JP4700928B2 - 固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
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このような状況の中で更なる高速駆動を実現するためには電荷転送電極の低抵抗化への要求が高く、また微細化には縦方向シュリンクが必須である。
従来、CCDの高速駆動を企図して、シャント配線を設けたものが提案されている(特許文献1乃至4参照)。
また、第1層電極上に第2層電極を重ねた複数電極構造では、第2層目あるいはそれ以降の電極分離が第1層電極上で行なわれるため、微細化が進むとパターニングが極めて困難となる。
例えば、特許文献5では、図10(a)に示すように、シリコン基板101上に埋め込みチャネル層等を形成し、表面にゲート絶縁膜102を介して、多結晶シリコン層からなる第1層導電性膜103aを形成し、これをパターニングし、第1の電極を形成し、さらにこの第1の電極の周りに酸化シリコン膜104を形成する。
そして、図10(c)に示すように、CMP法により表面の平坦化を行い、単層電極構造の電荷転送部を形成する。
一方、電極の低抵抗化をはかるために多結晶シリコン層の上に金属シリサイド層を形成したいわゆるポリサイド構造の電荷転送電極も提案されている。
本発明は前記実情に鑑みてなされたもので、高速駆動でかつ微細化の可能な固体撮像素子の製造方法を提供することを目的とする。
前記電荷転送電極の製造工程が、
シリコン系導電性膜上に金属または金属シリサイドの膜を形成し、その上に絶縁膜のマスクを形成して、当該マスクにより、前記シリコン系導電性膜と前記金属または金属シリサイドの膜をパターニングして、シリコン系導電性膜の上に金属または金属シリサイドの膜が形成され、その上に絶縁膜を有する複数の第1の電極を形成する工程と、
前記第1の電極の側壁に絶縁膜を形成する工程と、
前記側壁に絶縁膜を形成した後、前記第1の電極の上層及び間にシリコン系導電性膜を形成し、前記シリコン系導電性膜が前記第1の電極の間に分離して位置するように前記第1の電極上の前記シリコン系導電性膜を除去して表面を平坦化する工程と、
平坦化した前記表面に金属膜を形成してシリサイド化の処理を行い、シリサイド化されなかった前記金属膜を除去して、前記第1の電極の間に位置する前記シリコン系導電性膜の上に金属シリサイドの膜が形成された第2の電極を形成する工程と、を含む。
この方法によれば、制御が容易で低抵抗の電荷転送電極を容易に形成することができる。
第1の電極の上面の金属または金属シリサイドは第2電極のパターニングの際、エッチングストッパとして作用するため膜減りもなく平坦な表面を効率よく形成することができる。
ダミーパターンを形成しておくことにより、基板の周縁部において、CMPによる過研磨や、レジストエッチバックによるオーバーエッチに起因する膜減りが生じるのを防止することができる。
また本発明の方法は、前記第2の電極を形成する工程が、前記第2層導電性膜としてシリコン系導電性膜を形成し、平坦化して、第1の電極によって分離したのち、金属層を形成し、シリサイド化し、シリサイド化されなかった金属層を除去する工程を含む。
これにより、第2の電極は、フォトリソグラフィを用いることなく自己整合的に第1の電極間にパターン形成できることになる。
(第1の実施の形態)
この固体撮像素子は、図1および図2に示すように、電荷転送電極が、多結晶シリコン層3aとタングステンシリサイド膜4aとからなるポリメタル構造の第1層導電性膜からなる第1の電極Aと、多結晶シリコン層3bとチタンシリサイド4Sとからなるシリサイド構造の第2層導電性膜からなる第2の電極Bとが交互に並置された、単層電極構造で形成されたことを特徴とする。
これにより、良好に表面の平坦化をはかることができ、大幅に薄型化をはかることができる。
また、この例では、いわゆるハニカム構造の固体撮像素子を示しているが、正方格子型の固体撮像素子にも適用可能であることはいうまでもない。
まず、不純物濃度1.0×1016cm−3程度のn型のシリコン基板1表面に、膜厚15nmの酸化シリコン膜2aと、膜厚50nmの窒化シリコン膜2bと、膜厚10nmの酸化シリコン膜2cを形成し、3層構造のゲート酸化膜2を形成する。
まず第1の電極のパターニングの際と同様に、ハードマスク形成のための膜厚50〜100nmの窒化シリコン膜9とプラズマTEOSを用いて膜厚100〜200nmの酸化シリコン膜10とを形成する(図7(c))。
なおエッチングストッパ層と反射防止層とをかねてもよく、窒化シリコン(プラズマSiN)膜、酸窒化シリコン(SiON)膜など、平坦化膜であるBPSG膜に対してエッチングあるいは研磨選択性のある材料であればよい。また、エッチングストッパとして遮光膜を用いてもよい。なお、反射防止層はエッチング除去されてしまう場合があるが、遮光膜がエッチング選択性をもつことにより、過研磨による膜減りを防止することができる。
前記第1の実施の形態では、第1の電極と第2の電極とを異なる材料で構成したが、いずれも金属シリサイド層を表面に形成した構造であってもよい。
また金属としてはタングステンに限定されることなくチタン(Ti)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)など適宜変更可能である。さらにシリコン層としても多結晶シリコンに限定されることなくアモルファスシリコン層、マイクロクリスタルシリコン層など適宜変更可能である。
2 ゲート酸化膜
3a 第1層多結晶シリコン膜
3b 第2層多結晶シリコン膜
4a タングステンシリサイド膜
4S チタンシリサイド膜
5 窒化シリコン膜
6 酸化シリコン膜
8 酸化シリコン膜
9 窒化シリコン膜
10 酸化シリコン膜
30 フォトダイオード領域
40 電荷転送部
50 カラーフィルタ
60 マイクロレンズ
70 中間層
Claims (4)
- 光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部とを具備した固体撮像素子を製造する方法であって、
前記電荷転送電極の製造工程が、
シリコン系導電性膜上に金属または金属シリサイドの膜を形成し、その上に絶縁膜のマスクを形成して、当該マスクにより、前記シリコン系導電性膜と前記金属または金属シリサイドの膜をパターニングして、シリコン系導電性膜の上に金属または金属シリサイドの膜が形成され、その上に絶縁膜を有する複数の第1の電極を形成する工程と、
前記第1の電極の側壁に絶縁膜を形成する工程と、
前記側壁に絶縁膜を形成した後、前記第1の電極の上層及び間にシリコン系導電性膜を形成し、前記シリコン系導電性膜が前記第1の電極の間に分離して位置するように前記第1の電極上の前記シリコン系導電性膜を除去して表面を平坦化する工程と、
平坦化した前記表面に金属膜を形成してシリサイド化の処理を行い、シリサイド化されなかった前記金属膜を除去して、前記第1の電極の間に位置する前記シリコン系導電性膜の上に金属シリサイドの膜が形成された第2の電極を形成する工程と、
を含む固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記平坦化工程は、レジストエッチバック工程である固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記平坦化工程は、化学機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)により平坦化する工程である固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記第1の電極のパターンは、周縁部に電気的接続を有しないダミーパターンを含むことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
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