JP4730638B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、フラッシュメモリ、EEPROMなど、チャージポンプ回路を備える半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種のチャージポンプ回路は、図3に示すように、ゲートをドレインに接続することによりダイオードとして機能する、いわゆる、ダイオード接続されたNMOSトランジスタTr0、Tr1、Tr2、…、Trnが、それぞれのドレインを入力端、ソースを出力端として直列に接続され、これらのトランジスタTr0、Tr1、Tr2、…、Tr(n-1)の各ソース、すなわち、出力端にそれぞれキャパシタC1、C2、C3、…、Cnの一端が接続されており、このうち、トランジスタTr0のドレインに入力電圧Vddを印加するとともに、キャパシタC1、C2、C3、…、Cnの他端に、互いに反転位相関係にあるクロック信号φ、/φ(/φはφの反転信号を示す。図ではφの上にオーバーラインを付して示す。)を交互に印加することによって、トランジスタTrnの出力端から昇圧された出力電圧Voutを得る構成になっている。
【0003】
このチャージポンプ回路はクロックの半周期毎に、電荷の転送と充電を繰返しながら1段毎に昇圧していき、最終的にメモリのデータ書き込みや消去に必要な高電圧を出力する。より具体的には、入力電圧Vddにより、初段のトランジスタTr0を介して、コンデンサC1が充電され、クロック信号φで昇圧された電荷がトランジスタTr1を介して次段のキャパシタC2に充電される。キャパシタC2の他端のクロック信号が/φからφに変化したときに再び昇圧が行われ、以下、同様な動作が繰返されて終段のキャパシタCnに所定の出力電圧Voutを発生させる。
【0004】
この昇圧動作を数式を用いて説明することとする。いま、クロック信号φ、/φの振幅をVclk、トランジスタTr0〜Trnの各しきい値電圧をVt0〜Vtn、入力電圧をVddとし、トランジスタTr0、Tr1、Tr2、…、Trnの各接続点、すなわち、キャパシタC1、C2、C3、…、Cnの接続点をM1、M2、M3、…、Mnとすると、クロックφがL(Low)レベルのとき、接続点M1の電位VM1は、
VM1=Vdd−Vt0 …(1)
となる。
【0005】
次に、クロックφがH(High)に切り替わると、接続点M1の電位VM1は、
VM1=(Vdd−Vt0)+Vclk(C1/(C1+C1s)) …(2)
に上昇する。同様に、クロックレベルの切り替わりにより接続点M2 の最大電位VM2は、
VM2=(Vdd−Vt0)+Vclk(C1/(C1+C1s))−Vt1…(3)
となり、1段当たりの昇圧分ΔVは、
ΔV=Vclk(C1/(C1+C1s))−Vt1 …(4)
となる。
【0006】
したがって、最終的な出力電圧Voutは、
【数1】
Vout=(Vdd−Vt0)+(N×Vclk(C1 /(C1 +Cns)))
−Vt0−Vt1−…−Vtn …(5)
となる。ただし、Cns(n=1、2、…n)はそれぞれ接続点M1、M2、M3、…、Mnの寄生容量値、Nは段数である。
【0007】
図4は上述したチャージポンプ回路を備える半導体装置の部分断面図であり、半導体基板1に形成されたウエル2上に、誘電体層3を介して、複数の電極4、5を所定の面積で並設することによって、位相の等しいクロック信号φが印加される。例えば、キャパシタC1及びC3を形成し、これらの電極4、5が前述した接続点M1、M3に接続される。この場合、ウエル2は電極4、5に対向してキャパシタC1及びC3を形成する電極として作用する。なお、反転関係にある位相信号/φが印加されるキャパシタC2、C4などを形成する電極は図示したウエル2とは絶縁された他の領域に形成される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、チャージポンプ回路を備える半導体装置にあっては、キャパシタC1、C2、C3、…、Cnの容量が小さくて電荷の供給能力が低い場合には、各昇圧段の昇圧分が少なくなり、出力電圧Voutも低くなってしまう。そこで、昇圧段を増やしたり、各昇圧段の昇圧能力を高めるためにキャパシタC1、C2、C3、…、Cnの電極面積を広げたりすると、回路規模が大きくなってしまうという問題があった。なお、キャパシタC1、C2、C3、…、Cnの各電極間の誘電体層3の厚さを薄くして容量を増やす方法では誘電体層3の耐圧が低くなるという点で問題があった。
【0009】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、従来と同様な昇圧能力を維持したまま、キャパシタの占有面積を略1/2に縮小することのできる半導体装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためになされた発明である請求項1に記載の半導体装置では、半導体基板の一主面部に、チャージポンプ回路を構成する要素として、互いに反転位相関係にあるクロック信号を印加する複数のキャパシタが形成される半導体装置において、
第1導電型の前記半導体基板の一部の領域を第2導電型の不純物領域で囲こむトリプルウエル構造とし、前記一部の領域を第1の電極として、この第1の電極上にそれぞれポリシリコンで構成される第2及び第3の電極を誘電体層を介して順次積層し、前記第1の電極及び前記第2の電極によって第1のキャパシタを形成するとともに、前記第2の電極及び前記第3の電極によって第2のキャパシタを形成し、前記第2の電極に前記反転位相関係にあるクロック信号の一方のクロック信号が印加され、前記第1の電極及び前記第3の電極に前記チャージポンプ回路を構成するスイッチング素子が接続されたことにより、従来装置では一つのキャパシタしか形成できなかった領域に2つのキャパシタを形成することが可能になるため、キャパシタの占有面積を約1/2に縮小することができる。また、位相が同一のクロック信号を印加する2個のキャパシタを積層することにより配線の複雑化を抑えるとともに、誘電体層の厚さも従来装置と同程度に抑えることができる。
【0013】
次に、請求項2に記載の半導体装置では、チャージポンプ回路は直列接続された複数のダイオード素子と、前記ダイオード素子の各出力端に一端が接続され、他端に反転位相関係にあるクロック信号が順次に印加される前記キャパシタとで構成され、前記第1のキャパシタと前記第2のキャパシタを、前記ダイオード素子の各出力端に接続されたキャパシタのうち前記反転位相関係にあるクロック信号の一方のクロック信号が印加される2つのキャパシタとして構成し、前記第2の電極に前記クロック信号を印加したことにより、第1及び第2のキャパシタの容量を直接的に決定することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す好適な実施の形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る半導体装置の第1の実施の形態を示す部分断面図であり、図3を用いて説明したチャージポンプ回路を構成する要素のうち、一部のキャパシタC1、C3の構成を示した断面図である。ここで、半導体基板1の一主面部に、この半導体基板1とは導電形式の異なるウエル2が第1の電極として形成されている。このウエル2上に誘電体層3を介してポリシリコンで構成される第2の電極4が積層され、さらに、絶縁層6を介してポリシリコンで構成される第3の電極5が積層されている。ここで、第1の電極としてのウエル2と第2の電極4とでキャパシタC3を形成し、第2の電極4と第3の電極5とでキャパシタC1を形成している。そして、第1の電極としてのウエル2をトランジスタTr2及びTr3の相互接続点M3(図3参照)に接続し、第2の電極4にクロック信号φを印加し、第3の電極5をトランジスタTr0及びTr1の相互接続点M1に接続する構成になっている。
【0015】
この図1に示した構成は位相が同一のクロック信号φが印加されるキャパシタC1及びC3を示したもので、これらのキャパシタに隣接するキャパシタC2及びC4、あるいは、これら以外の2つのキャパシタは図示を省略した他の領域に同様に形成される。このように、位相が同一のクロック信号が印加されるキャパシタを形成する電極を積層する理由を以下に説明する。
【0016】
図3に示したチャージポンプ回路は原理上、各昇圧段でクロック信号の位相は交互に逆になる。すなわち、奇数段のキャパシタに印加されるクロック信号の位相がφであると、偶数段のキャパシタに印加されるクロック信号の位相は/φであり、奇数段のキャパシタに印加されるクロック信号の位相が/φになると、偶数段のキャパシタに印加されるクロック信号の位相はφになる。したがって、同位相のクロック信号が印加されるキャパシタは略半分ずつ存在することになる。図1に示した実施形態ではキャパシタC1及びC3を形成する電極を積層したが、これと同様にして、キャパシタC(2n+1)及びC(2n+3)(n=0、1、2、…)を形成する電極を積層するとともに、キャパシタC(2n+2)及びC(2n+4)を形成する電極を積層することによって、キャパシタの占有面積を約1/2に縮小することができる。また、位相が同一のクロック信号を印加する電極を積層することにより、配線の複雑化を抑えるとともに、誘電体層の厚さも従来装置と同程度に抑えることができる。
【0017】
また、上記実施の形態では、第1の電極としてのウエル2及び第2の電極4によって第1のキャパシタを形成し、第2の電極4及び第3の電極5によって第2のキャパシタを形成することにより、キャパシタC1、C3の容量を直接的に決定することができる。すなわち、直列接続されたキャパシタの合成容量から決定するような繁雑な設計が不要となる。
【0018】
なお、上記実施の形態ではダイオード素子としてのトランジスタTr0〜Trnの接続順で見て、クロック信号位相が同一で互いに隣接するキャパシタを形成する電極を積層したが、必ずしも隣接するものを積層させなくとも、クロック信号位相が同一であればよい。すなわち、C(2n+1)とC(2m+3)(m=0、1、2、3、…、ただし、n≠m+1)とを積層し、C(2n+2)とC(2m+4)(m=0、1、2、3、…ただし、n≠m+1)とを積層するようにすることによっても、同様な効果が得られる。また、C(2n+1)とC(2m+3)との上下関係や、C(2n+2)とC(2m+4)との上下関係も図1に示したものに限らず、逆にしてもよい。
【0019】
ただし、高電圧がウエル2側に印加されるとウエル2の半導体基板1に対する接合部、例えば、N型のウエル2とP型の半導体基板1の接合部の広い範囲で空乏層が延び、この空乏層が寄生容量となってしまうため、ポリシリコンからなる第3の電極5を高電圧側、すなわち、最終段に近い側の接続点につないだほうがよりよいといえる。
【0020】
ところで、上記実施の形態では、NMOSトランジスタをダイオード接続して出力電圧Voutとして正の高電圧を発生するチャージポンプ回路を備える半導体装置について説明したが、本発明はこれに適用を限定されるものではなく、例えば、PMOSトランジスタをダイオード接続して負の高電圧を発生するチャージポンプ回路を備える半導体装置にも適用することができる。
【0021】
また、NMOSトランジスタをダイオード接続して出力電圧Voutとして正の高電圧を発生するチャージポンプ回路に対して、例えば、P型の半導体基板1の一主面部にN型のウエル2を形成すると第2の電極4の電圧(クロック信号電圧)と比較してウエル2の電圧が高いため、第2の電極4の対向部に空乏層が広がるため、容量C3が小さくなる。
【0022】
図2はこのことを考慮してなされた第2の実施の形態を示す主要部の断面図であり、図中、図1と同一の要素には同一の符号を付してその説明を省略する。ここでは、P型の半導体基板1にN型のウエル7を形成し、さらに、N型のウエル7にP型のウエル2を形成することによってトリプルウエル構造としたもので、このとき、N型のウエルの外周部がP型の半導体基板1とP型のウエル2とを電気的に分離する不純物領域となる。この構成によれば、第2の電極4に比較してより電圧の高いP型ウエル2における空乏層の広がりがなく、容量C3を大きくすることができる。また、高電圧が印加されるP型のウエル2とN型ウエル7とが同電圧となり、一般に接地状態におかれるP型の半導体基板1との間に逆バイアスが生じてP型のウエル2を半導体基板1から分離する作用もある。
【0023】
なおまた、上記各実施の形態ではダイオード接続したMOSトランジスタを用いてチャージポンプ回路を構成する半導体装置について説明したが、ダイオードそのものを直列接続してチャージポンプ回路を構成しても、あるいは、ダイオードと同様な整流機能を持たせるようにオン、オフ制御するスイッチング素子を直列接続してチャージポンプ回路を構成しても上述したものと同様な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体装置の第1の実施の形態の構成を示す部分断面図である。
【図2】本発明に係る半導体装置の第2の実施の形態の構成を示す部分断面図である。
【図3】本発明に係る半導体装置が備えるチャージポンプ回路の概略構成図である。
【図4】図3に示すチャージポンプ回路を備える従来の半導体装置の構成を示す部分断面図である。
【符号の説明】
1 半導体基板
2、7 ウエル
3、6 誘電体層
4、5 電極
Claims (2)
- 半導体基板の一主面部に、チャージポンプ回路を構成する要素として、互いに反転位相関係にあるクロック信号を印加する複数のキャパシタが形成される半導体装置において、
第1導電型の前記半導体基板の一部の領域を第2導電型の不純物領域で囲こむトリプルウエル構造とし、前記一部の領域を第1の電極として、この第1の電極上にそれぞれポリシリコンで構成される第2及び第3の電極を誘電体層を介して順次積層し、前記第1の電極及び前記第2の電極によって第1のキャパシタを形成するとともに、前記第2の電極及び前記第3の電極によって第2のキャパシタを形成し、前記第2の電極に前記反転位相関係にあるクロック信号の一方のクロック信号が印加され、前記第1の電極及び前記第3の電極に前記チャージポンプ回路を構成するスイッチング素子が接続されたことを特徴とする半導体装置。 - 前記チャージポンプ回路は直列接続された複数のダイオード素子と、前記ダイオード素子の各出力端に一端が接続され、他端に反転位相関係にあるクロック信号が順次に印加される前記キャパシタとで構成され、前記第1のキャパシタと前記第2のキャパシタを、前記ダイオード素子の各出力端に接続されたキャパシタのうち前記反転位相関係にあるクロック信号の一方のクロック信号が印加される2つのキャパシタとして構成し、前記第2の電極に前記クロック信号を印加したことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
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