JP2011144052A - 表面平坦化方法、光学素子の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】原料ガス雰囲気中に光学素子2を配置し、原料ガスのガス分子の吸収端波長よりも長波長からなる光を光学素子2に照射することにより、当該光学素子2表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて上記原料ガスを解離させて上記角部をエッチングし、更にエッチング中に光学素子2表面に対して表面粗さ計測用のレーザ光を照射し、そのレーザ光が光学素子2表面で散乱された散乱光の強度を測定し、測定した散乱光強度に基づいて角部へのエッチングによる表面粗さを計測する。
【選択図】図2
Description
2 光学素子
11 チャンバ
13 ステージ
15 窓
16 ポンプ
17 圧力センサ
18 バタフライバルブ
23 供給管
24 表面粗さ計測部
41 凹部
42 凸部
43 先鋭化部分
61 第1のアンプ
62 ロックインアンプ
63 PC
64 第2のアンプ
65 半導体レーザ
66 偏光素子
67 ビームスプリッタ
68 第1の受光素子
69 フィルタ
70 光チョッパー
71 光路変換ミラー
72 チョッパーコントローラー
73 レンズ
74 偏光素子
79 レンズ群
95 ガスバルブ
Claims (8)
- 原料ガス雰囲気中に光学素子を配置し、
上記原料ガスのガス分子の吸収端波長よりも長波長からなる光を上記光学素子に照射することにより、当該光学素子表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて上記原料ガスを解離させて上記角部をエッチングし、
更に上記エッチング中に上記光学素子表面に対して表面粗さ計測用のレーザ光を照射し、上記レーザ光が上記光学素子表面で散乱された散乱光の強度を測定し、測定した散乱光強度に基づいて上記角部へのエッチングによる表面粗さを計測すること
を特徴とする表面平坦化方法。 - 計測した表面粗さに基づいて、上記照射する光の光量、上記原料ガスの供給量の何れか1以上を制御すること
を特徴とする請求項1記載の表面平坦化方法。 - 上記光学素子表面に対してP偏光からなる上記レーザ光を照射し、上記レーザ光が上記光学素子表面で散乱された散乱光におけるS偏光の強度を測定し、測定したS偏光の散乱光強度に基づいて上記角部へのエッチングによる表面粗さを計測すること
を特徴とする請求項1又は2記載の表面平坦化方法。 - 上記原料ガスを構成するガス分子の吸収端波長よりも長波長の上記レーザ光を照射すること
を特徴とする請求項1〜3のうち何れか1項記載の表面平坦化方法。 - 光学素子表面に形成された凹凸を平坦化する工程を有する光学素子の作製方法において、
原料ガス雰囲気中に光学素子を配置し、
上記原料ガスのガス分子の吸収端波長よりも長波長からなる光を上記光学素子に照射することにより、当該光学素子表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて上記原料ガスを解離させて上記角部をエッチングし、
更に上記エッチング中に上記光学素子表面に対して表面粗さ計測用のレーザ光を照射し、上記レーザ光が上記光学素子表面で散乱された散乱光の強度を測定し、測定した散乱光強度に基づいて上記角部へのエッチングによる表面粗さを計測すること
を特徴とする光学素子の作製方法。 - 計測した表面粗さに基づいて、上記照射する光の光量、上記原料ガスの供給量の何れか1以上を制御すること
を特徴とする請求項5記載の光学素子の作製方法。 - 光学素子が設置され、原料ガス雰囲気とされたチャンバと、
上記原料ガスのガス分子の吸収端波長よりも長波長からなる光を上記光学素子に照射することにより、当該光学素子表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて上記原料ガスを解離させて上記角部をエッチングする光源と、
上記エッチング中に上記光学素子表面に対して表面粗さ計測用のレーザ光を照射する粗さ計測用光出射手段と、
上記レーザ光が上記光学素子表面で散乱された散乱光の強度を測定し、測定した散乱光強度に基づいて上記角部へのエッチングによる表面粗さを計測する粗さ計測手段とを備えること
を特徴とする表面平坦化処理システム。 - 上記粗さ計測手段により計測された表面粗さに基づいて、上記照射する光の光量、上記原料ガスの供給量の何れか1以上を制御する制御手段を更に備えること
を特徴とする請求項7記載の表面平坦化処理システム。
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JP2010003796A JP2011144052A (ja) | 2010-01-12 | 2010-01-12 | 表面平坦化方法、光学素子の作製方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017168789A (ja) * | 2016-03-18 | 2017-09-21 | 特定非営利活動法人ナノフォトニクス工学推進機構 | 平坦化方法及びシステム |
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2010
- 2010-01-12 JP JP2010003796A patent/JP2011144052A/ja not_active Ceased
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