JP4732351B2 - 処理装置及びヒーターユニット - Google Patents
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Description
31 チャンバー
32,32A,32B サセプタ
32Aa 外側領域
32Ab 内側領域
35,35Aa,35Ab ヒーター
35Aa1,35Aa2,35Ab1,35Ab2 ヒーターの部分
40 シャワーヘッド
50 ガス供給機構
69 ウエハ支持ピン
W ウエハ
Claims (15)
- 被処理体を加熱しながら処理を施す処理装置であって、
処理容器と、
該処理容器内に配置され、前記被処理体が載置される載置台と、
該載置台に埋設され、前記載置台を加熱することにより載置された前記被処理体を加熱するための複数のヒーターと
を有し、
前記載置台は複数の領域を有し、該複数の領域の各々に対して独立に前記複数のヒーターの一つが埋設され、
隣接した領域のうちの一方に埋設された前記ヒーターは、該隣接した領域のうちの他方の領域内に延在する部分を有し、前記隣接した領域のうちの前記他方の領域に埋設された前記ヒーターは、前記隣接した領域のうちの前記一方の領域内に延在する部分を有することを特徴とする処理装置。 - 請求項1記載の処理装置であって、
前記隣接した領域の2つのヒーターの少なくとも一部は、互いに近接するが接触しない位置関係を保ちながら、前記隣接した領域の間を往復して延在することを特徴とする処理装置。 - 請求項2記載の処理装置であって、
前記載置台は円板形状であって、前記複数の領域は載置台の径方向に分割された同心円状の領域であり、該同心円状の領域の隣接した領域のうち外側領域に埋設されたヒーターと内側領域に埋設されたヒーターとは、該外側領域と該内側領域との間の境界付近において交互に入り込んだ部分を有することを特徴とする処理装置。 - 請求項1記載の処理装置であって、
前記載置台はセラミック材よりなり、前記ヒーターは線状又はコイル状の抵抗加熱用金属であることを特徴とする処理装置。 - 請求項4記載の処理装置であって、
前記セラミック材はAlN,Al2O3,SiC,SiOよりなる群から選定されることを特徴とする処理装置。 - 請求項4記載の処理装置であって、
前記ヒーターはプリントパターンヒーターであることを特徴とする処理装置。 - 請求項4記載の処理装置であって、
前記抵抗加熱用金属は、モリブデン、バナジウム、クロム、マンガン、ニオブ、タンタル、ニッケル、タングステンの単体及びそれらの合金のうちから選択される金属であることを特徴とする処理装置。 - 被処理体を加熱するヒーターユニットであって、
該ヒーターユニットは複数の領域を有し、該複数の領域の各々に対して独立にヒーターが埋設され、
隣接した領域のうちの一方に埋設された前記ヒーターは、該隣接した領域のうちの他方の領域内に延在する部分を有し、前記隣接した領域のうちの前記他方の領域に埋設された前記ヒーターは、前記隣接した領域のうちの前記一方の領域内に延在する部分を有することを特徴とするヒーターユニット。 - 被処理体を加熱しながら処理を施す処理装置であって、
処理容器と、
該処理容器内に配置され、前記被処理体が載置される載置台と、
該載置台に埋設され、前記載置台を加熱することにより載置された前記被処理体を加熱するためのヒーターと
を有し、
前記ヒーターは前記載置台の表面と裏面との間の中央に配置され、該表面に沿って電極が埋設され、該裏面に沿って該電極と同じ材料で形成された補強部材が埋設されていることを特徴とする処理装置。 - 請求項9記載の処理装置であって、
前記電極と前記補強部材とは同電位となるように接続されていることを特徴とする処理装置。 - 請求項9記載の処理装置であって、
前記載置台の側面に沿って前記電極と同じ材料で形成された側面補強部材が埋設されていることを特徴とする処理装置。 - 請求項9記載の処理装置であって、
前記載置台はセラミック材よりなり、前記ヒーターは線状又はコイル状の抵抗加熱用金属であり、前記電極及び前記補強部材は金属メッシュにより形成されたことを特徴とする処理装置。 - 請求項12記載の処理装置であって、
前記セラミック材はAlN,Al2O3,SiC,SiOよりなる群から選定されることを特徴とする処理装置。 - 請求項12記載の処理装置であって、
前記抵抗加熱用金属及び前記金属メッシュは、モリブデン、バナジウム、クロム、マンガン、ニオブ、タンタル、ニッケル、タングステンの単体、及びこれらの合金から選択されることを特徴とする処理装置。 - 被処理体を加熱するヒーターユニットであって、
該ヒーターユニットは前記被処理体を載置する表面と、該表面の反対側の裏面とを有し、
該表面と該裏面との間の中央に配置されたヒーターと、
前記表面に沿って埋設された電極と、
前記裏面に沿って埋設され、該電極と同じ材料で形成された補強部材と
を有することを特徴とするヒーターユニット。
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