JP4768996B2 - 電界効果型トランジスタとその製造方法 - Google Patents
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Description
図2〜図8は、本発明の第1の実施の形態に係る電界効果型トランジスタの製造途中の断面図である。
図9、図10は、本発明の第2の実施の形態に係る電界効果型トランジスタの製造途中の断面図である。なお、これらの図において、第1実施形態で既に説明した要素には第1実施形態と同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
前記半導体基板の上に形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極の両脇の前記半導体基板上にそれぞれ形成されたソース電極及びドレイン電極と、
前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間の前記半導体基板上に、該ゲート電極と接して形成された第1誘電体層と、
少なくとも前記ソース電極と前記ゲート電極との間の前記半導体基板上に形成された第2誘電体層と、
前記ソース電極の横から前記第2誘電体層上に延びて形成されて、前記ゲート電極を上方から覆うと共に、前記第1誘電体層の上面に垂下する先端部を備えたソースウォールとを有し、
前記第1誘電体層は、前記第2誘電体層よりも誘電率が高いことを特徴とする電界効果型トランジスタ。
前記半導体基板のドレイン領域上に、前記ゲート電極と接するようにして第1誘電体層を選択的に形成する工程と、
前記半導体基板のソース領域と前記第1誘電体層のそれぞれの上に、該第1誘電体層よりも誘電率が低く、且つ該第1誘電体層上に開口を有する第2誘電体層を形成する工程と、
前記第2誘電体層の上面から前記開口内に延在するソースウォールを備えたソース電極を前記半導体基板の上に形成する工程と、
前記半導体基板の上にドレイン電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする電界効果型トランジスタの製造方法。
前記貫通孔を通じて前記第2誘電体層をエッチングして除去し、除去された部分に空気を流入させる工程とを有することを特徴とする付記8に記載の電界効果型トランジスタの製造方法。
Claims (5)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の上に形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極の両脇の前記半導体基板上にそれぞれ形成されたソース電極及びドレイン電極と、
前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間の前記半導体基板上に、該ゲート電極と接して形成された第1誘電体層と、
少なくとも前記ソース電極と前記ゲート電極との間の前記半導体基板上に形成された第2誘電体層と、
前記ソース電極の横から前記第2誘電体層上に延びて形成されて、前記ゲート電極を上方から覆うと共に、前記第1誘電体層の上面に垂下する先端部を備えたソースウォールとを有し、
前記第1誘電体層は、前記第2誘電体層よりも誘電率が高いことを特徴とする電界効果型トランジスタ。 - 前記第2誘電体層の少なくとも一部分が除去され、該一部分に空気が流入されたことを特徴とする請求項1に記載の電界効果型トランジスタ。
- 前記第1誘電体層は、窒化シリコン層、酸化アルミニウム層、チタン酸ストロンチウム層、及びチタン酸バリウム層のいずれかであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電界効果型トランジスタ。
- 前記第2誘電体層は、酸化シリコン層、BCB(ベンゾジクロブテン)層、及びPI(ポリイミド)層のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の電界効果型トランジスタ。
- 半導体基板の上にゲート電極を形成する工程と、
前記半導体基板のドレイン領域上に、前記ゲート電極と接するようにして第1誘電体層を選択的に形成する工程と、
前記半導体基板のソース領域と前記第1誘電体層のそれぞれの上に、該第1誘電体層よりも誘電率が低く、且つ該第1誘電体層上に開口を有する第2誘電体層を形成する工程と、
前記第2誘電体層の上面から前記開口内に延在するソースウォールを備えたソース電極を前記半導体基板の上に形成する工程と、
前記半導体基板の上にドレイン電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする電界効果型トランジスタの製造方法。
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