JP4791905B2 - 基板洗浄方法 - Google Patents
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1 処理槽
2 ウェーハホルダー
3 回転軸
4 スプレーノズル
4a 薬液等の流体および、N2等の不活性ガス
A 薬液処理終了ポイント、純水リンス処理開始ポイント
B 純水リンス処理終了ポイント、温純水リンス処理開始ポイント
C 温純水リンス処理終了ポイント、乾燥処理開始ポイント
C´ 温純水リンス処理終了ポイント、純水リンス処理開始ポイント
D 純水リンス処理終了ポイント、乾燥処理開始ポイント
E 乾燥処理終了ポイント
S1 薬液洗浄工程
S2 純水リンス工程
S3 温純水リンス工程
S4 純水リンス工程
S5 乾燥工程
Claims (7)
- 基板処理装置内に基板を設置し、基板の表面を薬液で浄化する第1の工程と、
前記基板の表面に残存する薬液を純水にて置換する第2の工程と、
前記第2の工程で使用した純水よりも高温の温純水にて前記基板の表面を処理する第3の工程と、
前記基板処理装置内および前記基板を前記温純水の温度よりも低い温度の純水を用いて冷却する第4の工程と、
前記第4の工程における冷却後、前記基板を乾燥する第5の工程と、
を含み、
前記第4の工程が、前記第5の工程における乾燥後の前記基板表面の異物の数が許容値以下となる、または異物密度が最小となる温度に、装置内温度を冷却するものであることを特徴とする基板洗浄方法。 - 前記第4の工程が、50℃〜60℃に基板温度を冷却するものであることを特徴とする請求項1記載の基板洗浄方法。
- 前記第1から第5の工程を、前記基板処理装置の単一の処理槽内で、前記薬液、前記純水または温純水をスプレーノズルから吐出させて連続的に行うことを特徴とする請求項1記載の基板洗浄方法。
- 前記基板処理装置が密閉構造の処理槽を有し、
密閉された前記処理槽内の基板に対し前記第1から第5の工程を行うことを特徴とする請求項1記載の基板洗浄方法。 - 前記第3の工程で温純水の温度がすくなくとも90℃以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の基板洗浄方法。
- 前記第5の工程で、窒素ガスを供給しながら前記基板を回転させて水分を除去することを特徴とする請求項1記載の基板洗浄方法。
- 前記第5の工程で処理終了の際の装置内温度が、40℃〜50℃であることを特徴とする請求項1記載の基板洗浄方法。
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