JP4690817B2 - 薄膜バルク音響共振器の製造方法 - Google Patents

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本発明は、圧電体膜を下部電極および上部電極により挟んで形成された共振部が支持基板上に支持された構造を有する薄膜バルク音響共振器の製造方法に関する。
AlN系化合物半導体は、膜中での信号伝達速度に関わる音速が10.4km/secと非常に早いので、薄膜バルク音響共振器(FBAR)を構成して移動体通信用の高周波部品、特に不要な周波数を除去し、所望の周波数のみを通過させるフィルタ部品として広く用いられる。
また、圧電体として知られるAlN系化合物半導体膜を高周波フィルタとして用いる際に、AlN系化合物半導体膜の結晶性がフィルタ内の信号伝達ロスと関係があり、結晶性の良い膜では信号伝達ロスを低減できることが一般的に知られている。
AlN系化合物半導体膜は、格子整合する基板がなく、基板上にAlN系化合物半導体膜を結晶成長させた場合、格子不整合及び熱膨張係数の違いにより、AlN系化合物半導体膜に転移と熱歪みが生じ、結晶性の良好な窒化物半導体膜を形成することは困難である。そのため、結晶性の良好な圧電体膜を得るために、まず、約10%程度の格子不整合があるサファイア基板上にGaN系化合物半導体膜を形成し、そのGaN系化合物半導体膜上にAlN系化合物半導体膜を結晶成長させることが知られている。
FBARを用いたフィルタは、圧電体膜(AlN系化合物半導体膜)を金属膜で挟んだキャパシタ構造であるため、下部電極上に圧電体膜を形成する必要がある。しかしながら、結晶性の良い窒化物半導体膜を形成するには、1000℃以上の高温が必要であり、1000℃以下の温度で形成した膜の結晶性は劣化する。そのためフィルタとして下部電極上に窒化物半導体膜を形成するには、下部電極として、1000℃以上の温度に耐える金属膜を選択する必要があるが、実用的な金属では困難である。
この問題を解決するために、例えば特許文献1に記載のような方法が知られている。すなわち、まず、サファイア基板上にGaN系化合物半導体膜と圧電体膜を積層形成し、圧電膜上に下部電極をパターニングし、共振部に空洞を設けた別基板と貼り合せる。その後、レーザリフトオフ工法を用い、レーザ照射によりサファイア基板上とGaN系化合物半導体膜の界面を分離してサファイア基板を除去する。更に、GaN系化合物半導体膜をエッチング等で除去することにより、圧電体膜を露出させ、圧電体膜上に上部電極を形成する。このような方法によれば、圧電体膜を成膜した後に上部電極および下部電極を形成することになるので、電極の金属を考慮することなく、高温で圧電体膜を成膜して結晶性の膜を得ることができる。
特開2000−31552号公報(段落0010〜0011)
しかしながら、レーザリフトオフ工法によりサファイア基板を除去すると、露出したGaN系化合物半導体の表面は非常に粗くなる。その後エッチングによりGaN系化合物半導体を除去しても、除去前のGaN系化合物半導体の表面の凹凸が反映され、圧電体膜の表面も粗面になっている。FBARは、膜厚により共振周波数が決定されるため、粗い表面の膜厚分布により局所的に共振周波数が乱れ、フィルタの特性を劣化させるという問題があった。
本発明は、圧電体膜を結晶成長させるための下地である半導体膜を除去した後の、上部電極が形成される圧電体膜の表面の平坦度が向上し、安定した共振特性を得ることが可能な薄膜バルク音響共振器の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の薄膜バルク音響共振器の製造方法は、圧電体膜を下部電極および上部電極により挟んで形成された共振器が、前記下部電極側に設けられた第1金属膜と支持基板上に設けられた第2金属膜の接合を介して、前記支持基板上に中空構造を形成して支持された薄膜バルク音響共振器を製造する方法である。
上記課題を解決するために本発明の製造方法は、結晶成長用基板上に半導体膜を結晶成長させる工程と、前記半導体膜上に前記圧電体膜を結晶成長させる工程と、前記圧電体膜上に前記下部電極を形成する工程と、前記下部電極上に前記第1金属膜を形成する工程と、前記支持基板上に前記第2金属膜を形成する工程と、前記第1金属膜と前記第2金属膜を互いに接合させることにより、前記結晶成長用基板と前記支持基板とを結合させる工程と、前記結晶成長用基板の裏面から、前記結晶成長用基板では吸収されず前記半導体膜で吸収される波長のレーザ光を照射して、前記結晶成長用基板と前記半導体膜との界面の少なくとも一部において前記結晶成長用基板と前記半導体膜を分離させた後、前記結晶成長用基板を除去する工程と、前記結晶成長用基板が除去された前記半導体膜の表面を、CMP(化学機械研磨)処理により平坦化する工程と、前記半導体膜をエッチングガスを用いたドライエッチングにより除去する工程と、前記半導体膜が除去された前記圧電体膜上に前記上部電極を形成する工程とを有する。
本発明の製造方法によれば、レーザリフトオフ工程で荒れた半導体膜の表面がCMP処理により平坦化され、ドライエッチングにより半導体膜を除去した後の圧電体膜表面は十分に平坦化されるので、その上に上部電極を形成すれば、圧電体膜の膜厚が十分に均一な共振部が得られて、安定した共振特性を得ることが可能である。
本発明の半導体装置の製造方法において好ましくは、前記半導体膜と前記圧電体膜の選択比が10以上のエッチングガスで前記半導体膜を除去する。CMPによるGaN系化合物半導体膜の平坦化により50nmの表面粗さRmsが得られるので、エッチングの選択比を10以上にすることで、GaN系化合物半導体膜除去後の圧電体膜表面のRmsは5nm以下となり、非常に優れたフィルタ特性を実現できる。
前記半導体膜がGaN、前記圧電体膜がAlNにより形成される場合、前記半導体膜の除去に用いるエッチングガスとしてSFとSiClの混合ガスを用いることが好ましい。Cl系ガスであるSiClによりGaN系化合物半導体膜のエッチングレートを稼ぎ、さらにF系であるSFにより圧電体膜であるAlN系化合物半導体のAlとFの反応生成物によりエッチングを止める効果が期待できるため、GaN系化合物半導体膜と圧電体膜との選択比が10以上を実現できる。
また、SiClの混合比がSFより多く、且つSFの5倍よりも少ないことが好ましい。この混合比によれば、SFによる効果を十分に得ることができ、また、GaN系化合物半導体のエッチングレートを維持して、選択比10以上を容易に実現できる。
また、前記半導体除去時のチャンバ内の圧力を1Paよりも高くすることが好ましい。チャンバ内の圧力が高くなるとエッチングガスがウエハ上に滞在する時間が長くなり、効率よくエッチングを行える。
以下、本発明の実施形態ついて、図面を参照しながら説明する。図1A〜1Gは、本発明の実施形態における薄膜バルク音響共振器(FBAR)の製造方法の工程を示す断面図である。
図1Gに、本実施の形態の製造方法により作製されたFBARの構造が示される。圧電体のAlN膜3と、AlN膜3を挟んで形成されたMo下部電極4およびMo上部電極9により共振部が構成されている。共振部を支持するための基板であるSiO膜7を有するSi基板6上に、共振部のMo下部電極4側が、AuSn膜5、8を介して接合され、それにより中空部10が形成されている。以下に、製造方法の各工程について説明する。
まず図1Aに示すように、サファイア基板1上に、レーザ吸収層であるGaN膜2をMOCVD法により、基板温度1000℃の条件にて4μm結晶成長させる。サファイア基板1に代えて、他の適当な基板を用いることもできる。次に、GaN膜2上に、圧電体であるAlN膜3をMOCVD法により、基板温度1100℃の条件にて500nm結晶成長させる。次に、AlN膜3上に、Mo膜をスパッタリング法により500nm堆積させ、パターニングすることにより、共振器の下部電極となるMo下部電極4を形成する。次に、Mo下部電極4上に、中空構造を支えるAuSn膜5を、加熱蒸着により形成する。
次に、図1Bに示すように、FBARの基板となるSi基板6上に、絶縁膜であるSiO膜7をウエハ全面に形成し、接着用のAuSn膜8を形成する。その後、図1Cに示すように、図1Aの工程で作製された要素と、図1Bの工程で作製された要素を、AuSn膜5、8を介して当接させ、AuSn膜の融点以上の380℃に加熱し、加圧して、AuSn膜5、8の共晶反応を利用して接合する。
さらに、サファイア基板1で吸収されずにGaN膜2で吸収される波長のレーザ光、例えばNd:YAGレーザの第3高調波(355nm)を、サファイア基板1の裏面から照射し、サファイア基板1とGaN膜2の界面付近のGaN膜2を融解して、図1Dに示すように、サファイア基板1を除去する。この状態ではGaN膜2の表面が非常に荒れている(表面粗さがRmsで150nm程度)。
そこで、図1Eに示すように、コロイダルシリカ系などのスラリを用いて、レート0.4μm/minでCMP(化学機械研磨)処理することにより、GaN膜2の表面を、表面粗さRmsが50nm程度になるように平坦化する。
その後、図1Fに示すように、SFとSiClの混合ガスにより、ウエハ全面をエッチングし、AlN膜3の表面を露出させる。その際、CMPによるGaN膜2の平坦化後のRmsは50nmであるため、選択比を10以上にすることでGaN膜2除去後のAlN膜3の表面粗さRmsは5nm以下となる。例えば、SF:SiCl=1:2、チャンバ内の圧力を2Paとしてエッチングすることで、選択比が17となり、効率的なエッチングを実現できる。その結果、Rms=5nmの平坦なAlN膜3が得られる。
このように、実用的に十分な平坦度を得るためには、GaN系化合物半導体膜とAlN系化合物半導体の選択比が10以上のエッチャントでGaN系化合物半導体膜を除去することが望ましい。さらにエッチャントとしてSFとSiClの混合ガスを用いることにより、Cl系ガスであるSiClによりGaN系化合物半導体膜のエッチングレートを稼ぎ、さらにF系であるSFにより圧電体膜であるAlN系化合物半導体のAlとFの反応生成物によりエッチングを止める効果が得られる。そのため、GaN系化合物半導体膜と圧電体膜との選択比10以上を実現できる。
図2に、チャンバ内圧力が1Paの場合の、SFとSiClのガス比と、GaN系化合物半導体と圧電体の選択比の関係を示す。横軸がガス比、縦軸が選択比である。SiClガスが多すぎると、GaN系化合物半導体のエッチングレートは上がるが、同時に圧電体膜のエッチングレートも上がるため、SFによる効果が少なくなる。また、SFガスの割合を多すぎるとSiClガスの効果がなくなり、GaN系化合物半導体のエッチングレートが極端に下がるため、ほとんど除去できなくなる。SiClの混合比がSFより多く、且つSFの5倍よりも少なくすることにより、良好な選択比が得られる。
図3にチャンバ内の圧力と選択比の関係を示す。チャンバ内の圧力が高くなるとエッチングガスがウエハ上に滞在する時間が長くなり、効率よくエッチングを行えるので、選択比が向上する。GaN系化合物半導体エッチング時のチャンバ内の圧力は、1Paよりも高くすれば、良好な選択比が得られることが判る。
以上のようにして平坦に露出されたAlN膜3の表面に、図1Gに示すように、Mo上部電極9を形成することで、薄膜バルク音響共振器を作製することができる。
以上の様にして得られた薄膜バルク音響共振器のAlN膜のXRD(X線回折)特性を(表1)に示す。
Figure 0004690817
(表1)に示すとおり、本発明の実施例によれば、AlN膜のXRDの(0002)面のロッキングカーブの半値幅は0.1度であった。一方、従来のスパッタ法で堆積したAlN膜は1度以上であり、本発明を用いることで膜質向上と、それに伴う共振特性の向上が得られることが判る。
本発明によれば、安定した共振特性を有する薄膜バルク音響共振器を得ることができ、フィルタ部品の製造に有用である。
本発明の実施の形態におけるFBARの製造方法の工程を説明するための断面図 同製造方法の次の工程を説明するための断面図 同製造方法の次の工程を説明するための断面図 同製造方法の次の工程を説明するための断面図 同製造方法の次の工程を説明するための断面図 同製造方法の次の工程を説明するための断面図 同製造方法の次の工程を説明するための断面図 SFとSiClのガス比とGaN系化合物半導体と圧電体の選択比の関係を説明するための図 チャンバ内の圧力と選択比の関係を説明するための図
符号の説明
1 サファイア基板
2 GaN膜
3 AlN膜
4 Mo下部電極
5 AuSn膜
6 Si基板
7 SiO2膜
8 AuSn膜
9 Mo上部電極
10 中空部

Claims (5)

  1. 圧電体膜を下部電極および上部電極により挟んで形成された共振部が、前記下部電極側に設けられた第1金属膜と支持基板上に設けられた第2金属膜の接合を介して、前記支持基板上に中空構造を形成して支持された薄膜バルク音響共振器を製造する方法であって、
    結晶成長用基板上に半導体膜を結晶成長させる工程と、
    前記半導体膜上に前記圧電体膜を結晶成長させる工程と、
    前記圧電体膜上に前記下部電極を形成する工程と、
    前記下部電極上に前記第1金属膜を形成する工程と、
    前記支持基板上に前記第2金属膜を形成する工程と、
    前記第1金属膜と前記第2金属膜を互いに接合させることにより、前記結晶成長用基板と前記支持基板とを結合させる工程と、
    前記結晶成長用基板の裏面から、前記結晶成長用基板では吸収されず前記半導体膜で吸収される波長のレーザ光を照射して、前記結晶成長用基板と前記半導体膜との界面の少なくとも一部において前記結晶成長用基板と前記半導体膜を分離させた後、前記結晶成長用基板を除去する工程と、
    前記結晶成長用基板が除去された前記半導体膜の表面を、CMP(化学機械研磨)処理により平坦化する工程と、
    前記半導体膜をエッチングガスを用いたドライエッチングにより除去する工程と、
    前記半導体膜が除去された前記圧電体膜上に前記上部電極を形成する工程とを有することを特徴とする薄膜バルク音響共振器の製造方法。
  2. 前記半導体膜と前記圧電体膜の選択比が10以上のエッチングガスで前記半導体膜を除去する請求項1記載の薄膜バルク音響共振器の製造方法。
  3. 前記半導体膜がGaN、前記圧電体膜がAlNにより形成され、
    前記半導体膜の除去に用いるエッチングガスがSF6とSiCl4の混合ガスである請求項2記載の薄膜バルク音響共振器の製造方法。
  4. SiCl4の混合比がSF6より多く、且つSF6の5倍よりも少ない請求項3記載の薄膜バルク音響共振器の製造方法。
  5. 前記半導体除去時のチャンバ内の圧力を1Paよりも高くする請求項3記載の薄膜バルク音響共振器の製造方法。
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