JP4740932B2 - 黒色酸化イットリウム溶射皮膜の形成方法および黒色酸化イットリウム溶射皮膜被覆部材 - Google Patents
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Description
本発明は、熱放射性や耐損傷性などの特性に優れるとともに、溶射皮膜製品のカラーデザイン性にも優れる黒色酸化イットリウム溶射皮膜の形成方法と、その黒色酸化イットリウム皮膜被覆部材に関するものである。
(1)従来技術によるイットリウムを含む希土類金属の酸化物溶射皮膜の着色は、溶射粉末中にカーボン、Ti、Moなどの異種材料を添加することを必須工程としていたため、生産工程の増加によるコストアップに加え、異種成分の混入による皮膜純度の低下、耐食性、耐熱性などの物理化学的性質の劣化が免れない。
(2)従来技術による酸化イットリウム溶射皮膜の黒変化の処理は、白色のY2O3溶射皮膜を形成後、その表面をレーザビームや電子ビーム照射することによって行っていたが、本発明によれば、レーザビームや電子ビーム照射処理工程を省略できるので、設備費の節減、生産性の向上、生産コストの低下など経済的利点が大きい。
(3)本発明によって得られる酸化イットリウムの黒色溶射皮膜(以下、「黒色酸化イットリウム溶射皮膜」ともいう)は、従来法による白色Y2O3溶射皮膜が保有している耐食性、耐損傷性(特に耐プラズマ・エロージョン性)を維持しつつ、黒色化による熱放射特性をはじめ、次に示すような新しい機能を付加することが可能となる。
(4)黒色酸化イットリウム皮膜を形成した製品は、表面研削のような機械的加工を行ったとしても、常に所定の黒い光沢を維持することができ、商品価値を上げることができる。
(5)黒色系溶射皮膜は、白色系溶射皮膜に比較して汚れが目立ちにくく、半導体加工装置部材に適用すれば皮膜被覆部材の洗浄回数を低減できるので、生産性の低下を招くことはない。また、黒色系皮膜は、熱吸収能力や遠赤外線放射能力に優れ、放熱や受熱などの熱交換特性の向上と耐環境性に優れると考えられる。これらの熱特性は、プラズマエッチングなどの半導体加工速度を上げ生産性の向上に寄与することが期待できる。
(6)本発明によって得られる黒色の酸化イットリウム溶射皮膜は、Y2O3が有する特性を阻害することなく、黒色化したものであるから、白色皮膜と同じような用途に使用することができる。
(7)半導体加工装置には、多くのセラミック系溶射皮膜被覆部材が使用されているが、現状ではその溶射皮膜はAl2O3セラミックで代表される白色系であり、また従来技術で形成されたY2O3溶射皮膜も白色である。このため、保守点検時に皮膜材質の区別がつき難く、損傷を受けた場合、対策に手間取ることが多い。このようなときに、本発明に係る黒色のY2O3溶射皮膜被覆部材を配設することによって、皮膜材質の区別が容易となり、保守点検の精度および生産性の向上が期待できる。
(8)従来の溶射皮膜の開発は、耐食性、耐熱性、耐摩耗性などの工学的機能の向上、改善を目的とし、カラーデザイン的な商品価値の向上には無関心であった。半導体加工装置内に配設される溶射皮膜被覆部材を黒色化することによって、前記工学的有利性に加え、カラーデザイン的商品価値の向上による拡版、輸出競争力の増強が期待できる。
本発明は、不活性ガスと水素ガスとの混合ガスをプラズマ・ジェット発生用作動ガスとして、白色のY2O3粉末をプラズマ溶射することによって、酸化イットリウムの黒色溶射皮膜を形成する際に、溶射雰囲気を、不活性ガスによる50〜600hPaの減圧環境に維持すること、または、プラズマ溶射ガンの周囲に非酸化性ガスを流して、被処理表面に向うプラズマ・ジェットへの空気の侵入を防止した環境にすること、のいずれかにすることを特徴とする黒色酸化イットリウム溶射皮膜の形成方法である。
(1)前記酸化イットリウムの黒色溶射皮膜は、前記プラズマ・ジェット中に含まれる原子状水素が有する還元作用によってY2O3粉末の酸素の一部が消失した状態のY2O3−xで表わされる黒色粒子の堆積によって形成されたものであること、
(2)前記白色のY2O3粉末からなる溶射材料は、粒径が5〜80μmの大きさであること、
(3)プラズマ・ジェット発生のための前記作動ガスは、不活性ガスと水素ガスとの容積比が10/1〜3/1の範囲内のガスであること、
(4)前記酸化イットリウムの黒色溶射皮膜は、基材の表面に直接、またはアンダーコートを介して形成されていること、
(5)前記基材は、ステンレス鋼を含む各種鋼、アルミニウムおよびその合金、チタンおよびその合金、タングステンおよびその合金、モリブデンおよびその合金、焼結炭素、石英、ガラス、プラスチック類、酸化物系および非酸化物系のセラミック焼結体から選ばれる一種以上の金属系または非金属系基材であること、
(6)前記アンダーコートは、Niおよびその合金、Crおよびその合金、Wおよびその合金、MoおよびMo合金、TiおよびTi合金、Alおよびその合金の中から選ばれる1種以上の金属もしくはその合金であること、
が、好ましい解決手段を与えることになるものと考えられる。
(1)前記酸化イットリウムの黒色溶射皮膜と基材との間には、膜厚が50〜500μmのアンダーコートを設けてなること、
(2)前記基材は、ステンレス鋼を含む各種鋼、アルミニウムおよびその合金、チタンおよびその合金、タングステンおよびその合金、モリブデンおよびその合金、焼結炭素、石英、ガラス、プラスチック類、酸化物系および非酸化物系のセラミック焼結体から選ばれる一種以上の金属系または非金属系基材であること、
(3)前記アンダーコートは、Niおよびその合金、Crおよびその合金、Wおよびその合金、MoおよびMo合金、TiおよびTi合金、Alおよびその合金の中から選ばれる1種以上の金属もしくはその合金であること、
が、好ましい解決手段を与えることになるものと考えられる。
(1)市販されている白色の溶射用Y2O3溶射粉末を用いて、溶射熱源としてのプラズマ・ジェット発生用の不活性ガス中に、還元性ガス、例えば、還元性の強い水素ガスを所定の割合で添加することによって、黒色の酸化イットリウム皮膜を形成することができるので、減圧プラズマ溶射装置を含め、既存の溶射関連装置のみで生産可能である。
(2)従来技術(特許文献11)による黒色酸化イットリウム溶射皮膜は、一旦プラズマ溶射法によって、白色のY2O3皮膜を形成後、二次工程としてその皮膜表面をレーザビームや電子ビーム照射することによって黒変化させていたが、本発明では二次工程を省略することができるとともに、高エネルギー照射設備が不要となる。このため、作業性の向上に加え、新設備が不要になるなどの経済的効果が大きい。
(3)また、従来技術による減圧下の無酸素プラズマ溶射法による黒色酸化イットリウム皮膜の形成法(特許文献11)は、濃淡いろいろな黒色が現れ、品質が安定しなかったが、本発明の方法によって、安定した黒色酸化イットリウム皮膜が得られ、品質の向上および生産性が著しく向上する。
(4)本発明に係る黒色の酸化イットリウム溶射皮膜は、白色のY2O3溶射皮膜と同等の耐食性および耐プラズマ・エロージョン性をもっているので、同じ用途に使用することができる。
(5)皮膜を黒色化することによって、この皮膜を伝熱面や受熱面に形成すると、熱放射および受熱効率が向上し、半導体加工装置に組み込むと、プラズマエッチング加工速度を向上させるとともに、その品質の均等化に効果を発揮する。
(6)本発明に係る黒色の酸化イットリウム溶射皮膜被覆部品を半導体加工装置などに使用すると、パーティクルやエッチング作用による反応生成物の付着が目立ちにくいため、必要以上に装置を洗浄することがなく、作業効率の向上が期待できる。
(7)黒色の酸化イットリウム溶射皮膜被覆部材を揃えた半導体加工装置は、カラーデザイン的にも評価が高く、商品価値に優れた工業製品となる。
本発明では、市販の白色のY2O3粉末からなる溶射材料を用いて、黒色酸化イットリイウム溶射皮膜を形成するために、とくに、溶射ガン中に熱源として導入する作動ガスとして、ArやHeなどの不活性ガスだけでなく、さらにその中に水素ガス等の還元性ガス等の還元性ガスを添加すること、および溶射ガスから基材に向う溶射粒子の飛行ルートである成膜(溶射)雰囲気中の酸素ポテンシャルを低くすることが必要である。
ただし、減圧プラズマ溶射法のように、溶射雰囲気、即ち、溶射環境中の酸素分圧が極めて低く、実質的に無酸素なArガスの50〜200hPaの減圧下で成膜すると、弱酸化性の下で灰色に変化することがあるものの、黒色化にまでは到らないのが実情である。
a.減圧容器1内に設置される溶射ガン2内に導入する作動ガス4として、従来のArやHeに加え、還元性の強い水素ガスを混合して導入すること、
b.上記溶射ガン2や被処理基材3が配置されている減圧容器1内を、ArやHeなどの不活性雰囲気に維持すること、
が重要である。
Arガス/水素ガス=10/1〜3/1
H2の混合比が、10/1、好ましくは5/1より少ない場合には、酸化イットリウムの黒色化が不十分であったり、色の品質が一定しないからであり、また、Arガスを3/1より多く混合しても、黒色化の効果が飽和するからである。プラズマ発生ガスとして、ArとHeの混合ガスを用いる場合にも、前記Arガス単独量に対するH2ガスの割合を維持することによって発明の目的を達成することができる。上記の比率は、好ましくは5/1〜3/1程度である。
(b)Arのみをプラズマ・ジェット発生用作動ガスとして用い、Arガス200hPaの雰囲気中で白色のY2O3を溶射(N5、明るい灰色)。
(c)(a)の条件ガスを用い、大気中で溶射ガンの雰囲気にArガスを流しつつ白色のY2O3を溶射(N4、中位の灰色)。
(d)(b)の条件ガスを用い、大気中で白色のY2O3を溶射(N9、白)。
Y2O3粉末の粒度は、5〜80μmの粒径範囲がよく、特に5〜50μmのものが好適である。粒径が80μmより大きい粉末は、溶射熱源中で完全に溶融しない未溶融粒子が含まれることが多いからである。未溶融粒子の内部は、水素ガスを含むプラズマ熱源の影響を受けていないため、白色の状態を維持している場合がしばしば認められるので、皮膜品質を低下させる要因となる。一方、5μm以下の粒子は、内部まで完全に溶融して黒色化するが、粉末供給機からの溶射ガンへの送給速度が不安定となったり、プラズマ熱源中で溶融昇華状態となって、皮膜を構成するための強度因子とならないため、溶射皮膜としての断面組織が不均等、不揃いとなるほか、皮膜の強度が劣化することがあるからである。
本発明に係る部材において、基材表面に、上記の酸化イットリウムの黒色溶射皮膜を直接被覆する場合の他、この溶射皮膜の形成に先立って、まず該基材表面に、アンダーコートを形成し、その後、トップコートとして前記黒色酸化イットリウム溶射皮膜を形成して、皮膜の密着性を向上させるようにしてもよい。この場合、アンダーコートの材料としては、Niおよびその合金、Crおよびその合金、Wおよびその合金、Moおよびその合金、Tiおよびその合金、Alおよびその合金、Mg合金などから選ばれるいずれか1種以上の金属、合金を用いて、厚さ50〜500μm程度に施工することが好ましい。
この実施例では、電熱線を内蔵した石英ガラス製の保護管の表面に、従来技術によるY2O3の白色溶射皮膜と、特許文献11で開示した白色Y2O3溶射皮膜を電子ビーム照射によって黒色化した皮膜、および本発明の酸化イットリウムの黒色溶射皮膜(50μm厚)を形成した後、電熱線に電流を通し、それぞれの皮膜の表面から放出される波長を調査した。その結果、Y2O3白色溶射皮膜では0.2〜1μm程度であったが、酸化イットリウムの黒色溶射皮膜では電子ビーム照射処理および本発明による黒色皮膜とも0.3〜5μmとなり、赤外線の放出が認められ、加熱ヒータとしての効率に差が認められた。
この実施例では、SUS410鋼(50mm×50mm×5mm)の試験片の表面をブラスト粗面化処理を行った後、Arガスで雰囲気圧力を50〜200hPaに制御した減圧プラズマ溶射法によって、Y2O3を150μm厚に形成した。その際、Y2O3膜の形成に先立って、大気プラズマ溶射法によってNi−Al合金のアンダーコートを100μm厚に施工した試験片の有無について、その効果を調べるようにした。
また、減圧プラズマ溶射に際しては、本発明に係る黒色皮膜を形成する場合には、作動ガスとしてAr/H2容積比を5/1としたものを用い、また、比較例の場合にはAr/He比を5/1としたものを用いた。
溶射皮膜を形成した試験片は、Y2O3を溶射して形成したトップコートの外観色を調査した後、下記の熱衝撃試験を行って、該溶射皮膜の耐剥離性を調べた。
この実施例では、実施例2に示した溶射試験片をすべて大気プラズマ溶射法によって皮膜を形成し、実施例2と同条件の熱衝撃試験によって、皮膜の耐剥離性を調査した。なお、大気プラズマ溶射法では、Ar/H2容積比4/1を用いるとともに、溶射ガンの周辺、特に溶射ガン出口付近にN 2ガスを多量に流して、プラズマ・ジェットへの空気の侵入を防止した。
この実施例では、50mm×50mm×5mm厚さのアルミニウム基材を用いて、その表面に大気プラズマ溶射法によって、溶射熱源として組成の異なるプラズマ・ジェット発生用の作動ガスを用いてY2O3溶射皮膜とA12O3溶射皮膜を150μm厚さに形成した。その際、アンダーコートとしてNi−Al合金膜(100μm)の有無のものについても試験条件に加えた。その後、試験片の中央部の表面積10mm×10mmの範囲が露出するように他の部分をマスクし、下記条件にて20時間のプラズマ・エロージョン試験を実施した。なお、他の表面処理法として、アルミニウム基材を陽極酸化(アルマイト)したものを比較試料とした。
エッチングガス;CF4、Ar、O2(容積比で10:100:1)
プラズマ出力;1300W
試験結果を表3に示した。この結果から明らかなように、比較例の現行技術による陽極酸化皮膜(No.10)、A12O3溶射皮膜(No.7、8)およびB4C溶射皮膜(No.9)は、いずれもプラズマ・エロージョン量が大きく、この種のプラズマ環境中での耐久性に乏しいことがわかる。
これに対して、本発明に係る黒色酸化イットリウム溶射皮膜(No.1〜4)は、アンダーコートの有無に関係なく、優れた耐プラズマ・エロージョン性を発揮した。なお、同条件で試験した白色Y2O3溶射皮膜(No.5〜8)と比較しても、全く遜色のない耐久性を発揮していることが確認された。
Claims (11)
- 不活性ガスと水素ガスとの混合ガスをプラズマ・ジェット発生用作動ガスとして、白色のY2O3粉末をプラズマ溶射することによって、酸化イットリウムの黒色溶射皮膜を形成する際に、溶射雰囲気を、不活性ガスによる50〜600hPaの減圧環境に維持すること、または、プラズマ溶射ガンの周囲に非酸化性ガスを流して、被処理表面に向うプラズマ・ジェットへの空気の侵入を防止した環境にすること、のいずれかにすることを特徴とする黒色酸化イットリウム溶射皮膜の形成方法。
- 前記酸化イットリウムの黒色溶射皮膜は、前記プラズマ・ジェット中に含まれる原子状水素が有する還元作用によってY2O3粉末の酸素の一部が消失した状態のY2O3−xで表わされる黒色粒子の堆積によって形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の黒色酸化イットリウム溶射皮膜の形成方法。
- 前記白色のY2O3粉末からなる溶射材料は、粒径が5〜80μmの大きさであることを特徴とする請求項1または2に記載の黒色酸化イットリウム溶射皮膜の形成方法。
- プラズマ・ジェット発生のための前記作動ガスは、不活性ガスと水素ガスとの容積比が10/1〜3/1の範囲内のガスであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1に記載の黒色酸化イットリウム溶射皮膜の形成方法。
- 前記酸化イットリウムの黒色溶射皮膜は、基材の表面に直接、またはアンダーコートを介して形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1に記載の黒色酸化イットリウム溶射皮膜の形成方法。
- 前記基材は、ステンレス鋼を含む各種鋼、アルミニウムおよびその合金、チタンおよびその合金、タングステンおよびその合金、モリブデンおよびその合金、焼結炭素、石英、ガラス、プラスチック類、酸化物系および非酸化物系のセラミック焼結体から選ばれる一種以上の金属系または非金属系基材であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1に記載の黒色酸化イットリウム溶射皮膜の形成方法。
- 前記アンダーコートは、Niおよびその合金、Crおよびその合金、Wおよびその合金、MoおよびMo合金、TiおよびTi合金、Alおよびその合金の中から選ばれる1種以上の金属もしくはその合金であることを特徴とする請求項5に記載の黒色酸化イットリウム溶射皮膜の形成方法。
- 基材表面に、請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法によって形成された、Y2O3−xの組成を示す酸化イットリウムの黒色溶射皮膜が、膜厚が50〜2000μmの厚さで形成されていることを特徴とする黒色酸化イットリウム溶射皮膜被覆部材。
- 前記酸化イットリウムの黒色溶射皮膜と基材との間には、膜厚が50〜500μmのアンダーコートを設けてなることを特徴とする請求項8に記載の黒色酸化イットリウム溶射皮膜被覆部材。
- 前記基材は、ステンレス鋼を含む各種鋼、アルミニウムおよびその合金、チタンおよびその合金、タングステンおよびその合金、モリブデンおよびその合金、焼結炭素、石英、ガラス、プラスチック類、酸化物系および非酸化物系のセラミック焼結体から選ばれる一種以上の金属系または非金属系基材であることを特徴とする請求項8または9に記載の黒色酸化イットリウム溶射皮膜被覆部材。
- 前記アンダーコートは、Niおよびその合金、Crおよびその合金、Wおよびその合金、MoおよびMo合金、TiおよびTi合金、Alおよびその合金の中から選ばれる1種以上の金属もしくはその合金であることを特徴とする請求項9に記載の黒色酸化イットリウム溶射皮膜被覆部材。
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