JP5949610B2 - 波長合分波器及び光集積回路装置 - Google Patents
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Description
この場合もアンチレゾナンス条件を満たすように設計し、kMA=0.75、kMB=0.05に設定する。
(付記2)前記アドポート側の光結合率が、65%以上であり、且つ、ドロップポート側の光結合率が6.5%以下であることを特徴とする付記1に記載の波長合分波器。
(付記3)前記第2の遅延マッハ・ツェンダ干渉計の前記カスケード接続の下流側にある光カプラに、前記第2の遅延マッハ・ツェンダ干渉計の光路長差の1/2の光路長差の第4の遅延マッハ・ツェンダ干渉計及び第5の遅延マッハ・ツェンダ干渉計をカスケード接続するとともに、前記第4の遅延マッハ・ツェンダ干渉計及び第5の遅延マッハ・ツェンダ干渉計の一方に第2の位相シフタを設け、且つ、前記第3の遅延マッハ・ツェンダ干渉計の前記カスケード接続の下流側にある光カプラに、前記第3の遅延マッハ・ツェンダ干渉計の光路長差の1/2の光路長差の第6の遅延マッハ・ツェンダ干渉計及び第7の遅延マッハ・ツェンダ干渉計をカスケード接続するとともに、前記第6の遅延マッハ・ツェンダ干渉計及び第7の遅延マッハ・ツェンダ干渉計に互いに位相シフト量が逆になる第3の位相シフタ及び第4の位相シフタを設けたカスケード接続構造を順次多段に構成することを特徴とする付記1または付記2に記載の波長合分波器。
(付記4)前記ドロップポートの出力端にモニター用受光器を設けたことを特徴とする付記1乃至付記3のいずれか1に記載の波長合分波器。
(付記5)前記アド・ドロップ型リング共振器の少なくとも一部を投影的に覆うように加熱部材を設けたことを特徴とする付記4に記載の波長合分波器。
(付記6)前記アーム導波路及びアド・ドロップ型リング共振器のコア層がシリコン単結晶からなり、前記コア層を覆うクラッド層がSiO2からなることを特徴とする付記1乃至付記5のいずれか1に記載の波長合分波器。
(付記7)付記1乃至付記6のいずれか1に記載の波長合分波器と、前記波長合分波器のカスケード接続を構成する最終段の各遅延マッハ・ツェンダ干渉計の出力端に受光器を接続して形成した受光器アレイとを備えたことを特徴とする光集積回路装置。
111〜113,121〜123 アーム導波路
131〜133,141〜143 光カプラ
153 位相シフタ
16 リング共振器
17 導波路
201〜207 DMZI
211〜217,221〜227 アーム導波路
231〜237,241〜247 光カプラ
253,255〜257 位相シフタ
26 リング共振器
27 導波路
31 シリコン基板
32 SiO2膜
33 単結晶シリコン層
34 レジストパターン
35 コア層
36 SiO2膜
37 スラブ部
401〜405 フォトダイオード
50 ヒータ
51 Tiパターン
52 SiO2膜
53 Alコンタクト
801〜807 DMZI
811〜817,821〜827 アーム導波路
831〜837,841〜847 光カプラ
853,855,856,857 位相シフタ
86 リング共振器
90 DMZI
91,92 アーム導波路
93,94 光カプラ
96 リング共振器
Claims (5)
- 光路長の異なる2本のアーム導波路を対向させて入力端側と出力端側に光カプラを形成した第1の遅延マッハ・ツェンダ干渉計と、
前記相対的に光路長が短いアーム導波路の光結合されたアド・ドロップ型リング共振器と、
前記第1の遅延マッハ・ツェンダ干渉計の一方の光カプラを介してカスケード接続され、前記第1の遅延マッハ・ツェンダ干渉計の光路長差の1/2の光路長差の第2の遅延マッハ・ツェンダ干渉計及び第3の遅延マッハ・ツェンダ干渉計と、
前記第2の遅延マッハ・ツェンダ干渉計及び第3の遅延マッハ・ツェンダ干渉計の一方に設けられた第1の位相シフタと、
を少なくとも備え、
前記アド・ドロップ型リング共振器のアドポート側の光結合率が、ドロップポート側への光結合率の10倍〜30倍であることを特徴とする波長合分波器。 - 前記アドポート側の光結合率が、65%以上であり、且つ、ドロップポート側の光結合率が6.5%以下であることを特徴とする請求項1に記載の波長合分波器。
- 前記ドロップポートの出力端にモニター用受光器を設けたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の波長合分波器。
- 前記アド・ドロップ型リング共振器の少なくとも一部を投影的に覆うように加熱部材を設けたことを特徴とする請求項3に記載の波長合分波器。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の波長合分波器と、
前記波長合分波器のカスケード接続を構成する最終段の各遅延マッハ・ツェンダ干渉計の出力端に受光器を接続して形成した受光器アレイと
を備えたことを特徴とする光集積回路装置。
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