JP4700947B2 - 光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置 - Google Patents
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Description
2 n領域(R画素の信号蓄積部)
3 n領域(G画素用の信号蓄積部)
4 n領域(B画素の信号蓄積部)
5 画素電極膜(G画素用の受光領域)
6 垂直転送路
13 遮光膜
15 赤色フィルタ
16 青色フィルタ
18 縦配線
19 緑色信号検出用の光電変換膜
Claims (10)
- 複数の赤色光光電変換素子と青色光光電変換素子とが表面領域に配列形成された半導体基板と、該半導体基板の上に積層され緑色光を受光して光電荷を発生する光電変換膜とを備える光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置において、前記光電変換膜に付設され画素毎に区分けされた各画素電極膜の各々に接続される緑色信号電荷蓄積部が、前記表面領域の前記赤色光光電変換素子および前記青色光光電変換素子の少なくとも一方の隣に形成されると共に、前記画素電極膜の各々が、当該画素電極膜に接続される前記緑色信号電荷蓄積部の上方及び隣接する前記赤色光光電変換素子及び青色光光電変換素子の少なくとも一方または双方の上方を覆うことを特徴とする光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置。
- 前記画素電極膜に覆われる前記赤色光光電変換素子または前記青色光光電変換素子が複数存在するときは該画素電極膜に接続される前記緑色信号電荷蓄積部が該画素電極膜の重心位置に設けられることを特徴とする請求項1に記載の光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置。
- 前記赤色光光電変換素子及び前記青色光光電変換素子の各々が、隣接する複数の前記画素電極膜によって領域分割されて覆われることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置。
- 前記緑色信号電荷蓄積部の面積が前記赤色光光電変換素子及び前記青色光光電変換素子の各面積より小さく形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置。
- 前記赤色光光電変換素子に赤色光を透過させる赤色フィルタと前記青色光光電変換素子に青色光を透過させる青色フィルタとが前記半導体基板に対してストライプ状に形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置。
- 前記半導体基板の前記赤色光光電変換素子及び前記青色光光電変換素子並びに前記緑色信号電荷蓄積部の脇に信号読出手段が形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置。
- 前記信号読出手段が、MOSトランジスタ及び該MOSトランジスタに接続された信号線で形成され、あるいは電荷転送路で形成されることを特徴とする請求項6に記載の光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置。
- 前記赤色光光電変換素子及び前記青色光光電変換素子並びに前記緑色信号電荷蓄積部が前記半導体基板上に正方格子配列されることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置。
- 前記赤色光光電変換素子及び前記青色光光電変換素子並びに前記緑色信号電荷蓄積部が前記半導体基板上にベイヤー配列されることを特徴とする請求項8に記載の光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置。
- 前記赤色光光電変換素子及び前記青色光光電変換素子を交互に配置した行と、前記緑色信号電荷蓄積部を配置した行とが1/2ピッチづつずらして配列されることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9628734B2 (en) | 2014-08-27 | 2017-04-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Stacked image sensor |
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Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4866656B2 (ja) * | 2006-05-18 | 2012-02-01 | 富士フイルム株式会社 | 光電変換膜積層型カラー固体撮像装置 |
JP5180538B2 (ja) * | 2007-08-27 | 2013-04-10 | キヤノン株式会社 | 撮像素子及び撮像装置 |
KR100882469B1 (ko) * | 2007-12-28 | 2009-02-09 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지센서 및 그 제조방법 |
JP5534927B2 (ja) * | 2010-05-06 | 2014-07-02 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
JP2012084649A (ja) * | 2010-10-08 | 2012-04-26 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 積層型撮像素子 |
WO2012169127A1 (ja) * | 2011-06-07 | 2012-12-13 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置 |
JP6123397B2 (ja) * | 2013-03-18 | 2017-05-10 | 富士通株式会社 | 撮像装置 |
KR102105284B1 (ko) | 2013-06-21 | 2020-04-28 | 삼성전자 주식회사 | 이미지 센서, 이의 제조 방법, 및 상기 이미지 센서를 포함하는 이미지 처리 장치 |
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KR102309885B1 (ko) * | 2014-01-15 | 2021-10-07 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 이를 포함하는 전자 장치 |
JP2019114576A (ja) * | 2017-12-20 | 2019-07-11 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光電変換素子および固体撮像装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6093893A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-25 | Toshiba Corp | カラ−用固体撮像装置 |
JPS61193479A (ja) * | 1985-02-22 | 1986-08-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体カラ−撮像デバイス |
JPH06204450A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP2002083946A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | イメージセンサ |
JP2003332551A (ja) * | 2002-05-08 | 2003-11-21 | Canon Inc | カラー撮像素子及びカラー受光素子 |
JP2004165242A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Canon Inc | カラー撮像素子及びカラー受光素子 |
JP2005303263A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-10-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光電変換膜積層型固体撮像素子の製造方法 |
-
2004
- 2004-10-20 JP JP2004305539A patent/JP4700947B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6093893A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-25 | Toshiba Corp | カラ−用固体撮像装置 |
JPS61193479A (ja) * | 1985-02-22 | 1986-08-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体カラ−撮像デバイス |
JPH06204450A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP2002083946A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | イメージセンサ |
JP2003332551A (ja) * | 2002-05-08 | 2003-11-21 | Canon Inc | カラー撮像素子及びカラー受光素子 |
JP2004165242A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Canon Inc | カラー撮像素子及びカラー受光素子 |
JP2005303263A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-10-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光電変換膜積層型固体撮像素子の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9628734B2 (en) | 2014-08-27 | 2017-04-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Stacked image sensor |
US11317068B2 (en) | 2018-11-07 | 2022-04-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Signal processing apparatuses and signal processing methods |
US11451728B2 (en) | 2020-01-24 | 2022-09-20 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image sensors and driving methods thereof |
KR20210114848A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-24 | 삼성전자주식회사 | 동영상 처리 장치 및 동영상 처리 방법 |
US11330210B2 (en) | 2020-03-11 | 2022-05-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Methods and apparatuses for processing moving images |
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Publication number | Publication date |
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