JP4700692B2 - 被エッチング材の製造方法 - Google Patents
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Description
図3には第1の実施形態のドライエッチングに用いるエッチング用マスク(以下、単にマスクともいう)M1が示される。図3は、エッチング処理される対象物側から見たマスクM1の概略平面図である。マスクM1は、エッチングすべき面を露出せしめる開口部10とエッチングすべき面以外を覆う非開口部20とからなる。
図7には第2の実施形態のドライエッチングに用いるエッチング用マスク(以下、単にマスクともいう)M2が示される。図7は、エッチング処理される対象物側から見たマスクM2の概略平面図である。マスクM2は、エッチングすべき面を露出せしめる開口部10とエッチングすべき面以外を覆う非開口部20とからなる。
第3の実施形態では第1の実施形態、第2の実施形態と異なり、第一のエッチング工程と第二のエッチング工程とで異なるマスクを用いる。
上記第1〜第3の実施形態を用いて、エッチング精度の向上を図ることができる。
上記実施形態において、マスクはドライエッチング用マスクを用いたがこれに限られることがなく適宜選択して用いることができる。例えばマスクはニッケルやSUS(ステンレス)などの金属のような導電体でも、樹脂やセラミックのような絶縁体であってもよい。から構成してもよい。また、シャープなエッジを出すためには、できる限り薄い方が好ましく(理想的には1mm以下)、また基板とマスク間の距離はできる限り接近していた方(1mm以下)が好ましい。
Claims (4)
- エッチング対象材のエッチング領域に対応する領域が開口し、エッチングされない未エッチング領域に対応する領域が非開口とされるエッチング用マスクを用い、大気圧プラズマによって、前記開口した領域を通じてエッチング対象材がエッチングされることによって製造される被エッチング材の製造方法であって、
用いられる大気圧プラズマの反応領域は、被エッチング材の全エッチング領域よりも狭く、また、大気圧プラズマと被エッチング材の何れか一方または双方を走査させることによりエッチングを行い、
前記エッチングは、少なくとも第一のエッチング工程と、前記第一のエッチング工程後になされる第二のエッチング工程と、を含み、
前記第二のエッチング工程は、前記第一のエッチング工程による未エッチング領域を含んでエッチングする工程であり、
少なくとも前記第一のエッチング工程と前記第二のエッチング工程に用いるエッチング用マスクは両エッチング工程において兼用され、
第一のエッチング工程後に、エッチング対象材表面と前記エッチング用マスクの位置関係を相対的に変更し、
前記変更によって、前記エッチング用マスクの前記開口した領域を前記第一のエッチング工程によってエッチングされていない領域とエッチングされた領域を含んで対応させた後、前記第二のエッチング工程を行うことにより、
前記第一のエッチング工程と前記第二のエッチング工程によって、仮想的なエッチング用マスクによってエッチングされた状態と同一の未エッチング領域をその表面に形成し、
前記エッチング用マスクのエッチング対象材を覆う側に凹み部を有し、
エッチングの走査方向と、当該走査方向と反対側のマスクエッジのなす角度が45°以下である被エッチング材の製造方法。 - 請求項1に記載の被エッチング材の製造方法であって、
さらに、
前記第一のエッチング工程後であって前記第二のエッチング工程前について、
前記第一のエッチング工程によってエッチング対象材のエッチングされる予定であった予定領域と第一のエッチング工程によって実際にエッチングされたエッチング対象材の表面とを比較する比較工程と、
前記比較に基づいて、前記予定領域であって前記第一のエッチング工程によってエッチングされていない予定外未エッチング領域を判定する予定外未エッチング領域判定工程とを含み、
前記第二のエッチング工程によるエッチングは前記予定外未エッチング領域を含む被エッチング材の製造方法。 - 請求項1または2に記載の被エッチング材の製造方法であって、
前記第一のエッチング工程および第二のエッチング工程ともにエッチングされない表面が、前記第一のエッチング工程と第二のエッチング工程のうち少なくとも一方によってエッチングされた表面にその周囲が取り囲まれた状態となるように第一のエッチング工程と第二のエッチング工程を行う被エッチング材の製造方法。 - 請求項1または2に記載の被エッチング材の製造方法であって、
前記被エッチング材が有機EL素子の構成部材として用いられる被エッチング材の製造方法。
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KR20140140418A (ko) * | 2013-05-29 | 2014-12-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 에칭 장치 및 유기층 에칭 방법 |
CN112885781B (zh) * | 2019-11-29 | 2022-06-24 | 长鑫存储技术有限公司 | 有源区的制备方法及半导体器件 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08206866A (ja) * | 1994-09-22 | 1996-08-13 | Ebara Corp | エネルギービーム加工法及びエネルギービーム加工装置 |
JP2004006930A (ja) * | 2003-07-07 | 2004-01-08 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2004127726A (ja) * | 2002-10-03 | 2004-04-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 有機el素子の製造方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4301237A (en) * | 1979-07-12 | 1981-11-17 | Western Electric Co., Inc. | Method for exposing substrates to X-rays |
US4260670A (en) * | 1979-07-12 | 1981-04-07 | Western Electric Company, Inc. | X-ray mask |
US5249520A (en) * | 1991-06-07 | 1993-10-05 | International Business Machines Corporation | Mask shock absorber pad |
JP3394602B2 (ja) * | 1993-07-05 | 2003-04-07 | 株式会社荏原製作所 | 高速原子線を用いた加工方法 |
US5770123A (en) * | 1994-09-22 | 1998-06-23 | Ebara Corporation | Method and apparatus for energy beam machining |
EP0732624B1 (en) * | 1995-03-17 | 2001-10-10 | Ebara Corporation | Fabrication method with energy beam |
US5852298A (en) * | 1995-03-30 | 1998-12-22 | Ebara Corporation | Micro-processing apparatus and method therefor |
JP3464320B2 (ja) * | 1995-08-02 | 2003-11-10 | 株式会社荏原製作所 | 高速原子線を用いた加工方法及び加工装置 |
US6835317B2 (en) * | 1997-11-04 | 2004-12-28 | Ebara Corporation | Method of making substrate with micro-protrusions or micro-cavities |
US6214631B1 (en) * | 1998-10-30 | 2001-04-10 | The Trustees Of Princeton University | Method for patterning light emitting devices incorporating a movable mask |
US6316289B1 (en) * | 1998-11-12 | 2001-11-13 | Amerasia International Technology Inc. | Method of forming fine-pitch interconnections employing a standoff mask |
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US7344928B2 (en) * | 2005-07-28 | 2008-03-18 | Palo Alto Research Center Incorporated | Patterned-print thin-film transistors with top gate geometry |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08206866A (ja) * | 1994-09-22 | 1996-08-13 | Ebara Corp | エネルギービーム加工法及びエネルギービーム加工装置 |
JP2004127726A (ja) * | 2002-10-03 | 2004-04-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 有機el素子の製造方法 |
JP2004006930A (ja) * | 2003-07-07 | 2004-01-08 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
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