KR20070072352A - 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 그 방법 - Google Patents

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KR20070072352A
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Abstract

기판 상의 결함을 캡쳐한 이미지에 기초하여 작업자가 리뷰 판정을 수행함으로써, 장비를 효율적으로 구동할 수 있고, 작업 인원을 감축할 수 있는 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 그 방법이 제공된다. 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템은, 기판 상에 형성된 결함(defect)을 촬영하여 캡쳐 이미지를 획득하고, 결함과 관련된 검사 정보들을 제공하는 검사 장비; 검사 장비로부터 제공받은 검사 정보를 데이터베이스화한 후, 전송하는 메인 서버; 및 메인 서버로부터 전송받은 검사 정보에 기초하여 기판의 불량 여부를 판정하여 판정 결과를 산출하고, 산출된 판정 결과를 메인 서버로 전송하는 리뷰 호스트를 포함한다.
검사 시스템, 리뷰, 결함, 액정 표시장치, 불량판정

Description

가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 그 방법 {Test system using a virtual review and method thereof}
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 방법의 동작 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템의 구성도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 방법의 동작 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템의 신호 흐름도이다.
도 6a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 결함을 캡쳐한 이미지를 나타내는 사진이고, 도 6b는 ADR 이후의 캡쳐 이미지를 나타내는 사진이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
110: 검사 장비 120: 재검 호스트
130: 메인 서버 140: 리뷰 호스트
150: 품질관리 호스트
본 발명은 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 그 방법에 관한 것으로 보다 상세하게는, 액정표시장치의 박막 트랜지스터 기판이나 컬러필터 기판의 불량 여부를 검사하기 위한 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.
최근 정보 디스플레이에 관한 관심이 고조되면서 기존의 표시장치인 브라운관을 대체하는 경량 박막형 평판 표시장치(Flat Panel Display: FPD)에 대한 연구 및 상업화가 중점적으로 이루어지고 있다. 특히, 이러한 평판 표시장치 중에서 액정 표시장치(Liquid Cystal Display: LCD)는 액정의 광학적 이방성을 요구하여 이미지를 표현하는 장치로서, 해상도와 컬러 표시 및 화질 등에서 우수하여 노트북 컴퓨터나 데스크탑 모니터 등에 활발하게 적용되고 있다.
액정표시장치는 크게 어레이 기판(Array Substrate)과 컬러필터 기판(Color Filter Substrate) 및 이러한 어레이 기판과 컬러필터 기판 사이에 형성된 액정층(Liquid Crystal Layer)으로 구성된다.
여기서, 어레이 기판은 상기 어레이 기판 위에 종횡으로 배열되어 화소 영역을 정의하는 게이트 라인과 데이터 라인, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차 영역에 형성된 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT), 그리고 상기 화소 영역에 형성된 화소 전극으로 구성된다.
또한, 컬러필터 기판은 색상을 구현하는 서브 컬러필터(R, G, B)로 이루어진 컬러필터 및 상기 서브 컬러필터 사이를 구분하여 화소 영역을 정의하고 액정층을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(black matrix)로 구성된다. 또한, 컬러필터 기판은 액정층에 전압을 인가하는 투명한 공통 전극을 포함할 수 있는데, 상기 공통 전극은 어레이 기판 상에 형성될 수도 있다.
이와 같이 구성된 어레이 기판과 컬러필터 기판은 실런트(sealant)에 의해 합착되어 액정 표시패널을 구성하게 된다.
이러한 액정표시장치는 크게 어레이 공정, 컬러필터 공정, 셀 공정 및 모듈 공정을 거쳐 제조될 수 있다.
먼저, 어레이 공정은 증착 및 포토리소그래피(photolithography), 식각 공정을 반복하여 투명한 절연 기판인 제1 기판 위에 박막 트랜지스터 어레이를 제작하는 공정이고, 컬러필터 공정은 화소 영역을 제외한 부분에는 빛이 차단되도록 투명한 절연 기판인 제2 기판에 블랙 매트릭스를 형성하고, 염료나 안료를 사용하여 적(Red; R), 녹(Green; G), 청(Blue; B)의 컬러필터를 제작하는 공정이다.
한편, 후속적으로 셀 공정을 진행하기 전에, 불량 기판이 셀 공정에 투입되지 않도록 어레이 기판과 컬러필터 기판의 불량 검사를 실시하여, 제작된 어레이 기판과 컬러필터 기판의 상태를 확인하기 위한 추가적인 작업이 필수적으로 요구된다.
셀 공정은 박막 트랜지스터 형성 공정이 완료된 제1 기판과 컬러필터 공정이 완료된 제2 기판 사이에 일정한 셀 갭이 유지되도록 합착하고, 제1 기판과 제2 기 판 사이에 액정을 주입 또는 적하하여 액정 표시패널 셀을 형성하는 공정이다. 모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고 액정 표시패널과 회로부를 널리 알려진 실장 기술을 통해 서로 연결한 후, 기구물에 부착하여 모듈을 제작하는 공정이다.
상술한 셀 공정을 좀 더 상세하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 어레이 공정과 컬러필터 공정에 의해서 제조된 어레이 기판과 컬러필터 기판 위에 각각 배향막을 형성한 후에, 어레이 기판과 컬러필터 기판 사이에 형성되는 액정층의 액정 분자에 배향 규제력 또는 표면 고정력을 제공하기 위한 배향막의 러빙(rubbing) 공정을 진행한다. 이때, 배향막은 도포 전 세정, 배향막 인쇄, 배향막 검사 및 러빙 공정 순서로 진행될 수 있다.
후속적으로, 각 어레이 기판과 컬러필터 기판을 세정한 다음에, 어레이 기판에 셀 갭을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(spacer)를 산포하고, 컬러필터 기판의 외곽부에 실링재를 도포한 후에 어레이 기판과 컬러필터 기판에 압력을 가하여 합착한다.
마지막으로, 가공된 개개의 액정 표시패널에 액정 주입구를 통해 액정을 주입하고, 액정 주입구를 봉지하여 액정층을 형성한다.
한편, 상술한 셀 공전 전의 어레이 기판과 컬러필터 기판의 불량 검사는 외관 및 전기적 불량 여부를 검사하기 위한 것으로, 예를 들면, 컬러필터 돌기, 사선 얼룩, 러빙 줄무늬, 핀 홀, 게이트 라인 및 데이터 라인의 단선 또는 합선 등을 검사하는 공정이다.
이러한 검사 공정을 위한 종래의 검사 시스템은, 어레이 기판과 컬러필터 기판의 결함 여부를 검사하는 검사 장비단, 및 검사 결과 기판에 결함이 발생한 경우, 이를 수리하기 위한 수리 시스템(repair system)을 포함한다.
검사 장비단은 어레이 기판과 컬러필터 기판의 불량 여부를 검사하기 위한 검사 장비, 검사 장비를 구동하기 위한 시스템 컴퓨터, 및 여기에 연결된 모니터로 구성되며, 이때, 시스템 컴퓨터는 컴퓨터 작동을 위한 키보드와 마우스가 연결된다. 또한, 검사 장비단에는 검사 모니터(review monitor)가 장착되어 있는데, 작업자는 이를 통해 기판의 결함 여부를 판별할 수 있다.
종래의 검사 시스템은 검사 모니터 1대와 수리(repair) 컴퓨터 1대가 1대1로 연결됨으로써, 검사자 1명이 1대의 검사 장비만을 제어하는 방식을 따른다. 이로 인해 검사자의 식사 및 휴식 시간에 장비가 가동되지 않는 등 시간 손실에 따른 작업 효율이 떨어지는 문제점이 있다. 또한, 종래의 검사 시스템은 검사 장비의 수만큼 검사자가 필요하다는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 어레이 기판과 컬러필터 기판 상에 존재하는 결함을 캡쳐 이미지에 기초하여 가상 리뷰 및 판정을 실시할 수 있는 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 그 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 어레이 기판과 컬러필터 기판 상에 존재하는 결함을 캡쳐 이미지에 기초하여 검사할 경우, 검사기 PC와 검사자의 수를 줄일 수 있는 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 그 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 어레이 기판과 컬러필터 기판의 결함 검사에 소요되는 검사 작업 시간을 단축시킬 수 있는 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 그 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템은, 어레이 기판이나 컬러필터 기판 상에 형성된 결함(defect)을 촬영하여 캡쳐 이미지를 획득하고, 상기 결함과 관련된 검사 정보들을 제공하는 검사 장비; 상기 검사 장비로부터 제공받은 상기 검사 정보를 데이터베이스화한 후, 전송하는 메인 서버; 및 상기 메인 서버로부터 전송받은 상기 검사 정보에 기초하여 상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 불량 여부를 판정하여 판정 결과를 산출하고, 산출된 판정 결과를 상기 메인 서버로 전송하는 리뷰(review) 호스트를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 결함과 관련된 검사 정보는, 상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 ID, 상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판 상에 형성된 복수의 패널 ID, 검 출된 결함의 순서에 따른 결함의 번호, 상기 결함을 촬영한 이미지 파일 및 상기 결함을 검출한 검사 장비의 번호를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 판정 결과는, 상기 결함의 수리(repair)가 요청되는, 상기 결함의 상태가 양호한 경우, 상기 결함의 상태가 불량인 경우, 및 상기 결함의 상태를 판정하기 어려운 경우로 구분될 수 있다.
여기서, 상기 판정 결과가 수리 요청인 경우, 상기 메인 서버에 의해 상기 검사 장비로 상기 결함의 수리가 요청되고, 이에 따라 상기 검사 장비에 의해 상기 결함이 수리되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 검사 장비에 의해 상기 결함이 수리되면, 수리된 결함 부분을 촬영한 캡쳐 이미지가 생성되고, 생성된 상기 캡쳐 이미지가 상기 검사 장비로부터 상기 메인 서버로 전송되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 검사 시스템은 상기 서버로부터 상기 캡쳐 이미지를 전송받아 수리된 상기 결함의 상태에 기초하여 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 불량 여부를 판정하는 품질 관리 호스트를 추가로 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 검사 시스템은 상기 결함의 상태를 판정하기 어려운 경우, 상기 결함을 실시간으로 촬영한 라이브 이미지에 기초하여 상기 결함의 상태를 재검사하는 재검 호스트를 추가로 포함할 수 있다.
한편, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템은, 어레이 기판이나 컬러필터 기판 상에 형성된 결함을 촬영하여 캡쳐 이미지를 획득하고, 상기 결함과 관련된 검사 정보들을 제공하는 검사 장비; 상기 검사 장비로부터 제공받은 상기 검사 정보를 데이터베이스화한 후, 전송하는 메인 서버; 상기 메인 서버로부터 전송받은 상기 검사 정보에 기초하여 상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 불량 여부를 판정하여 판정 결과를 산출하고, 산출된 판정 결과를 상기 메인 서버로 전송하는 제1 리뷰 호스트; 및 상기 메인 서버로부터 상기 캡쳐 이미지를 전송받아 수리된 상기 결함의 상태에 기초하여 기판의 불량 여부를 판정하는 제2 리뷰 호스트를 포함하여 구성된다.
여기서, 본 발명에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템은, 상기 검사 장비의 상태를 모니터링하여 작업자를 호출하기 위한 알람 호스트를 추가로 포함할 수 있다.
여기서, 본 발명에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템은, 상기 메인 서버가 동작하지 않을 경우에 상기 메인 서버와 동일한 기능을 수행하는 서브 서버를 추가로 포함할 수 있다.
한편, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 방법은, 어레이 기판이나 컬러필터 기판 상에 형성된 결함을 촬영하여 캡쳐 이미지를 획득하고, 상기 결함과 관련된 검사 정보들이 검사 장비로부터 제공되는 단계; 상기 검사 장비로부터 제공되는 상기 검사 정보가 메인 서버에 의해 데이터베이스화된 후, 전송되는 단계; 및 상기 메인 서버로부터 전송된 상기 검사 정보에 기초하여 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 불량 여부가 판정되어 판정 결과가 산출되고, 산출된 판정 결과가 상기 메인 서버로 전송되는 단계를 포함하여 이루어진다.
여기서, 본 발명에 따른 검사 방법은, 상기 서버로부터 상기 캡쳐 이미지를 전송받아 수리된 상기 결함의 상태에 기초하여 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 불량 여부를 판정하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
여기서, 본 발명에 따른 검사 방법은, 상기 결함의 상태를 판정하기 어려운 경우, 상기 결함을 실시간으로 촬영한 라이브 이미지에 기초하여 상기 결함의 상태를 재검사하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 방법을 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템의 구성을 도시한 도면이다. 도 1에서 점선으로 표시된 신호의 흐름은 정보를 전송한 것을 나타내며, 실선으로 표시된 신호의 흐름은 검사 장비를 실제 구동하는 신호를 나타낸다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 검사 시스템(100)은, 검사 장비(110), 재검 호스트(MPC: 120), 메인 서버(RCS: 130), 리뷰 호스트(RPC: 140), 및 품질 관리 호스트(QPC: 150)를 포함한다. 이때, 검사 장비(110), 리뷰 호스 트(140), 품질 관리 호스트( 150)는 각각 메인 서버(130)와 네트워크로 접속되어 있으며, 재검 호스트(120)와 검사 장비(110)는 별도의 네트워크에 의해 접속될 수 있다. 여기서, 호스트들(120, 140, 150)은 개인용 컴퓨터인 PC로 구현될 수 있다.
일반적으로, 검사 장비(110)는 패널에 나타난 패턴을 검출하기 위한 카메라가 설치된 비젼부 및 카메라에 입력된 신호를 분석하기 위한 컴퓨터 시스템을 포함한다.
이때, 카메라는 수평방향으로 패널 위를 스캔하여 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 표시되는 검사용 패턴을 수집하여 컴퓨터 시스템으로 전달하게 되며, 시야각에 따라 결함 검출이 달라지는 것을 보완하기 위해 소정 각도(예를 들어, 0°~ 70°, 80°~ 100°, 110°~ 160°)를 주어 전술한 방법으로 검사함으로써 결함 검출력을 향상시킬 수 있게 된다.
이와 같이, 검사 장비에 카메라와 같은 비젼(vision) 장치를 설치함으로써, 작업자의 눈에 의한 검사의 한계점을 보완하여 작업의 능률 향상으로 인한 생산성 향상의 효과를 얻을 수 있다.
한편, 본 발명의 제1 실시예에서 검사 장비(110)는 결함에 대한 자동 수리(Auto Defects Repair: ADR)를 수행한다.
메인 서버(130)는 검사 장비(110)로부터 캡쳐된 결함의 이미지 파일, 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 패널 ID, 유리 기판 ID, 결함 번호, 장비 번호 등을 전송받아 데이터베이스화 한 후, 이러한 정보를 리뷰 호스트(140)로 전송한다. 이때, 메인 서버(130) 이외에 예상치 못한 비상시에 작동하는 보조 서버인 서브 서 버(131)가 설치될 수 있다. 즉, 서브 서버(131)는 메인 서버(130)가 다운될 경우, 메인 서버(130) 대신에 사용할 수 있다.
리뷰 호스트(140)는 캡쳐된 결함의 이미지 파일을 이용하여 결함의 상태를 검토하고, 이에 따라 판정을 수행하여 판정값을 산출한다. 산출된 판정값은 메인 서버(130)로 전송되어 데이터베이스에 저장된다. 여기서, 데이터베이스는 메인 서버(130) 내에 구현될 수 있고, 또는 외부에 별도로 구현될 수도 있다.
품질관리 호스트(150)는 검사 장비(110)에 의해 결함에 대한 자동 수리(auto repair)가 완료된 후, 수리가 완료된 영역을 캡쳐한 이미지 정보에 기초하여 결함에 대한 수리가 성공적으로 완료되었는지 판단한다. 결함에 대한 수리가 성공적으로 완료된 경우, 다음 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 대해 불량 여부 검사 작업을 진행한다.
재검 호스트(120)는 리뷰 호스트(140)에서 결함의 상태를 판정하기 어려운 것으로 판단된 경우, 결함의 상태를 재검사한다. 리뷰 호스트(140)는 캡쳐된 결함의 이미지에 기초하여 리뷰 및 판정을 수행하지만, 재검 호스트(120)가 결함의 재검사를 수행하는 경우, 검사장비(110)의 카메라에 의해 실시간으로 촬영되는 실시간 이미지에 기초하여 리뷰 및 판정이 수행된다.
한편, 검사 장비(110)가 50대인 경우, 기존에는 50대의 검사자 PC가 필요하지만, 본 발명의 제1 실시예에서, 실시간 이미지가 아닌 캡쳐 이미지를 이용하여 검사를 수행할 수 있기 때문에, 예를 들면, 25대의 리뷰 호스트(140)를 사용하여 검사를 수행할 수 있다. 아울러, 본 발명의 제1 실시예에서, 각각의 호스트(120, 140, 150)는 원격지 상에 구현되며, 원격으로 검사 장비(110)를 제어할 수 있다.
한편, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 방법의 동작 흐름도이다.
도 2를 참조하면, 먼저 유리 기판이 로딩되면, 검사 장비(110)에 의해 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 결함이 존재하는지 여부가 검사된다. 이때, 검사 장비(110)는 어레이 기판이나 컬러필터 기판 내에 결함이 감지되면, 감지된 결함의 이미지를 캡쳐하게 된다(S201).
이후, 감지된 각각의 결함 단위로 GLS ID, PNL ID, 결함 씨리얼 번호(defect serial number) 등의 결함 정보와, 결함의 이미지 파일, 장비 번호 등의 정보를 메인 서버(130)로 전송한다(S202). 여기서, GLS ID는 어레이 기판이나 컬러필터 기판용 유리 기판의 정보로 "7AA5D017510"과 같은 유리 기판의 ID를 말하며, PNL ID는 유리 기판에 형성된 패널의 정보로 "7AA5D017510A1"과 같은 패널 ID를 말하며, 결함 씨리얼 번호는 하나의 유리 기판 내에 여러 개의 결함이 존재할 경우, 각각의 결함에 대해 순차적으로 순서를 부여한 번호를 말한다.
메인 서버(130)는 검사 장비(110)로부터 결함 단위로 전송된 결함 정보와 캡쳐된 이미지 파일, 장비 번호 등의 정보를 데이터베이스에 저장하고, 이를 순차적으로 리뷰 호스트(140)로 전송한다(S203).
메인 서버(130)로부터 리뷰 호스트(140)로 결함 정보, 캡쳐된 결함의 이미지 파일, 장비 번호 등의 정보가 전송되면, 리뷰 호스트(140)는 캡쳐된 결함의 이미지 파일에 기초하여 리뷰 및 판정작업을 수행한다(S204). 즉, 작업자는 캡쳐된 결함의 이미지 파일을 열어, 결함을 리뷰하고, 이에 대한 판정을 수행한다.
이때, 작업자에 의한 판정 결과 다양한 판정값들이 얻어질 수 있는데, 이러한 판정값들은 메인 서버(130)로 전송된다. 이를 표로 나타내면 다음과 같다.
Figure 112006085040018-PAT00001
표 1을 참조하면, "Q"는 캡쳐된 이미지 파일로 판정이 어려워 카메라의 배율전환 등을 통해 리뷰 및 판정이 요구되는 경우이다. "A"는 카메라의 자동 초점(auto focus) 기능이 제대로 동작하지 않아, 캡쳐된 이미지를 갖고는 판정이 어려운 경우이다. "M"은 금속(metal)성 불량으로 인하여 리뷰 호스트(140)에 의해 판정이 불가능한 경우이다. "G"는 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 결함이 존재하지 않거나 중요하지 않을 정도로 미미하여 양호 판정을 내린 경우이며, "P"는 패널의 결함에 대해 수리(repair)가 필요한 경우를 의미한다.
즉, 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 대한 결함 판정이 불가한지 확인하고(S205), 이때, 판정불가를 의미하는 "Q", "A", "M"은 리뷰 호스트(140)가 결함에 대해 판정하기 어려운 경우를 의미한다.
이와 같이 판정값으로 "Q","A","M" 중 어느 하나의 값이 나온 경우, 재검 호스트(120)에 의해 결함에 대한 재검사가 수행된다(S206). 리뷰 호스트(140)는 캡쳐된 결함 이미지에 기초하여 리뷰 및 판정을 수행하지만, 재검 호스트(120)가 결함의 재검사를 수행하는 경우, 검사 장비(110)의 카메라에 의해 실시간으로 촬영되는 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 라이브 이미지에 기초하여 리뷰 및 판정이 수행된다.
즉, 작업자는 각각의 검사 장비(110)에 다중 접속(multi-access)할 수 있는 재검 호스트(120) 내의 PC들을 이용하여 결함에 대한 재검사를 수행한다. 이때, 재검 호스트(120)과 검사 장비(110)의 다중 접속 비율은 대략 3:8 정도일 수 있다.
한편, 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 대한 결함 판정이 가능할 경우, 판정값이 양호를 나타내는 "G"인지 여부를 확인하고(S207), 만일 판정값이 "G"라면 어레이 기판이나 컬러필터 기판 양호 판정 및 후속 처리를 수행한다(S208).
다음으로, 판정값이 양호를 나타내지 않은 경우, 판정값이 수리를 나타내는 "P"인지를 확인한다(S209).
만일, 판정값이 "P"인 경우, 메인 서버(130)는 해당 결함이 검출된 검사 장비(110)로 결함과 관련된 정보 및 판정값이 "P"라는 정보를 전송한다. 검사 장비(110)는 메인 서버(130)로부터 판정값이 "P"라는 정보를 전송받으면, 해당 결함을 자동으로 수리(auto defect repair)하고, 수리가 완료된 영역의 이미지를 캡쳐한다(S210). 이때, 캡쳐된 수리 완료영역의 이미지 정보는 메인 서버(130)로 전송된다.
후속적으로, 메인 서버(130)는 검사 장비(110)로부터 전송받은 수리 완료 영역의 이미지 정보를 데이터베이스에 저장한 후, 품질 관리 호스트(150)로 전송한다.
다음으로, 품질 관리 호스트(150)에서는 서버(130)로부터 전송받은 수리 완료 영역의 캡쳐 이미지 정보를 이용하여 결함의 수리가 성공적으로 수행되었는지 여부, 즉 ADR(Auto defects repair)의 성공 여부를 판단한다(S211).
다음으로, ADR 확인 결과, 결함의 수리가 성공적으로 수행되는 경우, 즉 결함의 수리가 성공적으로 완료되어 어레이 기판이나 컬러필터 기판 내에 결함이 더 이상 존재하지 않게 되는 경우, 전술한 S208 단계를 진행하고, 후속적으로 다음 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 대해 불량검사를 수행할 수 있다.
한편, 검사 장비(110)에 의해 결함이 수리되었음에도 불구하고, 결함이 여전히 존재하는 경우, 즉, ADR이 성공하지 않은 것으로 판단되면, 검사 장비(110)에 의해 결함 수리 과정(S210)으로 되돌아간다.
만일, 전술한 판정값이 수리를 나타내는 "P"가 아닌 경우, 어레이 기판이나 컬러필터 기판 불량 및 후속 처리 과정을 수행한다(S212).
여기서, 전술한 S205 단계, S207 단계 및 S209 단계는 그 순서가 서로 바뀔 수 있다.
한편, 도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템의 구성도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템(300)은, 검사 장비(310), 재검 호스트(MPC: 320), 메인 서버(RCS: 330), 제1 리뷰 호스트(RPC: 340), 및 품질 관리 호스트(QPC: 350)를 포함하며, 또한, 제2 리뷰 호스트(360) 및 알람 호스트(ALPC: 370)를 포함한다.
이때, 검사 장비(310), 제1 및 제2 리뷰 호스트(340, 360), 품질 관리 호스트(350)는 각각 메인 서버(330)와 네트워크로 접속되어 있으며, 재검 호스트(320)와 검사 장비(310)는 별도의 네트워크에 의해 접속될 수 있다. 여기서, 호스트들(320, 340, 350, 360, 370)은 개인용 컴퓨터인 PC로 구현될 수 있다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템(300)은 전술한 본 발명의 제1 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템(100)과 비교하면, 제2 리뷰 호스트(360) 및 알람 호스트(370)가 추가되는 점을 제외하면 동일한 구성요소를 포함하므로, 동일한 설명은 생략하고, 그 차이점만을 설명하기로 한다.
본 발명의 제2 실시예에서 검사 장비(310)는 결함에 대한 자동 수리(Auto Defects Repair: ADR)를 수행한다.
메인 서버(330)는 검사 장비(310)로부터 캡쳐된 결함의 이미지 파일, 패널 ID, 유리 기판 ID, 결함 번호, 장비 번호 등을 전송받아 데이터베이스화 한 후, 이러한 정보를 제1 리뷰 호스트(340)로 전송한다. 이때, 메인 서버(330) 이외에 예상치 못한 비상시에 작동하는 보조 서버인 서브 서버(331)가 설치될 수 있다.
제1 리뷰 호스트(340)는 캡쳐된 결함의 이미지 파일을 이용하여 결함의 상태를 검토하고, 이에 따라 판정을 수행하여 판정값을 산출한다. 산출된 판정값은 메인 서버(330)로 전송되어 데이터베이스에 저장된다.
제2 리뷰 호스트(340)는 검사 장비(310)에 의해 결함에 대한 자동 수리(auto repair)가 완료된 후, 수리가 완료된 영역을 캡쳐한 이미지 정보에 기초하여 결함에 대한 수리가 성공적으로 완료되었는지 판단한다. 즉, 전술한 제1 실시예에서 품질관리 호스트(150)가 수행하던 역할을 본 발명의 제2 실시예에서는 제2 리뷰 호스트(340)가 수행할 수 있다.
재검 호스트(320)는 제1 리뷰 호스트(340)에서 결함의 상태를 판정하기 어려운 것으로 판단된 경우, 결함의 상태를 재검사한다. 제1 리뷰 호스트(340)는 캡쳐된 결함의 이미지에 기초하여 리뷰 및 판정을 수행하지만, 재검 호스트(120)가 결함의 재검사를 수행하는 경우, 검사장비(310)의 카메라에 의해 실시간으로 촬영되는 실시간 이미지에 기초하여 리뷰 및 판정이 수행된다.
알람 호스트(370)는 검사 장비(310)의 상태를 모니터링하고, 모드 변경시 작업자를 호출하는 역할을 한다.
한편, 도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 방법의 동작 흐름도이다.
먼저, 유리 기판이 로딩되면, 검사 장비(310)에 의해 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 결함이 존재하는지 여부가 검사된다. 이때, 검사 장비(310)는 어레이 기판이나 컬러필터 기판 내에 결함이 감지되면, 감지된 결함의 이미지를 캡쳐하게 된다(S401).
이후, 감지된 각각의 결함 단위로 GLS ID, PNL ID, 결함 씨리얼 번호(defect serial number) 등의 결함 정보와, 결함의 이미지 파일, 장비 번호 등의 정보를 메인 서버(330)로 전송한다(S402).
다음으로, 메인 서버(330)는 검사 장비(310)로부터 결함 단위로 전송된 결함 정보와 캡쳐된 이미지 파일, 장비 번호 등의 정보를 데이터베이스에 저장하고, 이를 순차적으로 제1 리뷰 호스트(340)로 전송한다(S403).
다음으로, 메인 서버(330)로부터 제1 리뷰 호스트(340)로 결함 정보, 캡쳐된 결함의 이미지 파일, 장비 번호 등의 정보가 전송되면, 제1 리뷰 호스트(340)는 캡쳐된 결함의 이미지 파일에 기초하여 리뷰 및 불량코드 판정 작업을 수행한다(S404). 즉, 작업자는 캡쳐된 결함의 이미지 파일을 열어, 결함을 리뷰하고, 이에 대한 판정을 수행하는데, 판정값들은 메인 서버(330)로 전송된다.
다음으로, 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 대한 결함 판정이 불가한지 확인하고(S405), 판정값으로 판정불가를 의미하는 "Q","A","M" 중 어느 하나의 값이 나온 경우, 재검 호스트(320)에 의해 결함에 대한 재검사가 수행된다(S406).
이때, 제1 리뷰 호스트(340)에서는 캡쳐된 결함 이미지에 기초하여 리뷰 및 판정을 수행하지만, 재검 호스트(320)에서 결함의 재검사가 수행되는 경우, 검사 장비(310)의 카메라에 의해 실시간으로 촬영되는 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 라이브 이미지에 기초하여 리뷰 및 판정이 수행된다.
한편, 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 대한 결함 판정이 가능할 경우, 판정값이 양호를 나타내는 "G"인지 여부를 확인하고(S407), 만일 판정값이 "G"라면, 어레이 기판이나 컬러필터 기판 양호 판정 및 후속 처리를 수행한다(S408).
다음으로, 판정값이 양호를 나타내지 않은 경우, 판정값이 수리를 나타내는 "P"인지를 확인한다(S409).
만일, 판정값이 "P"인 경우, 메인 서버(330)는 해당 결함이 검출된 검사 장비(310)로 결함과 관련된 정보 및 판정값이 "P"라는 정보를 전송한다.
검사 장비(310)는 메인 서버(330)로부터 판정값이 "P"라는 정보를 전송받으면, 해당 결함을 자동으로 수리(auto defect repair)하고, 수리가 완료된 영역의 이미지를 캡쳐한다(S410).
이때, 캡쳐된 수리 완료영역의 이미지 정보는 메인 서버(330)로 전송된다. 후속적으로, 메인 서버(130)는 검사 장비(110)로부터 전송받은 수리 완료 영역의 이미지 정보를 데이터베이스에 저장한 후, 제2 리뷰 호스트(360)로 전송한다(S411).
다음으로, 제2 리뷰 호스트(360)는 메인 서버(130)로부터 전송받은 수리 완료 영역의 캡쳐 이미지 정보를 이용하여 결함의 수리가 성공적으로 수행되었는지 여부, 즉 ADR(Auto defects repair)의 성공 여부를 판단한다(S412).
다음으로, ADR 확인 결과, 결함의 수리가 성공적으로 수행되는 경우, 즉 결함의 수리가 성공적으로 완료되어 어레이 기판이나 컬러필터 기판 내에 결함이 더 이상 존재하지 않게 되는 경우, 전술한 S408 단계를 진행하고, 후속적으로 다음 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 대해 불량검사를 수행할 수 있다.
한편, 검사 장비(310)에 의해 결함이 수리되었음에도 불구하고, 결함이 여전히 존재하는 경우, 즉, ADR이 성공하지 않은 것으로 판단되면, 검사 장비(310)에 의해 결함 수리 과정(S410)으로 되돌아간다.
만일, 전술한 판정값이 수리를 나타내는 "P"가 아닌 경우, 어레이 기판이나 컬러필터 기판 불량 및 후속 처리 과정을 수행한다(S413).
여기서, 전술한 S405 단계, S407 단계 및 S409 단계는 그 순서가 서로 바뀔 수 있다.
한편, 도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템의 신호 흐름도로서, 각 구성요소의 동작을 구체적으로 설명하기 위한 것이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템은, 먼저, 검사 장비(310)가 유리 기판을 로드하고(S501), 어레이 기판이나 컬러필터 기판 상의 결함 이미지를 촬영하여(S502), 결함 검사 정보를 메인 서버(330)로 전송한다(S503).
메인 서버(330)는 제1 리뷰 호스트(340)의 부하량을 고려하여 적절한 제1 리뷰 호스트(340)로 결함 검사 정보를 전송한다(S504). 이때, 제1 리뷰 호스트(340)는 결함 이미지를 확인하고(S505), 패턴 맵을 검토하여 불량코드 판정값을 입력한다(S506). 이때, 상기 판정 값은 메인 서버(330)로 전송된다(S507)
다음으로, 검사 서버(330)는 상기 판정 값을 검사 장비(310)로 전송하게 되며(S508), 검사 장비(310)는 상기 판정 값이 수리를 나타내는 P인 경우, ADR을 수행하게 된다(S509). 이후, 검사 장비(310)는 ADR 결과를 메인 서버(330)로 전송한다(S510).
다음으로, 메인 서버(330)는 제2 리뷰 호스트(360)의 부하량을 고려하여, 적합한 제2 리뷰 호스트(360)에게 ADR 결과 값을 전송한다(S511). 이에 따라 제2 리뷰 호스트(360)는 ADR 결과를 확인하고, ADR이 성공했는지 여부를 판정하여, 판정 값을 입력한다(S512).
다음으로, 제2 리뷰 호스트(360)는 ADR 성공 여부에 대한 판정 값을 메인 서버(330)로 전송하고(S513), 메인 서버(330)는 이 판정 값을 검사 장비(310)로 전송하게 된다(S514).
한편, 검사 장비(310)는 메인 서버(330)로부터 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 대한 결함 판정이 판정 불가인 경우, 수동 모드로 전환하게 된다(S515).
수동 모드 전환시, 검사 장비(310)는 모드 변경을 메인 서버(330)에 통지하고(S516), 메인 서버(330)는 이러한 모드 변경을 알람 호스트(370)에 전달한다(S517).
다음으로, 알람 호스트(370)는 모드 변경에 대응하여, 수동 PC인 재검 호스트(320)의 작업자를 호출하게 된다(S518). 이에 따라, 재검 호스트(320)는 장비를 직접 제어하여 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 대해 수작업을 실시하게 되며, 이에 대응하여, 검사 장비(310)는 불량코드가 판정 불가인 결함에 대해 수동으로 수리하게 된다(S520).
후속적으로, 결함이 수리된 기판을 언로드하고, 다음 기판을 로드하여 전술한 S502 내지 S520 단계를 반복하여 수행하게 된다.
한편, 도 6a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 결함을 캡쳐한 이미지를 나타내는 사진이고, 도 6b는 ADR 이후의 캡쳐 이미지를 나타내는 사진이다.
즉, 검사 장비(310)가 결함이 있는 이미지를 캡쳐한 경우, 도 6a에 도시된 바와 같이, 캡쳐 이미지는 메인 서버(330)를 거쳐 제1 리뷰 호스트(340)에서 리뷰 및 불량코드가 판정된다.
후속적으로, 검사 장비(310)는 ADR을 수행하고, ADR 수행된 캡쳐 이미지를 메인 서버(330)를 거쳐 제2 리뷰 호스트(360)로 전송하게 되는데, 도 6b는 결함이 제거된 경우의 캡쳐 이미지를 나타낸다.
이상에서는 본 발명의 실시예에 대하여 설명하고 있으나, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 작업자 1명이 1대의 장비만을 제어하는 방식이 아니라 다수의 검사 장비로부터 제공되는 기판 상의 결함을 캡쳐한 이미지에 기초하여 작업자가 리뷰 판정을 수행하기 때문에 장비를 효율적으로 구동할 수 있고, 작업 인원을 감축할 수 있다. 이에 따라, 실질적인 검사 작업 시간이 단축될 수 있다.

Claims (22)

  1. 어레이 기판이나 컬러필터 기판 상에 형성된 결함(defect)을 촬영하여 캡쳐 이미지를 획득하고, 상기 결함과 관련된 검사 정보들을 제공하는 검사 장비;
    상기 검사 장비로부터 제공받은 상기 검사 정보를 데이터베이스화한 후, 전송하는 메인 서버; 및
    상기 메인 서버로부터 전송받은 상기 검사 정보에 기초하여 상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 불량 여부를 판정하여 판정 결과를 산출하고, 산출된 판정 결과를 상기 메인 서버로 전송하는 리뷰(review) 호스트
    를 포함하는 검사 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 결함과 관련된 검사 정보는,
    상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 ID, 상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판 상에 형성된 복수의 패널 ID, 검출된 결함의 순서에 따른 결함의 번호, 상기 결함을 촬영한 이미지 파일 및 상기 결함을 검출한 검사 장비의 번호를 포함하는 검사 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 판정 결과는,
    상기 결함의 수리(repair)가 요청되는 경우, 상기 결함의 상태가 양호한 경우, 상기 결함의 상태가 불량인 경우, 상기 결함의 상태를 판정하기 어려운 경우로 구분되는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 판정 결과가 수리 요청인 경우,
    상기 메인 서버에 의해 상기 검사 장비로 상기 결함의 수리가 요청되고, 이에 따라 상기 검사 장비에 의해 상기 결함이 수리되는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 검사 장비에 의해 상기 결함이 수리되면, 수리된 결함 부분을 촬영한 캡쳐 이미지가 생성되고, 생성된 상기 캡쳐 이미지가 상기 검사 장비로부터 상기 메인 서버로 전송되는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 메인 서버로부터 상기 캡쳐 이미지를 전송받아 수리된 상기 결함의 상태에 기초하여 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 불량 여부를 판정하는 품질 관리 호스트를 추가로 포함하는 검사 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 결함의 상태를 판정하기 어려운 경우, 상기 결함을 실시간으로 촬영한 라이브 이미지에 기초하여 상기 결함의 상태를 재검사하는 재검 호스트를 추가로 포함하는 검사 시스템.
  8. 어레이 기판이나 컬러필터 기판 상에 형성된 결함(defect)을 촬영하여 캡쳐 이미지를 획득하고, 상기 결함과 관련된 검사 정보들을 제공하는 검사 장비;
    상기 검사 장비로부터 제공받은 상기 검사 정보를 데이터베이스화한 후, 전송하는 메인 서버;
    상기 메인 서버로부터 전송받은 상기 검사 정보에 기초하여 상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 불량 여부를 판정하여 판정 결과를 산출하고, 산출된 판정 결과를 상기 메인 서버로 전송하는 제1 리뷰(review) 호스트; 및
    상기 메인 서버로부터 상기 캡쳐 이미지를 전송받아 수리된 상기 결함의 상태에 기초하여 상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 불량 여부를 판정하는 제2 리뷰 호스트
    를 포함하는 검사 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 결함과 관련된 검사 정보는,
    상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 ID, 상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판 상에 형성된 복수의 패널 ID, 검출된 결함의 순서에 따른 결함의 번호, 상기 결함을 촬영한 이미지 파일 및 상기 결함을 검출한 검사 장비의 번호를 포함하는 검사 시스템.
  10. 제8항에 있어서, 상기 판정 결과는,
    상기 결함의 수리(repair)가 요청되는 경우, 상기 결함의 상태가 양호한 경우, 상기 결함의 상태가 불량인 경우, 상기 결함의 상태를 판정하기 어려운 경우로 구분되는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 상기 판정 결과가 수리 요청인 경우,
    상기 메인 서버에 의해 상기 검사 장비로 상기 결함의 수리가 요청되고, 이에 따라 상기 검사 장비에 의해 상기 결함이 수리되는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 검사 장비에 의해 상기 결함이 수리되면, 수리된 결함 부분을 촬영한 캡쳐 이미지가 생성되고, 생성된 상기 캡쳐 이미지가 상기 검사 장비로부터 상기 메인 서버로 전송되는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
  13. 제8항에 있어서,
    상기 결함의 상태를 판정하기 어려운 경우, 상기 결함을 실시간으로 촬영한 라이브 이미지에 기초하여 상기 결함의 상태를 재검사하는 재검 호스트를 추가로 포함하는 검사 시스템.
  14. 제8항에 있어서,
    상기 검사 장비의 상태를 모니터링하여 작업자를 호출하기 위한 알람 호스트를 추가로 포함하는 검사 시스템.
  15. 제8항에 있어서,
    상기 메인 서버가 동작하지 않을 경우에 상기 메인 서버와 동일한 기능을 수행하는 서브 서버를 추가로 포함하는 검사 시스템.
  16. 어레이 기판이나 컬러필터 기판 상에 형성된 결함(defect)을 촬영하여 캡쳐 이미지를 획득하고, 상기 결함과 관련된 검사 정보들이 검사 장비로부터 제공되는 단계;
    상기 검사 장비로부터 제공되는 상기 검사 정보가 메인 서버에 의해 데이터베이스화된 후, 전송되는 단계; 및
    상기 메인 서버로부터 전송된 상기 검사 정보에 기초하여 상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 불량 여부가 판정되어 판정 결과가 산출되고, 산출된 판정 결과가 상기 메인 서버로 전송되는 단계
    를 포함하는 검사 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 결함과 관련된 검사 정보는,
    상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판의 ID, 상기 어레이 기판이나 컬러필터 기판 상에 형성된 복수의 패널 ID, 검출된 결함의 순서에 따른 결함의 번호, 상기 결함을 촬영한 이미지 파일 및 상기 결함을 검출한 검사 장비의 번호를 포함하는 검사 방법.
  18. 제16항에 있어서, 상기 판정 결과는,
    상기 결함의 수리(repair)가 요청되는 경우, 상기 결함의 상태가 양호한 경우, 상기 결함의 상태가 불량인 경우, 및 상기 결함의 상태를 판정하기 어려운 경우로 구분되는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 판정 결과가 수리 요청인 경우,
    상기 메인 서버에 의해 상기 검사 장비로 상기 결함의 수리가 요청되고, 이에 따라 상기 검사 장비에 의해 상기 결함이 수리되는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 검사 장비에 의해 상기 결함이 수리되면, 수리된 결함 부분을 촬영한 캡쳐 이미지가 생성되고, 생성된 상기 캡쳐 이미지가 상기 검사 장비로부터 상기 메인 서버로 전송되는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  21. 제16항에 있어서,
    상기 메인 서버로부터 상기 캡쳐 이미지를 전송받아 수리된 상기 결함의 상태에 기초하여 기판의 불량 여부를 판정하는 단계를 추가로 포함하는 검사 방법.
  22. 제16항에 있어서,
    상기 결함의 상태를 판정하기 어려운 경우, 상기 결함을 실시간으로 촬영한 라이브 이미지에 기초하여 상기 결함의 상태를 재검사하는 단계를 추가로 포함하는 검사 방법.
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