JP4767452B2

JP4767452B2 - セラミックグリーンシート製造用工程剥離紙及びその製造方法

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Publication number: JP4767452B2
Application number: JP2001242744A
Authority: JP
Inventors: 正夫木村; 克彦福地
Original assignee: Hokuetsu Kishu Paper Co Ltd
Current assignee: Hokuetsu Kishu Paper Co Ltd
Priority date: 2001-08-09
Filing date: 2001-08-09
Publication date: 2011-09-07
Anticipated expiration: 2021-08-09
Also published as: JP2003055894A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はセラミック積層コンデンサー用で使用されるセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙（キャスティングシート）及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器の軽薄短小化傾向の波に乗って、誘電体セラミックス（チタン酸バリウムなど）薄膜と内部電極を交互に積層させてチップ部品化された積層セラミックコンデンサが、広く使用されている。このセラミック製品の製法としては、ドクターブレード法によるグリーンシート（焼結前の生シート）を形成するグリーンシート法、粉末プレス法があるが、グリーンシート法が一般的である。
【０００３】
ドクターブレード法によるグリーンシートの製造は、セラミックス粉末、有機バインダー、可塑剤、溶剤からなるスラリーをドクターブレードで一定の厚みにキャリアフィルム上にかき取り、溶剤を乾燥させて、固化、キャリアフィルムから分離してグリーンシートを巻取るというものである。
【０００４】
このグリーンシート成形法の特徴は、▲１▼ドクターブレードの設定により、一定の厚さが容易に得られる、▲２▼グリーンシートの取扱い、加工が容易である、▲３▼積層することが可能である、▲４▼プレス成形法に比較し、グリーンシートの充填密度が高い、などの長所があるが、▲１▼広い床面積をもつ形成装置が必要、▲２▼有機溶剤を使用すること、▲３▼キャリアフィルムの反対面の平滑化が難しいなどの短所がある。
【０００５】
一般にキャスティングシートとしては、ＰＥＴフィルムからなる剥離フィルムが使用されており、フィルムの厚さはドクターブレードの巾に対応して、２５μｍから１８８μｍにわたる。剥離剤としてはシリコーンが使用されている。
【０００６】
ドクターブレード法（有機溶剤スラリー）によるグリーンシート製造用工程剥離フィルムに求められる品質としては、▲１▼フィルムの厚さが均一であること、▲２▼適切なレベルの剥離性能をもち、繰返し使用可能なこと、▲３▼セラミックスラリー塗工時にはじき、塗りムラのないこと、▲４▼剥離性能の均一性（シリコーンの塗工ムラや筋のないこと）があること、▲５▼セラミックは溶剤系スラリーとなっているので、剥離処理面は耐溶剤性をもつこと、▲６▼表面平滑性のよいこと、▲７▼熱収縮しないこと、▲８▼異物、紙粉、塵など付着していないこと、▲９▼静電気を帯びていないこと等の特性があげられる。
【０００７】
従来、積層セラミックコンデンサの製造工程には上記の剥離フィルムが使用されているが、コスト、リサイクル性の点から紙べースへ代替えの要望がある。そこで剥離フィルム並の表面平滑性、セラミックスラリーの塗工均一性、乾燥後のグリーンシートの易剥離性、寸法安定性、耐溶剤性（トルエンアルコール性）という要求品質を満たした工程紙の紙べース化の検討が急がれている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第一の目的は、現在基材として使用されているＰＥＴやＯＰＰべースの工程剥離フィルムを、紙べース化したことを特徴とするセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を提供することにある。特に基材を紙ベース化した後においても、▲１▼工程剥離紙の厚さが均一であり、▲２▼適切なレベルの剥離性能をもち、繰返し使用可能であり、▲３▼セラミックスラリー塗工時にはじき、塗りムラがなく、▲４▼剥離性能が均一であり、▲５▼溶剤系セラミックスラリーであっても剥離処理面は耐溶剤性があり、▲６▼表面平滑性がよく、▲７▼異物、紙粉、塵など付着しておらず、▲８▼静電気を帯びていない等の必要特性を有するセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を提供することにある。
【０００９】
本発明の第二の目的は、溶剤系セラミックスラリーが、チタン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、アクリルバインダー、トルエン及びエタノールを含有するものである場合に適したセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を提供することにある。
【００１０】
本発明の第三の目的は、無溶剤型シリコーンの塗布量を規定することで、セラミック塗工性やセラミック剥離性が安定して得られるセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を提供することにある。
【００１１】
本発明の第四の目的は、セラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の表面のＪＩＳＢ−０６０１による中心線平均粗さと最大粗さを規定することで、グリーンシート表面上の転写による表面ムラを抑制したセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を提供することにある。
【００１２】
本発明の第五の目的は、セラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の表面平滑度を規定することにより、グリーンシート表面の平滑性を一定以上に保つことが可能なセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を提供することにある。
【００１３】
本発明の第六の目的は、支持体を、ＥＣＦ（無塩素漂白）パルプとすることで、環境に対して塩素負荷の少ないセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を提供することにある。
【００１４】
本発明の第七の目的は、本発明に係るセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の最適な製造方法を提供するものである。
【００１５】
本発明の第八の目的は、特に、表面平滑度に優れ及び表面粗さが小さいセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の製造方法を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙は、溶剤系セラミックスラリーを塗工後、硬化させて、セラミック積層コンデンサー用のセラミックグリーンシートを形成するための工程剥離紙であって、該工程剥離紙は該工程剥離紙の支持体上にキャスト塗工層を形成し、該キャスト塗工層は炭酸カルシウムとナトリウム塩のいずれも含有せず、かつ該キャスト塗工層は該キャスト塗工層の表面に無溶剤型シリコーンだけを乾燥塗布量として０．１ｇ／ｍ ^２以上塗布形成し、該工程用剥離紙の表面のＪＩＳＢ−０６０１による中心線平均粗さが１．０μｍ以下且つ最大粗さが１０μｍ以下であり、かつ、王研式平滑度によって規定される該工程用剥離紙の表面平滑度が１５００秒以上であることを特徴とする。
【００１７】
本発明に係るセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙では、前記溶剤系セラミックスラリーは、チタン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、アクリルバインダー、トルエン及びエタノールを含有したことが好ましい。
【００２１】
本発明に係るセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙では、前記支持体は、ＥＣＦ（無塩素漂白）パルプを含有することが好ましい。
【００２２】
本発明に係るセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の製造方法は、溶剤系セラミックスラリーを塗工後、硬化させて、セラミック積層コンデンサー用のセラミックグリーンシートを形成するための工程剥離紙の製造方法であって、該工程剥離紙の支持体上に炭酸カルシウムとナトリウム塩のいずれも含有しないキャスト用塗工液を塗工して塗工層を形成した後、該塗工層が湿潤状態にある間に加熱した鏡面ドラム面に圧接、乾燥後、離型させてキャスト塗工紙を形成した後、該キャスト塗工紙の表面に無溶剤型シリコーンだけを乾燥塗布量として０．１ｇ／ｍ ^２以上塗布したことを特徴とする。
【００２３】
本発明に係るセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の製造方法では、本発明に係るセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の製造方法において、前記工程剥離紙の支持体上にキャスト用塗工液を塗工して塗工層を形成したのち、直ちに加熱した鏡面ドラム面に圧接、乾燥後、離型させるか、或いはゲル化処理した後、前記該塗工層が湿潤状態にある間に加熱した鏡面ドラム面に圧接、乾燥後、離型させるか、或いは再湿潤処理した後、前記塗工層が湿潤状態にある間に加熱した鏡面ドラム面に圧接、乾燥後、離型させてキャスト塗工紙を形成したことが好ましい。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について、実施の形態及び実施例を挙げながら詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態、実施例に限定して解釈されない。本発明のセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を製造するための使用材料及び製造条件について説明する。
【００２５】
本発明に用いられるキャスト塗工紙としては、キャスト面の中心線平均粗さが１．０μｍ以下であり、且つ最大粗さが１０μｍ以下であるキャスト塗工紙が使用される。このようなキャスト塗工紙を用いることで、無溶剤型シリコーンを塗布形成した後のグリーンシート製造用工程剥離紙の表面粗さも中心線平均粗さが１．０μｍ以下であり、且つ最大粗さが１０μｍ以下とすることが可能となる。
【００２６】
キャスト塗工層としては、製品セラミックに悪影響を及ぼす炭酸カルシウム、ナトリウム塩（塩分等）をいずれも含まないものが好ましい。キャスト塗工層に使用される顔料としては、炭酸カルシウム以外のカオリン、サチンホワイト、酸化チタン、水酸化アルミニウムなどの無機顔料、及びプラスチックピグメントなどが挙げられるが特にこれらに限定されるものではない。
【００２７】
キャスト塗工層に使用されるバインダーとしては、カゼイン、大豆蛋白、合成蛋白等の蛋白質類、澱粉や酸化澱粉等の各種澱粉類、ポリビニルアルコール、変性ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロースやメチルセルロース等のセルロース誘導物、スチレン・ブタジエン共重合物、メチル・メタクリレートブタジエン共重合体の共役ジエン系重合体ラテックス、アクリル系重合体ラテックス、エチレン・酢酸ビニル共重合物等のビニル系重合体ラテックス、ポリエステル、ポリウレタン等の一般に塗工紙用として用いられている従来公知のバインダーが挙げられ、これらを単独、あるいは併用して用いる事ができる。
【００２８】
顔料とバインダーの配合比率は、顔料１００重量部に対して１０〜１００重量部の範囲が好ましい。
【００２９】
キャスト塗工層の塗工量は２〜３０ｇ／m^２であり、５〜２０ｇ／m^２であることがより好ましい。
【００３０】
前記キャスト塗工層に用いる塗工液には、必要に応じて分散剤、湿潤剤、離型剤、耐水化剤、消泡剤、ＰＨ調整剤、潤滑剤、保水剤、増粘剤、界面活性剤、蛍光増白剤、着色顔料、着色染料、流動改良剤、帯電防止剤などを適宜選定して添加することができる。
【００３１】
キャスト塗工層を形成する方法としては、前記の塗工液を乾燥塗工量で２〜３０ｇ／m^２になるように塗工し、該塗工層が湿潤状態にある間に加熱された鏡面ドラム面に圧接、乾燥することにより強光沢で平らな面を発現させる方法（キャスト方式）を用いる。用いられるキャスト方式としては、ウエット法、リウェット法、ゲル化法等の公知の方法を適宜使用すればよい。グリーンシート製造用工程剥離紙の表面平滑度を上げるためには、特にゲル化法が好ましい。
【００３２】
キャスト塗工層を得る為の塗工方式は特に限定されるものではなく、一般の塗工方式、例えばブレードコーター、ロールコーター、リバースロールコーター、エアナイフコーター、ダイコーター、バーコーター、グラビアコーター、カーテンコーター、リップコーター等の公知公用の塗工方式によりオンマシンあるいはオフマシンコーターで片面または両面塗工される。
【００３３】
支持体としては、塗工支持体としての塗工適性を備えたものでｐＨ６〜９の中性領域で抄紙された中性の上質紙や中質紙等が好ましい。また原料パルプは塩素含有量の少ないＥＣＦ（無塩素漂白）パルプの使用が好ましい。
【００３４】
このようにして得られたキャスト塗工紙のキャスト面に無溶剤型シリコーンを塗布することによって、セラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を得ることができる。
【００３５】
無溶剤型剥離紙用シリコーンとしては硬化形式により付加反応型、紫外線硬化型、電子線硬化型などがあるが、特に限定されるものではない。
【００３６】
シリコーンを塗布する方法としては、オフセットグラビアコーター、多段ロールコーターなどで塗工が行われる。塗工量は特に限定されるものではないが０．１〜１．０ｇ／m^２であることが好ましい。
【００３７】
セラミックグリーンシート製造用工程剥離紙は、表面のＪＩＳＢ−０６０１による中心線平均粗さが１．０μm以下且つ最大粗さが１０μｍ以下であることが好ましい。中心線平均粗さが１．０μmを超え且つ最大粗さが１０μｍを超えると、得られたセラミックグリーンシートの表面に、突起等の粗さに基づく転写ムラが多くなるからである。
【００３８】
セラミックグリーンシート製造用工程剥離紙は、王研式平滑度によって規定される表面平滑度が１５００秒以上であることが好ましい。１５００秒未満となると、得られたセラミックグリーンシートの表面平坦性が悪化し、製品特性にムラが生じるからである。
【００３９】
以上、本発明のセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の提供により、フィルム並の表面平滑性、溶剤系セラミックスラリーの塗工均一性、乾燥後のセラミックグリーンシートの剥離性が良好である工程剥離紙が実用化できることになった。
【００４０】
【実施例】
以下、本発明のセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の具体的な構成を実施例に基づいて説明する。本発明はこれら実施例によって制限を受けるものではない。なお特に断らない限り例中の配合％、添加％及び重量は固形分換算での重量％を示す。また全ての実施例比較例について抄造した紙は、ＪＩＳ−Ｐ８１１１に準じて前処理を行った後、紙質試験を行った。
【００４１】
（実施例１）
カオリン１００重量部、ＳＢＲ系ラテックス１７重量部、カゼイン９重量部、離型剤としてロート油１．０重量部を加えて、十分に攪拌混合して４６重量％のキャスト用塗工液を得た。この塗工液を、ＥＣＦパルプを使用した坪量６０ｇ／m^２の中性紙の片面に、乾燥塗布量が２０ｇ／m^２となるように塗工後、ただちに表面温度が８０℃の鏡面ドラム面に圧接、乾燥後、離型させ、キャスト塗工紙を得た。上記キャスト塗工紙の片面に無溶剤型シリコーン（信越シリコーン社製：商品名ＫＮＳ-３２０Ａ）を乾燥塗布量が０．３ｇ／m^２となるように塗工し、グリーンシート製造用工程剥離紙を得た。
【００４２】
（実施例２）
実施例１においてキャスト用塗工液の乾燥塗布量を１０ｇ／m^２となるようにした以外は実施例１と同じ方法でグリーンシート製造用工程剥離紙を得た。
【００４３】
（実施例３）
実施例１において無溶剤型シリコーンを乾燥塗布量が０．６ｇ／m^２となるようにした以外は実施例１と同じ方法でグリーンシート製造用工程剥離紙を得た。
【００４４】
（実施例４）
実施例１においてカオリン１００重量部、ＳＢＲ系ラテックス１７重量部、カゼイン９重量部、離型剤としてロート油１．０重量部を加えて、十分に攪拌混合した４６重量％液を坪量６０ｇ／m^２の中性紙の片面に、乾燥塗布量が２０ｇ／m^２となるように塗工後に、ゲル化剤としてギ酸カルシウム１０％水溶液でゲル化処理し、塗工層が湿潤状態にある間に表面温度が１００℃の鏡面ドラム面に圧接、乾燥後、離型させ、キャスト塗工紙を得た以外は実施例１と同じ方法でグリーンシート製造用工程剥離紙を得た。
【００４５】
（実施例５）
実施例１においてカオリン１００重量部、ＳＢＲ系ラテックス１７重量部、カゼイン９重量部、離型剤としてロート油１．０重量部を加えて、十分に攪拌混合した４６重量％液を坪量６０ｇ／m^２の中性紙の片面に、乾燥塗布量が２０ｇ／m^２となるように塗工後に、再湿潤液としてギ酸カルシウム３％水溶液で再湿潤処理し、塗工層が湿潤状態にある間に表面温度が１００℃の鏡面ドラム面に圧接、乾燥後、離型させ、キャスト塗工紙を得た以外は実施例１と同じ方法でグリーンシート製造用工程剥離紙を得た。
【００４６】
(比較例１)
実施例１において無溶剤型シリコーンの代わりに水性エマルジョン型シリコーン（信越シリコーン社製：商品名 X−５２−１９５）を用いた以外は実施例１と同じ方法でグリーンシート製造用工程剥離紙を得た。
【００４７】
（比較例２）
実施例１においてキャスト塗工紙の代わりに坪量６０ｇ／m^２の中性紙を用いた以外は実施例１と同じ方法でグリーンシート製造用工程剥離紙を得た。
【００４８】
（比較例３）
比較例２において坪量６０ｇ／m^２の中性紙の片面にポリビニルアルコール（日本合成化学工業社製：商品名ゴーセナールＴ３５０）５重量％溶液を、乾燥塗布量が１ｇ／m^２となるようにし、ポリビニルアルコール塗布面に無溶剤型シリコーン（信越シリコーン社製：商品名ＫＮＳ-３２０Ａ）を塗布した以外は比較例２と同じ方法でグリーンシート製造用工程剥離紙を得た。
【００４９】
（比較例４）
比較例３においてポリビニルアルコールの乾燥塗布量が３ｇ／m^２となるようにした以外は比較例３と同じ方法でグリーンシート製造用工程剥離紙を得た。
【００５０】
（比較例５）
比較例２において無溶剤型シリコーンの代わりに水性エマルジョン型シリコーン（信越シリコーン社製：商品名 X−５２−１９５）を用いた以外は比較例２と同じ方法でグリーンシート製造用工程剥離紙を得た。
【００５１】
実施例・比較例について、グリーンシート製造用工程剥離紙の製造条件を表１にまとめた。
【表１】

【００５２】
キャスト塗工紙及びグリーンシート製造用工程剥離紙について、次のとおりの評価を行った。
（表面平滑性）
グリーンシート製造用工程剥離紙の表面平滑性は、王研式平滑度を求めて評価を行った。これは、セラミックグリーンシートの表面平滑性に影響する。1500秒以上であることが好ましい。
（表面粗さ）
グリーンシート製造用工程剥離紙の表面粗さは、JISB-0601に準拠して評価を行った。これは、グリーンシートの厚さが５〜１０μmと薄い場合、数μmの突起でも品質トラブルに影響する。
（セラミック塗工性）
セラミック塗工性は、塗工面のカスレ、ハジキの有無を目視で評価した。○は良好、×は不良として表記した。セラミックスラリーとして、チタン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、アクリルバインダー、トルエン及びエタノールを含有する溶剤系セラミックスラリーを用いた。
（セラミック剥離性）
セラミックの剥離性は、塗工、乾燥後、工程紙からのセラミック膜の剥がれ具合を評価した。○は良好、×は不良として表記した。
【００５３】
評価結果を表２に示した。
【表２】

【００５４】
実施例１乃至5のキャスト塗工紙は、グリーンシート製造用工程剥離紙の表面の中心線平均粗さが１．０μｍ以下であり、且つ最大粗さが１０μｍ以下である条件を満たし、グリーンシート製造用工程剥離紙の表面平滑性とセラミック塗工性とセラミック剥離性が共に優れていた。また、セラミックスラリーを塗布した場合、寸法安定性に優れ、耐溶剤性（トルエンアルコール性）を十分有し、セラミックグリーンシートは、表面平滑性を有していた。
【００５５】
キャスト方式としては、実施例１乃至３のウエット法のみならず、実施例４、５によってゲル化法、リウェット法も有効であることがわかった。特にゲル化法を用いた実施例４は、表面平滑度に優れ、表面粗さが小さい。
【００５６】
それに対して、比較例１は、実施例１での無溶剤型シリコーンの代わりに、水性エマルジョンシリコーンを塗布したものである。グリーンシート製造用工程剥離紙は、表面の中心線平均粗さが１．０μｍ以下であり、且つ最大粗さが１０μｍ以下である条件を満たしていたものの、平面平滑性がやや悪く、セラミック塗工性とセラミック剥離性が共に不良であった。
【００５７】
比較例２は、塗工液を塗工せずに、無溶剤型シリコーンを塗布したものである。したがって、グリーンシート製造用工程剥離紙の表面は、中心線平均粗さが１．０μｍ以下であり、且つ最大粗さが１０μｍ以下である条件を満たさず、グリーンシート製造用工程剥離紙は、平面平滑性、セラミック塗工性とセラミック剥離性が不良であった。したがって、無溶剤型シリコーンを塗布のみでは足らず、前記条件を満たすキャスト塗工層の形成が必要である。
【００５８】
比較例３及び４は、キャスト用塗工液の代わりにポリビニルアルコールを塗布した後、無溶剤型シリコーンを塗布したものである。ポリビニルアルコールを塗布した紙の表面は、中心線平均粗さが１．０μｍ以下であり、且つ最大粗さが１０μｍ以下である条件を満たさず、セラミックグリーンシート製造用工程剥離紙は平面平滑性、セラミック塗工性、セラミック剥離性のいずれか1つ以上が不良であった。
【００５９】
比較例５は、塗工液を塗工せずに、水性エマルジョンシリコーンを塗布したものである。水性エマルジョンシリコーンを塗布した紙の表面は、中心線平均粗さが１．０μｍ以下であり、且つ最大粗さが１０μｍ以下である条件を満たさず、セラミックグリーンシート製造用工程剥離紙は、平面平滑性、セラミック塗工性、セラミック剥離性が不良であった。
【００６０】
実施例１乃至５のセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙は、▲１▼厚さが均一であり、▲２▼適切なレベルの剥離性能をもち、繰返し使用可能であり、▲３▼セラミックスラリー塗工時にはじき、塗りムラがなく、▲４▼剥離性能が均一であり、▲５▼セラミックは溶剤系スラリーとなっているので、剥離処理面は耐溶剤性があり、▲６▼表面平滑性がよく、▲７▼異物、紙粉、塵など付着しておらず、▲８▼静電気を帯びておらず、▲１▼〜▲８▼の特徴を有する工程剥離紙が実用化できることになった。
【００６１】
【発明の効果】
請求項１記載の発明により、現在セラミックグリーンシート製造用工程基材として使用されているＰＥＴやＯＰＰべースの工程剥離フィルムを、紙べース化することが可能となった。また、無溶剤型シリコーンの塗布量を規定することで、セラミック塗工性やセラミック剥離性が安定して得られるセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を提供することができた。セラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の表面のＪＩＳＢ−０６０１による中心線平均粗さと最大粗さを規定することで、グリーンシート表面上の転写による表面ムラを抑制したセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を提供することができた。セラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の表面平滑度を規定することで、グリーンシート表面の平滑性を一定以上に保つことが可能なセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を提供することができた。
【００６２】
請求項２記載の発明により、溶剤系セラミックスラリーが、チタン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、アクリルバインダー、トルエン及びエタノールを含有するものである場合に適したセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を提供することができた。
【００６６】
請求項３記載の発明により、支持体をＥＣＦパルプとすることで、環境に対して負荷の少ないセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙を提供することができた。
【００６７】
請求項４記載の発明により、本発明に係るセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の最適な製造方法を提供することができた。
【００６８】
請求項５記載の発明により、特に、表面平滑度に優れ及び表面粗さが小さいセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の製造方法を提供することができた。

Claims

溶剤系セラミックスラリーを塗工後、硬化させて、セラミック積層コンデンサー用のセラミックグリーンシートを形成するための工程剥離紙であって、該工程剥離紙は該工程剥離紙の支持体上にキャスト塗工層を形成し、該キャスト塗工層は炭酸カルシウムとナトリウム塩のいずれも含有せず、かつ該キャスト塗工層は該キャスト塗工層の表面に無溶剤型シリコーンだけを乾燥塗布量として０．１ｇ／ｍ ^２以上塗布形成し、該工程用剥離紙の表面のＪＩＳＢ−０６０１による中心線平均粗さが１．０μｍ以下且つ最大粗さが１０μｍ以下であり、かつ、王研式平滑度によって規定される該工程用剥離紙の表面平滑度が１５００秒以上であることを特徴とするセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙。
前記溶剤系セラミックスラリーは、チタン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、アクリルバインダー、トルエン及びエタノールを含有したことを特徴とする請求項１記載のセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙。
前記支持体は、ＥＣＦ（無塩素漂白）パルプを含有することを特徴とする請求項１又は２記載のセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙。
溶剤系セラミックスラリーを塗工後、硬化させて、セラミック積層コンデンサー用のセラミックグリーンシートを形成するための工程剥離紙の製造方法であって、該工程剥離紙の支持体上に炭酸カルシウムとナトリウム塩のいずれも含有しないキャスト用塗工液を塗工して塗工層を形成した後、該塗工層が湿潤状態にある間に加熱した鏡面ドラム面に圧接、乾燥後、離型させてキャスト塗工紙を形成した後、該キャスト塗工紙の表面に無溶剤型シリコーンだけを乾燥塗布量として０．１ｇ／ｍ ^２以上塗布したことを特徴とするセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の製造方法。
請求項４記載のセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の製造方法において、前記工程剥離紙の支持体上にキャスト用塗工液を塗工して塗工層を形成したのち、直ちに加熱した鏡面ドラム面に圧接、乾燥後、離型させるか、或いはゲル化処理した後、前記該塗工層が湿潤状態にある間に加熱した鏡面ドラム面に圧接、乾燥後、離型させるか、或いは再湿潤処理した後、前記塗工層が湿潤状態にある間に加熱した鏡面ドラム面に圧接、乾燥後、離型させてキャスト塗工紙を形成したことを特徴とする請求項４記載のセラミックグリーンシート製造用工程剥離紙の製造方法。