JP4790743B2 - 炭素ナノチューブ合成装置及び炭素ナノチューブ合成システム - Google Patents
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Description
前記熱分解法は、一例として、前記触媒が塗布された基板を外部にヒーターが結合された反応チャンバーに別途の移送装置を通じて移送し、前記反応チャンバーに前記反応ガスを注入して前記基板に塗布された触媒と反応させて前記炭素ナノチューブを合成する。
本発明の更に他の目的は、前記炭素ナノチューブ合成装置を有する炭素ナノチューブ合成システムを提供することにある。
又、前記炭素ナノチューブ合成システムは、前記システムチャンバー内に設置され前記基板を臨時に保管する保管部を更に含むことができる。前記保管部は、前記炭素ナノチューブが合成された基板から一部前記炭素ナノチューブが分離される時、前記分離された炭素ナノチューブを回収するための第2回収容器を含むことができる。
又、前記基板が積載されたボートを移送させるために、レール形状を有するガイド部を使用することにより、前記ボートが前記反応チャンバーに移送される時に垂れることを防止することができる。
図1は本発明の一実施例による炭素ナノチューブ合成システムを示す概略的な構成図で、図2は図1に図示された炭素ナノチューブ合成システムの外観を示す斜視図である。
前記反応チャンバー210には反応ガス(Rg)が注入される。前記反応ガス(Rg)は、実質的に前記基板10に塗布された前記触媒と反応して前記炭素ナノチューブを合成するガスである。前記反応ガス(Rg)は、一例として、炭化水素(CnHm)で形成されることができる。
図3は、図1に図示された炭素ナノチューブ合成システムのボート移送部を通じてボートが反応チャンバーの内部に完全に移送された状態を示す図で、図4は、図3のボートとボート移送部を示す斜視図で、図5は、図4のボートとボート移送部を側面から見た図である。
一例として、前記ボート220は、底部222、第1突出部224、及び第2突出部226を含む構造を有することができる。具体的に、前記底部222は、x軸及びy軸に定義される平面に沿って配置される。前記第1突出部224は、その間の空間に前記基板10の積載が可能であるように前記底部222からz軸に沿って垂直に突出される。前記第2突出部226は、前記第1突出部224の内側から突出され前記基板10が実質的に積載されるようにする。
又、前記基板10が積載された前記ボート220を移送させるためにレール形状の前記ガイド部236を使用することにより、前記ボート220が前記反応チャンバー210に移送される時に垂れることを防止することができる。
図6は、図1に図示された炭素ナノチューブ合成システムの基板移送部を示す斜視図である。
前記第1フレーム241は、前記基板移送部240を設置するための骨格を提供する。前記第1フレーム241はボート220が反応チャンバー210の前で待機する時、前記ボート220のすぐ横で平行に設置される。前記第1フレーム241の上部には前記ボート220と平行な方向に設置されたガイドレール242が形成される。
図7は、図1に図示された炭素ナノチューブ合成システムの塗布部及び回収部を示す斜視図で、図8は、図7の塗布部及び回収部を側面から見た図である。
前記第2分離部330は、前記基板10に接触可能な部材331を使用して前記基板10に物理的力を加えることにより、前記基板10に残留する炭素ナノチューブ20を前記基板10から分離させる。一例として、前記接触可能な部材331はブラシ又はナイフが挙げられる。このような前記第2分離部330は、前記接触可能な部材331を回転した基板10に移動させるための移動部332を含む。
前記保管部600は、前記炭素ナノチューブ20が合成された基板10、前記炭素ナノチューブ20の合成のために前記触媒30が塗布された基板10又は外部から搬入され前記触媒30を塗布するための基板10を臨時に保管する。これは、前記基板10が前記回収部300及び前記塗布部400で処理される時間と反応チャンバー210で前記炭素ナノチューブ20を合成する時間が差異があるためである。一方、前記保管部600に保管される前記基板10は基板移送部240から移送されるか、外部の他の移送部から移送されることができる。
図9は、図1に図示された炭素ナノチューブ合成システムの保管部を示す斜視図で、図10は、図9に図示された保管部のカセット部に基板が保管された状態を示す図である。
前記カセット部610には、前記炭素ナノチューブ20が合成された基板10又は前記炭素ナノチューブ20の合成のために前記触媒30が塗布された基板10を多数保管するための保管空間が形成される。
以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。
Claims (11)
- 炭素ナノチューブを合成する合成空間の外部において基板を積載可能で、かつ前記基板を多数枚で積載できるように多段構造を有するボートを準備する段階と、前記ボートに前記基板を積載させる段階と、前記基板が積載されたボートを前記合成空間に移送する段階と、前記合成空間に移送された基板を対象として前記炭素ナノチューブを合成する段階とを含む炭素ナノチューブ合成方法を実施する炭素ナノチューブ合成装置において、
炭素ナノチューブを合成するための空間を提供する反応チャンバーと、
前記炭素ナノチューブを合成するための基板が積載される前記ボートと、
前記反応チャンバーの外部に設置され、前記反応チャンバーの外部に位置する前記ボートに前記基板を積載する基板移送部と、
前記反応チャンバーの外部から前記反応チャンバーの内部に前記ボートを移送するか、前記反応チャンバーの内部から前記反応チャンバーの外部に前記ボートを移送するボート移送部であって、前記ボートと結合して前記ボートを支持する支持部と、前記支持部の移送をガイドするガイド部と、前記支持部を駆動させて前記支持部に結合されたボートを前記反応チャンバーの内部に又は外部に移送させる駆動部と、前記支持部に結合しながら前記ガイド部に結合するガイド結合部と、前記支持部の移送によって前記ボードが前記反応チャンバーの内部に移送する時に前記反応チャンバーを外部と遮断させる遮断部とを含むボート移送部と
を備え、前記遮断部は、前記支持部及び前記ガイド結合部の間でこれらと結合した構造を有していることを特徴とする炭素ナノチューブ合成装置。 - 前記基板移送部は、
前記ボートに積載された基板を装着して平面的に回転しながら移送する第1移送部と、
前記第1移送部と結合され前記第1移送部を上下に移送させる第2移送部と、
前記第2移送部と結合され前記第2移送部を左右に移送させる第3移送部と、
前記第1、第2、及び第3移送部のそれぞれを駆動させる駆動部と、を含むことを特徴とする請求項1記載の炭素ナノチューブ合成装置。 - 請求項1又は2記載の炭素ナノチューブ合成装置を備えた炭素ナノチューブ合成システムであって、
前記基板上に触媒を塗布する塗布部と、
前記基板上に合成された炭素ナノチューブを前記基板から分離回収する回収部と、
を含む炭素ナノチューブ合成システム。 - 前記塗布部と前記回収部は、その配置が上下積層構造を有することを特徴とする請求項3記載の炭素ナノチューブ合成システム。
- 前記塗布部は、
前記触媒を保存しながら放出するホッパーと、
前記ホッパーから放出された触媒をサイズによって選別して下部で移動する基板に放出する選別部と、
前記選別部に結合され、前記ホッパーから放出された触媒を分散させるために前記選別部を振動させる振動部と、を含むことを特徴とする請求項3記載の炭素ナノチューブ合成システム。 - 前記回収部は、
前記炭素ナノチューブが合成された基板を垂直に回転させて前記炭素ナノチューブを前記基板から分離させる第1分離部と、
前記回転された基板に残留する炭素ナノチューブを分離させる第2分離部と、
前記第1及び第2分離部の下部で前記分離された炭素ナノチューブを回収する回収容器と、を含むことを特徴とする請求項3記載の炭素ナノチューブ合成システム。 - 前記第2分離部は、前記基板に接触可能な部材を使用して前記基板に物理的力を加えることにより、前記基板に残留する炭素ナノチューブを前記基板から分離させることを特徴とする請求項6記載の炭素ナノチューブ合成システム。
- 前記反応チャンバー、前記第1移送部、前記第2移送部、及び前記塗布部、及び前記回収部が内部に設置されるようにしてこれらを外部から遮断するシステムチャンバーを更に含むことを特徴とする請求項3記載の炭素ナノチューブ合成システム。
- 前記システムチャンバーは、上部の内部に注入される不活性ガスを下部に誘導するための誘導パンが形成されることを特徴とする請求項8記載の炭素ナノチューブ合成システム。
- 前記システムチャンバー内に設置され前記基板を臨時に保管する保管部を更に含むことを特徴とする請求項8記載の炭素ナノチューブ合成システム。
- 前記保管部は、前記炭素ナノチューブが合成された基板から一部前記炭素ナノチューブが分離される時、前記分離された炭素ナノチューブを回収するための回収容器を含むことを特徴とする請求項10記載の炭素ナノチューブ合成システム。
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