JP5623619B1 - ドライエッチング用チャンバー内部材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
原料粉末として、10〜20μmの範囲に粒度分布及び粒度分布のピークを有する純度99.9%のイットリア(Y2O3)溶射材料を使用した。作動ガスとして、Arガス及びH2ガスを使用して、図1の流量計34、38の測定値を基にしてAr/H2の流量比が5.0になるように作動ガスの流量を調節して、前記のアルミニウム製の円板に対して大気プラズマ溶射を行った。溶射機の出力は32kWに設定した。
Arガスの流量及びH2ガスの流量を表1記載のようにそれぞれ変更してAr/H2の流量比を変更した点、電力を表1に記載のように変更した点、及び原料粉末の粒径を表1に記載のように変更した点以外は、参考例1と同様の条件で前記のアルミニウム製の円板に対して大気プラズマ溶射を行った。
参考例1、実施例2及び3並びに比較例1ないし5のうちイットリア被膜が成膜されたものについては、光学顕微鏡により溶射皮膜の断面組織画像を撮影し、この画像に対して画像解析(二値化)を行うことによって気孔率の測定を行った。
誘導結合プラズマ装置(ICP(Inductively coupled plasma)装置)を使用して、参考例1、実施例2及び実施例3、並びに比較例1ないし5のうちイットリア被膜が成膜されたアルミニウム円板について、耐食性試験を行った。試験は、IPC装置のチャンバー内にそれぞれのアルミニウム円板をセットし、CF4ガス及びO2ガスをそれぞれ0.05リットル/分及び0.005リットル/分で供給しながらプラズマを発生させて(CF4:O2=10:1)、4時間にわたってアルミニウム円板を混合ガスのプラズマに暴露した。真空度は1.3×10Paである。暴露終了後に、レーザー顕微鏡を使用して各アルミニウム円板の表面形状を観察した。試験後のイットリア溶射皮膜の表面形状を観察した結果、表面形状の変化がなかったものについては表1において「○」を付した。表面形状にわずかに変化(表面粗さの増加)があったものについては表1において「△」を付した。表面形状に大きく変化(表面粗さの増加)があったものについては表1において「×」を付した。イットリア被膜が形成されなかったため、試験を行わなかったものについては表1において「-」を付した。
11 陰極
12 陽極
13 作動ガスの供給部
14 原料粉末の供給部
15 冷却部
16 インシュレーター
21 チャンバー内部材
22 イットリア被膜
461 供給口
Claims (1)
- プラズマ溶射によってドライエッチング用チャンバー内に使用する部材にイットリア被膜を形成する方法であって、
作動ガスとしてH2ガス及びArガスを使用し、
Arガスの流量を60〜75リットル/分とし、Arガス/H 2 ガスの流量の容積比が6〜8となるようにプラズマ溶射機にArガス及びH 2 ガスを供給してH2ガスに対するArガスの流量を増加させることで、プラズマジェットの速度を上昇しかつプラズマジェットの温度を低下させて、
当該プラズマジェットに対して原料粉末として粒径10〜20μmのイットリア微粉末を投入し、
前記部材の表面に溶融したイットリア微粉末を含むプラズマジェットを溶射することによってイットリア被膜を形成することを特徴とするドライエッチング用チャンバー内部材の製造方法。
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