JP4690051B2 - 高圧液噴射式切断装置および高圧液噴射式切断方法 - Google Patents
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Description
以下に,本発明の第1の実施形態にかかる高圧液噴射式切断装置について説明する。なお,本実施形態にかかる高圧液噴射式切断装置は,例えば,以下に説明するように,研磨材が混入された高圧水の噴流(アブレシブジェット)によって被加工物を切断するウォータージェット切断装置として構成されているが,本発明はかかる例に限定されるものではない。
30 : 噴射ノズル
34 : チップ状に分割された基板の一列(1列分のチップ)
35 : 基板(被加工物)
35a〜c : 回路領域
36 : 既に移送された1又は2列以上のチップ
37 : 第1の切断ライン群の切断溝
38 : 第2の切断ラインの切断溝
40 : 保持テーブル
100 : 第1チャンネル切断用保持部材(第1保持部材)
200 : 第2チャンネル切断用保持部材(第2保持部材)
210 : 載置板
212 : 切断領域
214 : 整列領域
216 : 逃げ溝
220 : 押出手段
230 : 突き当て部材
240 : 押圧手段
242 : 押圧部材
250 : 移送手段
260 : 整列手段
357 : 第1の切断ライン
359 : 第2の切断ライン
J : ウォータージェット
Claims (7)
- 高圧液噴射手段から噴射される高圧液により,被加工物の所定方向に延びる複数の第1の切断ラインからなる第1の切断ライン群を切断した後に,前記第1の切断ライン群と直交する複数の第2の切断ラインからなる第2の切断ライン群を切断することによって,前記被加工物を複数のチップに分割するために,
前記被加工物の前記第1の切断ライン群を切断した後に,前記被加工物を被加工物保持手段上に載置し,少なくとも前記第2の切断ライン群の切断加工時には,前記高圧液噴射手段を,前記被加工物保持手段に対し,同一のX軸方向位置でY軸方向のみに相対移動させることによって,前記被加工物の前記第2の切断ライン群を切断する高圧液噴射式切断装置であって:
前記被加工物保持手段上には,
前記被加工物をX軸方向に押し出す押出部材と;
前記押出部材によって押し出された前記被加工物が突き当てられ,当該被加工物を前記被加工物保持手段上の所定位置で係止する突き当て部材と;
前記第2の切断ラインが切断されチップ状に分割された前記被加工物をY軸方向に移動させる移送手段と;
を備えることを特徴とする,高圧液噴射式切断装置。 - 前記被加工物保持手段上に,前記移送手段によって移動された前記チップ状に分割された被加工物を整列する整列手段;をさらに備えることを特徴とする,請求項1に記載の高圧液噴射式切断装置。
- 前記被加工物保持手段上に,前記突き当て部材に対して突き当てられた前記被加工物を上方から押圧する押圧部材;をさらに備えることを特徴とする,請求項1または2のいずれかに記載の高圧液噴射式切断装置。
- 請求項1に記載の高圧液噴射式切断装置における高圧液噴射式切断方法であって:
(1)前記第1の切断ライン群の切断後に前記被加工物保持手段上に載置された前記被加工物を前記押出手段によってX軸方向に押し出して,前記突き当て部材に突き当てることによって,前記押出手段と前記突き当て部材とにより前記被加工物を挟持する工程と;
(2)前記高圧液噴射手段から噴射された高圧液によって,前記被加工物の前記第2の切断ライン群のうち,前記突き当て部材に最も近い位置にある前記第2の切断ラインを切断し,前記被加工物をY軸方向の一列分だけチップ状に分割する工程と;
(3)前記一列分のチップ状に分割された被加工物を,前記移送手段によってY軸方向に移動させる工程と;
(4)前記(1)〜(3)の工程を,前記第2の切断ラインの全てが切断されるまで繰り返す工程と;
を含むことを特徴とする,高圧液噴射式切断方法。 - 前記高圧液噴射式切断装置は,前記被加工物保持手段上に,前記移送手段によって移動された前記一列分のチップ状に分割された被加工物を整列する整列手段をさらに備え;
前記高圧液噴射式切断方法は,少なくとも前記(3)の工程より前に,
前記整列手段によって,前記移送手段によって既に移動された前記一列または複数列分のチップ状に分割された被加工物全体をX軸方向に移動させ,前記一列分のチップ状に分割された被加工物を収容できるスペースを形成する工程;
をさらに含み,
前記(3)の工程では,
前記一列分のチップ状に分割された被加工物を,前記移送手段によってY軸方向に移動させて,前記スペースに収容することを特徴とする,請求項4に記載の高圧液噴射式切断方法。 - 前記高圧液噴射式切断装置は,前記被加工物保持手段上に,前記突き当て部材に対して突き当てられた前記被加工物を上方から押圧する押圧部材をさらに備え,
前記高圧液噴射式切断方法は,前記(1)の工程後に,
前記被加工物が前記突き当て部材と当接する位置から前記突き当て部材に最も近い位置にある前記第2の切断ラインまでの間で,前記押圧部材によって前記被加工物を上方より押圧する工程;
をさらに含むことを特徴とする,請求項4または5のいずれかに記載の高圧液噴射式切断方法。 - 前記被加工物は,略矩形状を有し,前記被加工物の相対向する一対の縁辺が,前記第2の切断ライン群と略平行となり,かつ,前記縁辺に最も近い位置にある前記第2の切断ラインから前記縁辺までの距離が,前記複数の第2の切断ラインの間隔と略同一となるように,成形加工されていることを特徴とする,請求項4〜6のいずれかに記載の高圧液噴射式切断方法。
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