JP4756106B2 - 転写装置 - Google Patents
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- G11B5/855—Coating only part of a support with a magnetic layer
Description
30a 上側センターピン
30b 下側センターピン
200 コントローラ
501a 上側モールド保持部
501b 下側モールド保持部
503a 上側モールド
503b 下側モールド
507b 下側センターピン駆動ユニット
511 ステージ上下駆動ユニット
Claims (11)
- 転写層が表面及び裏面に形成された基板を保持する基板保持手段と、
前記基板の前記表面の前記転写層に形成させるべき第1パターンが形成された第1モールドを保持する第1モールド保持手段と、
前記基板の前記裏面の前記転写層に形成させるべき第2パターンが形成された第2モールドを保持する第2モールド保持手段と、
前記基板保持手段に保持された前記基板と前記第1モールド保持手段に保持された第1モールドとを接近させて、前記第1パターンを前記基板の表面の前記転写層に押圧させる第1押圧手段と、
前記基板保持手段に保持された前記基板と前記第2モールド保持手段に保持された第2モールドとを接近させて、前記第2パターンを前記基板の裏面の前記転写層に押圧させる第2押圧手段と、
前記第1押圧手段により押圧された前記基板と前記第1モールドとを離間方向に移動させる第1離隔手段と、
前記第2押圧手段により押圧された前記基板と前記第2モールドとを離間方向に移動させる第2離隔手段と、
前記第1離隔手段又は前記第2離隔手段による移動時に、前記基板を前記基板保持手段に固定させる固定手段と、を備え、
前記基板、前記第1及び第2モールド各々は貫通孔を有し、
前記基板保持手段は、前記第2モールドの貫通孔内を貫通し、前記基板の貫通孔の縁部で前記基板が載置される載置部を有する第1センターピンを備え、
前記固定手段は、前記第1モールドの貫通孔を貫通し、前記第1センターピンの前記載置部に前記基板を押し付ける第2センターピンを備えていることを特徴とする転写装置。 - 前記第2センターピンは、前記基板を前記載置部との間で挟んで固定する固定部を有することを特徴とする請求項1記載の転写装置。
- 前記載置部には、前記基板の裏面であって貫通孔の縁部が載置されることで前記基板が載置され、
前記固定部は、前記載置部に載置された前記基板の表面であって貫通孔の縁部を押えることで、前記基板を固定することを特徴とする請求項2記載の転写装置。 - 前記載置部は前記第1センターピンの先端部に備えられており、
前記固定部は前記第2センターピンの先端部に備えられており、
前記載置部と前記固定部とを結合させることで前記基板を固定することを特徴とする請求項2記載の転写装置。 - 前記載置部は、前記第1センターピンの先端部に凸部として形成され、
前記固定手段は、前記第1センターピンの前記凸部の先端突出面より外側の段差平面に前記基板を押し付ける前記第2センターピンの平面先端を有することを特徴とする請求項1記載の転写装置。 - 前記固定手段は、前記第1及び第2モールド各々の前記凹凸パターンの形成面の前記基板の前記転写層各々への押圧時にも前記基板を前記基板保持手段に固定することを特徴とする請求項1記載の転写装置。
- 前記基板保持手段は、少なくとも1組の前記基板の上側に位置する上側基板固定部材と前記基板の下側に位置する下側基板保持部材とを備え、前記上側基板固定部材と前記下側基板保持部材とによって前記基板の縁部を挟むことにより前記基板を保持固定することを特徴とする請求項1記載の転写装置。
- 前記上側基板固定部材及び前記下側基板保持部材各々は長手部材からなり、先端に保持部を有し、
前記下側基板保持部材の保持部は前記基板の縁部が載置される階段状の切り欠き部として形成され、前記基板の保持時には前記上側基板固定部材の保持部が前記基板の縁部を介して前記下側基板保持部材の前記切り欠き部に押し付けられることを特徴とする請求項7記載の転写装置。 - 前記下側基板保持部材は前記上側基板固定部材を回動自在に保持する回転軸を有し、前記基板の保持時には前記回転軸を中心にして駆動手段によって前記上側基板固定部材が回動して前記基板を前記上側基板固定部材と前記下側基板保持部材との間に挟み込むことを特徴とする請求項7又は8記載の転写装置。
- 転写層が一方の面に形成された基板を保持する基板保持手段と、
前記転写層に形成させるべき第1パターンが形成された第1モールドを保持する第1モールド保持手段と、
前記基板保持手段に保持された前記基板と前記第1モールド保持手段に保持された前記第1モールドとを互いに接近させて前記第1パターンを前記基板の前記転写層に押圧させる押圧手段と、
前記押圧手段により押圧された前記基板と前記第1モールドとを離間方向に移動させる離隔手段と、
前記離隔手段による移動時に、前記基板を前記基板保持手段に固定させる固定手段と、を備え、
前記基板及び前記第1モールドの各々は貫通孔を有し、
前記基板保持手段は、前記基板の貫通孔の縁部で前記基板が載置される載置部を有する第1センターピンを備え、
前記固定手段は、前記第1モールドの貫通孔を貫通し、前記第1センターピンの前記載置部に前記基板を押し付ける第2センターピンを備えていることを特徴とする転写装置。 - 基板に形成された貫通孔を介して前記基板を載置する載置部を有する第1センターピンと、
前記基板に転写すべきパターンが形成されたモールドの貫通孔を通して、前記第1センターピンに載置された前記基板を前記第1センターピンとの間で挟んで固定する第2センターピンと、を有することを特徴とする転写装置。
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