JP4690841B2 - 表面検査装置 - Google Patents
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Description
「レーザ計測ハンドブック」丸善株式会社 平成5年9月25日発行 第459頁
図1は、実施例1に係る表面検査装置11の構成を示すブロック図である。この表面検査装置11は、パルス光12を照射するパルス光照射手段13、パルス光12を検査対象14に集光させ照射する集光手段15、集光されたパルス光12が検査対象14の表面欠陥16に照射された場合に発生する回折光17から、パルス光12と同一の波長を観測波長として選択する観測波長選択手段18、さらに、この観測波の中からパルス光12と同期した発光タイミングで同一の発光時間だけ通過させる観測時間選択手段19、この観測時間選択手段19から出力される回折光を検出する検出手段20、この検出手段20の出力から表面欠陥21の有無や種別を判定する判定手段21を1系統以上具備している。
図2は本発明の実施例2に係る表面検査装置11Aの構成を示すブロック図である。この表面検査装置11Aは、上記実施例1に係る表面検査装置11に、上記パルス光照射手段13に代る波長可変パルス光照射手段22、検査対象14へ集光されたパルス光12の正反射光を抽出して検査対象14へ集光されるパルス光12の共焦点を生成する図2中上下一対の第1,第2共焦点生成手段23a,23b、共焦点位置における正反射光の形状を計測する形状計測手段24、計測された正反射光の形状から検査対象14へ集光されるパルス光12の集光径を求める形状・集光径変換演算手段25、集光手段15をその焦点方向に走査する走査手段26、共焦点法に従い、検査対象14へ集光されるパルス光12の集光径が最小になる場合の集光手段15の位置からパルス光12が照射される位置の検査対象14の高さを求める形状演算手段27を設けることにより構成されている。
図3は本発明の実施例3に係る表面検査装置11Bの構成を示すブロック図である。この表面検査装置11Bは、上記実施例2に係る表面検査装置11Aにおいて、波長分離手段28と第2の集光手段29を設ける一方、形状計測手段24を第1,第2強度計測手段30a,30bに置換し、また、可変パルス光照射手段22を多波長パルス光照射手段31に置換し、さらに、形状・集光径変換演算手段25を強度・集光径変換演算手段32に置換した点に特徴がある。
12 パルス光
13 パルス光照射手段
14 検査対象
15 集光手段
16 表面欠陥
17 回折光
18 観測波長選択手段
19 観測時間選択手段
20 検出手段
21 判定手段
22 波長可変パルス光照射手段
23a,23b 第1,第2共焦点生成手段
24 形状計測手段
25 形状・集光径変換演算手段
26 走査手段
27 形状演算手段
28 波長分離手段
30a,30b 第1,第2強度計測手段
31 多波長パルス光照射手段
32 強度・集光径変換演算手段
Claims (5)
- パルス光を照射するパルス幅調整可能のパルス光照射手段と、
前記パルス光を検査対象の表面に集光する集光手段と、
この集光手段により集光されたパルス光が検査対象の表面欠陥に照射された場合に発生する回折光の中で前記パルス光と同一波長を観測波長として選択する観測波長選択手段と、
この観測波長選択手段により選択された観測波長の回折光を前記パルス光と同期した発光タイミングで同一の発光時間だけ通過させる観測時間選択手段と、
この観測時間選択手段により選択された観測時間回折光を検出する検出手段と、
この検出手段からの検出出力に基づいて前記検査対象の表面欠陥を判定する判定手段と、
前記検査対象へ集光されたパルス光の正反射光を抽出して検査対象へ集光されるパルス光の共焦点を生成する共焦点生成手段と、
前記共焦点位置における正反射光のビーム像の画像を計測する形状計測手段と、
この形状計測手段により計測された正反射光の形状から検査対象へ集光されるパルス光の集光径を求める形状・集光径変換演算手段と、
を具備することを特徴とする表面検査装置。 - 前記請求項1記載の表面検査装置において、
前記パルス光照射手段は、前記パルス光の波長変換が可能の波長可変パルス光照射手段に置換されていることを特徴とする表面検査装置。 - 前記請求項1記載の表面検査装置において、
前記パルス光照射手段に代えて、複数の波長のパルス光を照射する多波長パルス光照射手段と、
この多波長パルス光照射手段からの複数波長のパルス光から特定波長のパルス光を分離して前記集光手段に与える波長分離手段と、
を設けていることを特徴とする表面検査装置。 - 前記請求項1記載の表面検査装置において、
前記集光手段をその焦点方向に走査する走査手段と、
共焦点法に従い、検査対象へ集光されるパルス光の集光径が最小になる前記集光手段の位置からパルス光が照射される位置の検査対象の高さを求める形状演算手段と、
を有することを特徴とする表面検査装置。 - 前記請求項4記載の表面検査装置において、
前記形状計測手段に代えて、前記共焦点位置に設置されたピンホールを通過した正反射光の強度を計測する強度計測手段を設け、
前記形状・集光径変換演算手段に代えて、計測された正反射光の強度から検査対象へ集光されるパルス光の集光径を求める強度・集光径変換演算手段と、
を設けたことを特徴とする表面検査装置。
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