JP4715110B2 - 固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
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Description
そして、固体撮像素子の画素セルの微細化を図ると共に、高い感度を有することも要望されるため、光の取り込み効率をいかに上げていくかが大きな課題となる。
転送電極のオーバーラップ部では、厚さが通常1μm以上にもなるため、特に画素セルのサイズが3μm以下となり、受光センサ部上の開口幅が1μm程度に縮小されると、オーバーラップ部により入射光が一部遮られてしまうことが問題になる。
これにより、受光センサ部へ斜めに入射する光が遮られず、また転送電極のシート抵抗を比較的低くすることが可能である構成の固体撮像素子を製造することが可能になる。
また、転送電極の断面積をある程度確保して、転送電極のシート抵抗を比較的低くすることが可能になるため、駆動の高速化を図ることが可能になる。
即ち、高い感度を有し、かつ高速の駆動が可能である高性能の固体撮像素子を実現することが可能になる。
本実施の形態は、本発明をCCD固体撮像素子に適用したものである。
撮像領域外においては、図示しないが垂直転送レジスタ3の一端に接続して水平転送レジスタが設けられ、水平転送レジスタの一端に出力部が設けられる。
転送電極2は、第1の転送電極2A及び第2の転送電極2Bにより構成されている。第1の転送電極2Aは、受光センサ部間の部分(配線部)と、垂直転送レジスタ3に沿って図1中上側に延びる電極部とを有している。第2の転送電極2Bは、受光センサ部間の部分(配線部)と、垂直転送レジスタ3に沿って図1中下側に延びる電極部とを有している。
そして、これら第1の転送電極2A及び第2の転送電極2Bは、同一層の電極層のみから構成されている。
ゲート絶縁膜6は、例えば、図示しないが、シリコン酸化膜・シリコンナイトライド膜・シリコン酸化膜の3層の積層構造、即ちONO構造とすることができる。
さらに、遮光膜4よりも上方には、図示しないが、必要に応じて、平坦化膜、カラーフィルター、オンチップレンズ等が設けられる。
また、図1中上下の受光センサ部1の間の転送電極2(2A,2B)、即ち転送電極2の上述した配線部においても、受光センサ部1側の壁面の一部において、電極層の壁面と上面との角部が除去された部分(斜面)11が設けられている。
また、例えば、転送電極の受光センサ部側の壁面が、全て斜面又は凹面になっている場合にも、入射光のケラレを低減することはできる。しかし、この場合も、全て斜面又は凹面になっている分転送電極の上面の幅が狭くなっていることから、その分転送電極の断面積が減るため、転送電極のシート抵抗が高くなる。
これに対して、本実施の形態の構成では、転送電極2の受光センサ部1側の壁面のうち一部のみが斜面又は凹面となっており、壁面の他の部分は基板面に垂直な面となっていることにより、入射光のケラレを低減することができるだけでなく、転送電極2の断面積をある程度確保して、比較的低いシート抵抗とすることが可能になる。
さらに、この導電膜を、図示しないフォトレジストをマスクとしてドライエッチング法を用いて、ほぼ基板面に対して垂直方向に加工することにより、転送電極2(2A,2B)を所定のパターンで形成する。これにより、同一層の電極層のみから成る転送電極2(2A,2B)が形成される(以上、図3参照)。
このシリコン酸化膜は、例えば転送電極2と同程度の厚さに形成する。
このレジスト22は、図4A及び図4Bに示すように、受光センサ部に対応する転送電極2(2A,2B)の開口部に沿って、転送電極2(2A,2B)の端縁から後退させた抜きパターンに形成する。
これにより、転送電極2の開口部側の壁面に、シリコン酸化膜21から成るサイドウォール絶縁層23を形成する。
さらに、異方性ドライエッチングを続行する(オーバーエッチングする)ことにより、サイドウォール絶縁層23を縮小させる。
これにより、転送電極2の電極層の角部が露出する(以上、図5参照)。
一方、転送電極2の材料がサイドウォール絶縁層23とエッチング選択比が大きくとれない材料である場合には、オーバーエッチング後にサイドウォール絶縁層23を多く残すようにする。
即ち、全面に遮光膜4となる膜を成膜した後、フォトレジストをマスクとして、ドライエッチング法により加工して、所定のパターンの遮光膜4を形成する。
即ち、従来と同様の工程により、図示しないマイクロレンズやカラーフィルターを形成することができる。
また、半導体基体10には、図示しないが垂直転送レジスタ3の転送チャネル領域5や、受光センサ部1のフォトダイオード等が形成される。
好ましくは、転送電極2の側面のうち1/3〜1/2を除去して、斜面や凹面とする。
これにより、転送電極2のシート抵抗を比較的低くすることが可能になる。
従って、駆動の高速化を図ることが可能になる。
これにより、受光センサ部1へ斜めに入射する光Lを遮光膜4で遮らないようにすることが可能な構成の固体撮像素子20を製造することができる。
また、固体撮像素子の微細化を図ることができるため、同じ画素数当たりの面積を低減することができることから、固体撮像素子の小型化を図ることも可能になる。
シリコン基板等の半導体基板の他にも、例えば、半導体基板上に半導体エピタキシャル層が形成された半導体基体や、絶縁基板上に半導体層が形成された基体等も考えられる。
Claims (1)
- 受光センサ部の少なくとも一側に転送電極が設けられ、前記転送電極が同一層の電極層のみから構成された固体撮像素子を製造する方法であって、
前記転送電極を形成する工程と、
前記転送電極を覆って、全面に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に前記転送電極の端縁から前記転送電極の内側に後退させた抜きパターンにレジストを形成した後に、前記絶縁膜をエッチバックして、前記転送電極の側面にサイドウォール絶縁層を形成すると共に、前記転送電極上に前記絶縁膜を残存させる工程と、
さらにエッチングを続行し、前記サイドウォール絶縁層を縮小させて、前記転送電極の前記電極層の壁面と上面との角部を露出させる工程と、
等方性エッチングにより、露出した前記転送電極の前記電極層の角部を除去する工程とを少なくとも有する
固体撮像素子の製造方法。
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