JP4762876B2 - 仮想レビューを利用した検査システム及びそれを用いた検査方法 - Google Patents
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Description
Claims (16)
- アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された欠陥を撮影してキャプチャーイメージを獲得し、前記欠陥と関連した検査情報を提供する検査装備と、
前記検査装備から提供された前記検査情報を、データベース化した後、伝送するメインサーバと、
前記メインサーバから伝送された前記検査情報に基づいて、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定して判定結果を算出し、この算出した判定結果を前記メインサーバに伝送するレビューホストと
を備え、
前記判定結果は、前記キャプチャーイメージが判定し難いのでカメラの倍率転換によりレビュー及び判定が要求される場合、前記カメラの自動焦点機能が正しく動作しないために前記キャプチャーイメージが判定し難い場合、金属性不良のために前記レビューホストにより判定が不可能な場合、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板に欠陥が存在しないか、又は重要でない程度に微々たるために良好だと判定した場合、不良である場合、及びパネルの欠陥に対して修理が必要な場合にそれぞれ区分され、
前記レビュー及び判定が要求される場合、前記キャプチャーイメージが判定し難い場合、及び判定が不可能な場合のいずれかの場合に、前記欠陥をリアルタイムで撮影したライブイメージに基づいて、前記欠陥の状態を再検査する再検査ホストをさらに備えることを特徴とする検査システム。 - 前記欠陥と関連した検査情報は、
前記アレイ基板又はカラーフィルター基板のID、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された複数のパネルID、検出された欠陥の順序に応じる欠陥の番号、前記欠陥を撮影したイメージファイル及び前記欠陥を検出した検査装備の番号を含むことを特徴とする請求項1に記載の検査システム。 - 前記判定結果が修理が必要な場合において、
前記メインサーバにより前記検査装備に前記欠陥の修理が要請され、これにより、前記検査装備により前記欠陥が修理されることを特徴とする請求項1に記載の検査システム。 - 前記検査装備により前記欠陥が修理されると、この修理された欠陥部分を撮影したキャプチャーイメージが生成され、この生成されたキャプチャーイメージが前記検査装備から前記メインサーバに伝送されることを特徴とする請求項3に記載の検査システム。
- 前記メインサーバから前記キャプチャーイメージを伝送されて、修理された前記欠陥の状態に基づいてアレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定する品質管理ホストをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の検査システム。
- アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された欠陥を撮影してキャプチャーイメージを獲得し、前記欠陥と関連した検査情報を提供する検査装備と、
前記検査装備から提供された前記検査情報を、データベース化した後、伝送するメインサーバと、
前記メインサーバから伝送された前記検査情報に基づいて、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定して判定結果を算出し、この算出した判定結果を前記メインサーバに伝送する第1レビューホストと、
前記メインサーバから前記キャプチャーイメージを伝送されて、修理された前記欠陥の状態に基づいて前記アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定する第2レビューホストと
を備え、
前記判定結果は、前記キャプチャーイメージが判定し難いのでカメラの倍率転換によりレビュー及び判定が要求される場合、前記カメラの自動焦点機能が正しく動作しないために前記キャプチャーイメージが判定し難い場合、金属性不良のために前記レビューホストにより判定が不可能な場合、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板に欠陥が存在しないか、又は重要でない程度に微々たるために良好だと判定した場合、不良である場合、及びパネルの欠陥に対して修理が必要な場合にそれぞれ区分され、
前記レビュー及び判定が要求される場合、前記キャプチャーイメージが判定し難い場合、及び判定が不可能な場合のいずれかの場合に、前記欠陥をリアルタイムで撮影したライブイメージに基づいて、前記欠陥の状態を再検査する再検査ホストをさらに備えることを特徴とする検査システム。 - 前記欠陥と関連した検査情報は、
前記アレイ基板又はカラーフィルター基板のID、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された複数のパネルID、検出された欠陥の順序に応じる欠陥の番号、前記欠陥を撮影したイメージファイル及び前記欠陥を検出した検査装備の番号を含むことを特徴とする請求項6に記載の検査システム。 - 前記判定結果が修理が必要な場合において、
前記メインサーバにより前記検査装備に前記欠陥の修理が要請され、これにより、前記検査装備により前記欠陥が修理されることを特徴とする請求項6に記載の検査システム。 - 前記検査装備により前記欠陥が修理されると、この修理された欠陥部分を撮影したキャプチャーイメージが生成され、この生成されたキャプチャーイメージが前記検査装備から前記メインサーバに伝送されることを特徴とする請求項8に記載の検査システム。
- 前記検査装備の状態をモニタリングして、作業者を呼び出すためのアラームホストをさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の検査システム。
- 前記メインサーバが動作しない場合に前記メインサーバと同じ機能を行うサブサーバをさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の検査システム。
- アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された欠陥を撮影してキャプチャーイメージを獲得し、前記欠陥と関連した検査情報が検査装備から提供されるステップと、
前記検査装備から提供される前記検査情報が、メインサーバによりデータベース化された後、伝送されるステップと、
前記メインサーバから伝送された前記検査情報に基づいて、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無が判定されて判定結果が算出され、この算出された判定結果が前記メインサーバに伝送されるステップと
を含み、
前記判定結果は、前記キャプチャーイメージが判定し難いのでカメラの倍率転換によりレビュー及び判定が要求される場合、前記カメラの自動焦点機能が正しく動作しないために前記キャプチャーイメージが判定し難い場合、金属性不良のために前記レビューホストにより判定が不可能な場合、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板に欠陥が存在しないか、又は重要でない程度に微々たるために良好だと判定した場合、不良である場合、及びパネルの欠陥に対して修理が必要な場合にそれぞれ区分され、
前記レビュー及び判定が要求される場合、前記キャプチャーイメージが判定し難い場合、及び判定が不可能な場合のいずれかの場合に、前記欠陥をリアルタイムで撮影したライブイメージに基づいて、前記欠陥の状態を再検査するステップをさらに含むことを特徴とする検査方法。 - 前記欠陥と関連した検査情報は、
前記アレイ基板又はカラーフィルター基板のID、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された複数のパネルID、検出された欠陥の順序に応じる欠陥の番号、前記欠陥を撮影したイメージファイル及び前記欠陥を検出した検査装備の番号を含むことを特徴とする請求項12に記載の検査方法。 - 前記判定結果が修理が必要な場合、
前記メインサーバにより前記検査装備に前記欠陥の修理が要請され、これにより、前記検査装備により前記欠陥が修理されることを特徴とする請求項12に記載の検査方法。 - 前記検査装備により前記欠陥が修理されると、この修理された欠陥部分を撮影したキャプチャーイメージが生成され、この生成されたキャプチャーイメージが前記検査装備から前記メインサーバに伝送されることを特徴とする請求項14に記載の検査方法。
- 前記メインサーバから前記キャプチャーイメージを伝送されて、修理された前記欠陥の状態に基づいて、前記基板の不良の有無を判定するステップをさらに備えることを特徴とする請求項12に記載の検査方法。
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