JP4722904B2 - 多層プリント基板の製造法 - Google Patents
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Description
実施例1
(1)基板130に厚さ12μmの銅箔132が貼付された厚さ0.6mmの両面銅張積層板(松下電工 R5715)130Aを用意した(図1(A)参照)。
(2)この銅箔132を硫酸−過酸化水素水溶液でエッチングして厚さを5μmとした(図1(B)参照)。
(3)この両面銅張積層板130Aに炭酸ガスレーザ(三菱電機 ML605GTL)を用いて、30mJ、52×10-6秒のパルス条件で10ショットにて直径150μm(上径D1:160μm 下径D2:140μmのテーパあり)の孔116を設けた(図1(C))。このように、レーザにて5μmの銅箔132を貫通して基板130に孔を明けることができる。(3)以下の条件で該孔116内に無電解銅めっきを行い、めっきスルーホール136を形成した(図1(D))。
無電解めっき液;
EDTA : 150 g/L
硫酸銅 : 20 g/L
HCHO : 30 mL/L
NaOH : 40 g/L
α、α’−ビピリジル : 80 mg/L
PEG : 0.1 g/L無電解めっき条件;
70℃の液温度で30分
(1)基板230に厚さ12μm銅箔232が貼付された厚さ0.6mmの両面銅張積層板(松下電工 R5715)230Aを用意した(図2(A))。
(2)この銅箔232を硫酸−過酸化水素水溶液でエッチングして厚さを9μmとした(図2(B)。
(3)この両面銅張積層板230Aに炭酸ガスレーザ(三菱電機 ML605GTL)を用いて、30mJ、52×10-6秒のパルス条件で15ショットにて直径150μm(上径D1:160μm 下径D2:140μmのテーパあり)の孔216を設けた(図2(C))。このように、レーザにて9μmの銅箔132を貫通して基板130に孔を明けることができる。
(4)実施例1と同様にして無電解銅めっきを施してめっきスルーホール236を形成した(図2(C))。
(1)基板330に厚さ12μm銅箔332が貼付された厚さ0.6mmの両面銅張積層板(松下電工 R5715)330Aを用意した(図3(A))。
(2)この銅箔332を硫酸−過酸化水素水溶液でエッチングして厚さを5μmとした(図3(B))。
(3)この両面銅張積層板330Aに炭酸ガスレーザ(三菱電機 ML605GTL)を用いて、30mJ、52×10-6秒のパルス条件で15ショットにて表面および裏面から照射して直径150μm(最大径D3:160μm 最小径D4:140μmのテーパあり)の孔316を設けた。孔316の断面はつつみ形状である(図3(C))。
(4)実施例1と同様にして無電解銅めっきを施してめっきスルーホール336を形成した(図3(D))。この実施例4では、表及び裏面からレーザを照射するため、基板の厚さが厚くともスルーホールを形成できる。
(1)厚さ12μm銅箔が貼付された厚さ0.6mmの両面銅張積層板(松下電工 R5715)を用意した。
(2)この両面銅張積層板に炭酸ガスレーザ(三菱電機 ML605GTL)を用いて、30mJ、52×10-6秒のパルス条件で15ショットの条件でレーザを照射したが、穿孔できなかった。この例から、銅箔の厚みが12μmを越えるとスルーホールが形成できないことが分かった。
ここでは、先ず、実施例4の多層プリント配線板の製造方法に用いるA.無電解めっき用接着剤、B.樹脂充填剤、C.ソルダーレジスト組成物の調整について説明する。
(4) 混合物(1) 〜(3) を混合して、無電解めっき用接着剤組成物を得た。
(3) 混合物(1) と(2) とを混合して、樹脂充填剤を調製した。
(1) 厚さ0.6mmのガラスエポキシ樹脂からなる基板30の両面に12μmの銅箔32がラミネートされている銅張積層板30Aを出発材料とした(図4(A))。これをエッチングして厚さを5μmに調整した(図4(B))。
無電解めっき液;
EDTA : 150 g/L
硫酸銅 : 20 g/L
HCHO : 30 mL/L
NaOH : 40 g/L
α、α’−ビピリジル : 80 mg/L
PEG : 0.1 g/L
無電解めっき条件;
70℃の液温度で30分
電解めっき液;
硫酸 : 180 g/L
硫酸銅 : 80 g/L
添加剤 : 1mL/L(添加剤はアトテックジャパン製:商品名カパラシドGL)
電解めっき条件;
電流密度 : 1A/dm2
時間 : 30分
温度 : 室温
実施例4と同様であるが、実施例3で得られたつつみ型スルーホール336を有するスルーホール形成基板330をコア基板として使用した。
図10は、実施例6に係る多層プリント配線板の構成を示している。このプリント配線板においては、スルーホル36の通孔16の直径Dは、レーザにより100〜200μmに形成されている。この例では、通孔16にはテーパが設けられていない。そして、多層プリント配線板10では、コア基板30に形成されたスルーホール36の通孔16を塞ぐようにバイアホール60が形成することで、スルーホール36の直上にバイアホール60を配置している。このため、多層プリント配線板内の配線長が最短になり、ICチップの高速化に対応することができる。
30 コア基板
34 導体回路
36 スルーホール
48 開口
50 層間樹脂絶縁層
52 無電解めっき層
56 電解めっき層
58 導体回路
60 バイアホール
80A、80B ビルドアップ配線層
150 層間樹脂絶縁層
158 導体回路
Claims (1)
- コア基板に形成されるスルーホールの断面がテーパ形状である多層プリント基板の製造法において、
(1) コア基板とする両面銅張積層板の銅層をエッチングにより5〜9μmの範囲に調整する工程
(2)レーザ条件20〜40mJ、10 -4 〜10 -8 秒の炭酸ガスレーザーでコア基板の一方向に向けてその直径が大きくなるように貫通孔を形成する工程
(3) コア基板表面と貫通孔側面に無電解めっきで導電化する工程
(4) コア基板表面の無電解めっき層上に電解めっきを施し導体層厚を10〜30μmに調整する工程
(5) コア基板表面の銅層をパターン状にエッチングし、内層銅パターンおよびスルーホールを形成する工程
(6) 内層銅パターン表面およびスルーホールの内壁に粗化面を形成する工程
(7) 前記スルーホール内に樹脂充填剤を充填する工程
(8) 前記形成基板の少なくとも1面に、層間絶縁層と導体パターンを積層する工程
(9) 前記貫通孔の直径が大きい側に、ICチップへ接続するための半田バンプを配設する工程。
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