JP2005311241A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. カーボンナノチューブとポリ−３−アルキルチオフェンを有する複合体薄膜であり、該複合体薄膜にＸ線を一定の入射角で入射し、入射方向と反射方向とを含む面に垂直方向な面内で回折角を変えながらＸ線回折強度を測定する測定方法を用いて測定したときの、ポリ−３−アルキルチオフェンの（１００）結晶面からの回折強度Ｉ_１００と（０１０）結晶面からの回折強度Ｉ_０１０との強度比Ｉ_１００／Ｉ_０１０が２．０以下である複合体薄膜。
2. 前記複合体薄膜が有するカーボンナノチューブの含有量がポリ−３−アルキルチオフェンの重量に対して、１重量％以下である請求項１記載の複合体薄膜。
3. ポリ−３−アルキルチオフェンがポリ−３−ブチルチオフェンまたはポリ−３−ヘキシルチオフェンの少なくとも１種である請求項１記載の複合体薄膜。
4. カーボンナノチューブが単層カーボンナノチューブである請求項１記載の複合体薄膜。
5. 請求項１〜４のいずれか記載の複合体薄膜を有する半導体素子。
6. 請求項１〜４のいずれか記載の複合体薄膜を半導体層として有する電界効果型トランジスタ。