JPH0219500U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ａは本考案の一実施例の平面図、第１図
ｂ，ｃおよび第２図ａ〜ｅは第１図ａのＡ―Ａ線
断面図、第３図ａ〜ｃは従来例を説明する斜視図
である。 １……ロータリーカツター、１ａ……切刃、２
，２２……被処理基板、２ａ，２２ａ……端子部
、３，１３……可動テーブル、１４……スクリユ
ードライバー機構、１５，１９，２３……エアー
シリンダー、１６……（位置決め）突き当て板、
１７……ストツパー、１８……（位置決め）押圧
板、２０……摺動挾持板、２１……長溝、２２…
…被処理基板、２４……高加圧水高速噴射機構、
２４ａ……超高圧ウオータージエツト、２５……
目盛板。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 Ｙ方向に往復移動する可動テーブルのＸ方向の
   第１の端部より離間させて配設した前後進可能な
   位置決め突き当て板と、前記位置決め突き当て板
   に対向させて前記可動テーブルの上面に配設した
   前後進可能な位置決め押圧板と、前記可動テーブ
   ルの第１の端部および相対する第２の端部のそれ
   ぞれの中央部を結んで得られる中心線を挾むよう
   に前記可動テーブルの上面に離間させて配設した
   一対の摺動挾持板とからなる板状体位置決め機構
   と、 前記可動テーブルの上面に被加工の板状体を搬
   送し、かつ移送する真空吸着搬移送機構と、 前記可動テーブルの上方および下方のほぼ等し
   い位置に配設され、かつ前記可動テーブルの第１
   の端部より面取り部分を突出して位置決め挾持さ
   れた板状体の前記面取り部分に対して一定の傾斜
   角をなして微小径の高加圧水を高速噴射する機構
   とを備えたことを特徴とする面取り装置。