、保護膜180及びゲート絶縁膜140の接触孔(図示せず)を通じて維持電極線131に連結されたり、共通電圧を薄膜トランジスタ表示板100から共通電極表示板200に伝達する短絡点(図示せず)に連結されることもできる。この時、開口率の減少が最少になるように、遮蔽電極88と画素電極190との間の距離を最少にするのが好ましい。
このように、共通電圧が印加される遮蔽電極88をデータ線171の上部に配置すれば、データ線171と画素電極190との間及びデータ線171と共通電極270との間で形成される電界を遮蔽電極88が遮断する。これにより、画素電極190の電圧歪曲及びデータ線171が伝達するデータ電圧の信号遅延が減少する。
また、画素電極190及び遮蔽電極88の短絡を防止するために、これらの間に距離をおかなければならないので、画素電極190がデータ線171からさらに遠くなり、これらの間の寄生容量が減少する。さらに、液晶層3の誘電率が保護膜180の誘電率より高いため、データ線171と遮蔽電極88との間の寄生容量は、遮蔽電極88がない時のデータ線171と共通電極270との間の寄生容量に比べて小さい。
それだけでなく、画素電極190及び遮蔽電極88が同一な層に形成されるため、これらの間の距離が一定に維持されて、それによってこれらの間の寄生容量も一定である。
次に、図2乃至図4を参照して、共通電極表示板200について説明する。
透明なガラスなどからなる絶縁基板210上に遮光部材220が形成されており、遮光部材220は、画素電極190と対向して、画素電極190とほぼ同一な形状からなる複数の開口部を有している。これとは異なって、遮光部材220は、データ線171に対応する部分及び薄膜トランジスタに対応する部分からなることもできる。
基板210上には、また、複数の色フィルター230が形成されていて、遮光部材230で囲まれた領域内に大部分が位置する。色フィルター230は、画素電極190に沿って縦方向に長く延在することができる。色フィルター230は、赤色、緑色、及び青色などの原色のうちの一つを表示することができる。
色フィルター230上には蓋膜250が形成されている。
蓋膜250上には、ITO、IZOなどの透明な導電体などからなる共通電極270が形成されている。
共通電極270は、複数組の切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76bの集合を有する。
一組の切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76bは、一つの画素電極190と対向して、中央切開部71、72、73、下部切開部74a、75a、76a、及び上部切開部74b、75b、76bを有する。切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76bの各々は、隣接した画素電極190の切開部91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bの間または周縁切開部95a、95bと画素電極190の斜辺との間に配置されている。また、各切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76bは、画素電極190の切開部91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bと平行に延在している少なくとも一つの斜線部を有する。
下部及び上部切開部74a、74b、75a、75b、76a、76bの各々は、ほぼ画素電極190の右側辺から下側辺または上側辺に向かって延在した斜線部、そして斜線部の各端部から画素電極190の辺に沿って辺と重畳しながら延在して斜線部と鈍角をなす横部及び縦部を有する。例えば、下部切開部75aは、斜線部75a1、横部75a3及び縦部75a2を有する。
中央切開部71、72、73は、ほぼ画素電極190の左側辺から横部に延在した中央横部、この中央横部の端部から中央横部と斜角をなして画素電極190の左側辺に向かって延在した一対の斜線部、そして斜線部の各端部から画素電極190の左側辺に沿って左側辺と重畳しながら延在して斜線部と鈍角をなす縦断縦部を有する。例えば、中央切開部72は、中央横部72a1、一対の斜線部72a2、72a3、縦断縦部72a4、72a5を有する。
切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76bの数は、設計要素によって異なり、遮光部材220が切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76bと重畳して切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76b付近の光漏れを遮断することができる。
表示板100、200の内側面には垂直配向膜11、21が各々塗布されていて、外側側面には偏光板12、22が形成されている。
二つの偏光板12、22の透過軸は直交して、このうちの一つの透過軸はゲート線121に対して平行である。反射型液晶表示装置の場合には、二つの偏光板12、22のうちの一つを省略することができる。
配向膜11、21は水平配向膜であることができる。
液晶層3は陰の誘電率異方性を有し、液晶層3の液晶分子310は電界が生成されない状態でその長軸が二つの表示板の表面に対して垂直をなすように配向されている。したがって、入射光は直交偏光子12、22を通過できずに遮断される。
表示板100、200と偏光子12、22との間には、各々液晶層3の遅延値を補償するための位相遅延フィルム(retardation film)が位置することができる。位相遅延フィルムは複屈折性(birefringce)を有して、液晶層3の複屈折性を逆に補償する役割を果たす。遅延フィルムとしては、一軸性または二軸性光学フィルムを使用することができ、特に陰性(negative)一軸性光学フィルムを使用することができる。
液晶表示装置は、また、偏光子12、22、位相遅延フィルム、表示板100、200、及び液晶層3に光を供給する照明部を含むことができる。
また、共通電極270及び遮蔽電極88に同一な共通電圧が印加されるので、両者には電界がほとんど生成されない。したがって、共通電極270と遮蔽電極88との間に位置した液晶分子310は、初期の垂直配向状態をそのまま維持するので、この部分に入射された光は透過されずに遮断される。
一方、液晶分子310の傾斜方向と偏光子12、22の透過軸とが45°の角度をなせば最高輝度を得ることができるが、本実施例の場合、上述の通り、全てのドメインで液晶分子310の傾斜方向がゲート線121と45゜の角度をなして、ゲート線121は表示板100、200の周縁と垂直または水平である。従って、本実施例の場合、偏光子12、22の透過軸を表示板100、200の周縁に対して垂直または平行になるように付着すれば、最高輝度を得ることができるだけでなく、偏光子12、22を安価で製造することができる。
共通電極270に共通電圧を印加して画素電極190にデータ電圧を印加すれば、表示板の表面にほぼ垂直な主電界(primary electric field)が生成される。液晶分子310は、電界に応答してその長軸が電界の方向に対して垂直になるように方向を変更しようとする。一方、共通電極270の切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76b、画素電極190の91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95b及び画素電極190の辺は、主電界を歪曲して液晶分子の傾斜方向を決定する水平成分を形成する。主電界の水平成分は、切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76b、91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bの辺及び画素電極190の辺に垂直である。また、共通電極270の切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76bと、画素電極190の切開部91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bとの対向する二つの辺での主電界の水平成分は互いに反対方向である。
このような電界を通じて、切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76b、91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bは液晶層3の液晶分子が傾く方向を制御する。各ドメインは、互いに隣接する切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76b、91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bによって定義されたり、切開部76a、76bと画素電極190の右側斜辺とによって定義される。これらの各ドメイン内にある液晶分子は、切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76b、91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bの長さ方向に対して垂直をなす方向に傾く。各ドメインの最も長い2つの辺はほぼ平行であり、ゲート線121と約±45°の角度をなして、ドメイン内で液晶分子の大部分は4方向に傾く。このように、液晶分子が様々な方向に傾くことにより、視野角を拡張したり、視認性を確保することができる。
切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76b、91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bの幅は約9μm乃至約12μmであるのが好ましい。
少なくとも一つの切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76b、91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bは、突起(図示せず)や陥没部(図示せず)に代替することができる。突起は有機物または無機物からなることができ、電界生成電極190、270上または下に配置されて、その幅は約5μm乃至約10μmであるのが好ましい。
画素電極190の切開部91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bの境界からこれと隣接した切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76bの境界までの間隔と、画素電極190の境界からこれと隣接した共通電極270の切開部76a、76bの境界までの間隔とは、約12μm乃至約20μmであるのが好ましく、約17μmから約19μmの範囲であるのがより好ましい。このような範囲に間隔を決定したところ、開口率は減少したが、液晶の応答速度が速くなって、必要な透過率を確保することができた。
このような本発明の実施例による液晶表示装置では、前記のように第2画素電極190bが第1画素電極190aに電磁気的に結合(容量性結合)されている。図5を参照して説明すれば、第1画素電極190aの二つの部分はドレイン電極の二つの拡張部177a1、177a2を通じて薄膜トランジスタ(Q)に直接連結されて、薄膜トランジスタ(Q)を通じてデータ線171を通じて伝達される画像信号電圧の印加を受けるのに対して、第2画素電極190bの電圧は、第1画素電極190aとの容量性結合に変化する。よって、本実施例で、第2画素電極190bの電圧は第1画素電極190aの電圧に比べて絶対値が常に低くなる。その理由を具体的に説明する。
図5で、Clcaは第1画素電極190aと共通電極270との間で形成される液晶容量を示し、Cstaは第1画素電極190aと維持電極線131との間で形成される保持容量を示す。Clcbは第2画素電極190bと共通電極270との間で形成される液晶容量を示し、Cstbは第2画素電極190bと維持電極線131との間で形成される保持容量を示し、Ccpは第2画素電極190bと第1画素電極190aとの間で形成される結合容量を示す。
共通電極270電圧に対する第1画素電極190aの電圧をVaとし、第2画素電極190bの電圧をVbとすれば、電圧法則によって、
Vb=Va×[Ccp/(Ccp+Clcb+Cstb)]
であり、Ccp/(Ccp+Clcb+Cstb)は常に1より大きくないため、VbはVaに比べて常に小さい。この時、Clca及びClcbに対する共通電極270の電圧、及びCsta及びCstbに対する維持電極線131の電圧が変化することがあるが、このような場合にも、Clca及びClcbに印加される共通電極270の電圧が同一なので、Clcaに印加される画像信号電圧(Va)の絶対値は常にClcbに印加される画像信号電圧(Vb)の絶対値より大きい。このように、一つの画素内に電圧が異なる二つの画素電極を配置すれば、液晶分子は互いに異なる電圧で駆動されて、互いに異なる傾斜角(tiltangle)で傾いて、これによって側面視認性を向上させることができる。
また、本発明の実施例による液晶表示装置において、容量性補助電極136、維持電極線131a1、131a2、ドレイン電極175、及び容量性結合電極176などのような不透明膜、及び切開部71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76b、91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95bによって形成されたドメインは、画素電極190を上下に二等分する中心線または互いに隣接するゲート線121の間の中心線に対して対称構造をなしている。したがって、互いに異なる方向に傾いた4種類のドメインの中で、画素電極190の上下二等分中心線に対して容量性補助電極136及び容量性結合電極176と維持電極線131a1、131a2及びドレイン電極175、二つの拡張部177a1、177a2などの不透明膜とが占める面積を同一に配置することができる。したがって、4種類のドメインで透過領域を同一な面積になるように設計することによって、多様な視野角で均一な視認性を確保することができる。
Ccpを調節することによって、Vaに対するVbの比率を調整することができる。Ccpの調節は、結合電極176及び第2画素電極190bの重畳面積及び距離を調整することによって可能である。重畳面積は、結合電極176の幅を変化させることによって容易に調整することができ、距離は、結合電極176の形成位置を変化させることによって調整することができる。つまり、本発明の実施例では、結合電極176をデータ線171と同一な層に形成したが、ゲート線121と同一な層に形成することによって、結合電極176と第2画素電極190bとの間の距離を増加させることができる。この時、VbはVaに対して0.6乃至0.8倍であるのが好ましい。
一方、他の実施例では、第1画素電極190aの電圧に比べて絶対値が常に高い電圧を第2画素電極190bに印加することができるが、これは、第2画素電極190bに共通電圧などのように任意の電圧を印加した状態で、第1画素電極190aと容量性結合することによって行われる。
画像信号が直接伝達される第1画素電極190aに対して高いか低い画素電圧が伝達される第2画素電極190bの面積比は1:0.85〜1:1.15の範囲であるのが好ましく、第1画素電極190aと容量性結合する第2画素電極190bは二つ以上配置することができる。
図1乃至図4に示した薄膜トランジスタ表示板を本発明の一実施例によって製造する方法について、詳細に説明する。
クロム、モリブデンまたはモリブデン合金、アルミニウム系金属、または銀系金属などからなる導電膜を絶縁基板110上にスパッタリング蒸着して湿式または乾式エッチングして、複数のゲート電極124及び端部129を有するゲート線121、複数の維持電極133を有する対の維持電極線131a1、131a2、容量性補助電極136を形成する。
約1,500−5,000Åの厚さのゲート絶縁膜140、約500−2,000Åの厚さの真性非晶質シリコン層、約300-600Åの厚さの不純物非晶質シリコン層の3層膜を連続して積層して、不純物非晶質シリコン層及び真性非晶質シリコン層を写真エッチングして、ゲート絶縁膜140上に複数の線状不純物半導体及び複数の真性半導体154を形成する。
次に、導電膜をスパッタリングなどの方法で1,500Å乃至3,000Åの厚さに蒸着してパターニングして、複数のソース電極173及び端部179を有する複数のデータ線171、対からなる複数のドレイン電極175の二つの拡張部175a1、175a2、及び開口部176Hを有する複数の容量性結合電極176を形成する。
次に、データ線171及びドレイン電極175で覆われずに露出された不純物半導体部分を除去することによって、複数の島型抵抗性接触部材163、165を形成する一方で、その下の真性半導体154部分を露出させる。露出された真性半導体154部分の表面を安定化させるために、引き続き酸素プラズマを行うのが好ましい。
陽の感光性有機絶縁物からなる保護膜180を塗布した後で、複数の透過領域(図示せず)及びその周囲に位置した複数のスリット領域(図示せず)、そして遮光領域が形成された光マスク(図示せず)を通じて露光する。したがって、透過領域と対向する保護膜180部分は光エネルギーを全て吸収するが、スリット領域と対向する保護膜180部分は光エネルギーを一部だけ吸収する。次に、保護膜180を現像してデータ線171の端部179及びドレイン電極175の一部を露出させる複数の接触孔182、185a1、185a2を形成し、容量性結合電極176の開口部176H内の容量性補助電極136及びゲート線121の端部129上に位置したゲート絶縁膜140部分を露出させる複数の接触孔181、186を形成する。透過領域に対応する保護膜180部分は全て除去されて、スリット領域に対応する部分は厚さだけが減少するので、接触孔181、182、185a1、185a2、186の側壁は階段型プロファイルを有する。
保護膜180を陰性感光膜で形成する場合には、陽性感光膜を使用する場合と比較する時、マスクの遮光領域及び透過領域が逆になる。
多層膜のうちの上部のアルミニウム導電膜が接触孔181、182、185a1、185a2、186を通じて露出される時、ゲート絶縁膜140の露出された部分を除去してその下に位置するゲート線121の端部129及び容量性補助電極136部分を露出させた後、アルミニウムを含む上部膜を除去する工程を追加することができる。
最後に、約400-500Åの厚さのIZO膜またはITO膜をスパッタリングで積層して写真エッチングして、保護膜180、ドレイン電極175、容量性補助電極136、データ線171の端部179、及びゲート線121の端部129の露出された部分上に複数の画素電極190、複数の接触補助部材81、82、及び複数の遮蔽電極88を形成する。
本発明の他の実施例による液晶表示装置について、図6及び図7を参照して詳細に説明する。
図6は本発明の他の実施例による液晶表示装置の配置図であり、図7は図6の液晶表示装置のVIII-VIII´線による断面図である。
図6及び図7を参照すれば、本実施例による液晶表示装置も、薄膜トランジスタ表示板100、共通電極表示板200、これら二つの表示板100、200の間に挿入されている液晶層3、二つの表示板100、200の外側面に付着されている一対の偏光子12、22を含む。
本実施例による表示板100、200の層状構造は、図1乃至図4とほぼ同一である。
薄膜トランジスタ表示板100について説明すると、ゲート電極124を有する複数のゲート線121、維持電極137a1、137a2を各々有する複数の維持電極線131a1、131a2、及び容量性補助電極136が基板110上に形成されており、その上にゲート絶縁膜140、半導体154、及び抵抗性接触部材163、165が順次に形成されている。ソース電極173を有する複数のデータ線171、複数のドレイン電極175、二つの拡張部177a1、177a2、及び複数の容量性結合電極176がゲート絶縁膜140上に形成されており、保護膜180がその上に形成されていて、保護膜180及びゲート絶縁膜140には複数の接触孔181、182、185a1、185a2、186が形成されている。保護膜180上には複数の画素電極190、複数の遮蔽電極88、及び複数の接触補助部材81、82が形成されており、その上には配向膜11が塗布されている。
共通電極表示板200について説明すると、遮光部材220、複数の色フィルター230、蓋膜250、共通電極270、及び配向膜21が絶縁基板210上に形成されている。
図1乃至図4の液晶表示装置とは異なって、半導体154は、データ線171及びドレイン電極175の下部まで延在している線状半導体151の突出部であり、島型抵抗性接触部材165に対向する抵抗性接触部材163も、線状抵抗性接触部材161の突出部である。この時、線状半導体151は、データ線171、ドレイン電極175、二つの拡張部177a1、177a2、及びその下の抵抗性接触部材161、165とほぼ同一な形状からなる。しかし、線状半導体151のうちの突出部154は、ソース電極173とドレイン電極175との間の部分のようにデータ線171及びドレイン電極175で覆われない部分を有し、線状半導体151及び島型抵抗性接触部材165は同一な形状で容量性結合電極176の下部まで延在している。
また、容量性補助電極136は、ドレイン電極175の連結部178a1、178a2、178a3、178a4と重畳する枝部136a、136b、136c、136dを有する。
このような薄膜トランジスタを本発明の一実施例によって製造する方法では、データ線171、ドレイン電極175、及び容量性結合電極176と半導体151及び抵抗性接触部材161、165とを一回の写真工程で形成する。
このような写真工程で使用する感光膜パターンは、位置によって厚さが異なって、特に厚さが薄い順に第1部分及び第2部分を有する。第2部分は、データ線及びドレイン電極が占める配線領域に位置し、第1部分は、薄膜トランジスタのチャンネル領域に位置する。
位置によって感光膜パターンの厚さを異ならせる方法は多様であるが、例えば光マスクに透明領域及び遮光領域以外に半透明領域を形成する方法がある。半透明領域に、はスリットパターン、格子パターン、または透過率が中間であるか厚さが中間である薄膜が形成される。スリットパターンを使用する時には、スリットの幅やスリットの間の間隔が写真工程に使用する露光器の分解能より小さいのが好ましい。他の例としては、リフローが可能な感光膜を使用する方法がある。つまり、透明領域及び遮光領域だけが形成された通常の露光マスクでリフロー可能な感光膜パターンを形成した後で、リフローさせて感光膜が残留しない領域に流れるようにすることによって、薄い部分を形成するのである。
このようにすれば、一回の写真工程を減少させることができるので、製造方法が簡単になる。
本発明の他の実施例による液晶表示装置について、図8を参照して詳細に説明する。
図8は図3のIV-IV´線によって切断した本発明の他の実施例による液晶表示装置の構造を示す断面図である。
図8を参照すれば、本実施例による液晶表示装置も、薄膜トランジスタ表示板100、共通電極表示板200、及びこれら二つの表示板100、200の間に挿入されている液晶層3を含む。
本実施例による表示板100、200の層状構造は、図1乃至図4とほぼ同一である。
薄膜トランジスタ表示板100について説明すると、ゲート電極124を有する複数のゲート線121、維持電極137a1、137a2を各々有する複数の維持電極線131a1、131a2、及び容量性補助電極136が基板110上に形成されており、その上にゲート絶縁膜140、複数の島型半導体154、複数の島型抵抗性接触部材163、165が順次に形成されている。ソース電極173を有する複数のデータ線171、ドレイン電極175の二つの拡張部177a1、177a2、及び複数の容量性結合電極176がゲート絶縁膜140及び抵抗性接触部材163、165上に形成されており、保護膜180がその上に形成されていて、保護膜180及びゲート絶縁膜140には複数の接触孔181、182、185a1、185a2、186が形成されている。保護膜180上には、第1及び第2画素電極190a、190bを有する複数の画素電極190、遮蔽電極88、及び複数の接触補助部材81、82が形成されており、その上には配向膜11が塗布されている。
共通電極表示板200について説明すると、遮光部材220、蓋膜250、共通電極270、及び配向膜21が絶縁基板210上に形成されている。
図1乃至図5の液晶表示装置とは異なって、保護膜180上には色フィルター230が形成されていて、その代わりに共通電極表示板200に色フィルターが形成されず、蓋膜250も省略することができる。各色フィルター230は、赤色、緑色、青色など三原色を表示して、隣接する二つのデータ線171の間の領域内に大部分が位置している。隣接する二つのデータ線171の間に縦方向に配置されている色フィルター230は、互いに連結されて帯を構成することができる。色フィルター230は、ドレイン電極175の二つの拡張部177a1、177a2を露出する接触孔185a1、185a2上に位置する複数の開口部を有していて、ゲート線121の拡張部129及びデータ線171の拡張部179が形成されている周辺領域には配置されていない。また、隣接する色フィルター230は、データ線171上で互いに重畳して画素電極190の間の光漏れを遮断し、この場合、画素電極190の周囲の遮光部材220部分を省略することができる。この場合、遮蔽電極88が色フィルター230の境界線を覆うのが好ましい。色フィルター230の重畳部の段差を減少させるために、重畳部で色フィルター230の高さが小さくなるようにすることができ、このためには、色フィルター230をパターニングする時に使用する光マスクにスリット領域または反透過領域を形成して、これを重畳部に対応させることができる。しかし、隣接した色フィルター230が互いに分離されていたり、その境界が互いに一致することもできる。
前記で説明した図6及び図7の液晶表示装置に対する多くの特徴が図8の液晶表示装置にも適用される。
以上のように、本発明によれば、画素電極を分割して互いに異なる電圧を印加することによって、液晶表示装置の側面視認性を向上させて、これによって視野角を拡張することができ、複数のドメイン及び薄膜を対称的に配置することによって、均一な視認性を確保することができる。
また、ドレイン電極及び容量性結合電極を連結する連結部をデータ線を中心に両側に配置して、データ線を中心に発生する寄生容量を対称的に流動させることによって、画像が表示される時に寄生容量の偏差によって発生する染みを防止することができ、表示特性を向上させることができる。
また、層間の導電膜を連結する接触孔を不透明膜の開口部内に配置することによって、段差によって液晶分子の配向歪曲で発生する光漏れを遮断しながら、画素の開口率が低下するのを防止することができる。
また、保持容量を形成する時にゲート絶縁膜だけを間に形成して維持電極及びドレイン電極を重畳させ、結合容量を形成する時にゲート絶縁膜だけを間に形成して容量性補助電極及び容量性結合電極を重畳させて、狭い重畳面積で維持容量及び結合容量を十分に確保することによって、画素の開口率を確保することができる。
また、画素電極と同一な層に遮蔽電極を形成することによって、画素の間で発生する光漏れを遮断して、スティッチ不良が発生するのを防止して、液晶表示装置の表示特性を向上させることができる。
以上で、本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の様々な変形及び改良形態も、本発明の権利範囲に属する。特に、画素電極及び共通電極に形成する切開部の配置は多様な変形がありえる。
本発明の一実施例による液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板の構造を示した配置図である。 本発明の一実施例による液晶表示装置の共通電極表示板の構造を示した配置図である。 図1及び図2の二つの表示板を含む本発明の一実施例による液晶表示装置の構造を示した配置図である。 図3の液晶表示装置のIV-IV´線による断面図である。 本発明の実施例による液晶表示装置の回路図である。 本発明の他の実施例による液晶表示装置の構造を示した配置図である。 図6の液晶表示装置のVIII−VIII´線による断面図である。 本発明の他の実施例による液晶表示装置の構造を示した断面図である。
符号の説明
11、21 配向膜
12、22 偏光板
81、82 接触補助部材
100、200 表示板
110、210 絶縁基板
121 ゲート線
124 ゲート電極
131a1、131a2 維持電極線
137a1、137a2 維持電極
136 容量性補助電極
140 ゲート絶縁膜
151、154 半導体
161、163、165 抵抗性接触部材
171、179 データ線
173 ソース電極
175 ドレイン電極
176 容量性結合電極
180 保護膜
181、182、185a1、185a2、186 接触孔
190 画素電極
220 遮光部材
250 蓋膜
270 共通電極
91、92、93a、93b、94a、94b、95a、95b 画素電極の切開部
71、72、73、74a、74b、75a、75b、76a、76b 共通電極の切開部
3 液晶層
310 液晶分子

Claims (15)

  1. 絶縁基板、
    前記絶縁基板上に形成されているゲート線、
    前記ゲート線と分離されている容量性補助電極、
    前記ゲート線と絶縁されて交差しているデータ線、
    各々の前記ゲート線及び前記データ線と連結されていて、ドレイン電極を有する薄膜トランジスタ、
    前記容量性補助電極と重畳して前記容量性補助電極の上部に位置する容量性結合電極、
    前記ドレイン電極及び前記容量性結合電極を連結して、前記データ線を中心に両側に対称的に配置されている連結部、そして
    前記ドレイン電極と連結されている第1画素電極及び前記容量性補助電極と連結されている第2画素電極を有する画素電極を含むことを特徴とする、薄膜トランジスタ表示板。
  2. 前記連結部は、前記データ線の境界線から42μm以内に位置することを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
  3. 前記ドレイン電極と重畳する維持電極を有する維持電極線をさらに含むことを特徴とする、請求項2に記載の薄膜トランジスタ表示板。
  4. 前記第1画素電極は少なくとも二つの部分に分割されていて、
    前記ドレイン電極は、前記ゲート線と平行な前記画素電極の中心線に対して対称構造をなして前記二つの部分と各々連結されている拡張部を有することを特徴とする、請求項3に記載の薄膜トランジスタ表示板。
  5. 前記維持電極線は対に構成され、前記維持電極は、前記拡張部と各々重畳していて、前記中心線に対して対称構造をなしていることを特徴とする、請求項4に記載の薄膜トランジスタ表示板。
  6. 前記連結部は前記中心線に対して対称構造をなしていることを特徴とする、請求項5に記載の薄膜トランジスタ表示板。
  7. 前記画素電極は前記中心線に対して対称構造をなしている、請求項4に記載の薄膜トランジスタ表示板。
  8. 前記容量性結合電極は開口部を有し、前記第2画素電極及び前記容量性補助電極は、前記開口部を通じて連結されていることを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
  9. 前記容量性補助電極または前記容量性結合電極は、前記ゲート線と平行な前記画素電極の中心線に対して対称構造をなしていることを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
  10. 前記画素電極と絶縁されていて、前記ゲート線または前記データ線と少なくとも一部分が重畳している遮蔽電極をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
  11. 前記画素電極及び前記遮蔽電極は、互いに同一な層に形成されていることを特徴とする、請求項10に記載の薄膜トランジスタ表示板
  12. 前記遮蔽電極は、前記ゲート線または前記データ線に沿って延在していることを特徴とする、請求項11に記載の薄膜トランジスタ表示板。
  13. 前記遮蔽電極は前記データ線を完全に覆うことを特徴とする、請求項12に記載の薄膜トランジスタ表示板。
  14. 前記画素電極はドメイン分割手段を有することを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタ表示板。
  15. 前記ドメイン分割手段は、前記ゲート線に対して45゜の角度をなすことを特徴とする、請求項14に記載の薄膜トランジスタ表示板。
JP2005309944A 2004-10-25 2005-10-25 多重ドメイン薄膜トランジスタ表示板 Active JP4804106B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040085325A KR101112540B1 (ko) 2004-10-25 2004-10-25 다중 도메인 박막 트랜지스터 표시판
KR10-2004-0085325 2004-10-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006126837A true JP2006126837A (ja) 2006-05-18
JP4804106B2 JP4804106B2 (ja) 2011-11-02

Family

ID=36205834

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005309944A Active JP4804106B2 (ja) 2004-10-25 2005-10-25 多重ドメイン薄膜トランジスタ表示板

Country Status (5)

Country Link
US (2) US7619694B2 (ja)
JP (1) JP4804106B2 (ja)
KR (1) KR101112540B1 (ja)
CN (1) CN1766724A (ja)
TW (1) TWI376806B (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008009433A (ja) * 2006-06-27 2008-01-17 Samsung Electronics Co Ltd 表示基板及びこれを有する表示パネル
JP2008046599A (ja) * 2006-08-10 2008-02-28 Samsung Electronics Co Ltd 表示装置
JP2008276161A (ja) * 2007-04-26 2008-11-13 Au Optronics Corp 液晶ディスプレイパネルおよびその駆動方法
WO2010100788A1 (ja) * 2009-03-05 2010-09-10 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板、液晶パネル、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機
WO2010100790A1 (ja) * 2009-03-05 2010-09-10 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機
US8976209B2 (en) 2009-03-05 2015-03-10 Sharp Kabushiki Kaisha Active matrix substrate, method for producing active matrix substrate, liquid crystal panel, method for producing liquid crystal panel, liquid crystal display device, liquid crystal display unit, and television receiver

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101112540B1 (ko) * 2004-10-25 2012-03-13 삼성전자주식회사 다중 도메인 박막 트랜지스터 표시판
KR20060073826A (ko) * 2004-12-24 2006-06-29 삼성전자주식회사 박막 트랜지스터 표시판
KR101133760B1 (ko) * 2005-01-17 2012-04-09 삼성전자주식회사 박막 트랜지스터 표시판 및 이를 포함하는 액정 표시 장치
JP5143362B2 (ja) * 2005-02-07 2013-02-13 三星電子株式会社 液晶表示装置
JP2008076501A (ja) * 2006-09-19 2008-04-03 Epson Imaging Devices Corp 液晶表示装置
KR101421166B1 (ko) * 2007-03-02 2014-07-18 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치의 제조방법
KR20090116095A (ko) * 2008-05-06 2009-11-11 삼성전자주식회사 액정 표시 장치
KR101525801B1 (ko) * 2008-11-14 2015-06-08 삼성디스플레이 주식회사 어레이 기판 및 그 제조 방법
KR20100056613A (ko) * 2008-11-20 2010-05-28 삼성전자주식회사 표시 기판 및 이를 포함하는 표시 패널
KR101100959B1 (ko) * 2010-03-10 2011-12-29 삼성모바일디스플레이주식회사 박막 트랜지스터, 그의 제조 방법 및 박막 트랜지스터를 구비하는 표시 장치
CN102759825B (zh) * 2012-07-16 2016-07-06 深圳市华星光电技术有限公司 一种液晶显示面板
KR102228269B1 (ko) * 2014-07-09 2021-03-17 삼성디스플레이 주식회사 표시 기판 및 이의 제조 방법
KR102587647B1 (ko) * 2016-05-04 2023-10-11 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치 및 그 제조방법
EP4332189A2 (en) 2020-07-13 2024-03-06 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Method for producing pressure-sensitive adhesive
CN112185891B (zh) * 2020-09-28 2023-05-30 成都京东方显示科技有限公司 阵列基板的制造方法、阵列基板及显示面板

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04348324A (ja) * 1990-07-23 1992-12-03 Hosiden Corp 液晶表示素子
JPH0954341A (ja) * 1995-08-16 1997-02-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd アクティブマトリックス型液晶表示素子
JP2004199062A (ja) * 2002-12-13 2004-07-15 Samsung Electronics Co Ltd 多重ドメイン液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板
JP2004213011A (ja) * 2003-01-03 2004-07-29 Samsung Electronics Co Ltd 多重ドメイン液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板
JP2004279904A (ja) * 2003-03-18 2004-10-07 Fujitsu Display Technologies Corp 液晶表示装置及びその製造方法
JP2006039290A (ja) * 2004-07-28 2006-02-09 Fujitsu Display Technologies Corp 液晶表示装置及びその焼き付き防止方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2551377B2 (ja) 1993-05-15 1996-11-06 日本電気株式会社 液晶ディスプレイ装置
US5610739A (en) 1994-05-31 1997-03-11 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Liquid crystal display unit with a plurality of subpixels
JPH07325323A (ja) 1994-06-02 1995-12-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置
JP3194873B2 (ja) 1996-10-15 2001-08-06 松下電器産業株式会社 アクティブマトリックス型液晶表示装置およびその駆動方法
EP1621923B8 (en) * 1997-06-12 2010-03-24 Sharp Kabushiki Kaisha Vertically-aligned (VA) liquid crystal display device
KR100623989B1 (ko) * 2000-05-23 2006-09-13 삼성전자주식회사 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그의 수리 방법
US6833897B2 (en) 2002-04-19 2004-12-21 Hannstar Display Corp. IPS-LCD device with a color filter formed on an array substrate
KR100925463B1 (ko) 2003-02-17 2009-11-06 삼성전자주식회사 액정 표시 장치
TWI319622B (en) * 2003-10-01 2010-01-11 Samsung Electronics Co Ltd Thin film transistor array panel and liquid crystal display including the same
KR101112537B1 (ko) * 2004-06-03 2012-02-29 삼성전자주식회사 다중 도메인 액정 표시 장치 및 그에 사용되는 표시판
KR101112540B1 (ko) * 2004-10-25 2012-03-13 삼성전자주식회사 다중 도메인 박막 트랜지스터 표시판

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04348324A (ja) * 1990-07-23 1992-12-03 Hosiden Corp 液晶表示素子
JPH0954341A (ja) * 1995-08-16 1997-02-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd アクティブマトリックス型液晶表示素子
JP2004199062A (ja) * 2002-12-13 2004-07-15 Samsung Electronics Co Ltd 多重ドメイン液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板
JP2004213011A (ja) * 2003-01-03 2004-07-29 Samsung Electronics Co Ltd 多重ドメイン液晶表示装置用薄膜トランジスタ表示板
JP2004279904A (ja) * 2003-03-18 2004-10-07 Fujitsu Display Technologies Corp 液晶表示装置及びその製造方法
JP2006039290A (ja) * 2004-07-28 2006-02-09 Fujitsu Display Technologies Corp 液晶表示装置及びその焼き付き防止方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008009433A (ja) * 2006-06-27 2008-01-17 Samsung Electronics Co Ltd 表示基板及びこれを有する表示パネル
JP2008046599A (ja) * 2006-08-10 2008-02-28 Samsung Electronics Co Ltd 表示装置
JP2008276161A (ja) * 2007-04-26 2008-11-13 Au Optronics Corp 液晶ディスプレイパネルおよびその駆動方法
JP4730744B2 (ja) * 2007-04-26 2011-07-20 友▲達▼光電股▲ふん▼有限公司 液晶ディスプレイパネルおよびその駆動方法
US8077167B2 (en) 2007-04-26 2011-12-13 Au Optronics Corporation Liquid crystal display and driving method thereof
WO2010100788A1 (ja) * 2009-03-05 2010-09-10 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板、液晶パネル、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機
WO2010100790A1 (ja) * 2009-03-05 2010-09-10 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機
US8698969B2 (en) 2009-03-05 2014-04-15 Sharp Kabushiki Kaisha Active matrix substrate, method for producing active matrix substrate, liquid crystal panel, method for producing liquid crystal panel, liquid crystal display device, liquid crystal display unit, and television receiver
US8976209B2 (en) 2009-03-05 2015-03-10 Sharp Kabushiki Kaisha Active matrix substrate, method for producing active matrix substrate, liquid crystal panel, method for producing liquid crystal panel, liquid crystal display device, liquid crystal display unit, and television receiver

Also Published As

Publication number Publication date
US20060087598A1 (en) 2006-04-27
KR20060036243A (ko) 2006-04-28
US7619694B2 (en) 2009-11-17
US7956943B2 (en) 2011-06-07
JP4804106B2 (ja) 2011-11-02
TWI376806B (en) 2012-11-11
KR101112540B1 (ko) 2012-03-13
TW200627647A (en) 2006-08-01
US20100025689A1 (en) 2010-02-04
CN1766724A (zh) 2006-05-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4804106B2 (ja) 多重ドメイン薄膜トランジスタ表示板
KR101133760B1 (ko) 박막 트랜지스터 표시판 및 이를 포함하는 액정 표시 장치
JP5025129B2 (ja) 薄膜トランジスタ表示板
JP4713904B2 (ja) 薄膜トランジスタ表示板及びその製造方法
US8305507B2 (en) Thin film transistor array panel having improved storage capacitance and manufacturing method thereof
JP2006133783A (ja) 多重ドメイン薄膜トランジスタ表示板
US20070182908A1 (en) Liquid crystal display and thin film transistor array panel therefor
US20080117150A1 (en) Liquid crystal display and thin film transistor array panel therefor
US8477279B2 (en) Liquid crystal display and thin film transistor array panel usable with the liquid crystal display
US20050030459A1 (en) Liquid crystal display and panel therefor
JP2006171762A (ja) 薄膜トランジスタ表示板及びその修理方法
US20080210943A1 (en) Thin film transistor array panel and manufacturing method thereof
JP5295483B2 (ja) 薄膜トランジスタ表示板
JP2004348131A (ja) 液晶表示装置及びそのための薄膜トランジスタ表示板
US20050237461A1 (en) Liquid crystal display and panel therefor
KR20060082316A (ko) 박막 트랜지스터 표시판
KR20060101959A (ko) 다중 도메인 액정 표시 장치
KR20060074554A (ko) 박막 트랜지스터 표시판
KR20060057357A (ko) 액정 표시 장치
KR20060061488A (ko) 박막 트랜지스터 표시판
KR20060057654A (ko) 박막 트랜지스터 표시판 및 이를 포함하는 액정 표시 장치
KR20060082137A (ko) 박막 트랜지스터 표시판
KR20060058964A (ko) 박막 트랜지스터 표시판 및 이를 포함하는 액정 표시 장치
KR20060036635A (ko) 박막 트랜지스터 표시판

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081020

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110714

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110802

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110809

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4804106

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140819

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140819

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140819

Year of fee payment: 3

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250