JP4834363B2 - 表面検査装置 - Google Patents
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Description
図1〜図3は、本発明に係る表面検査装置の第1実施形態を示すものである。
本発明に係る表面検査装置の第2実施形態を図4に基づいて説明する。なお、第1実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
本発明に係る表面検査装置の第3実施形態を図5に基づいて説明する。なお、実施例1および2と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
2、2A、2B 照射光走査光学系
3、3A、3B 検出光走査光学系
4 光源
5、5B 照射手段
6、10 光学素子
7、9、12、27 光学レンズ
8、8B 受光手段
11、11A、11B 開口手段
13 ピンホールプレート
14、14B 検出手段
15 取出手段
16 位置検出手段
17 演算手段
18 位置調整手段
19、19A 形状演算手段
20 垂直方向走査手段
21、25 1/2波長板
22、24 偏光ビームスプリッタ
23 1/4波長板
26、26A、26B 形状検出手段
28 撮像素子
29 判定手段
30 均一化手段
31、32 アレイレンズ
33 変調手段
34 シャッタ手段
D 検査対象面
Claims (6)
- 検査対象の表面検査を行うための検査光を発光する光源と、
前記検査光を検査対象物に照射する照射手段と、
検査対象物の検査部位から反射する検査光を受光する受光手段と、
前記受光手段の共焦点を生成し、この共焦点位置に開口を設置した開口手段およびこの開口手段を通過した検査光を検出する検出手段を備え、前記共焦点位置における検査光の形状を計測する形状検出手段と、
前記開口手段を通過する検査光の開口に対する光軸ずれ量を求めるために前記受光手段からの検査光を取り出す取出手段と、
前記取出手段から取り出された検査光の光軸位置を検出する位置検出手段と、
光軸位置から光軸ずれ量を求める演算手段と、
光軸ずれ量に従って前記開口手段の位置を変えて開口を光軸に一致させる位置調整手段と、
前記受光手段を走査する走査手段と、
前記受光手段を走査して計測される検査光の形状から検査部位の表面形状を求める形状演算手段と、
検査光の形状から計測安定性を判定する判定手段と
を備えたことを特徴とする表面検査装置。 - 前記照射手段と前記受光手段とが同一の構成である請求項1記載の表面検査装置。
- 前記開口手段が光学レンズとピンホールとから構成される請求項1または2記載の表面検査装置。
- 前記照射手段が検査光のビーム強度分布を均一化する均一化手段を備えた請求項1〜3のいずれか一項記載の表面検査装置。
- 前記照射手段と前記受光手段と前記開口手段とが、複数の光学レンズをアレイ状に構成した光学素子であるアレイレンズを備えた請求項1〜4のいずれか一項記載の表面検査装置。
- 前記照射手段が検査光をパルス光に変調する変調手段を備えるとともに、前記検出手段に一定時間の間に限定して検査光の強度あるいは形状を得るためのシャッタ手段を備えた請求項1〜5のいずれか一項記載の表面検査装置。
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