JP4688192B2 - 表面検査装置 - Google Patents
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Description
凹部・・・2
底面・・・20
側面・・・21
カメラ装置・・・31
第一の光路・・・40
第二の光路・・・41
第一の反射部材・・・40a
第二の反射部材・・・40b
第三の反射部材・・・41a
下側の傾斜面・・・410
上側の傾斜面・・・411
上板の凹部・・・430
光路調整機構・・・45
ベース・・・450
長孔・・・451
固定具・・・452
Claims (1)
- 凹部もしくは凸部の平面部分と側面部分に光を照射する照射装置と、当該照射装置から照射された光のうち前記検査対象物の平面部分及び側面部分の反射光を一台のカメラ装置で取得し、当該取得した画像に基づいて前記凹部もしくは凸部の各面の形成状態を検査する表面検査装置において、
スペーサを介して対向する二枚の上板および下板の下板側に取り付けられる第一の反射部材と第二の反射部材によって設定され、前記側面部分から斜め方向に出力された反射光を反射させ、更に、当該反射光を反射させてカメラ装置に入射させる第一の光路の光路長と、
前記上板に設けられた凹部に保持されるロンボイドプリズムによって設定され、前記平面部分からの出力光を反射させ、再び、平面部分に対して垂直な方向に反射させてカメラ装置に入射させる第二の光路の光路長と、
を同一に設定したことを特徴とする表面検査装置。
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JP2000146514A (ja) * | 1998-11-04 | 2000-05-26 | Nikon Corp | 干渉計 |
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JP2999925B2 (ja) * | 1994-07-18 | 2000-01-17 | 三洋電機株式会社 | 物品側面撮像装置 |
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---|---|---|---|---|
JP2000146514A (ja) * | 1998-11-04 | 2000-05-26 | Nikon Corp | 干渉計 |
JP2000171226A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-23 | Ccs Kk | 側面検査装置 |
JP2001146514A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-05-29 | Xerox Corp | 無色化合物、固体インク、及びプリント方法 |
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