JP4736346B2 - 複合体薄膜を半導体層として有する電界効果型トランジスタ - Google Patents
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(1)カーボンナノチューブとポリ−3−アルキルチオフェンを成分とする複合体薄膜を半導体層として有する電界効果型トランジスタであり、該複合体薄膜にX線を一定の入射角で入射し、入射方向と反射方向とを含む面に垂直方向な面内で回折角を変えながらX線回折強度を測定する測定方法を用いて測定したときの、ポリ−3−アルキルチオフェンの(100)結晶面からの回折強度I100と(010)結晶面からの回折強度I010との強度比I100/I010が2.0以下である複合体薄膜を半導体層として有する電界効果型トランジスタである。
(2)前記複合体薄膜が有するカーボンナノチューブの含有量がポリ−3−アルキルチオフェンの重量に対して、1重量%以下である上記(1)記載の複合体薄膜を半導体層として有する電界効果型トランジスタである。
(3)ポリ−3−アルキルチオフェンがポリ−3−ブチルチオフェンまたはポリ−3−ヘキシルチオフェンの少なくとも1種である上記(1)記載の複合体薄膜を半導体層として有する電界効果型トランジスタである。
(4)カーボンナノチューブが単層カーボンナノチューブである上記(1)記載の複合体薄膜を半導体層として有する電界効果型トランジスタである。
R〜1+CiVd(μ/2σt) (1)
ここで、Ciはゲート絶縁層の容量、Vsdはソース・ドレイン間の電圧、μは移動度σは電導度、tは活性層の厚みである。一般に有機半導体ではμはσのγ乗に比例し、かつγは1以下で0.76程度である。この関係と(1)式から、移動度を増加させると、オンオフ比Rが低下することがわかる。
Isat =(CW/2D)μ(Vg−Vth)2 (3)
ここで、Isdはソース電極とドレイン電極間に流れる電流、Isatその飽和電流、Cはゲート/絶縁体での容量、D、Wはそれぞれチャンネルの長さと幅である。Vgはゲート電圧、Vthはゲートのしきい値電圧である。
ポリ−3−ヘキシルチオフェン(アルドリッチ社製、レジオレギュラー品、以下P3HTと略す)100mgをクロロホルム5mLの入ったフラスコの中に加え、超音波洗浄機(井内盛栄堂製US−2、出力120W)中で超音波撹拌することによりP3HTのクロロホルム溶液を得た。次いでこの溶液をスポイトにとり、メタノール20mLと0.1規定塩酸の混合溶液の中に0.5mLずつ滴下して、再沈殿により精製を行った。固体になったP3HTを0.1μm孔径のPTFE(4フッ化エチレン)製メンブレンフィルターによって濾別捕集し、メタノールで良くすすいだ後、真空乾燥により溶媒を除去した。さらにもう一度溶解と再沈殿を行い、90mgの精製したP3HTを得た。
実施例1で用いた単層CNTを酸によってカット処理を行った。単層CNT10mgと濃硫酸15mLと60%硝酸5mLとを三角フラスコ内に入れ、超音波洗浄機で20h超音波撹拌を行った。得られたカット処理液を孔径0.1μmのPTFE製メンブレンフィルターを用いて濾別捕集し、エタノール、水で洗浄した。フィルター上の単層CNTを乾燥させて計量(0.6mg)した後、実施例1で精製したP3HT0.6mgとクロロホルム30mLを加え、超音波ホモジナイザー(SONICS社製VCX−500)を用いて出力250Wで30分間超音波攪拌することで単層CNT分散液を調製した。得られたCNT分散液1mL中に精製したP3HTを5mg加え、液温を30℃にコントロールして超音波洗浄機で30分間超音波攪拌し、複合体のクロロホルム溶液を得た。得られた複合体溶液に含まれる単層CNTはP3HT量に対し0.4重量%であった。
P3HTに対する単層CNTの比率が1.1重量%である以外は実施例2と同等の方法で作製した複合体薄膜のI100/I010は1.2であった。この複合体薄膜を用いて実施例2と同じ方法で作製されたFETの移動度は3.1×10−2cm2/V・sec、オンオフ比は7.0×104であった。
スピンコート時間を0.3秒から10秒に変えた以外は実施例2と全く同様の操作を行った。X線解析から、複合体薄膜のI100/I010を求めたところ5.2であった。次いで、実施例1と同様にFET素子を作製し、得られた電流電圧特性から実施例1と同様に移動度とオンオフ比を求めたところ、移動度は1.9×10−3cm2/V・sec、オンオフ比は3.7×103であった。
実施例1で調製した精製したP3HTを用いて、CNTを分散させずにP3HTのみの薄膜からなるFET素子を作製した。クロロホルム1mL中に精製したP3HTを5mg加え、液温を30℃にコントロールして超音波洗浄機で30分間超音波攪拌し、塗液を得た。得られた塗液をガラス基板上にスピンコート(1000rpm×0.3sec)によって厚み50nmの塗膜を形成し、X線解析から塗膜のI100/I010は3.1であった。次いで、FET素子を作製し、得られた電流電圧特性から実施例1と同様に移動度とオンオフ比を求めたところ、移動度は2.2×10−4cm2/V・sec、オンオフ比は7.1×104であった。
2 入射X線
3 正反射X線
4 回折線
5 X線検出器
6 入射面
11 基板
12 ゲート電極
13 絶縁層
14 複合体薄膜
15 ドレイン電極
16 ソース電極
Claims (4)
- カーボンナノチューブとポリ−3−アルキルチオフェンを有する複合体薄膜を半導体層として有する電界効果型トランジスタであり、該複合体薄膜にX線を一定の入射角で入射し、入射方向と反射方向とを含む面に垂直方向な面内で回折角を変えながらX線回折強度を測定する測定方法を用いて測定したときの、ポリ−3−アルキルチオフェンの(100)結晶面からの回折強度I100と(010)結晶面からの回折強度I010との強度比I100/I010が2.0以下である複合体薄膜を半導体層として有する電界効果型トランジスタ。
- 前記複合体薄膜が有するカーボンナノチューブの含有量がポリ−3−アルキルチオフェンの重量に対して、1重量%以下である請求項1記載の複合体薄膜を半導体層として有する電界効果型トランジスタ。
- ポリ−3−アルキルチオフェンがポリ−3−ブチルチオフェンまたはポリ−3−ヘキシルチオフェンの少なくとも1種である請求項1記載の複合体薄膜を半導体層として有する電界効果型トランジスタ。
- カーボンナノチューブが単層カーボンナノチューブである請求項1記載の複合体薄膜を半導体層として有する電界効果型トランジスタ。
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