JP4802106B2 - マンドレルにスクラバブラシを装着するための方法及び装置 - Google Patents

Description

関連出願

本願は、２００４年１月２９日に出願された米国特許仮出願第６０／５４０，１４０号に基づく優先権を主張する。上記の特許出願の内容は引用により全体として本出願に一体化される。

発明の分野

本発明は一般に半導体デバイス製造に係り、より詳しくはマンドレルにスクラバブラシを装着するための方法及び装置に関する。

背景

マンドレル（心棒）に結合されたスクラバ（こすり洗浄）ブラシを含むスクラバブラシアセンブリは、基板をクリーニングするために使用されることができる。例えば、スクラバブラシアセンブリは、基板処理の間に基板の主表面をこすり洗いするために、基板クリーニングシステムのような基板処理システムで使用されることができる。更に、スクラバブラシアセンブリは他の基板処理システムで使用されることができる。

基板処理システムで使用されるスクラバブラシアセンブリを組立てるためには、スクラバブラシは、マンドレルに装着される（例えば、スライド）必要がある。しかし、マンドレルにスクラバブラシを装着することは、組立ての際にスクラバブラシとマンドレルとの間に摩擦があるために困難である。従って、マンドレル上にスクラバブラシを装着するための改善された方法及び装置が望まれる。

発明の概要

本発明の第１の態様では、スクラバブラシアセンブリを組立てるための方法が提供される。その方法は、（１）スクラバブラシの開口部の中に１又はそれ以上の挿入物を挿入し、スクラバブラシの開口部はスクラバブラシの内表面によって形成され、（２）スクラバブラシの開口部にマンドレルを挿入し、これによって１又はそれ以上の挿入物をマンドレルの外表面とスクラバブラシの内表面との間に位置させ、（３）１又はそれ以上の挿入物を除去し、マンドレルの外表面がスクラバブラシの内表面と接触できるようにし、これによってスクラバブラシをマンドレルに装着する工程を含む。
本発明の第２の態様では、第１の装置が提供される。第１の装置は、ハウジングを含むスクラバブラシアセンブリ固定部品であって、ハウジングは、（１）第１の開口部を形成する第１の端部と、（２）スクラバブラシ内に装着されるマンドレルを受入れる第２の開口部を形成する第２の端部を備える。第２の端部は挿入物の第１の端部を受入れるように用いられる第２の開口部の周囲の周りに１又はそれ以上の構成を含む。第１の装置は、１又はそれ以上の構成を介してハウジングに結合するために用いられる１又はそれ以上の挿入物を含む。
本発明の第３の態様では、第２の装置が提供される。第２の装置は、スクラバブラシアセンブリを形成するためにスクラバブラシに挿入されるように用いられるマンドレルを含む。マンドレルは、（１）第１の端部と、（２）第２の端部と、（３）第１及び第２の端部の少なくとも一方に隣接し、スクラバブラシをマンドレルに配置するように用いられる１又はそれ以上の位置ガイドを有する。本発明のこれらの及び他の態様により、他の多くの態様が提供される。

本発明の他の構成と態様は、以下の詳細な説明、特許請求の範囲及び添付図面から更に明らかになる。

詳細な説明

マンドレルに結合されたスクラバブラシを含むスクラバブラシアセンブリは、基板をクリーニングするために使用されることができる。例えば、スクラバブラシアセンブリは、基板処理の間に基板の主表面をスクラブするため、基板クリーニングシステムのような基板処理システムで使用されることができる。更に、スクラバブラシアセンブリは他の基板処理システムで使用されることができる。

基板処理システムで使用されるスクラバブラシアセンブリを組立てるため、スクラバブラシはマンドレルに装着される必要がある（例えば、スライドされて）。しかし、マンドレルにスクラバブラシを装着することは、組み立ての際にスクラバブラシとマンドレルとの間に摩擦があるため困難である。本方法及び装置は、ブラシアセンブリを組立てる際のスクラバブラシとマンドレルとの間の摩擦を減少させる。

図１は、本発明の実施例に係るブラシアセンブリに含まれることができるブラシ１０１の等角図である。ブラシ１０１の形状は筒形であってもよく、長さＬ１である。ブラシ１０１は直径Ｄ１の外表面１０３を含む。ブラシ１０１の外表面１０３の概略が図示されている。例えば、ブラシ１０１の外表面１０３は、小瘤のような突出している表面構成１０７を含んでもよい。選択的に、他の実施例において、ブラシ１０１の外表面１０３はなめらかな外形を含んでもよい。ブラシ１０１は、例えば、多孔性及び／又はスポンジ様のものであってもよく、及び／又はポリ酢酸ビニール（ＰＶＡ）のような弾力性のある材料で形成されてもよい。ブラシ１０１は他の及び／又は異なる材料を備えてもよく、他の及び／又は異なる材質特性を有していてもよい。

ブラシ１０１は、直径Ｄ２の開口部１０６を形成する内表面１０５を含んでいてもよい。ブラシ１０１の内表面１０５は、隆起、溝、粗い仕上げ等のような構成を含んでいてもよく、これによってブラシ１０１の内表面１０５がブラシアセンブリのマンドレルと接触する時に大きな摩擦を形成し（後述する）、ブラシ１０１とマンドレルとの間の滑りを防止する。ブラシ１０１の内表面１０５は、追加的な及び／又は他の構成を含んでもよい。

図２及び図３は、各々、本発明の実施例に係る第１の例示的なマンドレル２０１の端面図及び切断図である。マンドレル２０１の形状は直径Ｄ３を有する円筒形であり、これはおよそブラシ１０１の内表面１０５の直径Ｄ２である。ブラシアセンブリを組立てるために、マンドレル２０１がブラシ１０１に挿入される時（例えば、ブラシ１０１がマンドレル２０１に装着される時）、マンドレル２０１はブラシ１０１の内表面１０５と接触する外表面２０３を含む。ブラシ１０１の内表面１０５と同様、マンドレル２０１の外表面２０３は、隆起、溝、粗い仕上げのような構成を含んでいてもよく、これによってマンドレル２０１の外表面２０３がブラシ１０１と接触する時に高い摩擦を形成する。いくつかの実施例において、マンドレル２０１はマンドレル２０１の端部の周囲に沿って１又はそれ以上のノッチ又はタブ２０５を含んでいてもよく、これによってブラシ１０１はこれを超えて伸びないようにされる。このように、マンドレル２０１の第１端部３０１と第２端部３０３に沿ったタブ２０５は、ブラシ１０１に対する位置ガイドの役目を行い、同時にブラシアセンブリの動作の間にブラシ１０１がマンドレル２０から移動（例えば、スライド）するのを防ぐ。更に以下に記載されるように、マンドレル２０１の１又はそれ以上の端部３０１、３０３に沿って含まれるタブ２０５は、同様に、本発明のブラシアセンブリ固定部品の一部分（以下に記載）をガイドする役目を行う。選択的又は追加的に、いくつかの実施例において、マンドレルの外表面２０３は、１又はそれ以上の溝（例えば、Ｖ型の溝）のような異なるタイプの位置ガイドを含んでもよい。例えば、図４は本発明の実施例に係る第２の例示的なマンドレルの側面図である。図４において、第２の例示的なマンドレル４０１は、第１の例示的なマンドレル２０１と類似でもよい。第２の例示的なマンドレル４０１は、マンドレル４０１の外表面２０３に沿って、第１の及び／又は第２の溝４０３、４０５を含んでもよい。第１の及び／又は第２の溝４０３、４０５は、マンドレル４０１に装着されるブラシに対する位置ガイドの役目をしてもよい。例えば、マンドレル４０１にブラシ１０１を装着する時、使用者は、ブラシの端部を第１の及び／又は第２の溝４０３、４０５の１つと配列することができる。

図３及び図４に示されるように、第１の及び／又は第２の例示的なマンドレル２０１、４０１は、単一部品のマンドレルであってもよい。しかし、いくつかの実施例で、第１の及び／又は第２のマンドレル２０１、４０１は、互いに結合された複数の部品を含んでもよい。

図５は、本発明の実施例に係るブラシアセンブリ固定部品５０１を使用してブラシアセンブリを組立てるため、ブラシに挿入されるマンドレル２０１の長手方向の断面図である。ブラシアセンブリ固定部品５０１は、ハウジング５０３と１又はそれ以上の小片（ｓｔｒｉｐ）５０５を含んでおり、各々はこれに結合された第１の端部５０６と第２の端部５０７を有する。ハウジング５０３の第１の端部５０８はブラシ１０１の端部に結合され、これによってハウジング５０３に挿入される部材（ｉｔｅｍ）をブラシ１０１に挿入することが可能になるように用いられる。ハウジング５０３の第２の端部５０９は、１又はそれ以上の小片５０５の第１の端部５０６と、マンドレル２０１の端部３０１、３０３と結合し、受入れるように用いられることができる。更に以下に記載されるように、ブラシアセンブリ固定部品５０１は、ブラシアセンブリを組立てるために使用されることができる（例えば、ブラシ１０１とマンドレル２０１）。

図６及び７は、各々、本発明の実施例に係るハウジング５０３のライン７−７に沿った端面図と切断図である。図６及び図７において、ハウジング５０３の第２の端部５０９は、ブラシアセンブリ固定部品５０１を組立てるために、１又はそれ以上の小片５０５（図５）を受入れる１又はそれ以上のスロット６０１を含む。一実施例において、ハウジング５０３に含まれるスロット６０１の数は、マンドレル２０１の１又はそれ以上の端部３０１、３０３の周囲に沿って含まれるタブ２０５の数に対応してもよい。他の数のスロット６０１も使用されることができる。小片５０５は、ポリテトラフルオロエチレン（例えば、テフロン（商標名））のような低摩擦材料又は他の材料から組み立てられてもよい。各小片５０５のサイズは、小片５０５の第１の端部５０６がハウジング５０３に含まれるスロット６０１に挿入されるサイズである。好ましくは、各々の小片５０５の第２の端部５０７は、小片５０５の第２の端部５０７がスロット６０１を通り抜けることなくハウジング５０３で停止できるように、曲げられる。小片５０５の各々の長さは、ハウジングＬ２とブラシＬ１の組み合わされた長さより大きくてもよい。他の小片の長さが使用されることができる。例えば、小片５０５がハウジング５０３のスロット６０１に挿入されるときに、小片５０５がハウジング５０３を通り抜け、ブラシ１０１の内表面１０５に伸びる限り、小片５０５は他の長さでもよい。１つの例示的な実施例において、長さ約１２．５インチのブラシを含むブラシアセンブリのためには、各々の小片５０５の長さが約１１〜１２．７５インチ、幅が約０．２インチ、その厚さが約０．１インチであってもよい。他の大きさの小片が使用されることができる。

ハウジング５０３の第１の端部５０８は、ブラシ１０１の外表面１０３と結合し、及び／又は受入れるために、直径Ｄ４の第１の開口部７０１を含んでいてもよい。第１の開口部７０１の直径Ｄ４は、ブラシ１０１の外表面１０３の直径Ｄ１と大体等しくてよい。他の実施例においては、第１の開口部７０１の直径Ｄ４は、それよりも大きくても小さくてもよい。

同様に、ハウジング５０３の第２の端部５０９は、マンドレル２０１の端部３０１、３０３を受入れるために、直径Ｄ５の第２の開口部６０３を含んでもよい。開口部５０３の直径Ｄ５は、マンドレル２０１の直径Ｄ３とおよそ等しくてよい。他の実施例においては、第２の開口部５０３の直径Ｄ５は、それよりも大きくても小さくてもよい。

ブラシアセンブリを組立てるためのブラシアセンブリ固定部品５０１の操作は、図１〜７及び図９を参照して及び図８を参照して説明され、この図は本発明の実施例に係るブラシアセンブリ固定部品を使用するための例示的な方法８０１を図示する。より詳しくは、マンドレル２０１、４０１にブラシ１０１を装着するための例示的な方法が説明される（例えば、マンドレル２０１、４０１をブラシ１０１に挿入）。図８において、ステップ８０３で方法８０１が開始する。ステップ８０５では、１又はそれ以上の小片がブラシ固定部品アセンブリのハウジング５０３に挿入されることができる。更に詳しくは、１又はそれ以上の小片５０５の第１の端部５０６は、ハウジング５０３の第２の端部５０９の第２の開口部６０３の周囲に含まれる１又はそれ以上のスロット６０１に各々挿入されることができる。小片５０５の第２の端部５０７（例えば、曲げられた端部）がハウジング５０３の中で停止するまで、小片５０５の第１の端部５０６はスロット６０１に挿入される。小片５０５の第１の端部５０６は、ハウジング５０３の第１の開口部７０１を介して伸びる。一実施例において、小片５０５はハウジング５０３に含まれる各スロット６０１に挿入されることができる。このように、ブラシアセンブリ固定部品５０１が組立てられる。

ステップ８０７では、１又はそれ以上小片５０５は、ブラシ１０１の開口部１０６に挿入される。ブラシ１０１の開口部１０６は、ブラシ１０１の内表面１０５によって形成されることができる。ハウジング５０３の第１の開口部７０１を介して伸びる１又はそれ以上の小片５０５の第１の端部５０６は、１又はそれ以上の小片５０５がブラシ１０１の内表面１０５に隣接するように、ブラシ１０１の開口部１０６に挿入される。上述のように、１又はそれ以上の小片５０５の長さは、１又はそれ以上の小片５０５がブラシ１０１の全長ＬＩにわたって、ブラシ１０１の内表面１０５に隣接するように定められてもよい。別の方法として、他の長さの小片が使用されることができる。図９は、本発明の実施例に係るブラシ１０１の開口部に挿入される１又はそれ以上の小片５０５の等角図である。より詳しくは、図９において、ステップ８０７が行われた後、１又はそれ以上の小片５０５がハウジング５０３を通り抜け、上述の方法でブラシ１０１の開口部の中に伸びることができる。

ステップ８０９で、マンドレル２０１、４０１はハウジング５０３の開口部を通り抜け、ブラシ１０１の開口部１０６の中に挿入されることができ、これによって１又はそれ以上の小片５０５がマンドレル２０１、４０１の外表面２０３とブラシ１０１の内表面１０５との間に存在することができる。更に詳しくは、マンドレル２０１、４０１の端部３０１、３０３がブラシ１０１の他の開口部（図１において図示せず。図５の５１１）から出るまで、マンドレル２０１、４０１の端部３０１、３０３は、ハウジング５０３の第２の開口部６０３、ハウジング５０３の第１の開口部７０１、ブラシ１０１の開口部１０６を通り抜け、ブラシ１０１の内表面１０５を介して挿入されることができる。マンドレル２０１、４０１の端部３０１、３０３がブラシ１０１を介して挿入される間、１又はそれ以上の小片５０５はマンドレル２０１、４０１とブラシ１０１との間にある。好ましくは、ブラシアセンブリを組立てるためにブラシ１０１に挿入されている間に、マンドレル２０１、４０１の外表面２０３は主に１又はそれ以上の小片５０５と接触する。上述のように、１又はそれ以上の小片５０５は、ポリテトラフルオロエチレン（例えば、テフロン（商標名））又は類似の低摩擦材料で形成される。従って、隆起、溝、粗い仕上げ等を含むことがあるマンドレル２０１、４０１の外表面２０３が、ブラシ１０１の内表面１０５と直接接触する場合に形成される高い摩擦接触面とは対照的に、マンドレル２０１、４０１がブラシ１０１に挿入される間、マンドレル２０１、４０１と１又はそれ以上の小片５０５との間の接触面はほとんど又は全く摩擦を生じない。

マンドレル２０１、４０１の１又はそれ以上の端部３０１、３０３の周囲に沿って含まれることができるノッチ又はタブ２０５は、ブラシアセンブリ固定部品５０１の一部分（例えば、１又はそれ以上の小片５０５）をガイドする役目を行い、従って、マンドレル２０１、４０１とブラシアセンブリ固定部品５０１（例えば、１又はそれ以上の小片５０５）の一部分の位置合せを行うことができる。

１又はそれ以上の実施例において、（例えば、ステップ８０７及び／又は８０９の間に）、ハウジング５０３は、開口部１０５を含むブラシ１０１の端部に結合されることができる。別の方法として、ハウジング５０３はブラシ１０１に結合されない（例えば、ステップ８０７又は８０９の間）。

ステップ８１１では、マンドレル２０１、４０１の外表面２０３がブラシ１０１の内表面１０５と接触するため、１又はそれ以上の小片５０５が除去される。小片５０５の第２の端部５０７は、ハウジング５０３から小片５０５を抜くために使用されることができる。別の態様では、小片５０５の第１の端部５０６は、ハウジング５０３から小片５０５を押すために使用されることができる。１又はそれ以上の小片５０５はポリテトラフルオロエチレン（例えば、テフロン（商標名））又は類似の低摩擦材料で形成されているので、１又はそれ以上の小片５０５とマンドレル２０１、４０１の外表面２０３の境界、及び１又はそれ以上の小片５０５とブラシ１０１の内表面１０５の境界において、摩擦はほとんど又は全く生じない。このように、マンドレル２０１、４０１はブラシ１０１に挿入され、それによって、ブラシアセンブリが組立てられる。その後に、ハウジング５０３がステップ８０７及び／又は８０９においてブラシ１０１に結合される場合に、ハウジング５０３はブラシ１０１から除去される。

図８の方法８０１の使用によって、ほとんど困難がなくマンドレル２０１、４０１にブラシ１０１を装着することによって（例えば、マンドレル２０１、４０１をブラシ１０１に挿入して）ブラシアセンブリを組立てるために、ブラシアセンブリ固定部品５０１が使用されることができる。より詳しくは、ブラシアセンブリを組立てる間、マンドレル２０１、４０１の外表面２０３とブラシ１０１の内表面１０５との間の接触面の摩擦を減少させ及び／又は除去するために、本発明のブラシアセンブリ固定部品５０１が使用されることができる。

前述の説明は本発明の例示的な実施例のみを開示する。本発明の範囲における上記装置及び方法の変更は、本技術分野における当業者にとって容易に明らかである。例えば、いくつかの実施例において、ブラシアセンブリ固定部品５０１は、マンドレル２０１、４０１に結合するために用いられる基部を含んでもよい。図１０は、本発明の実施例に係るマンドレルに結合された基部の等角図である。図１０において、基部１００１は平坦な表面の配置に用いられるプレート１００３と、そこから伸びるプッシャー１００５を含むことができる。例えば、プレート１００３が平坦な表面（例えば、ｘｙ−平面）上にある時、プッシャー１００５はそれに実質的に垂直な方向に伸びることができる（例えば、実質的にｚ軸に沿った方向）。しかしながら、他の実施例において、プッシャー１００５に対するプレート１００３の方向が異なってもよい。プレート１００３及び／又はプッシャー１００５はプラスチック又は同種のものから形成されることができる（しかし、別の材質を使用することもできる）。

ブラシアセンブリ固定部品５０１が基部１００１を含む実施例において、方法８００のステップ８０９が行われる前に、マンドレル２０１、４０１は基部１００１に結合されることができる。より詳しくは、マンドレル２０１、４０１の端部３０１、３０３は、プッシャー１００５と結合するために用いられることができる。プッシャー１００５に結合される時、マンドレル２０１、４０１はそこから伸びてもよい。例えば、マンドレル２０１、４０１は、実質的にｚ軸の方向にプッシャー１００５から伸びてもよい（しかし、マンドレル２０１、４０１対するプッシャー１００５の方向は異なってもよい）。

その後、基部１００１はステップ８０９を行うために使用されることができる。より詳しくは、マンドレル２０１、４０１の一端３０１、３０３は、ハウジング５０３の開口部６０３、７０１を介してブラシ１０１の開口部１０６に挿入され、これによってマンドレル２０１、４０１の他端３０１、３０３が基部１００１に連結されている間、１又はそれ以上の小片５０５がマンドレル２０１、４０１の外表面２０３とブラシ１０１の内表面１０５との間に存在することができる。図１１は、マンドレルが本発明の実施例に係る基部に連結されている間、ブラシアセンブリ固定部品に挿入されるマンドレルの等角図である。図１１において、図９に示されるアセンブリはハウジング５０５を介してブラシ１０１の開口部に伸びている１又はそれ以上の小片５０５を含み、基部１００１に連結されたマンドレル２０１、４０１を含むアセンブリ（図１０に図示）に装着されることができる。

その後に、マンドレル２０１、４０１と、これに装着されたブラシ１０１と、これに連結されたブラシアセンブリ固定部品の一部分（例えば、ハウジング５０３及び１又はそれ以上の小片５０５）は、基部１００１から除去されてもよい。一旦マンドレル２０１、４０１が基部１００１から除去されると、ステップ８１１（上述）が実行されることができる。図１２は、マンドレル２０１、４０１（仮想線で示される）と、これに装着されたブラシ１０１と、これに連結されたブラシアセンブリ固定部品の一部分の等角図であり、ここからは本発明の実施例に従い１又はそれ以上の小片５０５が除去されている。一旦１又はそれ以上の小片５０５が除去され及び／又はハウジング５０３が除去されると、ブラシ１０１の内表面１０５はマンドレル２０１、４０１の外表面２０３と接触することができ、この方法でブラシ１０１はマンドレル２０１、４０１に装着することができる。

１又はそれ以上の実施例において、１又はそれ以上の小片５０５は平坦であるが、１又はそれ以上の小片５０５は他の形状でもよい。そのような実施例において、ハウジング５０３に含まれるスロット６０１はそれに従って調節されることができる。更に、１又はそれ以上の実施例において、１又はそれ以上の小片５０５はハウジング５０３に挿入されるが、他の実施例において、小片を使用するのではなく、曲がっている第１の端部と第２の端部をもつシリンダー（例えば、ポリテトラフルオロエチレン（例えば、テフロン（商標名））又は類似の低摩擦材料から作られたシリンダー）が、第２の端部がハウジング５０３で停止するように、ハウジング５０３に挿入されることができる。そのような実施例で、スロット６０１は、シリンダーの第１の端部を受入れるために、適切な開口部で置き換えられる。上述のいくつかの実施例において、ブラシアセンブリ固定部品５０１が２ピースのアセンブリでよいが、１又はそれ以上の小片５０５は、１ピースのブラシアセンブリ固定部品を形成するためにハウジング５０３に恒久的に結合されてもよく、これによるとハウジングの除去によって小片の全てが除去される。筒形のハウジング５０３とブラシ１０１が使用されているが、ハウジング５０３及び／又はブラシ１０１には他の形状を使用することができる。要約すると、本発明は、組立ての際に、ブラシとマンドレルとの間にあるように結合された低摩擦材料挿入物（例えば、小片）を使用する。このように、ブラシ／マンドレルの組み立てを容易にする。挿入物は、ブラシ又はマンドレルに結合し又は隣接して保持されるハウジングに結合されてもよく、又は、挿入物はハウジングではなくブラシ及び／又はマンドレルに直接結合されることができる。

本発明の一態様において、ブラシアセンブリを組立てるため、方法及び装置は、
（１）１又はそれ以上の挿入物をブラシの開口部に挿入し、ブラシの開口部はブラシの内表面によって形成され、（２）マンドレルをブラシの開口部に挿入し、１又はそれ以上の挿入物がマンドレルの外表面とブラシの内表面との間に存在し、
（３）１又はそれ以上の挿入物を除去し、マンドレルの外表面がブラシの内表面と接触できるようにし、これによってマンドレルにブラシを装着することによって提供される。

従って、本発明は例示的な実施例との関連で開示されたが、他の実施例も本発明の精神及び範囲に含まれることができ、その範囲は特許請求の範囲に基づいて定められると理解されなければならない。

本発明の実施例に係るブラシアセンブリに含まれることができるブラシの等角図である。 本発明の実施例に係る第１の例示的なマンドレルの端面図である。 本発明の実施例に係る図２の第１の例示的なマンドレルの断面図である。 本発明の実施例に係る第２の例示的なマンドレルの側面図である。 発明の実施例に係るブラシアセンブリ固定部品を使用してブラシアセンブリを形成するためにブラシに挿入されるマンドレルの長手方向の断面図である。 本発明の実施例に係る図５のブラシアセンブリ固定部品のハウジングの端面図である。 本発明の実施例に係る図６のハウジングのライン７−７に沿った断面図である。 本発明の実施例に係る本発明のブラシアセンブリ固定部品を使用するための例示的な方法を示す図面である。 本発明の実施例に係るブラシ開口部に挿入される１又はそれ以上の小片の等角図である。 本発明の実施例に係るマンドレルに結合される基部の等角図である。 マンドレルが本発明の実施例に係る図１０の基部に連結される間にブラシアセンブリ固定部品に挿入されるマンドレルの等角図である。 本発明の実施例に係るマンドレル（仮想線で示される）とこれに装着されるブラシ、及びこれに装着されるブラシの一部を示す等角図である。

Claims (15)

1. スクラバブラシアセンブリを組立てるための方法であって、
   １又はそれ以上の挿入物の第１の端部をブラシアセンブリ固定部品のハウジングの１又はそれ以上のスロットに挿入し、この挿入は、１又はそれ以上の挿入物の第２の曲げられた端部が、１又はそれ以上のスロットを通り抜けることなく、ハウジング内で停止するまで行われ、
   スクラバブラシの開口部の中に１又はそれ以上の挿入物を挿入し、スクラバブラシの開口部はスクラバブラシの内表面によって形成され、
   スクラバブラシの開口部にマンドレルを挿入し、これによって１又はそれ以上の挿入物をマンドレルの外表面とスクラバブラシの内表面との間に位置させ、
   マンドレルの１又はそれ以上の端部の周囲に沿って設けられた１又はそれ以上のタブにより、１又はそれ以上の挿入物をマンドレルにガイドし、これによって１又はそれ以上の挿入物とマンドレルを位置合わせし、
   １又はそれ以上の挿入物を除去し、マンドレルの外表面がスクラバブラシの内表面と接触できるようにし、これによってスクラバブラシをマンドレルに装着する方法。
2. スクラバブラシの開口部の中に１又はそれ以上の挿入物を挿入することは、１又はそれ以上の挿入物をハウジングへ挿入することと、ハウジング内で１又はそれ以上の挿入物をスクラバブラシの開口部に挿入することを含み、
   １又はそれ以上の挿入物を除去し、マンドレルの外表面がスクラバブラシの内表面と接触できるようにすることは、ハウジングから１又はそれ以上の挿入物を除去することを含む請求項１記載の方法。
3. スクラバブラシの開口部にマンドレルを挿入し、これによって１又はそれ以上の挿入物をマンドレルの外表面とスクラバブラシの内表面との間に位置させることは、マンドレルの外表面とスクラバブラシの内表面との間の摩擦を減少させることを含む請求項１記載の方法。
4. １又はそれ以上の挿入物が低摩挿入物を含む請求項１記載の方法。
5. スクラバブラシの開口部にマンドレルを挿入し、これによって１又はそれ以上の挿入物をマンドレルの外表面とスクラバブラシの内表面との間に位置させる前に、マンドレルを基部に結合することを含む請求項１記載の方法。
6. スクラバブラシの開口部にマンドレルを挿入し、これによって１又はそれ以上の挿入物をマンドレルの外表面とスクラバブラシの内表面との間に位置させた後に、基部からマンドレルを除去することを含む請求項５記載の方法。
7. ハウジングを備えたスクラバブラシアセンブリ固定部品であって、
   スクラバブラシアセンブリ固定部品のハウジングは、第１の開口部を形成する第１の端部と、
   スクラバブラシ内に装着されるマンドレルを受入れるように用いられる第２の開口部を形成する第２の端部を備え、第２の端部は挿入物の第１の端部を受入れるように用いられる第２の開口部の周囲のスロットを１又はそれ以上を含み、
   第１の端部と第２の曲げられた端部を有する１又はそれ以上の挿入物を含み、第１の端部は１又はそれ以上のスロットを介してハウジングに結合するために用いられ、
   第２の曲げられた端部は、１又はそれ以上のスロットを通り抜けることなく、ハウジング内で停止している１又はそれ以上の挿入物を有するスクラバブラシアセンブリ固定部品。
8. スクラバブラシアセンブリ固定部品は、スクラバブラシの開口部へ１又はそれ以上の挿入物の挿入を可能にするように用いられ、スクラバブラシの開口部はスクラバブラシの内表面によって形成され、
   スクラバブラシの開口部にマンドレルの挿入を可能にするように用いられ、これによって１又はそれ以上の挿入物がマンドレルの外表面とスクラバブラシの内表面との間にあるようし、
   １又はそれ以上の挿入物の除去を可能にするよう用いられ、マンドレルの外表面がスクラバブラシの内表面と接触でき、これによってスクラバブラシをマンドレルに装着する請求項７記載のスクラバブラシアセンブリ固定部品。
9. スクラバブラシアセンブリ固定部品は、マンドレルの外表面とスクラバブラシの内表面との間の摩擦を減少させるように用いられる請求項８記載のスクラバブラシアセンブリ固定部品。
10. １又はそれ以上の挿入物が低摩擦挿入物を含む請求項８記載のスクラバブラシアセンブリ固定部品。
11. １又はそれ以上挿入物はポリテトラフルオロエチレンで形成される請求項７記載のスクラバブラシアセンブリ固定部品。
12. プレートと、プレートに結合され、マンドレルに結合されるように用いられるプッシャーを有する基部を備える請求項７記載のスクラバブラシアセンブリ固定部品。
13. スクラバブラシアセンブリを形成するためにスクラバブラシに挿入されるように用いられるマンドレルを備えた装置であって、
    マンドレルは、
    第１の端部と、
    第２の端部と、
    第１及び第２の端部の少なくとも一方の周囲に沿って設けられ、スクラバブラシアセンブリ固定部品を介してスクラバブラシをマンドレルに配置するように用いられる１又はそれ以上のノッチ又はタブを有し、
    １又はそれ以上のノッチ又はタブは、スクラバブラシアセンブリ固定部品の１又はそれ以上の挿入物をガイドし、スクラバブラシアセンブリ固定部品をマンドレルに対して位置あわせするように用いられる装置。
14. 第１及び第２の端部の少なくとも一方の周囲に沿った１又はそれ以上の溝を含み、これによってスクラバブラシアセンブリ固定部品の１又はそれ以上の挿入物をガイドし、スクラバブラシアセンブリ固定部品をマンドレルに対して位置決めする請求項１３記載の装置。
15. マンドレルの外表面は、こぶ、溝及び粗い仕上げの少なくとも１つを含む請求項１３記載の装置。

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