JP4748945B2 - トランジスタ素子の作製方法 - Google Patents
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Description
また、請求項4の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の作製方法であって、前記スペーサー層を、AlxGa1-xN(0.33≦x≦1)にて形成することを特徴とする。
また、請求項1ないし請求項6の発明によれば、電子供給層の形成温度をチャネル層の形成温度よりも低くすることによって、Inを含む電子供給層が良好な結晶品質を備えるトランジスタ素子が実現される。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る半導体積層構造10の構成を示す概要図であり、図2は、半導体積層構造10を用いて形成されたHEMT素子20の構成を示す概要図である。なお、図示の都合上、図1および図2における各層の厚みの比率は、実際の比率を反映したものではない。
図3は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体積層構造110の構成を示す概要図である。半導体積層構造110は、第1の実施の形態に係る半導体積層構造10とほぼ同様の層構成を有してなり、対応する層については、参照符号の下1桁を当該対応する層と同じにした100番台の符号を付すとともに、以下においてその説明を省略する。
図4は、本発明の第3の実施の形態に係る半導体積層構造210の構成を示す概要図である。半導体積層構造210は、第1の実施の形態に係る半導体積層構造10とほぼ同様の層構成を有してなり、対応する層については、参照符号の下1桁を当該対応する層と同じにした100番台の符号を付すとともに、以下においてその説明を省略する。
実施例1においては、第1の実施の形態に係る半導体積層構造10と、これを用いたHEMT素子20とを作製した。まず、半導体積層構造10の作製においては、基板1として2インチ径の厚さ330μmのC面サファイア単結晶を用い、これを所定のMOCVD装置の反応菅内に設置した。MOCVD装置は、反応ガスあるいはキャリアガスとして、少なくともH2、N2、TMG(トリメチルガリウム)、TMA(トリメチルアルミニウム)、TMI(トリメチルインジウム)、n型ドーパントとして用いるSiの供給源であるシランガス、およびNH3が、反応管内に供給可能とされている。反応管内の圧力を常圧に設定した後、H2を平均流速1m/secで流しながら、基板1を1200℃まで昇温し、基板のサーマルクリーニングをした。
実施例2においては、第2の実施の形態に係る半導体積層構造110と、これを用いた図示しないHEMT素子とを作製した。まず、半導体積層構造110の作製においては、GaN層によるチャネル層103の形成までは、実施例1と同様に行った。
実施例3においては、第3の実施の形態に係る半導体積層構造210と、これを用いた図示しないHEMT素子とを作製した。まず、半導体積層構造210の作製においては、GaN層によるチャネル層203の形成までは、実施例1と同様に行った。
比較例1としては、図5に示す半導体積層構造310と、これを用いた図示しないHEMT素子を作製した。
比較例2としては、図6に示す半導体積層構造410と、これを用いた図示しないHEMT素子を作製した。
HEMT素子の構造は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、種々の構造をとることが可能である。図8は、第1の実施の形態に係る半導体積層構造10を用いて作製される、上記とは異なる構造のHEMT素子の例について示す図である。もちろん、第2および第3の実施の形態に係る半導体積層構造を用いても、同様のHEMT素子を形成することは可能である。
2、102、202、302、402 緩衝層
3、103、203、303、403 チャネル層
4、104、204 第1ワイドバンドギャップ層
5、105、205、305、405 第2ワイドバンドギャップ層
10、110、210、310、410 半導体積層構造
13 保護膜
14d、514d ドレイン電極
14g、514g ゲート電極
14s、514s ソース電極
20、520 HEMT素子
Claims (6)
- 所定の基材の上に緩衝層を形成する緩衝層形成工程と、
前記緩衝層の上にGaおよびInのうち少なくとも1つを含む第1のIII族窒化物からなるチャネル層を形成するチャネル層形成工程と、
前記チャネル層の上に少なくともAlを含む第2のIII族窒化物からなるスペーサー層を形成するスペーサー層形成工程と、
前記スペーサー層の上にAl、Ga、およびInを含む第3のIII族窒化物からなる電子供給層を形成する電子供給層形成工程と、
前記電子供給層の直上にソース電極、ドレイン電極、およびゲート電極を形成する電極形成工程と、
を備え、
前記電子供給層形成工程が、所定のn型ドーパントをドープするドープ層形成工程を含み、
前記電子供給層形成工程における前記電子供給層の形成温度が、前記チャネル層形成工程および前記スペーサー層形成工程における前記チャネル層および前記スペーサー層の形成温度よりも低いことを特徴とするトランジスタ素子の作製方法。 - 請求項1に記載の作製方法であって、
前記スペーサー層形成工程は、前記チャネル層の形成後降温しながら前記スペーサー層を形成する工程であることを特徴とするトランジスタ素子の作製方法。 - 請求項1に記載の作製方法であって、
前記スペーサー層形成工程は、前記チャネル層の形成温度にて前記スペーサー層を形成する工程であることを特徴とするトランジスタ素子の作製方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の作製方法であって、
前記スペーサー層を、Al x Ga 1-x N(0.33≦x≦1)にて形成することを特徴とするトランジスタ素子の作製方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の作製方法であって、
前記ドープ層形成工程が、前記電子供給層の一部に所定の第1n型ドーパントをドープする工程を含む、
ことを特徴とするトランジスタ素子の作製方法。 - 請求項5に記載の作製方法であって、
前記第1n型ドーパントがSiであることを特徴とするトランジスタ素子の作製方法。
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