JP2007183260A - 仮想レビューを利用した検査システム及びそれを用いた検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板上の欠陥をキャプチャーしたイメージに基づいて、作業者がレビュー判定を行なうことにより、検査装備を效率的に駆動でき、作業人員を縮小することができる仮想レビューを利用した検査システム及びそれを用いた検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の検査システムは、アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された欠陥を撮影してキャプチャーイメージを獲得し、この欠陥と関連した検査情報を提供する検査装備１１０と、検査装備１１０から提供された検査情報をデータベース化した後に伝送するメインサーバ１３０と、メインサーバ１３０から伝送された検査情報に基づいて、アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定して判定結果を算出し、算出された判定結果をメインサーバ１３０に伝送するレビューホスト１４０とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、仮想レビューを利用した検査システム及びそれを用いた検査方法に関し、詳細には、液晶表示装置の薄膜トランジスタ基板やカラーフィルター基板の不良の有無を検査するための仮想レビューを利用した検査システム及びそれを用いた検査方法に関する。

近年、情報ディスプレイに関する関心が高まり、既存の表示装置であるブラウン管を代替する軽量薄膜型平板表示装置（ＦＰＤ）に対する研究及び商業化が重点的に進められている。特に、このような平板表示装置のうち、液晶表示装置（ＬＣＤ）は、液晶の光学的異方性を求めてイメージを表現する装置であって、解像度とカラー表示及び画質などに優れているため、ノート型パソコンコンピュータやデスクトップモニタなどに盛んに適用されている。

液晶表示装置は、大きくアレイ基板、カラーフィルター基板、及びこのようなアレイ基板とカラーフィルター基板との間に形成された液晶層で構成される。

ここで、アレイ基板は、このアレイ基板の上に縦横に配列して、画素領域を画定するゲートラインとデータライン、このゲートラインとデータラインとの交差領域に形成されたスイッチング素子である薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、及び画素領域に形成された画素電極で構成される。

また、カラーフィルター基板は、色相を具現するサブカラーフィルター（Ｒ、Ｇ、Ｂ）からなるカラーフィルター及びサブカラーフィルター間を区分して画素領域を画定し、液晶層を透過する光を遮断するブラックマトリックスで構成される。また、カラーフィルター基板は、液晶層に電圧を印加する透明な共通電極を含むことができるが、共通電極は、アレイ基板上に形成されることもできる。

このように構成されたアレイ基板及びカラーフィルター基板は、シーラントにより合着されて液晶表示パネルを構成する。

このような液晶表示装置は、大きくアレイ工程、カラーフィルター工程、セル工程、及びモジュール工程を経て製造され得る。

まず、アレイ工程は、蒸着、フォトリソグラフィ、及びエッチング工程を繰り返して、透明な絶縁基板である第１基板上に薄膜トランジスタアレイを製作する工程であって、カラーフィルター工程は、画素領域を除いた部分には、光が遮断されるように、透明な絶縁基板である第２基板にブラックマトリックスを形成し、染料や顔料を使用して赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルターを製作する工程である。

また、後続のセル工程を行う前に、不良基板がセル工程に投入されないように、アレイ基板及びカラーフィルター基板の不良検査を実施し、製作されたアレイ基板及びカラーフィルター基板の状態を確認するための更なる作業が必須的に求められる。

セル工程は、薄膜トランジスタの形成工程が完了した第１基板と、カラーフィルター工程が完了した第２基板との間に一定のセルギャップが維持されるように合着し、第１基板と第２基板との間に液晶を注入または滴下して、液晶表示パネルのセルを形成する工程である。モジュール工程は、信号処理のための回路部を製作し、液晶表示パネルと回路部とを周知の実装技術により互いに接続した後、器具物に付着してモジュールを製作する工程である。

以下、上述のセル工程をさらに詳細に説明する。

まず、アレイ工程及びカラーフィルター工程により製造されたアレイ基板及びカラーフィルター基板上にそれぞれ配向膜を形成した後、アレイ基板とカラーフィルター基板との間に形成される液晶層の液晶分子に配向規制力または表面固定力を提供するための配向膜のラビング工程を行う。このとき、配向膜は、塗布前洗浄、配向膜印刷、配向膜検査及びラビング工程の順に行われることができる。

次いで、各アレイ基板及びカラーフィルター基板を洗浄した後、アレイ基板にセルギャップを一定に維持するためのスペーサを散布し、カラーフィルター基板の外郭部にシーリング材を塗布した後、アレイ基板及びカラーフィルター基板に圧力を加えて合着する。

最後に、加工された個々の液晶表示パネルに液晶注入口を介して液晶を注入し、液晶注入口を封止して液晶層を形成する。

尚、上述のセル工程前のアレイ基板及びカラーフィルター基板の不良検査は、外観及び電気的不良の有無を検査するためのもので、例えば、カラーフィルター突起、斜線汚れ、ラビング縞、ピンホール、ゲートライン及びデータラインの断線または合線などを検査する工程である。

このような検査工程のための従来の検査システムは、アレイ基板及びカラーフィルター基板の欠陥有無を検査する検査装備部、及び検査結果において基板に欠陥が発生した場合、これを修理するための修理システムを含む。

検査装備部は、アレイ基板及びカラーフィルター基板の不良の有無を検査するための検査装備、検査装備を駆動するためのシステムコンピュータ、及びここに接続したモニタで構成され、このとき、システムコンピュータには、コンピュータを作動するためのキーボードとマウスが接続される。また、検査装備部には、検査モニタが設置されているが、作業者は、これを通じて基板の欠陥の有無を判別することができる。

従来の検査システムは、検査モニタ１台と修理コンピュータ１台が１対１に接続されることによって、検査者１人が１台の検査装備のみを制御する方式に従う。これにより、検査者の食事及び休息時間に装備が稼働しない等、時間損失にともなって作業効率が低下するという問題がある。また、従来の検査システムは、検査装備の台数と同じ人数の検査者が必要であるという問題がある。

本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、アレイ基板及びカラーフィルター基板上に存在する欠陥をキャプチャーイメージに基づいて、仮想レビュー及び判定を行うことができる仮想レビューを利用した検査システム及びそれを用いた検査方法を提供することにある。

また、本発明の他の目的は、アレイ基板及びカラーフィルター基板上に存在する欠陥をキャプチャーイメージに基づいて検査する場合、検査器ＰＣと検査者の数を減らすことができる仮想レビューを利用した検査システム及びそれを用いた検査方法を提供することにある。

また、本発明のさらに他の目的は、アレイ基板及びカラーフィルター基板の欠陥検査に必要な検査作業時間を短縮させることができる仮想レビューを利用した検査システム及びそれを用いた検査方法を提供することにある。

本発明が解決しようとする技術的課題は、以上で言及した技術的課題に制限されず、言及していないさらに他の技術的課題は、以下の記載から本発明の属する技術分野における通常の知識を有するものにとって明確に理解されるはずである。

上記の目的を達成すべく、本発明に係る仮想レビューを利用した検査システムは、アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された欠陥を撮影してキャプチャーイメージを獲得し、前記欠陥と関連した検査情報を提供する検査装備と、前記検査装備から提供された前記検査情報をデータベース化した後、伝送するメインサーバと、前記メインサーバから伝送された前記検査情報に基づいて、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定して判定結果を算出し、算出された判定結果を前記メインサーバに伝送するレビューホストとを備える。

ここで、前記欠陥と関連した検査情報は、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板のＩＤ、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された複数のパネルＩＤ、検出された欠陥の順序に応じる欠陥の番号、前記欠陥を撮影したイメージファイル及び前記欠陥を検出した検査装備の番号を含むことができる。

ここで、前記判定結果は、前記欠陥の修理が要請される場合、前記欠陥の状態が良好な場合、前記欠陥の状態が不良な場合、前記欠陥の状態を判定し難い場合に区分されることができる。

ここで、前記判定結果が修理要請である場合、前記メインサーバにより前記検査装備に前記欠陥の修理が要請され、これにより、前記検査装備により前記欠陥が修理されることを特徴とする。

ここで、前記検査装備により前記欠陥が修理されると、修理された欠陥部分を撮影したキャプチャーイメージが生成され、生成された前記キャプチャーイメージが前記検査装備から前記メインサーバに伝送されることを特徴とする。

また、本発明に係る検査システムは、前記メインサーバから前記キャプチャーイメージを伝送されて、修理された前記欠陥の状態に基づいてアレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定する品質管理ホストをさらに備えることができる。

また、本発明に係る検査システムは、前記欠陥の状態を判定し難い場合、前記欠陥をリアルタイムで撮影したライブイメージに基づいて、前記欠陥の状態を再検査する再検査ホストをさらに備えることができる。

一方、上記の目的を達成すべく、本発明に係る仮想レビューを利用した検査システムは、アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された欠陥を撮影してキャプチャーイメージを獲得し、前記欠陥と関連した検査情報を提供する検査装備と、前記検査装備から提供された前記検査情報をデータベース化した後、伝送するメインサーバと、前記メインサーバから伝送された前記検査情報に基づいて、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定して判定結果を算出し、算出された判定結果を前記メインサーバに伝送する第１レビューホストと、前記メインサーバから前記キャプチャーイメージを伝送されて、修理された前記欠陥の状態に基づいて前記アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定する第２レビューホストとを備える。

ここで、本発明に係る仮想レビューを利用した検査システムは、前記検査装備の状態をモニタリングして、作業者を呼び出すためのアラームホストをさらに備えることができる。

ここで、本発明に係る仮想レビューを利用した検査システムは、前記メインサーバが動作しない場合、前記メインサーバと同じ機能を行うサブサーバをさらに備えることを特徴とする。

一方、上記の目的を達成すべく、本発明に係る仮想レビューを利用した検査方法は、アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された欠陥を撮影してキャプチャーイメージを獲得し、前記欠陥と関連した検査情報が検査装備から提供されるステップと、前記検査装備から提供される前記検査情報が、メインサーバによりデータベース化した後、伝送されるステップと、前記メインサーバから伝送された前記検査情報に基づいて、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無が判定されて判定結果が算出され、算出された判定結果が前記メインサーバに伝送されるステップとを含む。

ここで、本発明に係る検査方法は、前記メインサーバから前記キャプチャーイメージを伝送されて、修理された前記欠陥の状態に基づいて、基板の不良の有無を判定するステップをさらに備えることを特徴とする。

ここで、本発明に係る検査方法は、前記欠陥の状態を判定し難い場合、前記欠陥をリアルタイムで撮影したライブイメージに基づいて、前記欠陥の状態を再検査するステップをさらに含むことができる。

本発明によれば、作業者１人が１台の装備のみを制御する方式ではなく、複数の検査装備から提供される基板上の欠陥をキャプチャーしたイメージに基づいて、作業者がレビュー判定を行うため、装備を效率的に駆動することができ、作業人員を縮小することができる。これにより、実質的な検査作業時間が短縮され得る。

その他、実施形態の具体的な事項は、詳細な説明及び図面に含まれている。本発明の利点及び特徴、そしてそれらを達成する方法は、添付する図面と共に詳細に後述されている実施形態を参照すると、明確になるはずである。明細書全体にわたって同一の構成要素には同一の参照符号を付してある。

以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態に係る仮想レビューを利用した検査システム及びそれを用いた検査方法を具体的に説明する。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る仮想レビューを利用した検査システムの構成を示す図である。図１において、点線で表示された信号の流れは、情報を伝送したことを示し、実線で表示された信号の流れは、検査装備を実際駆動する信号を示す。

同図に示すように、本発明の実施形態に係る検査システム１００は、検査装備１１０、再検査ホスト（ＭＰＣ）１２０、メインサーバ（ＲＣＳ）１３０、レビューホスト（ＲＰＣ）１４０、及び品質管理ホスト（ＱＰＣ）１５０を備える。このとき、検査装備１１０、レビューホスト１４０、品質管理ホスト１５０は、それぞれメインサーバ１３０とネットワークで接続されており、再検査ホスト１２０と検査装備１１０とは、別途のネットワークにより接続され得る。ここで、各ホスト１２０、１４０、１５０は、個人用コンピュータであるＰＣで具現されることができる。

一般に、検査装備１１０は、パネルに現れたパターンを検出するためのカメラの設置されたビジョン部及びカメラに入力された信号を分析するためのコンピュータシステムを備える。

このとき、カメラは水平方向にパネル上をスキャンして、アレイ基板やカラーフィルター基板に表示される検査用パターンを収集してコンピュータシステムに伝達し、視野角に応じて欠陥検出が変わるのを補完するために、所定角度（例えば、０゜〜７０゜、８０゜〜１００゜、１１０゜〜１６０゜）を与えて、上述の方法で検査することにより、欠陥検出力を向上させることができる。

このように、検査装備にカメラのようなビジョン装置を設けることによって、作業者の肉眼による検査の限界点を補完して、作業の能率向上による生産性向上の効果を得ることができる。

また、本発明の第１の実施形態において、検査装備１１０は、欠陥に対する自動修理（Ａｕｔｏ Ｄｅｆｅｃｔｓ Ｒｅｐａｉｒ；ＡＤＲ）を行う。

メインサーバ１３０は、検査装備１１０から、キャプチャーされた欠陥のイメージファイル、アレイ基板やカラーフィルター基板のパネルＩＤ、ガラス基板ＩＤ、欠陥番号、装備番号などを伝送されてデータベース化した後、このような情報をレビューホスト１４０に伝送する。このとき、メインサーバ１３０の他に、予測できない非常時に作動する補助サーバであるサブサーバ１３１が設置されることができる。すなわち、サブサーバ１３１は、メインサーバ１３０がダウンした場合、メインサーバ１３０の代りに使用することができる。

レビューホスト１４０は、キャプチャーされた欠陥のイメージファイルを利用して欠陥の状態を検討し、これにより判定を行って、判定値を算出する。算出された判定値は、メインサーバ１３０に伝送されてデータベースに格納される。ここで、データベースは、メインサーバ１３０内に具現されることができ、または外部に別途に具現されることもできる。

品質管理ホスト１５０は、検査装備１１０により欠陥に対する自動修理が完了した後、修理が完了した領域をキャプチャーしたイメージ情報に基づいて、欠陥に対する修理が成功的に完了したか否かを判断する。欠陥に対する修理が成功的に完了した場合、次のアレイ基板やカラーフィルター基板に対して不良の有無の検査作業を行う。

再検査ホスト１２０は、レビューホスト１４０で欠陥の状態を判定するのが難しいと判断された場合、欠陥の状態を再検査する。レビューホスト１４０は、キャプチャーされた欠陥のイメージに基づいて、レビュー及び判定を行うが、再検査ホスト１２０が欠陥の再検査を行う場合、検査装備１１０のカメラによりリアルタイムで撮影されるリアルタイムイメージに基づいて、レビュー及び判定が行われる。

また、検査装備１１０が５０台である場合、従来は、５０台の検査者ＰＣが必要であったが、本発明の第１の実施形態では、リアルタイムイメージではないキャプチャーイメージを利用して検査を行うことができるため、例えば、２５台のレビューホスト１４０を使用して検査を行うことができる。また、本発明の第１の実施形態において、それぞれのホスト１２０、１４０、１５０は、遠隔地上に具現され、遠隔で検査装備１１０を制御することができる。

図２は、本発明の第１の実施形態に係る仮想レビューを利用した検査方法の動作フローチャートである。

同図に示すように、まずガラス基板がロードされると、検査装備１１０によりアレイ基板又はカラーフィルター基板に欠陥が存在するか否かを検査する。このとき、検査装備１１０は、アレイ基板又はカラーフィルター基板内に欠陥が検知されると、検知された欠陥のイメージをキャプチャーするようになる（Ｓ２０１）。

以後、検知されたそれぞれの欠陥単位でＧＬＳ ＩＤ、ＰＮＬ ＩＤ、欠陥シリアル番号などの欠陥情報と、欠陥のイメージファイル、装備番号などの情報をメインサーバ１３０に伝送する（Ｓ２０２）。ここで、ＧＬＳ ＩＤは、アレイ基板又はカラーフィルター基板用ガラス基板の情報であって、「７ＡＡ５Ｄ０１７５１０」のようなガラス基板のＩＤを意味し、ＰＮＬ ＩＤは、ガラス基板に形成されたパネルの情報であって、「７ＡＡ５Ｄ０１７５１０Ａ１」のようなパネルＩＤを意味し、欠陥シリアル番号は、１つのガラス基板内にいくつかの欠陥が存在する場合、各々の欠陥に対して順次に順序を付与した番号を意味する。

メインサーバ１３０は、検査装備１１０から欠陥単位で伝送された欠陥情報とキャプチャーされたイメージファイル、装備番号などの情報をデータベースに格納し、これを順次にレビューホスト１４０に伝送する（Ｓ２０３）。

メインサーバ１３０からレビューホスト１４０に欠陥情報、キャプチャーされた欠陥のイメージファイル、装備番号などの情報が伝送されると、レビューホスト１４０は、キャプチャーされた欠陥のイメージファイルに基づいて、レビュー及び判定作業を行う（Ｓ２０４）。すなわち、作業者は、キャプチャーされた欠陥のイメージファイルを開いて、欠陥をレビューし、これに対する判定を行う。

このとき、作業者による判定結果、多様な判定値が得られることができるが、このような判定値は、メインサーバ１３０に伝送される。これを表で表すと、次の通りである。

表１を参照すると、「Ｑ」は、キャプチャーされたイメージファイルで判定し難いため、カメラの倍率転換などによりレビュー及び判定が要求される場合である。「Ａ」は、カメラの自動焦点機能が正しく動作しないから、キャプチャーされたイメージを持って判定し難い場合である。「Ｍ」は、金属性不良のため、レビューホスト１４０により判定が不可能な場合である。「Ｇ」は、アレイ基板又はカラーフィルター基板に欠陥が存在しないか、又は重要でない程度に微々たるため、良好だと判定した場合であり、「Ｐ」は、パネルの欠陥に対して修理が必要な場合を意味する。

すなわち、アレイ基板又はカラーフィルター基板に対する欠陥判定が不可であるか否かを確認する（Ｓ２０５）。このとき、判定不可を意味する「Ｑ」、「Ａ」、「Ｍ」は、レビューホスト１４０が欠陥に対して判定し難い場合を意味する。

このように判定値として「Ｑ」、「Ａ」、「Ｍ」のうち、何れかの１つの値が出た場合（Ｓ２０５；はい）、再検査ホスト１２０により欠陥に対する再検査が行われる（Ｓ２０６）。レビューホスト１４０は、キャプチャーされた欠陥イメージに基づいて、レビュー及び判定を行うが、再検査ホスト１２０が欠陥の再検査を行う場合、検査装備１１０のカメラによりリアルタイムで撮影されるアレイ基板又はカラーフィルター基板のライブイメージに基づいて、レビュー及び判定が行われる。

すなわち、作業者は、それぞれの検査装備１１０に多重接続できる再検査ホスト１２０内のＰＣを利用して、欠陥に対する再検査を行う。このとき、再検査ホスト１２０と検査装備１１０との多重接続比率は、略３：８であり得る。

一方、アレイ基板又はカラーフィルター基板に対する欠陥判定が可能な場合（Ｓ２０５；いいえ）、判定値が良好を表す「Ｇ」であるか否かを確認し（Ｓ２０７）、万一、判定値が「Ｇ」であると（Ｓ２０７；はい）、アレイ基板又はカラーフィルター基板の良好判定及び後続処理を行う（Ｓ２０８）。

次に、判定値が良好を表さない場合（Ｓ２０７；いいえ）、判定値が修理を表す「Ｐ」であるか否かを確認する（Ｓ２０９）。

判定値が「Ｐ」である場合（Ｓ２０９；はい）、メインサーバ１３０は、該当欠陥が検出された検査装備１１０に欠陥と関連した情報及び判定値が「Ｐ」であるという情報を伝送する。検査装備１１０は、メインサーバ１３０から判定値が「Ｐ」であるという情報を伝送されると、該当欠陥を自動修理し、修理が完了した領域のイメージをキャプチャーする（Ｓ２１０）。このとき、キャプチャーされた修理完了領域のイメージ情報は、メインサーバ１３０に伝送される。

次いで、メインサーバ１３０は、検査装備１１０から伝送された修理完了領域のイメージ情報をデータベースに格納した後、品質管理ホスト１５０に伝送する。

品質管理ホスト１５０では、サーバ１３０から伝送された修理完了領域のキャプチャーイメージ情報を利用して、欠陥の修理が成功的に行われたか否か、すなわちＡＤＲ（自動修理）の成功の可否を判断する（Ｓ２１１）。

ＡＤＲ確認結果において、欠陥の修理が成功的に行われた場合（Ｓ２１１；はい）、すなわち欠陥の修理が成功的に完了して、アレイ基板又はカラーフィルター基板内に欠陥がもうこれ以上存在しなくなる場合、上述のステップＳ２０８を行い、後続的に次のアレイ基板又はカラーフィルター基板に対して不良検査を行うことができる。

一方、検査装備１１０により欠陥が修理されたにもかかわらず、欠陥が依然として存在する場合（Ｓ２１１；いいえ）、すなわち、ＡＤＲが成功しないものと判断されると、検査装備１１０により欠陥修理過程（Ｓ２１０）に戻る。

尚、上述の判定値が修理を表す「Ｐ」でない場合（Ｓ２０９；いいえ）、アレイ基板又はカラーフィルター基板不良及び後続処理過程を行う（Ｓ２１２）。

ここで、上述のステップＳ２０５、ステップＳ２０７及びステップＳ２０９は、その順序が互いに変わることができる。

図３は、本発明の第２の実施形態における仮想レビューを利用した検査システムの構成図である。

同図に示すように、本発明の第２の実施形態における仮想レビューを利用した検査システム３００は、検査装備３１０、再検査ホスト（ＭＰＣ）３２０、メインサーバ（ＲＣＳ）３３０、第１レビューホスト（ＲＰＣ１）３４０、及び品質管理ホスト（ＱＰＣ）３５０を備え、更に、第２レビューホスト（ＲＰＣ２）３６０及びアラームホスト（ＡＬＰＣ）３７０を備える。

このとき、検査装備３１０、第１及び第２レビューホスト３４０、３６０、品質管理ホスト３５０は、それぞれメインサーバ３３０とネットワークで接続されており、再検査ホスト３２０と検査装備３１０とは、別途のネットワークにより接続され得る。ここで、各ホスト３２０、３４０、３５０、３６０、３７０は、個人用コンピュータであるＰＣで具現されることができる。

本発明の第２の実施形態における仮想レビューを利用した検査システム３００は、上述した本発明の第１の実施形態における仮想レビューを利用した検査システム１００と比較すると、第２レビューホスト３６０及びアラームホスト３７０が追加されるという点を除くと、同じ構成要素を含むので、同じ部分について説明は省略し、その差異部分のみを説明するものとする。

本発明の第２の実施形態において、検査装備３１０は、欠陥に対する自動修理（ＡＤＲ）を行う。

メインサーバ３３０は、検査装備３１０からキャプチャーされた欠陥のイメージファイル、パネルＩＤ、ガラス基板ＩＤ、欠陥番号、装備番号などを伝送されてデータベース化した後、このような情報を第１レビューホスト３４０に伝送する。このとき、メインサーバ３３０の他に予測できない非常時に作動する補助サーバであるサブサーバ３３１が設置されることができる。

第１レビューホスト３４０は、キャプチャーされた欠陥のイメージファイルを利用して欠陥の状態を検討し、これにより判定を行って判定値を算出する。算出された判定値は、メインサーバ３３０に伝送されてデータベースに格納される。

第２レビューホスト３６０は、検査装備３１０により欠陥に対する自動修理が完了した後、修理が完了した領域をキャプチャーしたイメージ情報に基づいて、欠陥に対する修理が成功的に完了したか否かを判断する。すなわち、上述した第１の実施形態で品質管理ホスト１５０が行っていた機能を、本発明の第２の実施形態では第２レビューホスト３６０が行うことができる。

再検査ホスト３２０は、第１レビューホスト３４０で欠陥の状態を判定するのが難しいと判断された場合、欠陥の状態を再検査する。第１レビューホスト３４０は、キャプチャーされた欠陥のイメージに基づいて、レビュー及び判定を行うが、再検査ホスト１２０が欠陥の再検査を行う場合、検査装備３１０のカメラによりリアルタイムで撮影されるリアルタイムイメージに基づいて、レビュー及び判定が行われる。

アラームホスト３７０は、検査装備３１０の状態をモニタリングし、モード変更の際、作業者を呼び出す機能を果たす。

図４は、本発明の第２の実施形態における仮想レビューを利用した検査方法のフローチャートである。

まず、ガラス基板がロードされると、検査装備３１０によりアレイ基板又はカラーフィルター基板に欠陥が存在するか否かを検査する。このとき、検査装備３１０は、アレイ基板又はカラーフィルター基板内に欠陥が検知されると、検知された欠陥のイメージをキャプチャーする（Ｓ４０１）。

次いで、検知されたそれぞれの欠陥単位でＧＬＳ ＩＤ、ＰＮＬ ＩＤ、欠陥シリアル番号などの欠陥情報と、欠陥のイメージファイル、装備番号などの情報をメインサーバ３３０に伝送する（Ｓ４０２）。

次に、メインサーバ３３０は、検査装備３１０から欠陥単位で伝送された欠陥情報、キャプチャーされたイメージファイル、装備番号などの情報をデータベースに格納し、これを順次に第１レビューホスト３４０に伝送する（Ｓ４０３）。

次に、メインサーバ３３０から第１レビューホスト３４０に欠陥情報、キャプチャーされた欠陥のイメージファイル、装備番号などの情報が伝送されると、第１レビューホスト３４０は、キャプチャーされた欠陥のイメージファイルに基づいて、レビュー及び不良コードの判定作業を行う（Ｓ４０４）。すなわち、作業者は、キャプチャーされた欠陥のイメージファイルを開いて、欠陥をレビューし、これに対する判定を行うが、判定値は、メインサーバ３３０に伝送される。

次に、アレイ基板又はカラーフィルター基板に対する欠陥判定が不可であるか否かを確認し（Ｓ４０５）、判定値として判定不可を意味する「Ｑ」、「Ａ」、「Ｍ」のうちの何れか１つの値が出た場合（Ｓ４０５；はい）、再検査ホスト３２０により欠陥に対する再検査が行われる（Ｓ４０６）。

このとき、第１レビューホスト３４０では、キャプチャーされた欠陥イメージに基づいて、レビュー及び判定を行うが、再検査ホスト３２０で欠陥の再検査が行われる場合、検査装備３１０のカメラによりリアルタイムで撮影されるアレイ基板又はカラーフィルター基板のライブイメージに基づいて、レビュー及び判定が行われる。

一方、アレイ基板又はカラーフィルター基板に対する欠陥判定が可能な場合（Ｓ４０５；いいえ）、判定値が良好を表す「Ｇ」であるか否かを確認し（Ｓ４０７）、判定値が「Ｇ」であると（Ｓ４０７；はい）、アレイ基板又はカラーフィルター基板の良好判定及び後続処理を行う（Ｓ４０８）。

尚、判定値が良好を表さない場合（Ｓ４０７；いいえ）、判定値が修理を表す「Ｐ」であるか否かを確認する（Ｓ４０９）。

判定値が「Ｐ」である場合（Ｓ４０９；はい）、メインサーバ３３０は、該当欠陥が検出された検査装備３１０に欠陥と関連した情報及び判定値が「Ｐ」であるという情報を伝送する。

検査装備３１０は、メインサーバ３３０から判定値が「Ｐ」であるという情報を伝送されると、該当欠陥を自動修理し、修理が完了した領域のイメージをキャプチャーする（Ｓ４１０）。

このとき、キャプチャーされた修理完了領域のイメージ情報は、メインサーバ３３０に伝送される。次いで、メインサーバ１３０は、検査装備１１０から伝送された修理完了領域のイメージ情報をデータベースに格納した後、第２レビューホスト３６０に伝送する（Ｓ４１１）。

次に、第２レビューホスト３６０は、メインサーバ１３０から伝送された修理完了領域のキャプチャーイメージ情報を利用して、欠陥の修理が成功的に行われたか否か、すなわちＡＤＲの成功可否を判断する（Ｓ４１２）。

ＡＤＲ確認結果において、欠陥の修理が成功的に行われた場合（Ｓ４１２；はい）、すなわち欠陥の修理が成功的に完了して、アレイ基板又はカラーフィルター基板内に欠陥がもうこれ以上存在しなくなる場合、上述したステップＳ４０８を行い、後続的に次のアレイ基板又はカラーフィルター基板に対して不良検査を行うことができる。

一方、検査装備３１０により欠陥が修理されたにもかかわらず、欠陥が依然として存在する場合（Ｓ４１２；いいえ）、すなわち、ＡＤＲが成功しないものと判断されると、検査装備３１０により欠陥修理過程（Ｓ４１０）に戻る。

上記の判定値が修理を表す「Ｐ」ではない場合（Ｓ４０９；いいえ）、アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良判定及び後続処理過程を行う（Ｓ４１３）。

ここで、上述したステップＳ４０５、ステップＳ４０７及びステップＳ４０９は、その順序が互いに変わることができる。

図５は、本発明の第２の実施形態における仮想レビューを利用した検査システムの信号フローチャートである。以下に、各構成要素の動作を具体的に説明する。

同図に示すように、本発明の第２の実施形態における仮想レビューを利用した検査システムは、まず、検査装備３１０がガラス基板をロードし（Ｓ５０１）、アレイ基板又はカラーフィルター基板上の欠陥イメージを撮影して（Ｓ５０２）、欠陥検査情報をメインサーバ３３０に伝送する（Ｓ５０３）。

メインサーバ３３０は、第１レビューホスト３４０の負荷量を考慮して、適切な第１レビューホスト３４０に欠陥検査情報を伝送する（Ｓ５０４）。このとき、第１レビューホスト３４０は、欠陥イメージを確認し（Ｓ５０５）、パターンマップを検討して、不良コードの判定値を入力する（Ｓ５０６）。このとき、上記の判定値は、メインサーバ３３０に伝送される（Ｓ５０７）。

次に、メインサーバ３３０は、上記の判定値を検査装備３１０に伝送し（Ｓ５０８）、検査装備３１０は、その判定値が修理を表す「Ｐ」である場合、ＡＤＲを行う（Ｓ５０９）。次いで、検査装備３１０は、ＡＤＲ結果をメインサーバ３３０に伝送する（Ｓ５１０）。

次に、メインサーバ３３０は、第２レビューホスト３６０の負荷量を考慮して、適合した第２レビューホスト３６０にＡＤＲ結果値を伝送する（Ｓ５１１）。これにより、第２レビューホスト３６０は、ＡＤＲ結果を確認し、ＡＤＲの成功可否を判定して、判定値を入力する（Ｓ５１２）。

次に、第２レビューホスト３６０は、ＡＤＲ成功可否に対する判定値をメインサーバ３３０に伝送し（Ｓ５１３）、メインサーバ３３０は、この判定値を検査装備３１０に伝送する（Ｓ５１４）。

一方、検査装備３１０は、メインサーバ３３０からアレイ基板又はカラーフィルター基板に対する欠陥判定が判定不可である場合、受動モードに転換する（Ｓ５１５）。

受動モード転換時、検査装備３１０は、モード変更をメインサーバ３３０に通知し（Ｓ５１６）、メインサーバ３３０は、このようなモード変更をアラームホスト３７０に伝達する（Ｓ５１７）。

次に、アラームホスト３７０は、モード変更に対応して、受動ＰＣである再検査ホスト３２０の作業者を呼び出す（Ｓ５１８）。これにより、再検査ホスト３２０では、装備が直接制御されてアレイ基板又はカラーフィルター基板に対して手作業を行い（Ｓ５１９）、これに対応して、検査装備３１０は、不良コードが判定不可である欠陥に対して手動で修理する（Ｓ５２０）。

次いで、欠陥が修理された基板をアンロードし（Ｓ５２１）、次の基板をロードして、上述のステップＳ５０２〜ステップＳ５２０を繰り返して行う。

図６Ａは、本発明の第２の実施形態において欠陥をキャプチャーしたイメージを示す写真であり、図６Ｂは、ＡＤＲ後のキャプチャーイメージを示す写真である。

すなわち、検査装備３１０が欠陥のあるイメージをキャプチャーした場合、図６Ａに示すように、キャプチャーイメージは、メインサーバ３３０を経て第１レビューホスト３４０でレビュー及び不良コードが判定される。

次いで、検査装備３１０は、ＡＤＲを行い、ＡＤＲが行われたキャプチャーイメージをメインサーバ３３０を経て第２レビューホスト３６０に伝送し、図６Ｂは、欠陥が除去された場合のキャプチャーイメージを示したものである。

上述した本発明の好ましい実施の形態は、例示の目的のために開示されたものであり、本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で、様々な置換、変形、及び変更が可能であり、このような置換、変更などは、特許請求の範囲に属するものである。

本発明の第１の実施形態における仮想レビューを利用した検査システムの構成図である。 本発明の第１の実施形態における仮想レビューを利用した検査方法のフローチャートである。 本発明の第２の実施形態における仮想レビューを利用した検査システムの構成図である。 本発明の第２の実施形態における仮想レビューを利用した検査方法のフローチャートである。 本発明の第２の実施形態における仮想レビューを利用した検査システムの信号フローチャートである。 本発明の第２の実施形態において欠陥をキャプチャーしたイメージを示す写真である。 図６Ａの欠陥に対するＡＤＲ後のキャプチャーイメージを示す写真である。

Claims (22)

1. アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された欠陥を撮影してキャプチャーイメージを獲得し、前記欠陥と関連した検査情報を提供する検査装備と、
   前記検査装備から提供された前記検査情報を、データベース化した後、伝送するメインサーバと、
   前記メインサーバから伝送された前記検査情報に基づいて、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定して判定結果を算出し、この算出した判定結果を前記メインサーバに伝送するレビューホストと
   を備えることを特徴とする検査システム。
2. 前記欠陥と関連した検査情報は、
   前記アレイ基板又はカラーフィルター基板のＩＤ、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された複数のパネルＩＤ、検出された欠陥の順序に応じる欠陥の番号、前記欠陥を撮影したイメージファイル及び前記欠陥を検出した検査装備の番号を含むことを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
3. 前記判定結果は、
   前記欠陥の修理が要請される場合、前記欠陥の状態が良好な場合、前記欠陥の状態が不良な場合、前記欠陥の状態を判定し難い場合にそれぞれ区分されることを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
4. 前記判定結果が修理要請である場合において、
   前記メインサーバにより前記検査装備に前記欠陥の修理が要請され、これにより、前記検査装備により前記欠陥が修理されることを特徴とする請求項３に記載の検査システム。
5. 前記検査装備により前記欠陥が修理されると、この修理された欠陥部分を撮影したキャプチャーイメージが生成され、この生成されたキャプチャーイメージが前記検査装備から前記メインサーバに伝送されることを特徴とする請求項４に記載の検査システム。
6. 前記メインサーバから前記キャプチャーイメージを伝送されて、修理された前記欠陥の状態に基づいてアレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定する品質管理ホストをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
7. 前記欠陥の状態を判定し難い場合に前記欠陥をリアルタイムで撮影したライブイメージに基づいて、前記欠陥の状態を再検査する再検査ホストをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
8. アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された欠陥を撮影してキャプチャーイメージを獲得し、前記欠陥と関連した検査情報を提供する検査装備と、
   前記検査装備から提供された前記検査情報を、データベース化した後、伝送するメインサーバと、
   前記メインサーバから伝送された前記検査情報に基づいて、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定して判定結果を算出し、この算出した判定結果を前記メインサーバに伝送する第１レビューホストと、
   前記メインサーバから前記キャプチャーイメージを伝送されて、修理された前記欠陥の状態に基づいて前記アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無を判定する第２レビューホストと
   を備えることを特徴とする検査システム。
9. 前記欠陥と関連した検査情報は、
   前記アレイ基板又はカラーフィルター基板のＩＤ、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された複数のパネルＩＤ、検出された欠陥の順序に応じる欠陥の番号、前記欠陥を撮影したイメージファイル及び前記欠陥を検出した検査装備の番号を含むことを特徴とする請求項８に記載の検査システム。
10. 前記判定結果は、
    前記欠陥の修理が要請される場合、前記欠陥の状態が良好な場合、前記欠陥の状態が不良な場合、前記欠陥の状態を判定し難い場合にそれぞれ区分されることを特徴とする請求項８に記載の検査システム。
11. 前記判定結果が修理要請である場合、
    前記メインサーバにより前記検査装備に前記欠陥の修理が要請され、これにより、前記検査装備により前記欠陥が修理されることを特徴とする請求項１０に記載の検査システム。
12. 前記検査装備により前記欠陥が修理されると、この修理された欠陥部分を撮影したキャプチャーイメージが生成され、この生成されたキャプチャーイメージが前記検査装備から前記メインサーバに伝送されることを特徴とする請求項１１に記載の検査システム。
13. 前記欠陥の状態を判定し難い場合に前記欠陥をリアルタイムで撮影したライブイメージに基づいて、前記欠陥の状態を再検査する再検査ホストをさらに備えることを特徴とする請求項８に記載の検査システム。
14. 前記検査装備の状態をモニタリングして、作業者を呼び出すためのアラームホストをさらに備えることを特徴とする請求項８に記載の検査システム。
15. 前記メインサーバが動作しない場合に前記メインサーバと同じ機能を行うサブサーバをさらに備えることを特徴とする請求項８に記載の検査システム。
16. アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された欠陥を撮影してキャプチャーイメージを獲得し、前記欠陥と関連した検査情報が検査装備から提供されるステップと、
    前記検査装備から提供される前記検査情報が、メインサーバによりデータベース化された後、伝送されるステップと、
    前記メインサーバから伝送された前記検査情報に基づいて、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板の不良の有無が判定されて判定結果が算出され、この算出された判定結果が前記メインサーバに伝送されるステップと
    を含むことを特徴とする検査方法。
17. 前記欠陥と関連した検査情報は、
    前記アレイ基板又はカラーフィルター基板のＩＤ、前記アレイ基板又はカラーフィルター基板上に形成された複数のパネルＩＤ、検出された欠陥の順序に応じる欠陥の番号、前記欠陥を撮影したイメージファイル及び前記欠陥を検出した検査装備の番号を含むことを特徴とする請求項１６に記載の検査方法。
18. 前記判定結果は、
    前記欠陥の修理が要請される場合、前記欠陥の状態が良好な場合、前記欠陥の状態が不良な場合、及び前記欠陥の状態を判定し難い場合にそれぞれ区分されることを特徴とする請求項１６に記載の検査方法。
19. 前記判定結果が修理要請である場合、
    前記メインサーバにより前記検査装備に前記欠陥の修理が要請され、これにより、前記検査装備により前記欠陥が修理されることを特徴とする請求項１８に記載の検査方法。
20. 前記検査装備により前記欠陥が修理されると、この修理された欠陥部分を撮影したキャプチャーイメージが生成され、この生成されたキャプチャーイメージが前記検査装備から前記メインサーバに伝送されることを特徴とする請求項１９に記載の検査方法。
21. 前記メインサーバから前記キャプチャーイメージを伝送されて、修理された前記欠陥の状態に基づいて、前記基板の不良の有無を判定するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１６に記載の検査方法。
22. 前記欠陥の状態を判定し難い場合、前記欠陥をリアルタイムで撮影したライブイメージに基づいて、前記欠陥の状態を再検査するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１６に記載の検査方法。