JP4785830B2 - 高電流密度粒子ビームシステム - Google Patents
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Description
以下において本出願の保護範囲を制限することなく、荷電粒子ビーム装置又はその構成要素は、電子ビーム装置又はその構成要素として例示的に参照される。これにより電子ビームは、特に検査又はリソグラフィー向けに利用することができる。本発明は更に、試料イメージを得るために荷電粒子及び/又は他の2次及び/又は後方散乱荷電粒子を使用する装置及び構成要素に適用することができる。
Dprobe=(D2 spherical+D2 chromatic+D2 interaction)1/2
球面収差はアパーチャ角αの三乗に依存し、
Dspherical=Csα3
となる。
Dspherical enlargement=3CsαBα2
ここで、αはアパーチャの中心と光軸との間の角度である。よって球面収差は、単にアパーチャと光軸との間の角度の二乗と共に増大する。
18 対物レンズ
26 アパーチャ構成
36 アパーチャ
Claims (17)
- 走査型荷電粒子ビーム装置であって、
荷電粒子を放出するためのエミッタ(12)と、
試料上で前記荷電粒子を走査する走査ユニットと、
十字状形状を有する複合区域サブビーム荷電粒子ビームを形成する、放出された荷電粒子の一部を遮断するための少なくとも1つのアパーチャ(36)を有するアパーチャ構成(26;86)と、
前記複合区域サブビーム荷電粒子ビームを合焦するための対物レンズ(18)と、
を備え、
前記エミッタ、前記アパーチャ構成、コンデンサレンズ、および前記走査ユニットを有する前記荷電粒子ビーム装置が、粒子源、虚像源又はクロスオーバの像である前記試料上にプローブを生成するために、前記複合区域サブビーム荷電粒子ビームを焦点面内の同じ位置上に合焦するように構成されていることを特徴とする装置。 - 前記アパーチャ構成が、断面積及び断面外周とを有し、前記断面外周と前記断面積との比率が、前記複合区域サブビーム荷電粒子ビームと同じ断面積を有する円形ビームの断面外周と断面積との比率と比較して、少なくとも15%だけ増大することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記断面外周と断面積との前記比率が、同じ断面積を有する円形ビームの断面外周と断面積との比率と比較して少なくとも40%だけ増大することを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記複合区域サブビーム荷電粒子ビームが、前記装置の光軸の周りに4回対称で提供されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の装置。
- 少なくとも1つのアパーチャを有する前記アパーチャ構成(26;86a、b)が、少なくとも2つのアパーチャ(36)を含み、前記複合区域サブビーム荷電粒子ビームが、少なくとも2つの独立した荷電粒子ビームとして提供されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つの請求項に記載の装置。
- 少なくとも1つのアパーチャを有する前記アパーチャ構成(26;86a、b)が、4つのアパーチャ(36)を含み、前記複合区域サブビーム荷電粒子ビームが、4つの独立した荷電粒子ビームとして提供されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つの請求項に記載の装置。
- 前記少なくとも2つの独立した荷電粒子ビームまたは前記4つの独立した荷電粒子ビームが、該少なくとも2つの独立した荷電粒子ビームの間に相互作用が発生しないような互いに対する距離(D)を有することを特徴とする請求項5または6のいずれか1つの請求項に記載の装置。
- 前記少なくとも2つの独立した荷電粒子ビームまたは前記4つの独立した荷電粒子ビームが、互いに対する距離(D)を有し、前記距離が、前記少なくとも2つのアパーチャ(36)の直径とほぼ同じ寸法を有することを特徴とする請求項5または6のいずれか1つの請求項に記載の装置。
- 前記少なくとも2つのアパーチャ(36)または前記4つのアパーチャ(36a、36b、36c、36d)が、セグメント化された環状アパーチャによって形成されることを特徴とする請求項5または6のいずれか1つの請求項に記載の装置。
- 前記少なくとも2つのアパーチャ(36)または前記4つのアパーチャ(36a、36b、36c、36d)が、長軸及び短軸を有する細長い形状を有し、前記長軸が、前記荷電粒子ビーム装置の光軸(1)に対して半径方向に配置されることを特徴とする請求項5または6のいずれか1つの請求項に記載の装置。
- 前記アパーチャ構成の少なくとも1つのアパーチャが、4つの連結された細長いアパーチャによって形成された十字状形状を有することを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 球面収差補正素子(52)を更に備える前記請求項1ないし11のいずれか1つの請求項に記載の装置。
- 前記球面収差補正素子(52)が、八極子素子によって提供されることを特徴とする請求項12に記載の装置。
- 前記アパーチャ構成(26;86)が、放出源又は虚像源(12)と、前記放出源に最も近接して位置付けられた荷電粒子ビームレンズとの間に位置付けられることを特徴とする請求項12に記載の装置。
- 荷電粒子ビーム装置の動作方法であって、
前記放出された荷電粒子の一部を遮断するための少なくとも1つのアパーチャ(36)を有し、断面積及び断面外周を有する複合区域サブビーム荷電粒子ビームを形成するアパーチャ構成(26;86)を照射する段階を含み、
これにより前記断面外周と断面積との比率が、前記複合区域サブビーム荷電粒子ビームと同じ断面積を有する円形ビームの断面外周と断面積との比率と比較して、少なくとも15%だけ増大され、
前記方法が更に、
対物レンズ(18)を用いて前記複合区域サブビーム荷電粒子ビームを、粒子源、虚像源又はクロスオーバの像である試料(19)上にプローブを生成するために該試料(19)の同じ位置上に合焦させる段階と、
走査ユニットによって、前記試料を前記ビームで走査する段階と、
を含む荷電粒子ビーム装置の動作方法。 - 前記照射段階が、前記荷電粒子ビーム装置の光軸(1)の周りの円上で少なくとも2つの独立した荷電粒子ビームを生成する段階を含む請求項15に記載の荷電粒子ビーム装置の動作方法。
- 前記荷電粒子が、3keVを下回るエネルギーを用いて試料(19)上に衝突するようにエネルギーが与えられることを特徴とする請求項15または16のいずれか1つの請求項に記載の荷電粒子ビーム装置の動作方法。
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