JP4776082B2 - 平面光導波路型マッハツェンダー回路および該平面光導波路型マッハツェンダー回路を用いた平面光導波回路ならびに光合分波器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信等で用いられる平面光導波路型マッハツェンダー回路および平面光導波路型マッハツェンダー回路を用いた平面光導波回路ならびに光合分波器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
光通信分野において、平面光導波路型マッハツェンダー回路が広く用いられている。図10に示すように、平面光導波路型マッハツェンダー回路10は、基板上に同図に示す導波路構成を有する導波路形成領域を形成したものである。なお、説明を分かりやすくするために、同図においては、導波路構成をハッチングにより示している。
【0003】
上記導波路構成は、第1の光導波路3と、該第1の光導波路3と並設された第2の光導波路4とを有し、第1の光導波路3と第2の光導波路4を近接させて成る第1の方向性結合部1と、該第1の方向性結合部1と光導波路長手方向に間隔を介した位置において前記第1の光導波路3と前記第2の光導波路4を近接させて成る第2の方向性結合部2とを有し、該第2の方向性結合部2と前記第1の方向性結合部1に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4から成る位相シフタを有している。
【0004】
同図に示す平面光導波路型マッハツェンダー回路10において、位相シフタは、2つの方向性結合部1,2に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の長さを互いに異なる長さとして形成している。
【0005】
同図に示すような構成の平面光導波路型マッハツェンダー回路10は、2つの方向性結合部1,2の結合効率η1、η2と、2つの方向性結合部1,2に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の長さの差ΔLの3つのパラメータを適切に設定することにより、波長無依存カプラ、光合分波器(光波長合分波器)、分散等価器等の機能を実現することができる。
【0006】
また、平面光導波路型マッハツェンダー回路10は、2つの方向性結合部1,2に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の光路長差をヒーター等により変化させることにより、光スイッチ、可変光減衰器等として適用することもできる。なお、2つの方向性結合部1,2に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の光路長差は、2つの方向性結合部1,2に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の長さの差ΔLと前記第1および第2の光導波路3,4の屈折率nとの積(n・ΔL)である。
【0007】
平面光導波路型マッハツェンダー回路10において、第1の光導波路3の入射側から入力されて第2の光導波路4の出射側から出力される光波長、又は、前記第2の光導波路4の入射側から入力されて前記第1の光導波路3の出射側から出力される光波長はクロス伝搬波長と呼ばれる。また、第1の光導波路3の入射側から入力されて該第1の光導波路3の出射側から出力される光波長、又は、第2の光導波路4の入射側から入力されて該第2の光導波路4の出射側から出力される光波長はスルー伝搬波長と呼ばれる。
【0008】
平面光導波路型マッハツェンダー回路10を光合分波器として適用する場合、以下の設計条件で平面光導波路型マッハツェンダー回路を設計することにより、図10に示すように、第1の光導波路3の入射側から入射した波長λ1の光と第2の光導波路4の入射側から入射した波長λ2の光を合波して、第2の光導波路4の出射側から出射することができる。
【0009】
上記設計条件は、2つの方向性結合部1,2に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の光路長差(ΔL・n)を、クロス伝搬波長に整数N(Nは1以上)を掛けた値とし、かつ、スルー伝搬波長に(M+0.5)を掛けた値(Mは0以上の整数)にすることである。
【0010】
上記設計条件に基づいて平面光導波路型マッハツェンダー回路10を設計すると、例えば前記長さの差ΔLを51.2μmとし、第1と第2の方向性結合部1,2の結合効率を50%に設定することにより、第1の光導波路3の入射端から入射する波長λ1(λ1=1480nm)の光と、第2の光導波路4の入射端から入射する波長λ2(λ2=1495nm)の光を低損失で合分波する平面光導波路型マッハツェンダー回路10を形成できる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような平面光導波路型マッハツェンダー回路においては、波長合分波特性が安定していることが望まれている。しかしながら、平面光導波回路に平面光導波路型マッハツェンダー回路10を形成する場合、その他の回路構成も基板上に形成されることがあり、平面光導波路型マッハツェンダー回路10に隣接する回路の導波路と平面光導波路型マッハツェンダー回路10との距離による相互の影響が懸念される。
【0012】
そこで、本発明者は、上記相互の影響を調べるために、以下の検討を行なった。すなわち、図11に示すように、互いに間隔を介して5つの平面光導波路型マッハツェンダー回路10(10a,10b,10c,10d,10e)を並設し、前記間隔にダミーの直線導波路9を形成した。なお、同図においても、導波路構成(第1、第2の光導波路3,4および直線導波路9)にはハッチングを施している。
【0013】
そして、この直線導波路9と平面光導波路型マッハツェンダー回路10の第1の光導波路3のうち第1と第2の方向性結合部1,2に挟まれた部分とのコア中心間最短距離および、直線導波路9と第2の光導波路4のうち第1と第2の方向性結合部1,2に挟まれた部分とのコア中心最短間距離を様々に変えて平面光導波路型マッハツェンダー回路10(10a,10b,10c,10d,10e)に対する直線導波路9の影響を検討した。
【0014】
なお、同図に示すように、平面光導波路型マッハツェンダー回路10aの第1の光導波路3および第2の光導波路4のうち第1と第2の方向性結合部1,2に挟まれた部分と、平面光導波路型マッハツェンダー回路10aを長手方向に沿って挟む両側の直線導波路9との間隔(直線導波路9の幅方向(X方向)中心と第1の光導波路3の幅方向中心との最短距離(コア中心間距離)および、直線導波路9の幅方向中心と第2の光導波路4の幅方向中心との最短距離)は共に60μmとした。
【0015】
また、平面光導波路型マッハツェンダー回路10bの第1の光導波路3および第2の光導波路4のうち第1と第2の方向性結合部1,2に挟まれた部分と、平面光導波路型マッハツェンダー回路10bを長手方向に沿って挟む両側の直線導波路9との間隔は共に80μmとし、同様に、それぞれの平面光導波路型マッハツェンダー回路10c,10d,10eと直線導波路9との間隔(コア中心間距離)は、125μm、250μm、500μmずつとした。
【0016】
そして、同図に示す回路構成を、基板となる直径4インチのウェハー上に8個配設した。
【0017】
また、上記回路構成の作製は以下のようにして行なった。すなわち、まず、図12の(a)に示すように、シリコン基板11上に火炎加水分解堆積法を用いて石英系ガラスから成る下部クラッド膜12と、石英系ガラスにTiO2をドープしたコア膜13を成膜し、焼結透明化した。なお、図中40は、バーナを示している。そして、コア膜13と下部クラッド膜12の材質を上記のようにすることにより、コア膜13の屈折率を下部クラッド膜12より屈折率を高め、比屈折率差Δを約0.4%とした。
【0018】
次に、図11に示した回路構成を備えたフォトマスクを用い、フォトリソグラフィー法とドライエッチング法により、上記回路構成のコア13aを形成し、断面が例えば図12の(b)に示す状態となるようにする。そして、同図の(c)に示すように、コア13aを覆う石英径ガラスの上部クラッド膜14を火炎堆積加水分解法により成膜し、コア構成をクラッド中に埋め込み、焼結、透明化して同図の(d)に示す状態にした。
【0019】
図13には、上記のようにして作製した回路構成において、第1の光導波路3の入射側から広帯域光源の光を入射したときの、第2の光導波路4の出射側から出射された光のスペクトル例を示す。なお、図13において、特性線aはTEモードの光による測定結果、特性線bはTMモードの光による測定結果をそれぞれ示している。同図に示すように、上記スペクトルは、波長1480nm付近に最小損失ピークを持つスペクトルとなった。以下、この最小損失ピークの波長をピーク波長と呼ぶ。
【0020】
このようなスペクトル測定を4ウェハー分の32チップについて行ない、前記直線導波路9との間隔に応じて、各平面光導波路型マッハツェンダー回路10の1480nm付近におけるTEモードのピーク波長がどのようにばらつくかを検討した。その結果が図14に示されている。なお、同図において、×は各チップのTEモードのピーク波長をそれぞれ示し、○は32チップのTEモードのピーク波長の平均ピーク波長を示している。
【0021】
同図から明らかなように、平面光導波路型マッハツェンダー回路10と隣接導波路(ここでは直線導波路9)との間隔が小さくなるにつれて、平均ピーク波長が長波長側にシフトしている。また、平面光導波路型マッハツェンダー回路10と直線導波路9との間隔が小さくなるにつれて、ピーク波長のばらつきが大きくなる傾向が見られる。
【0022】
例えば平面光導波路型マッハツェンダー回路10の第1の光導波路3および第2の光導波路4と直線導波路9との間隔が60μm〜500μmの範囲内で変化した場合のピーク波長変化量は約2.1nmとなった。
【0023】
また、平面光導波路型マッハツェンダー回路10の第1の光導波路3および第2の光導波路と直線導波路9との間隔が一定の場合でも、ピーク波長は、例えば上記間隔が60μmのときには±3nm程度ばらつくため、両者を合わせると、最大で5nm程度の波長ばらつきが生じることになる。
【0024】
そして、波長ずれが5nm生じた場合、図13のスペクトルから明らかなように、波長ずれがない場合と比較して約1.2dBもの挿入損失の増加が生じることになる。
【0025】
さらに、平面光導波路型マッハツェンダー回路10を用いた光合分波器の中心波長付近のスペクトルは、同図から明らかなように、ピーク波長から遠ざかるにしたがって偏波依存性損失(TEモードとTMモードにおける損失差の絶対値)が大きくなるため、波長ずれが5nm生じた場合、波長ずれがない場合と比較して、偏波依存性損失が0.1dB増加してしまうことになる。
【0026】
また、平面光導波路型マッハツェンダー回路を2つ以上接続して光波長合分波器として機能する平面光導波回路を構成した場合、各平面光導波路型マッハツェンダー回路における波長ずれの傾向が重なった場合は更なる損失増加を生じるため、非常に問題であった。
【0027】
本発明は上記従来の課題を解決するために成されたものであり、その目的は、隣接する導波路の影響によるピーク波長のばらつきや、挿入損失増加、偏波依存性損失増加等が生じることを抑制できる平面光導波路型マッハツェンダー回路および該平面光導波路型マッハツェンダー回路を用いた平面光導波回路ならびに光合分波器を提供することにある。
【0028】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は次のような構成をもって課題を解決するための手段としている。すなわち、第1の発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路は、第1の光導波路と、該第1の光導波路と並設された第2の光導波路とを有し、前記第1の光導波路と前記第2の光導波路を近接させて成る第1の方向性結合部と、該第1の方向性結合部と光導波路長手方向に間隔を介した位置において前記第1の光導波路と前記第2の光導波路を近接させて成る第2の方向性結合部とを有し、該第2の方向性結合部と前記第1の方向性結合部に挟まれた第1の光導波路と第2の光導波路から成る位相シフタを有し、前記第1の方向性結合部と前記第2の方向性結合部に挟まれる領域内の第1の光導波路と第2の光導波路の長手方向に沿った側部両側、および第1及び第2の方向性結合部が形成されている領域の該方向性結合部を構成している第1の光導波路と第2の光導波路のそれぞれ外側には、第1の光導波路および第2の光導波路と同一の間隔を介して非結合コア部が設けられるとともに、第1及び第2の光導波路の入出力端付近には非結合コア部を設けずにクラッド部とし、非結合コア部と第1および第2の光導波路との間隔を5μm以上20μm以下とし、第1の方向性結合部と第2の方向性結合部に挟まれた第1の光導波路と第2の光導波路に長さの差を設けることによって複数波長の合分波を行う構成をもって課題を解決する手段としている。
【0031】
さらに、第2の発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路は、上記第1の発明の構成に加え、前記第1の方向性結合部と第2の方向性結合部に挟まれた前記第1の光導波路と第2の光導波路の長さの差は、第1の光導波路の入射側から入力されて第2の光導波路の出射側から出力される光波長又は前記第2の光導波路の入射側から入力されて前記第1の光導波路の出射側から出力される光波長をクロス伝搬波長とし、前記第1の光導波路の入射側から入力されて該第1の光導波路の出射側から出力される光波長又は前記第2の光導波路の入射側から入力されて該第2の光導波路の出射側から出力される光波長をスルー伝搬波長としたときに、前記第1の方向性結合部と第2の方向性結合部に挟まれた第1の光導波路と第2の光導波路の長さの差ΔLと前記第1および第2の光導波路の屈折率nとの積(n・ΔL)が、クロス伝搬波長に整数N(Nは1以上)を掛けた値であり、かつ、スルー伝搬波長に(M+0.5)を掛けた値(Mは0以上の整数)である構成をもって課題を解決する手段としている。
【0032】
さらに、第3の発明の平面光導波回路は、平面光導波路型マッハツェンダー回路を複数有し、これら複数の平面光導波路型マッハツェンダー回路のうち少なくとも1つを上記第1又は第2の発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路とした構成をもって課題を解決する手段としている。
【0033】
さらに、第4の発明の光合分波器は、上記第1または第2の発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路または上記第3の発明の平面光導波回路を少なくとも1つ有している構成をもって課題を解決する手段としている。
【0034】
周知の如く、平面光導波路型マッハツェンダー回路のピーク波長は、2つの方向性結合部に挟まれた第1の光導波路と第2の光導波路の光路長差(n・ΔL)により決定されるので、本発明者は、この値のばらつきを抑制することによりピーク波長のばらつきを抑制できると考えた。
【0035】
上記光路長差(n・ΔL)のばらつきは、光導波路の回路構成を形成するエッチング時のローディング効果(被エッチング面積の変化によりエッチング量が変化する現象)等による光導波路幅のばらつき、上部クラッド形成時の上部クラッドガラス堆積ばらつき及びコアにかかる応力ばらつき等の製造時ばらつきにより引き起こされていると考えられる。
【0036】
従来の平面光導波路型マッハツェンダー回路においては、例えば図10に示したように、その長手方向中央部において、第1の光導波路3と第2の光導波路4とが離れており、この間隔全域に上部クラッド膜14が形成される。
【0037】
そして、図11に示したように、平面光導波路型マッハツェンダー回路10の長手方向に沿って平面光導波路型マッハツェンダー回路10の両側部側に隣接させて直線導波路9を形成すると、平面光導波路型マッハツェンダー回路10の中央部における断面構成は、例えば図12の(d)に示したようになり、第1の光導波路3と第2の光導波路4との距離よりもむしろ、第1の光導波路3と直線導波路9との距離および第2の光導波路4と直線導波路9との距離が短くなる。
【0038】
上記のように、第1の光導波路3と第2の光導波路4とが離れ、第1の光導波路3と直線導波路9とが近接し、第2の光導波路4と直線導波路9とが近接すると、例えば上部クラッド膜14のガラス微粒子堆積時やその後の焼結時に、第1、第2の光導波路3,4のコア13a加わる応力のバランスが崩れて、第1の方向性結合部1と第2の方向性結合部2に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の光路長差が上記製造時ばらつきの影響を受け易い。
【0039】
したがって、従来の平面光導波路型マッハツェンダー回路は、前記の如く、ピーク波長がばらつき、それに伴い、挿入損失や偏波依存性損失の増加が生じていたと考えられる。
【0040】
上記構成の本発明においては、前記第1の方向性結合部と前記第2の方向性結合部に挟まれる領域内の第1の光導波路と第2の光導波路の長手方向に沿った側部両側、および第1及び第2の方向性結合部が含まれる領域内の第1の光導波路と第2の光導波路のそれぞれ外側には、第1の光導波路および第2の光導波路と同一の間隔を介して非結合コア部が設けられており、例えば平面光導波路型マッハツェンダー回路の中央部の断面が図3に示すようになる。なお、図中、非結合コア部には符号5を付してある。
【0041】
また、例えば平面光導波路型マッハツェンダー回路10の長手方向に沿って平面光導波路型マッハツェンダー回路10の両側部側に隣接させて直線導波路9を形成すると、この回路の中央部の断面は、図5に示すようになる。
【0042】
すなわち、本発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路を適用すると、上記図3、図5のいずれにおいても、第1の光導波路3および第2の光導波路4と例えば一定間隔を介して、非結合コア部5が形成されているので、従来例と異なり、第1の方向性結合部と第2の方向性結合部に挟まれた第1の光導波路と第2の光導波路の光路長差が上記製造時ばらつきの影響を受け難くなり、上記光路長差がほぼ設計通りの一定の値となる。
【0043】
したがって、本発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路は、ピーク波長のばらつきや、それに伴う挿入損失および偏波依存性損失の増加を抑制することが可能となり、また、本発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路を用いた平面光導波回路ならびに光合分波器は、挿入損失や偏波依存性損失が小さく、設計通りの波長合分波機能を発揮することができる。
【0044】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明において、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略する。図1には、本発明に係る平面光導波路型マッハツェンダー回路の実施形態例が平面図により模式的に示されている。
【0045】
本実施形態例の平面光導波路型マッハツェンダー回路10は従来例とほぼ同様に構成されており、本実施形態例が従来例と異なる特徴的なことは、少なくとも第1の方向性結合部1と第2の方向性結合部2に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の長手方向に沿った側部両側近傍に、第1の光導波路3および第2の光導波路4と間隔を介して、伝搬光と殆ど光結合を生じない非結合コア部5が設けられていることである。
【0046】
なお、図1および以下に述べる図2、図4、図8、図9において、非結合コア部5は第1、第2の光導波路3,4と逆向きのハッチングにより示している。
【0047】
同図において、E1、E2で示した距離は、E1=E2=300μmであり、非結合コア部5は、第1の方向性結合部1の出射端よりも300μm光入射側寄りの位置から第2の方向性結合部2の入射端よりも300μm光出射側寄りの位置までの範囲において、第1の光導波路3と第2の光導波路4の長手方向に沿った側部両側近傍に設けられている。なお、ここでは、第1、第2の方向性結合部1,2の入射端、出射端とは、第1、第2の光導波路3,4の間の光結合が生じている範囲の両端を示している。
【0048】
また、非結合コア部5は第1の光導波路3および第2の光導波路4と一定間隔d(図2参照)を介して形成されており、非結合コア部5と第1および第2の光導波路3,4との間隔dを、第1実施形態例においては20μmとし、参考例においては40μmとした。
【0049】
本実施形態例の平面光導波路型マッハツェンダー回路10は、第1と第2の2つの方向性結合部1,2に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の長さの差ΔLを51.2μmとし、第1と第2の方向性結合部1,2の結合効率を50%に設定している。そして、本実施形態例の平面光導波路型マッハツェンダー回路10は、第1の光導波路3の入射端から入射する波長λ1=1480nmの光と、第2の光導波路4の入射端から入射する光の波長λ2=1495nmの光を合分波する光合分波器として機能する回路とした。
【0050】
さらに、本実施形態例の平面光導波路型マッハツェンダー回路10は、図3に示すように、石英系ガラスから成るクラッド(下部クラッド膜12と上部クラッド膜14)に、第1の光導波路3と第2の光導波路4を形成するコア13aと非結合コア部5を埋め込み形成したものであり、コア13aと非結合コア部5は共に、TiO2をドープした石英系ガラスにより形成されている。
【0051】
本実施形態例では、図1に示した回路構成を形成するために、フォトマスクを従来用いたフォトマスクと異なるものとし、図1の回路構成を有するフォトマスクとした以外は、従来と同様の製造方法で製造されており、比屈折率差Δも従来と同様の約0.4%である。
【0052】
本実施形態例は以上のように構成されており、第1の方向性結合部1の出射端よりも300μm光入射側寄りの位置から第2の方向性結合部2の入射端よりも300μm光出射側寄りの位置までの範囲において、第1の光導波路3と第2の光導波路4の長手方向に沿った側部両側近傍に、伝搬光と殆ど光結合を生じない非結合コア部5を設けているので、例えば第1の方向性結合部1と第2の方向性結合部2との間の領域における断面図が図3に示すようになる。
【0053】
すなわち、本実施形態例では、平面光導波路型マッハツェンダー回路10において、第1の光導波路3と第2の光導波路4および直線導波路9を除く全域に上部クラッドが形成される従来例と異なり、第1の方向性結合部1と第2の方向性結合部2に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の光路長差が製造時ばらつきの影響を受け難く、その値をほぼ設計通りの値に形成することができる。
【0054】
したがって、本実施形態例の平面光導波路型マッハツェンダー回路10は、ピーク波長のばらつきや、それに伴う挿入損失および偏波依存性損失の増加を抑制することができる。
【0055】
なお、本発明者は、本実施形態例の平面光導波路型マッハツェンダー回路10において、この回路10に隣接する導波路上記相互の影響を調べるために、以下の検討を行なった。
【0056】
すなわち、図4に示すように、従来の平面光導波路型マッハツェンダー回路10における検討と同様に、互いに間隔を介して5つの平面光導波路型マッハツェンダー回路10(10a,10b,10c,10d,10e)を並設し、前記間隔にダミーの直線導波路9を形成した。そして、この直線導波路9とそれぞれの平面光導波路型マッハツェンダー回路10の第1の光導波路3のうち第1と第2の方向性結合部1,2に挟まれた部分とのコア中心間距離および、直線導波路9と第2の光導波路4のうち第1と第2の方向性結合部1,2に挟まれた部分とのコア中心間距離を様々に変えて平面光導波路型マッハツェンダー回路10に対する直線導波路9の影響を検討した。
【0057】
なお、直線導波路9と平面光導波路型マッハツェンダー回路10(10a,10b,10c,10d,10e)の第1の光導波路3とのコア中心間距離および、直線導波路9と第2の光導波路4とのコア中心間距離も、従来例と同様に、それぞれ、同図に示すように、60μm、80μm、125μm、250μm、500μmずつとし、図4に示す回路構成を基板となる直径4インチのウェハー上に8個配設した。
【0058】
図6には、上記のようにして作製した回路構成において、第1の光導波路3の入射側から広帯域光源の光を入射したときの、第2の光導波路4の出射側から出射された光のスペクトル例を示す。なお、図6において、特性線aはTEモードの光による測定結果、特性線bはTMモードの光による測定結果をそれぞれ示している。同図から明らかなように、本実施形態例においても従来例と同様に、ピーク波長は1480nm付近となった。
【0059】
このようなスペクトル測定を4ウェハー分の32チップについて行ない、前記直線導波路9との間隔に応じて、各平面光導波路型マッハツェンダー回路10の1480nm付近におけるTEモードのピーク波長がどのようにばらつくかを検討した。本実施形態例についての検討結果が図7の(a)に、参考例についての検討結果が同図の(b)にそれぞれ示されている。なお、同図において、×は各チップのTEモードのピーク波長をそれぞれ示し、○は32チップのTEモードのピーク波長の平均ピーク波長を示している。
【0060】
同図から明らかなように、平面光導波路型マッハツェンダー回路10と直線導波路9との間隔の変化に伴う平均ピーク波長変化は、本実施形態例において約1.1nm、参考例において約1.7nmとなり、いずれも従来例の約2.1nmに比較して良好な結果が得れられた。また、ピーク波長ばらつきは、直線導波路9と平面光導波路型マッハツェンダー回路10との間隔によらず、約±2.0nm程度のばらつきとなっており、本実施形態例は、従来例に比べてピーク波長ばらつきを抑制できることが確認できた。
【0061】
図8には、上記実施形態例の平面光導波路型マッハツェンダー回路10を適用して形成した平面光導波回路の構成例が示されている。同図に示す平面光導波回路は、第1段目に平面光導波路型マッハツェンダー回路10A,10Bを複数(ここでは2つ)並設し、第2段目に平面光導波路型マッハツェンダー回路10Cを1つ以上(ここでは1つ)並設するといったように、平面光導波路型マッハツェンダー回路10を多段に接続して形成されている。
【0062】
この平面光導波回路においては、第1段目の平面光導波路型マッハツェンダー回路10Aの出力と平面光導波路型マッハツェンダー回路10Bの光出力を第2段目の平面光導波路型マッハツェンダー回路10Cにより合波するという如く、平面光導波路型マッハツェンダー回路10A,10B,10Cを複数段(ここでは2段)に接続し、前段の対の平面光導波路型マッハツェンダー回路10の光出力を後段の平面光導波路型マッハツェンダー回路10で合波する構成としている。
【0063】
この平面光導波回路は、例えば同図に示すように、平面光導波路型マッハツェンダー回路10Aの第1の光導波路3の入射側から入射される波長λ1の光と第2の光導波路4の入射側から入射される波長λ2の光を合波して第2の光導波路4の出射側から出射する。また、同様に、平面光導波路型マッハツェンダー回路10Bの第1の光導波路3の入射側から入射される波長λ3の光と第2の光導波路4の入射側から入射される波長λ4の光を合波して第1の光導波路3の出射側から出射する。
【0064】
そして、平面光導波路型マッハツェンダー回路10Aの第2の光導波路4から出射された波長λ1と波長λ2の光と、平面光導波路型マッハツェンダー回路10Bの第2の光導波路4から出射された波長λ3と波長λ4の光が、平面光導波路型マッハツェンダー回路10Cで合波されて、その第2の光導波路4の出射側から出射される。
【0065】
図8に示す平面光導波回路は、平面光導波路型マッハツェンダー回路を複数有する平面光導波回路において、少なくとも1つ(ここでは3つ)の平面光導波路型マッハツェンダー回路10A,10B,10Cを上記実施形態例の平面光導波路型マッハツェンダー回路10により形成したものであるから、平面光導波回路全体の挿入損失や偏波依存性損失を抑制することができるし、合分波する波長特性を良好にすることができる。
【0066】
また、このような平面光導波回路を少なくとも1つ有する光合分波器は、従来の平面光導波路型マッハツェンダー回路のみから成る光合分波器に比べ、合分波する波長特性が良好で、挿入損失や偏波依存性損失が小さい優れた光合分波器とすることができる。
【0067】
なお、本発明は上記実施形態例に限定されることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば上記実施形態例の平面光導波路型マッハツェンダー回路10では、図1のE1、E2で示した距離を、E1=E2=300μmとしたが、E1、E2の大きさは特に限定されるものではなく、0以上の適宜の値に設定されるものである。
【0068】
すなわち、本発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路は、少なくとも前記第1の方向性結合部1と第2の方向性結合部2に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の長手方向に沿った側部両側に、第1の光導波路3および第2の光導波路4と間隔を介して、非結合コア部5を設けて構成すればよい。
【0069】
また、上記実施形態例では、非結合コア部5は第1の光導波路3および第2の光導波路4と一定間隔を介して形成され、非結合コア部5と第1および第2の光導波路3,4との間隔が、実施形態例においては20μm、参考例においては40μmに形成されていたが、この間隔dは、好ましくは5μm以上20μm以下の範囲内で適宜設定されるものである。
【0070】
さらに、非結合コア部5と第1および第2の光導波路3,4との間隔は一定であることが好ましいが、必ずしも一定でなくてもよい。
【0071】
さらに、非結合コア部5は、第1の方向性結合部1と第2の方向性結合部2に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の長手方向に沿った側部両側に設けられていればよいので、非結合コア部5の形態は、例えば図9に示すような形態としてもよい。
【0072】
さらに、非結合コア部5は必ずしも図1に示したようなモノリシックな形態である必要はなく、ストライプ状、島状のように分割された形態としてもよいし、メッシュ状のような内部に隙間を有する形態としてもよい。
【0075】
さらに、上記実施形態例では、コア膜13およびクラッド膜12,14を火炎加水分解堆積法を適用して形成したが、例えば真空蒸着法、プラズマCVD(プラズマ化学蒸着)法、ゾルゲル法、スパッタ法等の様々な方法を適用して形成し、平面光導波路型マッハツェンダー回路10を形成することができる。
【0076】
さらに、上記実施形態例では、平面光導波路型マッハツェンダー回路10を光合分波器に適用する例を述べたが、平面光導波路型マッハツェンダー回路10の適用例は特に限定されるものではなく適宜設定されるものである。すなわち、上記実施形態例で示したような本発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路を適用して、波長無依存カプラ、光波長合分波器、分散等価器、光スイッチ、可変光減衰器等の様々な平面光導波回路や、それらを少なくとも1つ有する光導波回路を複数個集結した光導波回路を構成し、本発明の平面光導波回路とすることができる。
【0077】
【発明の効果】
本発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路によれば、非結合コア部を設けることによって、第1の方向性結合部と第2の方向性結合部に挟まれた第1の光導波路と第2の光導波路の光路長差が製造時ばらつきの影響を受けることを抑制できるので、上記光路長をほぼ設計通りの一定の値とすることができ、ピーク波長のばらつきや、それに伴う挿入損失および偏波依存性損失の増加を抑制することができる。
【0079】
さらに、本発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路において、非結合コア部と第1および第2の光導波路との間隔を5μm以上20μm以下としたので、上記光路長差の製造時ばらつきの影響をさらにより一層確実に抑制し、効果をさらにより一層確実に発揮することができる。
【0080】
さらに、本発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路において、第1の方向性結合部と第2の方向性結合部に挟まれた第1の光導波路と第2の光導波路の長さの差ΔLと前記第1および第2の光導波路の屈折率nとの積(n・ΔL)を、クロス伝搬波長に整数N(Nは1以上)を掛けた値とし、かつ、スルー伝搬波長に(M+0.5)を掛けた値(Mは0以上の整数)とした構成によれば、クロス伝搬波長とスルー伝搬波長の合波及び分波を適切に行なえ、かつ、挿入損失の小さい優れた平面光導波路型マッハツェンダー回路とすることができる。
【0081】
さらに、本発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路を用いた平面光導波回路ならびに光合分波器は、本発明の平面光導波路型マッハツェンダー回路を適用することにより、挿入損失や偏波依存性損失が小さく、例えば波長合分波機能等の機能を設計通り発揮することができる優れた平面光導波回路ならびに光合分波器とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る平面光導波路型マッハツェンダー回路の実施形態例を模式的に示す要部構成図である。
【図2】図1の回路中央部の拡大図である。
【図3】図1の回路中央部の断面を示す模式図である。
【図4】上記実施形態例の回路に隣接する導波路が上記実施形態例の回路に与える影響の検討に用いた回路の回路図である。
【図5】図4の回路における平面光導波路型マッハツェンダー回路10bと、その両側部側の直線導波路9を中央部で切断したときの断面を示す模式図である。
【図6】図4の回路の光通過スペクトル例を示すグラフである。
【図7】上記実施形態例の平面光導波路型マッハツェンダー回路とそれに隣接する直線導波路との間隔によりピーク波長ばらつきに与える影響を示すグラフである。
【図8】本発明の平面光導波回路の一例を模式的に示す平面説明図である。
【図9】本発明に係る平面光導波路型マッハツェンダー回路の他の実施形態例を模式的に示す平面説明図である。
【図10】従来の平面光導波路型マッハツェンダー回路の構成を示す説明図である。
【図11】従来の平面光導波路型マッハツェンダー回路に隣接する導波路が平面光導波路型マッハツェンダー回路に与える影響の検討に用いた回路の回路図である。
【図12】図11の平面光導波路型マッハツェンダー回路の製造方法例を断面図により模式的に示す説明図である。
【図13】図11の回路の光通過スペクトル例を示すグラフである。
【図14】図11に示した平面光導波路型マッハツェンダー回路とそれに隣接する直線導波路との間隔によりピーク波長ばらつきに与える影響を示すグラフである。
【符号の説明】
1 第1の方向性結合部
2 第2の方向性結合部
3 第1の光導波路
4 第2の光導波路
5 非結合コア部
9 直線導波路
10,10a〜10d,10A〜10C 平面光導波路型マッハツェンダー回路
Claims (4)
- 第1の光導波路と、該第1の光導波路と並設された第2の光導波路とを有し、前記第1の光導波路と前記第2の光導波路を近接させて成る第1の方向性結合部と、該第1の方向性結合部と光導波路長手方向に間隔を介した位置において前記第1の光導波路と前記第2の光導波路を近接させて成る第2の方向性結合部とを有し、該第2の方向性結合部と前記第1の方向性結合部に挟まれた第1の光導波路と第2の光導波路から成る位相シフタを有し、前記第1の方向性結合部と前記第2の方向性結合部に挟まれる領域内の第1の光導波路と第2の光導波路の長手方向に沿った側部両側、および第1及び第2の方向性結合部が形成されている領域の該方向性結合部を構成している第1の光導波路と第2の光導波路のそれぞれ外側には、第1の光導波路および第2の光導波路と同一の間隔を介して非結合コア部が設けられるとともに、
第1及び第2の光導波路の入出力端付近には非結合コア部を設けずにクラッド部とし、
非結合コア部と第1および第2の光導波路との間隔を5μm以上20μm以下とし、
第1の方向性結合部と第2の方向性結合部に挟まれた第1の光導波路と第2の光導波路に長さの差を設けることによって複数波長の合分波を行うことを特徴とする平面光導波路型マッハツェンダー回路。 - 第1の方向性結合部と第2の方向性結合部に挟まれた前記第1の光導波路と第2の光導波路の長さの差は、第1の光導波路の入射側から入力されて第2の光導波路の出射側から出力される光波長又は前記第2の光導波路の入射側から入力されて前記第1の光導波路の出射側から出力される光波長をクロス伝搬波長とし、前記第1の光導波路の入射側から入力されて該第1の光導波路の出射側から出力される光波長又は前記第2の光導波路の入射側から入力されて該第2の光導波路の出射側から出力される光波長をスルー伝搬波長としたときに、前記第1の方向性結合部と第2の方向性結合部に挟まれた第1の光導波路と第2の光導波路の長さの差ΔLと前記第1および第2の光導波路の屈折率nとの積(n・ΔL)が、クロス伝搬波長に整数N(Nは1以上)を掛けた値であり、かつ、スルー伝搬波長に(M+0.5)を掛けた値(Mは0以上の整数)であることを特徴とする請求項1記載の平面光導波路型マッハツェンダー回路。
- 平面光導波路型マッハツェンダー回路を複数有し、これら複数の平面光導波路型マッハツェンダー回路のうち少なくとも1つを請求項1又は請求項2に記載の平面光導波路型マッハツェンダー回路としたことを特徴とする平面光導波回路。
- 請求項1または請求項2の平面光導波路型マッハツェンダー回路または請求項3記載の平面光導波回路を少なくとも1つ有していることを特徴とする光合分波器。
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