JP2006278690A - 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 電荷転送電極の平坦化をはかり、高感度で光学特性に優れた固体撮像素子を提供する。また、第1層電極および第2層電極の膜厚が均一で、電荷転送特性に優れた固体撮像素子を提供する。
【解決手段】光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する単層構造の電荷転送電極を備えた電荷転送部とを具備した固体撮像素子の製造方法において、第1層電極上に絶縁膜を介して、第2層導電性膜を形成し、平坦化するに際し、化学的機械研磨法(CMP)法により、平坦化する第1の平坦化工程と、エッチバック法により、前記第1層電極3aとほぼ同一高さとなるように、前記第2層導電性膜をエッチングする第2の平坦化工程とを含み、第1層電極3aと第2層電極3bとの高さが揃うようにし、平坦で高感度の固体撮像素子を形成する。
【選択図】図1
【解決手段】光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する単層構造の電荷転送電極を備えた電荷転送部とを具備した固体撮像素子の製造方法において、第1層電極上に絶縁膜を介して、第2層導電性膜を形成し、平坦化するに際し、化学的機械研磨法(CMP)法により、平坦化する第1の平坦化工程と、エッチバック法により、前記第1層電極3aとほぼ同一高さとなるように、前記第2層導電性膜をエッチングする第2の平坦化工程とを含み、第1層電極3aと第2層電極3bとの高さが揃うようにし、平坦で高感度の固体撮像素子を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子にかかり、特に単層電極CCD(電荷結合素子)構造をもつ固体撮像素子の電極の形成に関する。
エリアセンサ等に用いられるCCDを用いた固体撮像素子は、フォトダイオードなどの光電変換部と、この光電変換部からの信号電荷を転送するための電荷転送電極を備えた電荷転送部とを有する。電荷転送電極は、半導体基板に形成された電荷転送路上に複数個隣接して配置され、順次電圧を印加することにより、駆動される。
近年、固体撮像素子においては、ギガピクセル以上まで撮像画素数の増加が進んでいるが、画素数の増加に伴い信号電荷の高速転送、すなわち電荷転送電極の高速パルスによる駆動が必要となるため、電荷転送電極の低抵抗化が求められるとともに、電荷転送電極の幅だけでなく、厚さについても、高精度化への要求は高い。
従来、電荷転送電極を用いた固体撮像素子では、解像限界を超える微細幅の電極間絶縁膜を形成する必要があることから、単層構造の電荷転送電極を用いた固体撮像素子においても、第1層導電性膜をパターニングして第1層電極を形成し、この第1層電極の周りに絶縁膜を形成した後、第2層導電性膜を形成して、化学的機械研磨法(CMP)法あるいはレジストエッチバック法により、表面を平坦化し、単層構造の電荷転送電極を形成するという方法が用いられている。
CMP法による平坦化に際し、第1層電極上にストッパ膜を形成する方法が提案されている(特許文献1)。
CMP法による平坦化に際し、第1層電極上にストッパ膜を形成する方法が提案されている(特許文献1)。
この方法では、n型シリコン基板1表面に、酸化シリコン膜2aと、窒化シリコン膜2bと、酸化シリコン膜2cを形成し、3層構造のゲート酸化膜2を形成するとともに、このゲート酸化膜2上に、第1層導電性膜3aとしての多結晶シリコン膜を形成する。
続いて、そしてこの上層に酸化シリコン膜4pと窒化シリコン膜Esとを順次積層し、フォトリソグラフィによりパターニングし、この窒化シリコン4pおよび酸化シリコン膜Esをマスクとして第1層導電性膜をパターニングし、第1層電極3aを形成する。
この後、図8(a)に示すように、第2層導電性膜3bとしての多結晶シリコン膜を形成する。
そして、図8(b)に示すように、窒化シリコン膜EsをストッパとしてCMPを行い、表面を平坦化する。
そして、図8(b)に示すように、窒化シリコン膜EsをストッパとしてCMPを行い、表面を平坦化する。
そしてさらに、図8(c)に示すように、フォトリソグラフィによりレジストパターンR2を形成してこれをマスクとし、第2層導電性膜をパターニングして第2層電極3bを形成する。
そして、図8(d)に示すように、表面酸化を行ない、第2層電極の周りに酸化シリコン膜を形成して、単層構造の電荷転送電極を得る。
そして最後に、光電変換部にイオン注入を行いpn接合を形成しフォトダイオードを形成し、多結晶シリコン膜からなる単層構造の電荷転送電極を有する固体撮像素子が形成される。
そして最後に、光電変換部にイオン注入を行いpn接合を形成しフォトダイオードを形成し、多結晶シリコン膜からなる単層構造の電荷転送電極を有する固体撮像素子が形成される。
しかしながら、CMPストッパとなる窒化シリコン膜Esを形成しているため、第1層電極と第2層電極の実効膜厚はそれぞれt1、t2(t1<t2)であり、窒化シリコン膜Esの分だけ第2層電極が厚くなっており、段差が生じ、非対称な電荷転送電極構造となる。また、平坦化時の過研磨により、チップの周縁部に相当する領域でディッシングと呼ばれる皿状の領域が形成されたりして、第2層電極(および必要に応じて配線)を形成する第2層導電性膜の膜厚がウェハ面内あるいはチップ面内で不均一になる可能性がある。
これは、電荷転送特性のばらつきの原因となるだけでなく、周辺回路の膜厚のばらつきの原因となり、歩留まり低下の原因となる可能性がある。
また、十分に表面の平坦化を得られず、これが感度の低下あるいはスミアなどの光学特性の劣化につながることがあった。
また、十分に表面の平坦化を得られず、これが感度の低下あるいはスミアなどの光学特性の劣化につながることがあった。
本発明は前記実情に鑑みてなされたもので、電荷転送電極の平坦化をはかり、高感度で光学特性に優れた固体撮像素子を提供することを目的とする。
また、第1層電極および第2層電極の膜厚が均一で、電荷転送特性に優れた固体撮像素子を提供することを目的とする。
また、第1層電極および第2層電極の膜厚が均一で、電荷転送特性に優れた固体撮像素子を提供することを目的とする。
そこで本発明の方法は、光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する単層構造の電荷転送電極を備えた電荷転送部とを具備した固体撮像素子の製造方法において、前記電荷転送電極の形成工程が、ゲート酸化膜の形成された、半導体基板表面に、第1層導電性膜を形成し、これをパターニングすることにより第1層電極を形成する工程と、前記第1層電極のまわりに第1の絶縁膜を形成する工程と、第2層導電性膜を形成する工程と、前記第2層導電性膜を化学的機械研磨法(CMP)法により、平坦化する第1の平坦化工程と、エッチバック法により、前記第1層電極とほぼ同一高さとなるように、前記第2層導電性膜をエッチングする第2の平坦化工程と、前記第2層導電性膜をパターニングし、第2層電極を形成する工程と、前記第2層電極を覆うように第2の絶縁膜を形成する工程とを含む。
この構成によれば、第2層導電性膜を、CMP工程と、エッチバック工程とにより、第2層導電性膜が前記第1層電極と、ほぼ同一高さとなるように、平坦化し、第2層電極を形成しているため、導電性膜の実効膜厚が等しいことから、転送特性が揃うことになり、高精度の対称性を持つ電荷転送電極を得ることができる。
また、本発明の方法は、第1層電極を形成する工程が、第1層導電性膜を形成する工程と、前記第1層導電性膜上に、前記第1の絶縁膜の一部を構成する、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜とを順次積層する工程と、前記窒化シリコン膜および前記酸化シリコン膜とをパターニングし、これをマスクとして第1層導電性膜をパターニングする工程を含むものを含む。
この構成によれば、窒化シリコン膜および酸化シリコン膜の2層膜からなるハードマスクを用いて、第1層電極がパターニングされることになり、高精度のパターニングが可能となる。
また、本発明の方法は、前記第1の平坦化工程は、前記窒化シリコン膜をストッパとしてCMPを行う工程を含むものを含む。
この構成によれば、ハードマスクとして用いた窒化シリコン膜をストッパとしてCMPを行うため、高精度のCMPが実現され、窒化シリコン膜が露呈するぎりぎりの厚さまでCMPを行うことができ、残りのエッチング時間が短くなり、その結果処理の高速化が可能となる。
また、本発明の方法は、前記第2の平坦化工程は、前記窒化シリコン膜をマスクとして、前記第1層電極の上端と同程度となるように、前記窒化シリコン膜の膜厚程度、第2層導電性膜をエッチングする工程であるものを含む。
この構成によれば、窒化シリコン膜をマスクとして軽くエッチングを行うことにより、第2層電極のレベルを窒化シリコン膜と酸化シリコン膜の界面まで下げることができる。 これにより、この第2層導電性膜を酸化することにより、第2の絶縁膜の膜厚を第1層電極上の酸化シリコンと同程度にすることができる。
また、本発明の方法は、前記第2の平坦化工程が、エッチング深さを制御しながら、前記第1層電極の上端と同程度となるように、第2層導電性膜をエッチングする工程であるものを含む。
この構成によれば、高精度に第2層導電性膜のレベルを制御することができる。制御はエッチング時間あるいはエッチャントの温度を調整することによって行う。あるいはエッチャントの組成を検出するなどの方法により、あらかじめ設定したエッチング終点を検出するようにしてもよい。
また、本発明の方法は、前記第2の導電性膜の形成工程に先立ち、前記窒化シリコン膜を除去する工程を含むものを含む。
この構成によれば、第2の絶縁膜の形成工程で、第1層電極上と第2層電極上とで同程度の膜厚を得ることができる。
また、本発明の方法は、前記第1の平坦化工程が、前記第1層電極が十分に覆われる程度の深さまで第2層導電性膜をCMPにより除去する工程であり、前記第2の平坦化工程は、前記第1の絶縁膜に対して十分なエッチング選択比を持つような条件で前記第1層電極の上端と同程度となるように、前記第2の導電性膜をエッチングする工程を含むものを含む。
この構成によれば、CMPストッパを設けることなく、所望の電極レベルを得ることができる。
また、本発明の方法は、前記第2層電極を形成する工程が、前記第2の平坦化工程の後に、フォトリソグラフィにより前記第2層導電性膜をパターニングする工程を含むものを含む。
また、本発明の方法は、前記第2層電極を形成する工程が、前記第2の平坦化工程の後に、窒化シリコン膜を除去した後、フォトリソグラフィにより前記第2層導電性膜をパターニングする工程を含むものを含む。
また、本発明の方法は、前記第2層電極を形成する工程が、前記第2の平坦化工程の後に、フォトリソグラフィにより前記第2層導電性膜をパターニングする工程の後に、窒化シリコン膜を除去する工程を含むものを含む。
また、本発明の方法は、前記第1層および第2層導電性膜がシリコン系導電性膜であるものを含む。
また、本発明は、光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する単層構造の電荷転送電極を備えた電荷転送部とを具備した固体撮像素子において、前記電荷転送電極が、第1層導電性膜からなる第1層電極と、前記第1の電極と第1の絶縁膜を介して並置された第2層導電性膜からなる第2層電極とを具備し、前記第1層導電性膜の上端と前記第2層導電性膜の上端のレベルが等しいことを特徴とする。
この構成によれば、第2層導電性膜が前記第1層電極と、ほぼ同一高さとなるように、形成しているため、導電性膜の実効膜厚が等しいことから、転送特性が揃うことになり、高精度の対称性を持つ電荷転送電極を得ることができる。
また、本発明の固体撮像素子は、前記第1層導電性膜および第2層導電性膜が、アモルファスシリコンであるものを含む。
この構成によれば、下地の状態に依存することなく、均一な物性をもつ電極を形成することが可能となり、転送特性が揃うことになり、高精度の対称性を持つ電荷転送電極を得ることができる。また、不純物を添加しながらアモルファスシリコン膜を成膜する工程を含むことにより、不純物の注入工程が不要となり、製造が容易で信頼性の高い膜を形成することができる。
また、本発明の固体撮像素子は、前記第1層導電性膜および第2層導電性膜が、多結晶シリコンであるものを含む。
この構成によれば、下地の状態に依存することなく、均一な物性をもつ電極を形成することが可能となり、転送特性が揃うことになり、高精度の対称性を持つ電荷転送電極を得ることができる。また、多結晶シリコン膜を成膜する工程と、成膜のなされた多結晶シリコン膜に不純物を添加する工程とを含むことにより、制御性よく所望の不純物濃度を持つ導電性膜を形成することができる。
また、シリコン系導電性膜を形成する工程が、多結晶シリコン膜を成膜する工程と、成膜のなされた多結晶シリコン膜に不純物を添加する工程とを含むことにより、制御性よく所望の不純物濃度を持つ導電性膜を形成することができる。
以上説明してきたように、本発明の固体撮像素子によれば、第1層電極および第2層電極の実効厚さの揃った単層電極構造の電荷転送電極を得ることができ、また表面が極めて平坦な構造を得ることができるため、高感度かつ微細で信頼性の高い固体撮像素子を形成することができる。
以下本発明の実施の形態について図面を参照しつ説明する。
(実施の形態1)
(実施の形態1)
以下本発明の実施の形態について図面を参照しつ説明する。
図1は固体撮像素子の要部を示す断面図、図2は平面図である。図1は図2のA−A断面である。この固体撮像素子は、図1に示すように、シリコン基板1に形成された前記電荷転送部の電荷転送電極が、第1層電極3aと第2層電極3bとで構成され、これら第1層電極3aと第2層電極3bの実効膜厚が等しくなるように構成されたことを特徴とする。またこの固体撮像素子は、第2層導電性膜としてのドープトアモルファスシリコン層を平坦化する工程が、化学的機械研磨法(CMP)法により平坦化する第1の平坦化工程と、エッチバック法により第1層電極とほぼ同一高さとなるように、エッチングする第2の平坦化工程とで構成され、CMPストッパとなる窒化シリコン膜を除去した後に、表面酸化を行うようにしたことを特徴とする。
図1は固体撮像素子の要部を示す断面図、図2は平面図である。図1は図2のA−A断面である。この固体撮像素子は、図1に示すように、シリコン基板1に形成された前記電荷転送部の電荷転送電極が、第1層電極3aと第2層電極3bとで構成され、これら第1層電極3aと第2層電極3bの実効膜厚が等しくなるように構成されたことを特徴とする。またこの固体撮像素子は、第2層導電性膜としてのドープトアモルファスシリコン層を平坦化する工程が、化学的機械研磨法(CMP)法により平坦化する第1の平坦化工程と、エッチバック法により第1層電極とほぼ同一高さとなるように、エッチングする第2の平坦化工程とで構成され、CMPストッパとなる窒化シリコン膜を除去した後に、表面酸化を行うようにしたことを特徴とする。
この固体撮像素子は、素子分離領域11で分離されたpウェル12に、複数のフォトダイオード30が形成され、フォトダイオードで検出した信号電荷を転送するための電荷転送部40が、フォトダイオード30の間に蛇行形状を呈するように形成される。電荷転送部40によって転送される信号電荷が移動する電荷転送チャネル14は、図2では図示していないが、電荷転送部40が延在する方向と交差する方向に、やはり蛇行形状を呈するように形成される。
またpウェル12の下方には高濃度のp型半導体層からなるオーバードレインバッファ層13が形成されており、電圧を印加することにより、電荷の引き出しができるようになっている。電荷転送部40表面には、実効膜厚が等しい第1層電極3aと第2層電極3bとが電極間絶縁膜としての酸化シリコン4sを介して配列されている。そしてフォトダイオード30は、pウェル12とpn接合を形成するn型不純物領域31と、このn型不純物領域31表面に形成された表面電位調整層32としての高濃度のp型不純物領域とで形成されている。
なお、第1層電極3aおよび第2層電極3b下に形成されるゲート酸化膜2は、前記半導体基板表面に形成された酸化シリコン(SiO)膜からなるボトム酸化膜2aと、前記ボトム酸化膜上に形成される窒化シリコン(SiN)膜2bと、前記窒化シリコン膜上に形成された酸化シリコン(SiO)膜からなるトップ酸化膜2cとを含む積層構造(ONO)膜で構成される。ここでボトム酸化膜2aは膜厚25nm、窒化シリコン膜2bは膜厚50nm、トップ酸化膜2cは膜厚8nmである。
そしてこの第1層電極3aの上層には酸化シリコン膜4p、側壁には酸化シリコン膜4sが形成され、第1の絶縁膜4を構成している。
一方、第2層電極3bの上層には酸化シリコン膜が形成され、第2の絶縁膜5を構成している。
そしてこの上層は、反射防止膜としての窒化シリコン膜6、フォトダイオード30に相当する領域に開口を形成した遮光膜7が設けられており、この上に絶縁膜8が、更にその上にBPSG膜からなる平坦化膜10を介して、カラーフィルタ50、平坦化膜70、マイクロレンズ60が順次積層される。
次に、この固体撮像素子における電荷転送電極の形成工程について、図3(a)乃至(c)乃至図5(a)乃至(c)を用いて説明する。この例ではフォトダイオード領域形成のためのn型不純物領域31、表面電位調整層32としてのp型不純物拡散領域、転送チャネル14としてのn型不純物領域を形成すべく、イオン注入を行った後、ゲート酸化膜およびゲート電極を形成するが、以下の工程では簡略化のために半導体基板内に形成されるフォトダイオード領域および転送チャネルを省略する。
まず、n型のシリコン基板1表面に形成されたpウェル12内に、所望の素子領域を形成した後、熱酸化により膜厚25nmの酸化シリコン膜2aを形成する。ここではHCl/O2=1slm/10slm雰囲気で950℃に加熱することによって酸化を行った。
この後、CVD法により、このボトム酸化膜2a上に膜厚50nmの窒化シリコン膜2bを形成する。ここでは堆積条件はSiH2Cl2/NH3=0.09slm/0.9slm(0.5Torr)雰囲気で780℃とした。
さらに、CVD法により、この窒化シリコン膜2b上にトップ酸化膜2cとして膜厚8nmの酸化シリコン膜を形成し、3層構造のゲート酸化膜を形成する)。ここでCVD条件はSiH4/H2O=0.05slm/2.5slm(1.2Torr)雰囲気で800℃とした。
続いて、このゲート酸化膜2上に、第1層電極3aを形成するためのドープトアモルファスシリコン層を形成する。
すなわち、このゲート酸化膜2上に、PH3とN2とを添加したSiH4を反応性ガスとして用いた減圧CVD法により、膜厚0.3〜0.25μmのリンドープの第1層ドープトアモルファスシリコン膜3aを形成する。このときの基板温度は600〜700℃とする。
すなわち、このゲート酸化膜2上に、PH3とN2とを添加したSiH4を反応性ガスとして用いた減圧CVD法により、膜厚0.3〜0.25μmのリンドープの第1層ドープトアモルファスシリコン膜3aを形成する。このときの基板温度は600〜700℃とする。
続いて、この上層に、熱酸化によりシリコン膜4p、CVD法により窒化シリコン膜Esを順次形成した後、レジストR1を塗布し、第1層電極を形成するためのレジストパターンR1を形成する(図3(a))。この酸化シリコン膜4pおよび窒化シリコン膜Esは第1層電極のパターニングに際してはハードマスクとして高精度パターンの形成に有効に作用し、酸化シリコン膜4pは第1層電極の上部絶縁膜として用いられ、窒化シリコンEsは第2層導電性膜のCMP工程でCMPストッパとして用いられる。
そしてこのレジストパターンR1をマスクとして、窒化シリコン膜Es、酸化シリコン4pをエッチングしパターニングする(図3(b))。
この後、そしてレジストパターンR1を除去し(図3(c))、この窒化シリコン膜と酸化シリコン膜との2層膜からなるハードマスクを得る。そしてこのハードマスクをマスクとして、第1層導電性膜としての第1層ドープトアモルファスシリコン膜をエッチングし第1層電極3aを形成する(図3(d))。このとき、HBrとO2との混合ガスを用いた反応性イオンエッチングによりこのマスクパターンをマスクとし、ゲート酸化膜2の窒化シリコン膜2bをエッチングストッパとして第1層ドープトアモルファスシリコン膜3aを選択的にエッチング除去し、第1の電極および周辺回路の配線を形成する。ここではECR(電子サイクロトロン共鳴:Electron Cyclotron Resonance)方式あるいはICP(誘導結合Inductively Coupled Plasma)方式などのエッチング装置を用いるのが望ましい。なお、周辺回路の配線は第1層導電性膜で形成したが、第2層導電性膜としての第2層ドープトアモルファスシリコン膜で形成してもよい。
そして、熱酸化法によりこの第1層電極3aの側壁に酸化シリコン膜4sを形成する。このとき第1層電極3上および基板表面は窒化シリコン膜Es,2bで覆われているため酸化膜はほとんど形成されない(図4(a))。このとき酸化シリコン膜は850℃の酸素雰囲気中で30分間加熱することによって成膜する。
そして、この上に、PH3とN2とを添加したSiH4を反応性ガスとして用いた減圧CVD法により、第2層導電性膜3bとして、膜厚0.4μmのリンドープの第2層ドープトアモルファスシリコン膜を形成する(図4(b))。このときの基板温度は600〜700℃とする。
そして、この窒化シリコン膜EsをCMPストッパとして、CMPを行い、表面を平坦化する(図4(c))。
さらに、この窒化シリコン膜Esをマスクとして、この窒化シリコン膜Esの膜厚分だけ第2層導電性膜3bをエッチバックする(図4(d))。
続いて、この上層にフォトリソグラフィにより、レジストパターンR2を形成し(図5(a))、これをマスクとして第2層ドープトアモルファスシリコン膜3bをパターニングし第2層電極3bを形成する(図5(b))。
そして、レジストパターンR2を除去した後、窒化シリコン膜Esを除去し、この第1層電極3a上、第2層電極3b上を含む基板表面全体に熱酸化し、酸化シリコン膜4および5で被覆する(図5(c))。このとき酸化シリコン膜は850℃の酸素雰囲気中で30分間成膜することによって形成される。
そしてこの上層に反射防止膜6として窒化シリコン膜を形成し、フォトダイオード領域を覆うようにパターニングする。そしてさらにTEOS膜(図示せず)を形成し、密着性層としてのTiN(図示せず)を介して遮光膜7としてのタングステン膜を形成し、レジストパターンをマスクとして(遮光膜7のパターンを絶縁膜と共にパターニングする)。
このようにして形成された遮光膜7上に酸化シリコン膜8を介して、膜厚700nmのBPSG膜を形成し、850℃でリフローし平坦化して平坦化膜10を形成する。
そして最後に、フィルタ層50、平坦化層70、レンズ60を形成し図1に示した固体撮像素子が形成される。
このようにして形成された固体撮像素子によれば、第2層導電性膜を、CMP法と、エッチバック法とにより、第2層導電性膜が前記第1層電極と、ほぼ同一高さとなるように、平坦化し、第2層電極を形成しているため、導電性膜の実効膜厚が等しいことから、転送特性が揃うことになり、高精度の対称性を持つ電荷転送電極を得ることができる。
また、第1層電極のパターニングが、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との2層膜からなるハードマスクをマスクとしてパターニングされるため、高精度のパターニングが可能となり、また、ハードマスクとして用いたこの窒化シリコン膜ストッパとしてCMPを行うようにしているため、高精度のCMPが実現され、窒化シリコン膜が露呈するぎりぎりの厚さまでCMPを行うことができる。このため、残りのエッチング時間が短くなり、その結果処理の高速化が可能となる。
(実施の形態2)
前記実施の形態1では、CMPストッパとなる窒化シリコン膜Esを残した状態で、第2層導電性膜をパターニングしたが、窒化シリコン膜Esを除去した後、同様に、第2層導電性膜をパターニングしてもよい。
すなわち、図4(c)の工程までは実施の形態1と同様に形成し、窒化シリコン膜Esをマスクとして、第2層導電性膜が前記第1層電極と、ほぼ同一高さとなるように、この窒化シリコン膜Esの膜厚分だけエッチングした後、図6(a)に示すように、CMPストッパとして用いた窒化シリコン膜Esをエッチング除去する。
前記実施の形態1では、CMPストッパとなる窒化シリコン膜Esを残した状態で、第2層導電性膜をパターニングしたが、窒化シリコン膜Esを除去した後、同様に、第2層導電性膜をパターニングしてもよい。
すなわち、図4(c)の工程までは実施の形態1と同様に形成し、窒化シリコン膜Esをマスクとして、第2層導電性膜が前記第1層電極と、ほぼ同一高さとなるように、この窒化シリコン膜Esの膜厚分だけエッチングした後、図6(a)に示すように、CMPストッパとして用いた窒化シリコン膜Esをエッチング除去する。
続いて、この上層にフォトリソグラフィにより、レジストパターンR2を形成し(図6(b))、これをマスクとして第2層ドープトアモルファスシリコン膜3bをパターニングし第2層電極3bを形成する。
そして、レジストパターンR2を除去した後、この第1層電極3a上、第2層電極3b上を含む基板表面全体に熱酸化し、酸化シリコン膜4および5で被覆する(図6(c))。このとき酸化シリコン膜は850℃の酸素雰囲気中で30分間成膜することによって形成される。
後は、前記実施の形態1と同様に形成する。
(実施の形態3)
前記実施の形態1、2では、CMPストッパとして窒化シリコン膜Esを用いたが、本実施の形態ではCMPストッパを用いることなく、第1層電極3aが十分に覆われる程度の深さまで第2層導電性膜をCMPにより除去し、この後第2の平坦化工程では、第1の絶縁膜に対して十分なエッチング選択比を持つような条件で第1層電極3aの上端と同程度となるように、第2の導電性膜をエッチングするようにしたことを特徴とする。
前記実施の形態1、2では、CMPストッパとして窒化シリコン膜Esを用いたが、本実施の形態ではCMPストッパを用いることなく、第1層電極3aが十分に覆われる程度の深さまで第2層導電性膜をCMPにより除去し、この後第2の平坦化工程では、第1の絶縁膜に対して十分なエッチング選択比を持つような条件で第1層電極3aの上端と同程度となるように、第2の導電性膜をエッチングするようにしたことを特徴とする。
すなわち、第1層電極のパターニング工程までは前記実施の形態1と同様に行い、図4(a)に示したように、第1層電極の周りに絶縁膜を形成した後、窒化シリコン膜Esをエッチング除去し、この後第2層導電性膜3bを形成する。
すなわち、第1層電極3a上に、PH3とN2とを添加したSiH4を反応性ガスとして用いた減圧CVD法により、第2層導電性膜3bとして、膜厚0.4μmのリンドープの第2層ドープトアモルファスシリコン膜を形成する(図6(a))。このときの基板温度は同様に600〜700℃とする。
そして、第1層電極3aが十分に覆われる程度の深さまで第2層導電性膜をCMPにより除去し、表面を平坦化する(図6(b))。
さらに、エッチング終点を検出しながら、第1層電極3aの上端と同程度となるように、第2の導電性膜をエッチングする(図6(c))。
続いて、この上層にフォトリソグラフィにより、レジストパターンR2を形成し(図6(d))、これをマスクとして第2層ドープトアモルファスシリコン膜3bをパターニングし第2層電極3bを形成する。
そして、レジストパターンR2を除去した後、この第1層電極3a上、第2層電極3b上を含む基板表面全体に熱酸化し、酸化シリコン膜4および5で被覆する(図6(e)))。このとき酸化シリコン膜は850℃の酸素雰囲気中で30分間加熱することによって成膜される。
このようにして、特性の揃った電荷転送電極をもつ固体撮像素子を提供することが可能となる。
このようにして、特性の揃った電荷転送電極をもつ固体撮像素子を提供することが可能となる。
以上説明してきたように、本発明の固体撮像素子によれば、第1層電極および第2層電極の実効厚さの揃った単層電極構造の電荷転送電極を得ることができ、また表面が極めて平坦な構造を得ることができるため、高感度かつ微細で信頼性の高い電極を形成することができることから、微細な電荷転送電極を持つ固体撮像素子に有効であり高画素化が期待できる。
1 シリコン基板
2a ボトム酸化膜
2b 窒化シリコン膜
2c トップ酸化膜
3a 第1層電極
3b 第2層電極
4 絶縁膜
5 絶縁膜
6 反射防止膜
7 遮光膜
8 酸化シリコン膜
10 平坦化膜
30 フォトダイオード
40 電荷転送部
50 フィルタ
60 レンズ
70 平坦化膜
2a ボトム酸化膜
2b 窒化シリコン膜
2c トップ酸化膜
3a 第1層電極
3b 第2層電極
4 絶縁膜
5 絶縁膜
6 反射防止膜
7 遮光膜
8 酸化シリコン膜
10 平坦化膜
30 フォトダイオード
40 電荷転送部
50 フィルタ
60 レンズ
70 平坦化膜
Claims (14)
- 光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する単層構造の電荷転送電極を備えた電荷転送部とを具備した固体撮像素子の製造方法において、
前記電荷転送電極の形成工程が、
ゲート酸化膜の形成された、半導体基板表面に、第1層導電性膜を形成し、これをパターニングすることにより第1層電極を形成する工程と、
前記第1層電極のまわりに第1の絶縁膜を形成する工程と、
第2層導電性膜を形成する工程と、
前記第2層導電性膜を、化学的機械研磨法(CMP)法により平坦化する第1の平坦化工程と、
エッチバック法により、前記第1層電極とほぼ同一高さとなるように、前記第2層導電性膜をエッチングする第2の平坦化工程と、
前記第2層導電性膜をパターニングし、第2層電極を形成する工程と、
前記第2層電極を覆うように第2の絶縁膜を形成する工程とを含む固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
第1層電極を形成する工程は、
第1層導電性膜を形成する工程と、
前記第1層導電性膜上に、前記第1の絶縁膜の一部を構成する、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜とを順次積層する工程と、
前記窒化シリコン膜および前記酸化シリコン膜とをパターニングし、これをマスクとして第1層導電性膜をパターニングする工程を含む、固体撮像素子の製造方法。 - 請求項2に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記第1の平坦化工程は、前記窒化シリコン膜をストッパとしてCMPを行う工程を含む固体撮像素子の製造方法。 - 請求項3に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記第2の平坦化工程は、前記窒化シリコン膜をマスクとして、前記第1層電極の上端と同程度となるように、前記窒化シリコン膜の膜厚程度、第2層導電性膜をエッチングする工程である固体撮像素子の製造方法。 - 請求項3に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記第2の平坦化工程は、エッチング深さを制御しながら、前記第1層電極の上端と同程度となるように、第2層導電性膜をエッチングする工程である固体撮像素子の製造方法。 - 請求項2または5に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記第2の導電性膜の形成工程に先立ち、前記窒化シリコン膜を除去する工程を含む固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記第1の平坦化工程は、前記第1層電極が十分に覆われる程度の深さまで第2層導電性膜をCMPにより除去する工程であり、
前記第2の平坦化工程は、前記第1の絶縁膜に対して十分なエッチング選択比を持つような条件で前記第1層電極の上端と同程度となるように、前記第2の導電性膜をエッチングする工程を含む固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記第2層電極を形成する工程は、前記第2の平坦化工程の後に、フォトリソグラフィにより前記第2層導電性膜をパターニングする工程を含む固体撮像素子の製造方法。 - 請求項8に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記第2層電極を形成する工程は、窒化シリコン膜を除去した後、フォトリソグラフィにより前記第2層導電性膜をパターニングする工程を含む固体撮像素子の製造方法。 - 請求項8に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記第2層電極を形成する工程は、フォトリソグラフィにより前記第2層導電性膜をパターニングする工程の後に、窒化シリコン膜を除去する工程を含む固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記第1層および第2層導電性膜はシリコン系導電性膜である固体撮像素子の製造方法。 - 光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する単層構造の電荷転送電極を備えた電荷転送部とを具備した固体撮像素子において、
前記電荷転送電極が、
第1層導電性膜からなる第1層電極と、
前記第1の電極と第1の絶縁膜を介して並置された第2層導電性膜からなる第2層電極とを具備し、前記第1層導電性膜の上端と前記第2層導電性膜の上端のレベルが等しいことを特徴とする固体撮像素子。 - 請求項12に記載の固体撮像素子であって、
前記第1層導電性膜および第2層導電性膜は、アモルファスシリコンである固体撮像素子。 - 請求項12に記載の固体撮像素子であって、
前記第1層導電性膜および第2層導電性膜は、多結晶シリコンである固体撮像素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005095251A JP2006278690A (ja) | 2005-03-29 | 2005-03-29 | 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005095251A JP2006278690A (ja) | 2005-03-29 | 2005-03-29 | 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子 |
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JP2006278690A true JP2006278690A (ja) | 2006-10-12 |
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ID=37213137
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JP2005095251A Pending JP2006278690A (ja) | 2005-03-29 | 2005-03-29 | 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子 |
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JP (1) | JP2006278690A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100901055B1 (ko) | 2007-11-27 | 2009-06-04 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지센서의 제조방법 |
-
2005
- 2005-03-29 JP JP2005095251A patent/JP2006278690A/ja active Pending
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