JP4740179B2 - 触媒層担持基板の製造方法、膜電極複合体の製造方法、および燃料電池の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態について説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
カーボンペーパー(商品名Toray060)を基板1とし、マグネトロンスパッタリング装置を用いて表1に示すような触媒金属を含むターゲット1のスパッタリングと、M元素を含むターゲット2及びカーボンを含むターゲット3の同時スパッタリングを交互に繰り返し、アノード触媒層2とカーボン金属混合層3との積層構造を形成した。触媒層の厚み、カーボンM混合層の厚みと繰り返し回数を表1に示す。
カーボンペーパー(商品名Toray060)を基板1とし、マグネトロンスパッタリング装置を用いて表1に示すような触媒金属を含むターゲット1のスパッタリングと、カーボンとM元素の混合物ターゲット2のスパッタリングを交互に繰り返し、アノード触媒層2とカーボン金属混合層3との積層構造を形成した。触媒層の厚み、カーボンM混合層の厚みと繰り返し回数を表1に示す。
カーボンペーパー(商品名Toray060)を基板1とし、マグネトロンスパッタリング装置を用いて表1に示すような触媒金属を含むターゲット1のスパッタリングと、M元素を含むターゲット2及びカーボンを含むターゲット3の同時スパッタリングを交互に繰り返し、カソード触媒層2とカーボン金属混合層3との積層構造を形成した。触媒層の厚み、カーボンM混合層の厚みと繰り返し回数を表1に示す。
プロトン伝導膜(Nafion115;デュポン社製)を基板1とし、表1に示すような触媒金属を含むターゲット1のスパッタリングと、M元素を含むターゲット2及びカーボンを含むターゲット3の同時スパッタリングを交互に繰り返し、アノード触媒層とカーボン金属混合層を形成した。その後、膜の裏面に実施例12と同条件で触媒金属を含むターゲット1のスパッタリングと、M元素を含むターゲット2及びカーボンを含むターゲット3の同時スパッタリングを交互に繰り返し、カソード触媒層とカーボン金属混合層を形成した。触媒層の厚み、カーボンM混合層の厚みと繰り返し回数を表1に示す。
カーボンペーパー(商品名Toray060)を基板1とし、マグネトロンスパッタリング装置を用いて触媒層厚みが300nmになるように、表1に示すような触媒金属を含むターゲット1を用いスパッタリングを行い、アノード触媒層を形成した。
特許文献2の実施例1と同様な方法で触媒層及びカーボン層の積層層数のみ変更してカソード電極を作製した。触媒ローディング量は0.36mg/cm2となるようにして積層層数を増やしている。先ず、カーボン粉体(粒径30〜40nm)0.6gを、溶媒NMP(N−メチルピロリドン)40g中に分散させた塗料を、スピンコート法によって、初めは、500rpmで5秒間滴下し、その後、1000rpmで30秒間滴下することによって層を形成し、更に、120℃で加熱乾燥して形成した。次に、白金スパッタ層は、白金(Pt)ターゲットを用いて、DC1A、420Vを印加した。そして、基板を回転させながら、スパッタを行い、白金触媒層を成膜した。なお、カーボン粉体は、スピンコート法を用いて、厚さは300nmとし、それを15層設けた。又、白金(スパッタ)層は、スパッタリング法を用いて、厚さは20nmとし、それを15層設けた。このように作製した電極の触媒ローディング量は実施例1〜14と同様、約0.36mg/cm2であった。
特許文献1の実施例2と同様な方法によって同様な組成の電極を作製した。先ず、プロトン電解質膜(Nafion115;デュポン社製)を真空雰囲気下に10分間放置して水分を除去し、前処理された膜を得た。この膜に、DC(直流)スパッタリング法によってPt−Ruアノード触媒層が形成され、またこれと同時にRF(高周波)スパッタリング法によって炭素がコーティングされた。このマグネトロンスパッタリングの条件は以下である。反応ガスとしてアルゴンガスとヘリウムガスとの混合気体(配合割合を1:1)を用いた。さらに、圧力を100Paに保持するとともに、スパッタガンの投入電力を300Wとしてスパッタリングを行った。なお、スパッタリングのトータルの時間は400秒としたが、比較的長時間のスパッタリングにより過度に加熱されたターゲットの温度が水素イオン交換高分子膜に伝導しないように、200秒ずつ2回に分けてスパッタリングを行った。さらに、アノード触媒層がコーティングされた膜の裏面にPtカソード触媒と炭素とが同時にコーティングされた。このときの反応ガスの圧力は、アルゴンガスの分圧とヘリウムガスの分圧とを合計した圧力が100Paであり、またRFスパッタリングの条件は300Wで実施した。このように形成されたPtRuアノード触媒とPtカソード触媒のローディング量は各々1.5mg/cm2である。これは実施例1〜14、比較例1〜2の約4倍である。
カソード電極、アノード電極それぞれを電極面積が10cm2になるよう、3.2×3.2cmの正方形に切り取り、カソード電極とアノード電極の間にプロトン伝導性固体高分子膜としてナフィオン115(デュポン社製)を挟んで、125℃、10分、30kg/cm2の圧力で熱圧着して、膜電極複合体を作製した。実施例14、比較例3についてはそれぞれは二枚のカーボンペーパー(商品名Toray060)の間に入れ、125℃、10分、30kg/cm2の圧力で熱圧着して、膜電極複合体を作製した。
2・・・触媒材料
3・・・カーボン金属混合物
4・・・アノード
5・・・カソード
6・・・プロトン伝導性膜
7,9・・・拡散層
8・・・アノード触媒層
10・・・カソード触媒層
11・・・外部回路
Claims (9)
- 基板上に、金属触媒層をスパッタ、もしくは蒸着する第1の工程と、カーボン及び元素Mを含む金属の混合層をスパッタ、もしくは蒸着する第2の工程とを複数回交互に繰り返して前記金属触媒層と前記混合層の積層体を形成する積層工程と、
前記積層工程の後に、前記積層体に対して酸処理を行う酸処理工程と、
を具備することを特徴とする触媒層担持基板の製造方法。
ただし、元素MはSn、Al、Cu及びZnよりなる群から選ばれる少なくとも一種の元素である。 - 前記金属触媒層の供給源が貴金属元素であるか、W、Hf、Si、Mo、Ta、Ti、Zr、Ni、Co、Nb、V、及びCrよりなる群から選ばれる少なくとも一種の元素、及び貴金属元素であることを特徴とする請求項1記載の触媒層担持基板の製造方法。
- 前記混合層の組成がC1-xMxであることを特徴とする請求項1記載の触媒層担持基板の製造方法。
ここで、xは0.2≦x≦0.9である。 - 前記金属触媒層の厚みが1層あたり5nm以上100nm以下であることを特徴とする請求項1記載の触媒層担持基板の製造方法。
- 前記混合層の厚みが1層あたり10nm以上150nm以下であることを特徴とする請求項1記載の触媒層担持基板の製造方法。
- 前記積層体は、前記金属触媒層及び前記混合層が夫々5層以上100層以下交互に積層されていることを特徴とする請求項1記載の触媒層担持基板の製造方法。
- 2つの主面に夫々触媒層が設けられたプロトン伝導性基板材料と、
前記プロトン伝導性基板材料を挟持するよう設けられた一対の導電性基板材料とを具備し、
前記プロトン伝導性基板材料として請求項1記載の触媒層担持基板を用いることを特徴とする膜電極複合体の製造方法。 - 一方の主面に第1の触媒層が設けられた第1の導電性基板材料と、
一方の主面に第2の触媒層が設けられた第2の導電性基板材料と、
前記第1の導電性基板材料と前記第2の導電性基板材料との間に、前記第1の触媒層及び前記第2の触媒層と接するように設けられるプロトン導電性基板材料とを具備し、
前記第1の導電性基板材料及び前記第2の導電性基板材料の少なくとも一方として請求項1記載の触媒層担持基板を用いることを特徴とする膜電極複合体の製造方法。 - 請求項7若しくは8に記載の膜電極複合体を具備することを特徴とする燃料電池の製造方法。
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