JP4796330B2 - バンプ加工方法 - Google Patents
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Description
2:チャックテーブル
20:カバー 21:ジャバラ
22:チャックテーブル送り手段
220:ボールネジ 221:ガイドレール 222:パルスモータ
223:移動基台 224:モータ
3:切削手段
30:スピンドル 31:スピンドル 32:モータ 33:工具マウント
34:切削工具
4:オペレーションパネル
5a:第一のカセット 5b:第二のカセット
6:搬出入手段
60:アーム部 61:保持部
7:位置合わせ手段
8:洗浄手段
9a:第一の搬送手段 9b:第二の搬送手段
10:切削送り手段
100:ボールネジ 101:パルスモータ 102:ガイドレール
103:昇降部材 104:ブラケット 105:支持部材 106:固定部材
11:切削送り制御手段
12:撮像手段
13:画像処理手段
14:切削量記憶手段
W:ウェーハ
S:ストリート
D:デバイス
B:バンプ
P:電極板
Claims (1)
- ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを移動させるチャックテーブル送り手段と、該チャックテーブルに保持されたウェーハに形成されたバンプを切削する切削工具を備えた切削手段と、該切削手段を該チャックテーブルに対して接近及び離反させる切削送り手段と、該切削送り手段を制御する切削送り制御手段と、該切削手段に固定され該切削手段と連動して昇降すると共に該ウェーハのバンプを撮像して認識する撮像手段とを備えたバンプ加工装置を用いて該バンプを切削するバンプの加工方法であって、
該撮像手段が任意のバンプの頂部に焦点を合わせた時の該切削手段の位置を原点として該切削送り制御手段に記憶させ、該切削送り制御手段は、該撮像手段の焦点位置から該切削工具までの距離に所望切削量を加算した値を、該原点からの切削送り量として該切削送り手段を制御してバンプの切削を行い、
該ウェーハを構成するバンプのうち一部のバンプの切削後に、切削済みの該一部のバンプを該撮像手段によって撮像し、該撮像により取得した画像における該一部のバンプの頂部の色と面積から切削量を判断し、該一部のバンプの切削量に応じて該切削送り量を補正して再度該一部のバンプの切削を遂行するバンプの加工方法。
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