JP4700711B2 - 光学素子の表面平滑化方法 - Google Patents
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Description
2 光学素子
11 チャンバ
13 ステージ
15 光学フィルター
16 ポンプ
17 圧力センサ
18 バタフライバルブ
23 供給管
41 凹部
42 凸部
43 先鋭化部分
Claims (5)
- 原料ガス雰囲気中に光学素子を配置し、
上記原料ガスを構成するガス分子の吸収端波長以上の太陽光のみを光学フィルターにより透過させ、
上記光学フィルターの透過光を上記光学素子に照射することにより、上記光学素子表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて上記原料ガスを解離させてエッチングすること
を特徴とする光学素子の表面平滑化方法。 - 塩素系ガスからなる原料ガス雰囲気中に光学素子を配置し、
上記光学フィルターにより上記塩素系ガスを構成するガス分子の吸収端波長以上のみ透過させること
を特徴とする請求項1記載の光学素子の表面平滑化方法。 - 光の回折限界以下のピッチで上記凹凸が形成された光学素子を上記原料ガス雰囲気中に配置すること
を特徴とする請求項1又は2記載の光学素子の表面平滑化方法。 - 請求項1〜3のうち何れか1項に記載の光学素子の表面平滑化方法の工程を有すること
を特徴とする光学素子の作製方法。 - 原料ガス雰囲気中に光学素子を配置し、
太陽光を上記光学素子に照射することにより、上記光学素子表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて上記原料ガスを解離させてエッチングすること
を特徴とする光学素子の表面平滑化方法。
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