JP2003029064A

JP2003029064A - 導波路型光合分波回路

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Publication number: JP2003029064A
Application number: JP2001211327A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Kito; 勤鬼頭; Manabu Oguma; 学小熊; Takayuki Mizuno; 隆之水野; Yasuyuki Inoue; 靖之井上; Yoshinori Hibino; 善典日比野
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 2001-07-11
Filing date: 2001-07-11
Publication date: 2003-01-29
Anticipated expiration: 2021-07-11
Also published as: JP3682000B2

Abstract

(57)【要約】【課題】結合器の波長依存性による特性劣化がなく、
波長依存性解消による生産性劣化や製造偏差の影響を受
けない導波路型光合分波回路を提供すること。【解決手段】入力導波路１３０１から入射された波長
多重信号λ１，λ２，λ３，λ４，λ５は、結合率５０
％の多モード干渉型光結合器１３０２ａと、光路長差Δ
Ｌの遅延回路１３０３ａと、結合率８５％の多モード干
渉型光結合器１３０２ｂと、光路長差２ΔＬの遅延回路
１３０３ｂと、結合率８５％の多モード干渉型光結合器
１３０２ｃを介して出力導波路１３０４ａ，１３０４ｂ
より偶チャネル（λ２，λ４）と奇チャネル（λ１，λ
３，λ５）に群分波されて出力される。これにより、広
帯域化，小型化，製造偏差に対するトレランス緩和など
の効果が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、導波路型光合分波
回路に関し、より詳細には、光結合器と遅延回路が交互
に従属接続したラティス型光合分波回路（光フィルタ）
において、光結合器の波長依存性を解消することによっ
て光合分波回路の帯域拡大を得るようにした導波路型光
合分波回路に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、通信容量の拡大のために複数の光
波長を用いた光波長多重通信システムの開発が盛んであ
る。この光波長多重通信システムにおいて、送信機側で
複数の波長の光信号を合波したり、受信機側で１本の光
ファイバ中の複数の光信号を異なるポートに分波する光
波長合分波回路として、また、減衰した光信号を増幅す
る光アンプの等化回路として、更にまた、群遅延の分散
を等化するための分散等化回路としてラティス構成のフ
ィルタが広く使用されている。

【０００３】図１は、従来のラティス型光合分波回路の
構成図で、図中符号１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃは光
結合器で、この光結合器の各々の結合率は５０％，２５
％，６．７％である。１０３ａ，１０３ｂは遅延回路
で、この遅延回路１０３ａ，１０３ｂの光路長差は、Δ
Ｌ，２ΔＬで、次式によって与えられる。

【０００４】

【数１】

【０００５】ここで、Δｆは合分波のチャネル間隔、ｃ
は自由空間の光速、ｎ_ｇは光導波路の群屈折率である。

【０００６】このようなラティス型光合分波回路は、文
献“Optical half band filters ”，K. Jinguji and
M. Oguma, IEEE journal of Lightwave Technol., vol.
18,no. 2, pp. 252-259, 2000 に示す通り、入力導波
路１０１より入射した波長多重信号を、出力導波路１０
４ａ，１０４ｂより偶チャネルと奇チャネルの光信号に
群分波する機能を有する。

【０００７】従来、このようなラティス型光合分波回路
を構成する光結合器としては、図２（ａ）に示すような
方向性結合器が用いられてきた。入力導波路２０１より
入力した光は、隣接した２本の光導波路からなる結合部
２０２を通過する際、パワーの一部が移行し、２本の出
力導波路２０３ａ，２０３ｂより出力する。図２（ｂ）
は、ビーム伝搬法（ＢＰＭ）により算出した方向性結合
器を伝搬する導波光の様子である。上述した光結合の様
子が確認できる。

【０００８】図３は、結合長（結合部の長さ）に対する
結合率の依存性を示す図で、結合率は、結合長に対して
正弦的に変化するので、図１に示したように、５０％，
２５％，６．７％の結合器は、結合長を変化させること
によって実現することが出来る。また、図４は、波長１
５５０ｎｍで設計した５０％，２５％，６．７％の結合
器について結合率の波長依存性を示す図で、結合率は、
波長１５００ｎｍから１６００ｎｍの範囲で直線的に変
動し、例えば、５０％の光結合器は、結合率が１８％程
度変化する。

【０００９】図５は、図１に示したラティス型光合分波
回路の透過特性を示す図で、Ｐ１，Ｐ２は、図１の出力
導波路１０４ａ，１０４ｂの出力を表す。２０ｎｍのチ
ャネル間隔で群分波されていることが確認できる。０．
５ｄＢ透過幅は１２．０ｎｍ、１ｄＢ透過幅は１４．５
ｎｍである。波長１５１０ｎｍ，１５９０ｎｍ近傍でＰ
２が十分に消光しないのは、前述した方向性結合器の波
長依存性に起因する。すなわち、従来技術においては、
方向性結合器の波長依存性のためラティス型光合分波回
路の透過特性が劣化するという欠点を有していた。

【００１０】さらに、この問題を解消するため、ラティ
ス型光合分波回路を縦続接続するという構成が用いられ
るが、回路サイズが大きくなり、生産性が悪くなるとい
う２次的な問題点を有していた。また、方向性結合器の
結合率は、結合部の隣接導波路の構造に大きく依存する
ため、製造偏差の影響を受けやすいという問題も有して
いる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のラティス型光合分波回路は、解決すべき課題を有して
いた。すなわち、結合器の波長依存性による特性劣化と
いう課題や波長依存性解消による生産性劣化、製造偏差
の影響を受けやすいことによる特性劣化という課題があ
った。

【００１２】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、結合器の波長依存
性による特性劣化がなく、波長依存性解消による生産性
劣化や製造偏差の影響を受けない導波路型光合分波回路
を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、請求項１に記載の発明は、平面基
板上の屈折率の高いコアと、該コアの回りのクラッドと
からなる光導波路を用いて構成され、光結合器と、該光
結合器を結ぶ２本のアームからなる遅延回路が交互に従
属接続されたラティス型光合分波回路であって、前記光
結合器が波長無依存型光結合器で構成されていることを
特徴とする。

【００１４】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の発明において、前記光結合器のすべてが、多モ
ード干渉型光結合器で構成されていることを特徴とす
る。

【００１５】また、請求項３に記載の発明は、請求項１
に記載の発明において、前記光結合器のすべてが、非対
称マッハツェンダ干渉型合分波器で構成されているとと
もに、該非対称マッハツェンダ干渉型合分波器を構成す
る２つの光結合器の結合率の波長依存性を相殺するよう
に、非対称アームの光路長差を与えたことを特徴とす
る。

【００１６】また、請求項４に記載の発明は、請求項
１，２又は３に記載の発明において、前記光結合器が１
つ以上の３ｄＢカプラであることを特徴とする。

【００１７】また、請求項５に記載の発明は、請求項
１，２，３又は４に記載の発明において、前記光導波路
が、シリコン基板上の石英ガラス光導波路で構成されて
いることを特徴とする。

【００１８】また、請求項６に記載の発明は、入力導波
路から入射された波長多重光信号を所定の結合率で伝搬
させる第１の波長無依存型光結合器と、該第１の波長無
依存型光結合器からの光信号を遅延させるための第１の
光路長差を有する第１の遅延回路と、該第１の遅延回路
からの光信号を所定の結合率で伝搬させる第２の波長無
依存型光結合器と、該第２の波長無依存型光結合器から
の光信号を遅延させるための第２の光路長差を有する第
２の遅延回路と、該第２の遅延回路からの光信号を所定
の結合率で伝搬させる第３の波長無依存型光結合器とを
備え、該第３の波長無依存型光結合器からの光信号を出
力導波路より偶チャネルと奇チャネルに群分波されて出
力されることを特徴とする。

【００１９】また、請求項７に記載の発明は、請求項６
に記載の発明において、前記光結合器が多モード干渉型
光結合器であることを特徴とする。

【００２０】また、請求項８に記載の発明は、請求項６
又は７に記載の発明において、前記遅延回路の段数を複
数段にしたことを特徴とする。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。本発明は、上述した課題を
解決するために、光結合器として結合率が波長に依存し
ない波長無依存光結合器を用いる。第１の手段として、
多モード干渉型光結合器を用いる。

【００２２】図６（ａ），（ｂ）は、多モード干渉型光
結合器の回路構成と光伝搬の様子を示す図で、図６
（ａ）は、多モード干渉型光結合器の構造を示す図であ
る。入力導波路６０１より入射した光は、多モード導波
路６０２において基本モードと共に高次モードを励振す
ることによって、多モード導波路内を干渉しながら伝搬
した後、出力側の端において結像し、出力導波路６０３
ａ，６０３ｂに分波される。

【００２３】図６（ｂ）は、ＢＰＭによって算出した多
モード干渉型光結合器を伝搬する光の様子を示す図であ
る。入力導波路６０１から入射した光が多モード導波路
６０２で干渉した後、出力導波路６０３ａ，６０３ｂよ
り分波されている様子が確認できる。

【００２４】図７（ａ），（ｂ）は、多モード干渉型光
結合器の結合率と過剰損失の波長依存性を示す図で、図
７（ａ）に示す光結合器は、１５００〜１６００ｎｍの
波長範囲において結合率５０％で一定、過剰損失は０．
２ｄＢ以下の特性を示す。一方、図７（ｂ）に示す光結
合器は、１５００〜１６００ｎｍの波長範囲において結
合率８５％で一定、過剰損失は０．３ｄＢ以下の特性を
示す。

【００２５】図８（ａ），（ｂ）は、多モード干渉型光
結合器（図７（ｂ）に相当）の構造パラメータ依存性を
示す図で、図８（ａ）は、結合率と過剰損失の多モード
導波路の長さＬｍに対する依存性を示す図、また、図８
（ｂ）は、多モード導波路の入出力間隔Ｇｍに対する依
存性を示す図である。両者の結合率は、構造パラメータ
に間隔無く８５％で一定、過剰損失はＬｍ，Ｇｍに対し
て２次方程式の関係にある。

【００２６】図９は、多モード干渉型光結合器（図７
（ａ）に相当）の結合率と過剰損失の多モード導波路の
長さＬｍに対する依存性を示す図で、結合率は、構造パ
ラメータに関係無く５０％で一定、過剰損失はＬｍ，Ｇ
ｍに対して２次方程式の関係にある。

【００２７】図８及び図９の関係より、多モード干渉型
光結合器は結合率の波長依存性と構造パラメータ依存性
が小さいため、従来技術の課題であった光結合器の波長
依存性による特性劣化を解決するとともに、製造偏差の
影響を受けにくいため生産性の向上が期待できる。

【００２８】また、上述した課題を解決するための第２
の手段として、波長無依存カプラ（ＷＩＮＣ：Waveleng
th INsensitive Coupler) を用いる。図１０（ａ），
（ｂ）は、ＷＩＮＣの回路構成とその原理を説明するた
めの図で、図１０（ａ）は、ＷＩＮＣの構造を示す図で
ある。入力導波路１００１より入射した光は、方向性結
合器１００２ａで分波し、２本の非対称アーム導波路１
００３ａ，１００３ｂを通過し、再び方向性結合器１０
０２ｂで合波し、出力導波路１００４ａ，１００４ｂよ
り出力光を得る。非対称アーム導波路１００３ａ，１０
０３ｂの光路長差Δ１は、方向性結合器１０２ａ，１０
２ｂの波長依存性を相殺するように設定されている。

【００２９】図１０（ｂ）は、結合率５０％のＷＩＮＣ
とＷＩＮＣを構成する２つの方向性結合器の波長特性を
示す図で、ＷＩＮＣの結合率は、波長１５００〜１６０
０ｎｍの範囲で５０％で一定、２つの方向性結合器の波
長依存性が相殺されている様子が確認できる。

【００３０】図１１は、ＷＩＮＣ構成の５０％，２５
％，６．７％の光結合器の波長特性を示す図で、いずれ
の光結合器に対しても１５００〜１６００ｎｍの範囲で
±１％以下の結合率偏差が実現できる。

【００３１】以上、上述した課題を解決するための２つ
の手段、すなわち、多モード干渉型光結合器及びＷＩＮ
Ｃを光結合器として採用することによりラティス型光合
分波回路の波長依存性による特性劣化という課題解決が
可能となる。

【００３２】[第１実施形態]図１２は、本発明における
導波路の作製方法を説明するための工程図で、ここでは
シリコン基板上に石英系ガラス導波路を形成する場合に
ついて説明する。まず、シリコン基板１２０１上に、火
炎堆積法でＳｉＯ_２を主体にした下部クラッドガラスス
ート１２０２、ＳｉＯ_２にＧｅＯ_２を添加したコアガラ
ススート１２０３を堆積する（図１２（ａ））。

【００３３】その後、１０００℃以上の高温でガラス透
明化を行う。この時に、下部クラッドガラス層１２０４
は３０ミクロン厚、コアガラス１２０５は７ミクロン厚
となるように、ガラスの堆積を行っている（図１２
（ｂ））。

【００３４】引き続き、フォトリソグラフィ技術を用い
て、コアガラス１２０５上にエッチングマスクを形成し
（図１２（ｃ））、反応性イオンエッチングによってコ
アガラス１２０４のパターン化を行う（図１２
（ｄ））。

【００３５】エッチングマスク１２０６を除去した後、
上部クラッドガラス１２０７を再度火炎堆積法で形成す
る。上部クラッドガラス１２０７には、Ｂ_２Ｏ_３やＰ_２
Ｏ_５などのドーパントを添加してガラス転移温度を下
げ、それぞれのコアガラス１２０５とコアガラス１２０
５の狭い隙間にも上部クラッドガラス１２０７が入り込
むようにしている（図１２（ｅ））。

【００３６】図１３は、本発明における導波路型光合分
波回路の第１実施形態の回路構成図で、光結合器として
多モード干渉型光結合器を用いた場合について示してあ
る。図中符号１３０１は入力導波路、１３０２ａは結合
率５０％の多モード干渉型光結合器、１３０２ｂ，１３
０２ｃは共に結合率８５％の多モード干渉型光結合器で
ある。これらの多モード干渉型光結合器は、上述した波
長無依存な結合特性と製造偏差に強いという特長を備え
ている。１３０３ａ，１３０３ｂは各々が光路長差Δ
Ｌ，２ΔＬの遅延回路、１３０４ａ，１３０４ｂは出力
導波路である。なお、結合率５０％の光結合器とは３ｄ
Ｂカプラを意味している。

【００３７】このような構成により、入力導波路１３０
１より入射した波長多重光信号は、本発明の導波路型光
合分波回路によって出力導波路１３０４ａ，１３０４ｂ
より偶チャネルと奇チャネルに群分波されて出力され
る。つまり、入力導波路１３０１から入射された波長多
重光信号λ１，λ２，λ３，λ４，λ５は、結合率５０
％の多モード干渉型光結合器１３０２ａと、光路長差Δ
Ｌの遅延回路１３０３ａと、結合率８５％の多モード干
渉型光結合器１３０２ｂと、光路長差２ΔＬの遅延回路
１３０３ｂと、結合率８５％の多モード干渉型光結合器
１３０２ｃを介して出力導波路１３０４ａ，１３０４ｂ
より偶チャネル（λ２，λ４）と奇チャネル（λ１，λ
３，λ５）に群分波されて出力される。これにより、広
帯域化，小型化，製造偏差に対するトレランス緩和など
の効果が得られる。

【００３８】図１４は、第１実施形態の透過特性を示す
図で、Ｐ１，Ｐ２は、図１３に示した出力導波路１３０
４ａ，１３０４ｂの出力を表す。２０ｎｍのチャネル間
隔で群分波されていることが確認できる。０．５ｄＢ透
過幅は１１．５ｎｍ、１ｄＢ透過幅は１４．２ｎｍであ
る。波長１５００〜１６００の範囲において２５ｄＢ以
上の消光比が得られるとともに、波長による特性劣化の
ないことが確認できた。

【００３９】[第２実施形態]図１５は、本発明における
導波路型光合分波回路の第２実施形態の回路構成図で、
第２実施形態の回路は、第１実施形態に比較して遅延回
路の段数が２段から２倍の４段とすることにより、より
急峻な透過特性を得るものである。図中符号１５０１は
入力導波路、１５０２ａ，１５０２ｂは結合率５０％の
多モード干渉型光結合器、１５０２ｃ，１５０２ｄ，１
５０２ｅは共に結合率８５％の多モード干渉型光結合器
である。これらの多モード干渉型光結合器は、上述した
波長無依存な結合特性と製造偏差に強いという特長を備
えている。

【００４０】さらに、１５０３ａ，１５０３ｂ，１５０
３ｃ，１５０３ｄは遅延回路、１５０４ａ，１５０４ｂ
は出力導波路である。入力導波路１５０１より入射した
波長多重光信号は、本実施例の４段構成のラティス型光
フィルタによって出力導波路１５０４ａ，１５０４ｂよ
り偶チャネルと奇チャネルに群分波されて出力される。

【００４１】図１６は、第２の実施形態の透過特性を示
す図で、Ｐ１，Ｐ２は、図１５に示した出力導波路１５
０４ａ，１５０４ｂの出力を表す。２０ｎｍのチャネル
間隔で群分波されていることが確認できる。０．５ｄＢ
透過幅は１５．４ｎｍ、１ｄＢ透過幅は１６．８ｎｍで
ある。この値は、第１の実施例の０．５ｄＢ通過帯域幅
に比較して３０％程度拡大することが出来た。また、波
長１５００〜１６００の範囲において１５ｄＢ以上の消
光比が得られるとともに、波長による特性劣化のないこ
とが確認できた。

【００４２】[第３実施形態]図１７は、本発明における
導波路型光合分波回路の第３実施形態の回路構成図で、
この第３実施形態の回路は、第１実施形態に比較して、
光結合器の回路構成をＷＩＮＣにすることによって実現
したものである。図中符号１７０１は入力導波路、１７
０２ａは結合率５０％のＷＩＮＣ、１７０２ｂ，１７０
２ｃはそれぞれ結合率２５％，６．７％のＷＩＮＣであ
る。これらの、ＷＩＮＣは、上述した波長無依存な結合
特性という特長を備えている。

【００４３】さらに、１７０３ａ，１７０３ｂは、各々
が光路長差ΔＬ，２ΔＬの遅延回路、１７０４ａ，１７
０４ｂは出力導波路である。入力導波路１７０１より入
射した波長多重光信号は、本発明の導波路型光合分波回
路によって出力導波路１７０４ａ，１７０４ｂより偶チ
ャネルと奇チャネルに群分波されて出力される。

【００４４】つまり、すべての光結合器は、非対称マッ
ハツェンダ干渉型合分波器で構成されているとともに、
この非対称マッハツェンダ干渉型合分波器を構成する２
つの光結合器の結合率の波長依存性を相殺するように、
非対称アームの光路長差を与えるように構成されてい
る。

【００４５】図１８は、第３実施形態の透過特性を示す
図で、Ｐ１，Ｐ２は、図１７に示した出力導波路１７０
４ａ，１７０４ｂの出力を表す。２０ｎｍのチャネル間
隔で群分波されていることが確認できる。０．５ｄＢ透
過幅は１１．５ｎｍ、１ｄＢ透過幅は１４．２ｎｍであ
る。波長１５００〜１６００の範囲において４０ｄＢ以
上の消光比が得られるとともに、波長による特性劣化の
ないことが確認できた。

【００４６】以上説明したように、本発明の各実施形態
では、シリコン基板上の石英系ガラス導波路を用いた光
結合器と遅延回路を多段に縦続接続したラティス型光フ
ィルタを示したが、その導波路材料が、ポリイミド，シ
リコーン，半導体，ＬｉＮｂＯ_３などであっても本発明
は適用可能である。また、基板もシリコンに限定するも
のではない。

【００４７】つまり、本発明の本質は、光結合器に着目
し、結合率が波長依存しない多モード干渉型光結合器、
ＷＩＮＣを光結合器として適用することによって、広い
波長範囲において特性劣化のないラティス型フィルタを
実現したことにある。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、平
面基板上の屈折率の高いコアと、コアの回りのクラッド
とからなる光導波路を用いて構成され、光結合器と、光
結合器を結ぶ２本のアームからなる遅延回路が交互に従
属接続されたラティス型光合分波回路であって、光結合
器が波長無依存型光結合器で構成されているので、従来
技術に比べてラティス型光フィルタの広帯域化，小型
化，製造偏差に対するトレランス緩和などの効果が得ら
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のラティス型光合分波回路の構成図であ
る。

【図２】従来の方向性結合器の回路構成と光伝搬の様子
を示す図である。

【図３】従来の方向性結合器の結合率の結合長に対する
依存性を示す図である。

【図４】従来の方向性結合器の結合率の波長依存性を示
す図である。

【図５】従来のラティス型光合分波回路の透過特性を示
す図である。

【図６】本発明における多モード干渉型光結合器の回路
構成と光伝搬の様子を示す図である。

【図７】本発明における多モード干渉型光結合器の結合
率と過剰損失の波長依存性を示す図である。

【図８】本発明における多モード干渉型光結合器の構造
パラメータ依存性（結合率：８５％）を示す図である。

【図９】本発明における多モード干渉型光結合器の構造
パラメータ依存性（結合率：５０％）を示す図である。

【図１０】本発明におけるＷＩＮＣの回路構成と原理を
説明するための図である。

【図１１】本発明におけるＷＩＮＣの結合率の波長依存
性を示す図である。

【図１２】本発明における導波路の作製方法を説明する
ための工程図である。

【図１３】本発明における導波路型光合分波回路の第１
実施形態の回路構成図である。

【図１４】第１実施形態の透過特性を示す図である。

【図１５】本発明における導波路型光合分波回路の第２
実施形態の回路構成図である。

【図１６】第２実施形態の透過特性を示す図である。

【図１７】本発明における導波路型光合分波回路の第３
実施形態の回路構成図である。

【図１８】第３実施形態の透過特性を示す図である。

【符号の説明】

１０１入力導波路１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ光結合器１０３ａ，１０３ｂ遅延回路１０４出力導波路２０１入力導波路２０２結合部２０３ａ，２０３ｂ出力導波路６０１入力導波路６０２多モード導波路６０３ａ，６０３ｂ出力導波路１００１入力導波路１００２ａ，１００２ｂ方向性結合器１００３ａ，１００３ｂ非対称アーム導波路１００４ａ，１００４ｂ出力導波路１２０１シリコン基板１２０２下部クラッドスート１２０３コアガラススート１２０４下部クラッドガラス層１２０５コアガラス１２０６エッチングマスク１２０７上部クラッドガラス１３０１入力導波路１３０２ａ，１３０２ｂ，１３０２ｃ多モード干渉型
光結合器１３０３ａ，１３０３ｂ遅延回路１３０４ａ，１３０４ｂ出力導波路１５０１入力導波路１５０２ａ，１５０２ｂ，１５０２ｃ，１５０２ｄ，１
５０２ｅ多モード干渉型光結合器１５０３ａ，１５０３ｂ，１５０３ｃ，１５０３ｄ遅
延回路１５０４ａ，１５０４ｂ出力導波路１７０１入力導波路１７０２ａ，１７０２ｂ，１７０２ｃＷＩＮＣ１７０３ａ，１７０３ｂ遅延回路１７０４ａ，１７０４ｂ出力導波路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者水野隆之東京都千代田区大手町二丁目３番１号日本電信電話株式会社内 (72)発明者井上靖之東京都千代田区大手町二丁目３番１号日本電信電話株式会社内 (72)発明者日比野善典東京都千代田区大手町二丁目３番１号日本電信電話株式会社内Ｆターム(参考） 2H047 KA04 KA12 KB04 LA18 QA04 QA07 TA00 TA43

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】平面基板上の屈折率の高いコアと、該コ
アの回りのクラッドとからなる光導波路を用いて構成さ
れ、光結合器と、該光結合器を結ぶ２本のアームからな
る遅延回路が交互に従属接続されたラティス型光合分波
回路であって、前記光結合器が波長無依存型光結合器で
構成されていることを特徴とする導波路型光合分波回
路。
【請求項２】前記光結合器のすべてが、多モード干渉
型光結合器で構成されていることを特徴とする請求項１
に記載の導波路型光合分波回路。
【請求項３】前記光結合器のすべてが、非対称マッハ
ツェンダ干渉型合分波器で構成されているとともに、該
非対称マッハツェンダ干渉型合分波器を構成する２つの
光結合器の結合率の波長依存性を相殺するように、非対
称アームの光路長差を与えたことを特徴とする請求項１
に記載の導波路型光合分波回路。
【請求項４】前記光結合器が１つ以上の３ｄＢカプラ
であることを特徴とする請求項１，２又は３に記載の導
波路型光合分波回路。
【請求項５】前記光導波路が、シリコン基板上の石英
ガラス光導波路で構成されていることを特徴とする請求
項１，２，３又は４に記載の導波路型光合分波回路。
【請求項６】入力導波路から入射された波長多重光信
号を所定の結合率で伝搬させる第１の波長無依存型光結
合器と、該第１の波長無依存型光結合器からの光信号を
遅延させるための第１の光路長差を有する第１の遅延回
路と、該第１の遅延回路からの光信号を所定の結合率で
伝搬させる第２の波長無依存型光結合器と、該第２の波
長無依存型光結合器からの光信号を遅延させるための第
２の光路長差を有する第２の遅延回路と、該第２の遅延
回路からの光信号を所定の結合率で伝搬させる第３の波
長無依存型光結合器とを備え、該第３の波長無依存型光
結合器からの光信号を出力導波路より偶チャネルと奇チ
ャネルに群分波されて出力されることを特徴とする導波
路型光合分波回路。
【請求項７】前記光結合器が多モード干渉型光結合器
であることを特徴とする請求項６に記載の導波路型光合
分波回路。
【請求項８】前記遅延回路の段数を複数段にしたこと
を特徴とする請求項６又は７に記載の導波路型光合分波
回路。