JP4748256B2 - 圧電振動子のパッケージ構造 - Google Patents
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Description
水晶振動片の板厚を100μm、接続電極の高さを50μm、該接続電極にマウントされた水晶振動片の固定支持点からその自由端部先端までの距離をL0 =3mm、固定支持点から凹部の接続電極側端縁までの距離をL1 、水晶振動片の上面から蓋部分までの高さをt1 =100μm、凹部の底面から水晶振動片までの高さをt2 として、L1 =1.5mmのときに、t2
/t1 ≧0.8の関係を満足し、t2 =100μmのときに、0.5≦L1 /L0 <1の関係を満足することを特徴とする。
図1及び図2には、本発明による圧電振動子の基本的構成を備えた第1実施例が示されている。この圧電振動子は、薄い矩形箱形のベース部分10と蓋部分11とからなるパッケージ内に音叉型水晶振動片12が片持ち式に実装されている。ベース部分10は、セラミックスなどの絶縁材料からなる概ね長方形の2枚の薄板部材13a、13bを張り合わせた底板部13の上面に矩形枠状の側壁部材14を接合させて形成される。蓋部分11は透明なガラス薄板やセラミック薄板で形成され、側壁部材14の上端に例えば封止ガラスやはんだ等の金属ろう材で接合されて、パッケージ内部に音叉型水晶振動片12を気密に封止している。
Claims (8)
- 水晶振動片をパッケージの内部に片持ち式に実装しかつ気密に封止する圧電振動子において、
前記パッケージが、その実装面上の接続電極に導電性接着剤により前記水晶振動片をその一方の端部において片持ち式にマウントするベース部分と、前記ベース部分の上部に接合される蓋部分とを有し、
前記ベース部分の実装面及び前記蓋部分の内面のいずれか一方または両方が、前記水晶振動片の自由端部に隣接する部分に形成された凹部を有し、
前記水晶振動片の板厚を100μm、前記接続電極の高さを50μm、前記接続電極にマウントされた前記水晶振動片の固定支持点からその自由端部先端までの距離をL0 =3mm、前記固定支持点から前記凹部の接続電極側端縁までの距離をL1 、前記水晶振動片の上面から前記蓋部分までの高さをt1 =100μm、前記凹部の底面から前記水晶振動片までの高さをt2 として、
L1 =1.5mmのときに、t2 /t1 ≧0.8の関係を満足し、
t2 =100μmのときに、0.5≦L1 /L0 <1の関係を満足する
ことを特徴とする圧電振動子のパッケージ構造。 - 前記ベース部分の実装面に形成された前記凹部の前記接続電極側の壁面が傾斜面からなることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子のパッケージ構造。
- 前記凹部の平面形状が矩形であることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動子のパッケージ構造。
- 前記矩形の各隅部が丸み付けされていることを特徴とする請求項3に記載の圧電振動子のパッケージ構造。
- 前記凹部の平面形状が楕円形であることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動子のパッケージ構造。
- 前記凹部の平面形状がトラック形状であることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動子のパッケージ構造。
- 前記ベース部分の実装面に形成された前記凹部に、前記パッケージ内部を減圧するための通孔が形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の圧電振動子のパッケージ構造。
- 前記水晶振動片が音叉型水晶振動片であることを特徴とする請求項1乃至7に記載の圧電振動子のパッケージ構造。
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